544751 五、發明說明（1) 發明之領域 本發明係關於一種使用在半導體製造裝置中的流體控 制裝置，更詳細地是關於-種集積化流體控制裝置，其 中流體控制裝置在維修點檢時可單獨從上方取出而被組 裝著。 此說明書中’前後，上下，左右，是以第1圖之上爲前 ’下爲後，第2圖之上下爲上下，左右是以向前方而言者 °此前後，上下，左右是方便上使用，有時前後成相反使 用，上下成左右使用亦可。 先前技術說明 半導體製造裝置中所使用之流體控制裝置，是由種種 之流體控制機器形成多數列配置，同時相鄰合之流體控 制機器的各流路在預定處所上，以機器連接裝置連接而 構成。近年來，此種種之流體控制機器，已進步到以質 量流控制器或開閉閥等不介入管中而連接之集積化。此 流體控制裝置之組合時，在一片基板上，首先使塊狀接 頭等之連結元件以陽螺栓安裝，其次使質量流控制器、 過濾器、開閉閥等之流體控制機器以跨騎在這些連結元 件上方之方式兒被安裝著。 上述習知之流體控制裝置中，各個流體控制機器雖然可 從上方取出以進行點檢，修理，更換，組裝作業很費時， 而且沒有充分地被考量到線之增設及變更有關之事，在發 生必須系統改造之情況下，所有元件均須從基板取下，必 544751 五、發明說明（2 ) 須在安裝有必要元件之基板上進行更換，因而會產生長期 間裝置停機及現場工事之工時增加等問題。 要說明 本發明之目的在提供了一種集積化流體控制裝置，可使 線/增設及變更很容易地對應。 依照第1之發明的流體控制裝置，其是由多條線之A 口及出口向同一方向在基板元件上成平行地配置所形成 ’而其任一條線是由其上段配置多個流體控制機器，下 段配置多個連接元件而形成，其特徵爲：各線分別被支 持在一個線支持元件上，該線支持元件在與線垂直相交 之方向可往復移動地被安裝在基板元件上。 依照第1之發明的流體控制裝置時，裝置全體在組合 日連結兀件及流體控制機器被安裝在線支持元件後， 再安裝到基板元件上最佳，組合亦很容易。然後，線進 行變更時’因應於須要使通路連接裝置在上方被取下之 後，被變更之舊線從線支持元件卸下，不變更之線的線 支持元件因應於須要而進行往復移動，被更換之線的線 支持元件被安裝在基板元件上，再者，不變更之線的線 支持元件進行往復移動而回到適當位置上，最後在變更 後僅使必要之通路裝置被裝上即可，同樣地，線在增設 時，因應於須要使通路連接裝置在上方被取下之後，既 設之線的線支持元件因應於須要而進行往復移動’必須 增設之線的線支持元件被安裝在基板元件上’再者’既 544751 五、發明說明（3) 設之線的線支持元件進行往復移動而回到適當位置上， 最後在增設後僅使必要之通路裝置被裝上即可，因而線 之增設及變更很容易進行。 線支持元件可以使用例如沿著線方向之長板材，因應 於須要，其兩端上形成有使裝設在基板上容易之用的折 曲部。線支持元件亦可使用具有種種形狀的軌條，在此 情·況時，線支持元件爲可裝脫（安裝及脫離）地安裝在基 板元件上之軌條，而且各連結元件可往復移動地安裝在 軌條上，較佳爲流體控制機器跨騎在這些連接元件而安 裝著。因而，連結元件及流體控制機器被安裝在線支持 元件上之時，連結元件於配置在沿著軌道往復移動之所 須位置之後，使流體控制機器跨騎在這些連接元件而安 裝即可，因而各線之組合很容易◦而且，長度不同之流 體控制機器在更換時，成爲更換對象之既設的流體控制 機器被卸下之同時，連結元件沿著軌道移動到所須位置 爲止’連結元件被固定在軌道上之後，新的流體控制機 器被安裝即可◦在既設線上追加流體控制機器及連結元 件之情況時亦可同樣實施。因而，線之增設及追加很容 易進行。 上述該第1之發明中，例如軌條被形成具有向內凸緣 之U字狀剖面，設有陰螺紋且配置在溝內之往復移動元 件與連接元件由陽螺栓元件所結合。其一個例子如，軌 條內具有陰螺紋之往復移動元件被***，與在此往復移 544751 五、發明說明（4 ) 動元件上貫通連結元件之陽螺栓之螺合，而使往復移動 元件上面被推壓到軌條之向內凸緣下面，使連結元件被 安裝到軌條上。 第2之發明的流體控制裝置’其是由多條線之入口及 出口向同一方向在基板元件上成平行地配置所形成，而 其任一條線是由其上段配置多個流體控制機器，下段配 置多個連接元件而形成，其特徵爲：在基板上，與各線 對應之軌道成平行地被設置著，各連接元件在軌道之上 可往復移動地女裝者’流體控制機器跨騎在這些連接元 件而安裝著。 依照第2之發明的流體控制裝置時，裝置全體在組合 時’連結元件及流體控制機器被安裝在線支持元件後， 再安裝到基板元件上最佳，組合亦很容易。 而且，長度不同之流體控制機器在更換時，成爲更換 對象之既設的流體控制機器被卸下之同時，連結元件沿 著軌道移動到所須位置爲止，連結元件被固定在軌道上 之後，新的流體控制機器被安裝即可。在既設線上追加 流體控制機器及連結元件之情況時亦可同樣實施。因而 ，線之增設及追加很容易進行。 與各連結元件對應之往復移動元件被配置在軌道上， 在扛復移動元件及連結元件進行結合的軌道上安裝往復 移動元件較佳。軌道及往復移動元件之形狀爲’使往復 移動元件可沿著軌道進行往復移動，而且不容易從軌道 544751
五、潑^明說明（5 ) -脫逸之條件nj滿足之範圍內，可做種種變化。例如， 軌道在基板元件上可裝設及可卸下地被安裝著之軌條所 、戍 而且，由基板元件上面的溝形成亦可，但以前者 較佳。 軌道在基板元件上可裝設及可卸下地被安裝著之軌條 开/反之日^ ’裝置全體在組合時，連結兀件及流體控制 機器被安裝在線支持元件後，再安裝到基板元件上最佳 過q亦很容易。然後，線進行變更時，因應於須要使 通路連接裝置在上方被取下之後，被變更之舊線從線支 丰寸兀件卸下，不變更之線的線支持元件因應於須要而進 行往復移動，被更換之線的線支持元件被安裝在基板元 件上’再者，不變更之線的線支持元件進行往復移動而 回到適當位置上，最後在變更後僅使必要之通路裝置被 裝上即可，同樣地，線在增設時，因應於須要使通路連 接裝置在上方被取下之後，既設之線的線支持元件因應 於須要而進行往復移動，必須增設之線的線支持元件被 女I在基板兀件上，再者，既設之線的線支持元件進行 往復移動而回到適當位置上，最後在變更後僅使必要之 通路裝置被裝上即可，因而線之增設及變更很容易進行 〇 上述第2之發明之中，於形成線支持元件或軌道之軌 條被形成具有向內凸緣之U字狀剖面亦可，被形成具有 向外凸緣之U字狀剖面者亦可。而且，剖面爲U字狀軌 544751 五、發明說明（6) 條上設置有沿著寬度方向分成2等份之T字狀的中間壁 ◦溝之剖面形成爲下面擴大的梯形，或者剖面，爲反T字 型較佳。 往復移動元件由陽螺栓而安裝在軌條上亦可，而且在 往復移動元件上設置有與軌條卡合之軌條把持爪亦可。 例如，軌條被形成具有向內凸緣之U字狀剖面時，設 有陰螺紋之往復移動元件及連結元件以陽螺栓進行結合 。舉一個例子，軌條內具有陰螺紋之往復移動元件*** 入，與在此往復移動元件上貫通連結元件之陽螺栓之螺 合，而使往復移動元件上面被推壓到軌條之向內凸緣下 面，使連結元件被安裝到軌條上◦而且，以溝代替軌條 形成軌道之時，在溝之開口緣部上形成有防止往復移動 元件向上方脫落用之防止脫落部較佳。防止脫落部是在 溝之形狀被形成爲下面擴大的梯形，或者剖面爲反T字 型時所獲得。軌道爲軌條或溝之任一情況下，使陰螺紋 元件回轉用之工具***用的間隙被設置在流體控制機器 之間較佳。 而且，有軌條被形成具有向外凸緣之U字狀剖面，往 復移動元件上設置有與軌條之向外凸緣卡合之軌條把持 爪之情形，亦有軌條被形成具有向內凸緣之u子狀剖面 ，往復移動元件上設置有與軌條之向內凸緣卡合之軌條 把持爪之情形。設置有把持爪之往復移動元件’例如其 上設有陰螺紋’與連接元件由陽螺栓元件結合’再者’ 544751 五、發明說明（7) 在預定位置上被固定到軌條上較佳。 使相鄰之軌條在預定位置上連結較佳。因而，可防止 軌條間隔之變動或各軌條之晃動不穩，故而組合後之裝 置很容易使用。 而第1及第2之發明中，基板元件由入口側軌條、出 口側軌條及連結在兩軌條之間的連結元件而形成框狀。 在此情況下，連結元件亦可使用做爲軌條。 圖式之簡單說明 第1圖是顯示本發明流體控制裝置之第丨實施例之側 面圖； 第2圖是同上之平面圖； 第3圖是顯示沿著第2圖之I I I - I I I線之剖面圖； 第4圖是顯示本發明流體控制裝置之第2實施例之要 部的剖面圖； 第5圖是顯示本發明流體控制裝置之第3實施例之要 部的側面圖； 第6圖是顯示本發明流體控制裝置之第4實施例之側 面圖； 第7圖是同上之平面圖； 第8圖是沿著第7圖中V I I I - V I I I線之剖面圖； 第9圖是顯示本發明流體控制裝置之第5實施例之要 部的剖面圖； 第1 0圖是顯示本發明流體控制裝置之第6實施例之要 544751 五、發明說明（8 ) 部之剖1(11 _ ; 第1 1 Ν记顯不本發叫流體控制裝哼之第7實施例之要 部之剖间圖； 第1 2圖是同丨_:之平面圖； 第13圖t沿著第1 2圖ψ X I I I - X I I I線之剖|ίπ圖； 第Η關是沿著第1 3 |Μ|之軌條的Ι_: [Μ之放人水个i4[j ll'ii 圖； 第1 5圖是顯示本發明流體控制裝置之第8實施例之要 部之剖面圖； 第1 6圖是沿著第1 5圖之軌條的h面之放大水平剖Ifil I唐 I ， j — 第是顯示本發明流體控制裝置之第9實施例之要 部之剖面 第G伽是顯不本發明流體控制裝置之第1 0實施例之
第19 /圖是顯示本發明流體控制裝置之第11實施例之 要部之剖面圖。 本發明較佳實施例之詳細說明 本發明之各實施例將參照以K各圖說明之。 第1到3圖是顯示本發明流體控制裝置之第1實施例， 此土體控制裝置是由第1線（A )、第2線（B )、預備線（C ) 成並列狀地配置在基板元件（1 ) I: Ifu形成。 第1線（A )及第2線（B )是巾配置在h段的質量流控制器 544751 五、發明說明（9) 、開閉閥、壓力調整器及通路塊等多個流體控制機器（2 ) (3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )，及與配 置在下段的流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1〇） (1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )之間連通的多個連結元件（2 1 ) ( 2 2 )所形 成。下段之連結元件（2 1 ) ( 22 )被分別被安裝在各線（A ) ( B ) 上，上段的流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1〇） (1 1 ) ( 1 2 ) ( Π ) ( 1 4 )跨騎在這些連接元件（2 1 ) ( 2 2 )上而被 安裝著。預備線（C)上僅軌條（20)配置著。 第1線（A )之流體控制機器有，質量流控制器（2 )、設在 質量流控制器（2 )前方（入口側）之入口側第丨開閉閥（3 )、 入口側第2開閉閥（4 )、逆止閥（5 )、橫向連通路塊（6 )、 壓力感測器（7 )、壓力調整器（8 )、過濾器（9 )及手動閥（1 0 ) 、設在質量流控制器（2 )後方（出口側）之出口側第1開閉 閥（1 1 )、出口側第2開閉閥（1 2 )、逆止閥（Π )及分歧合流 用通過通路塊（1 4 )，第2線（B )之流體控制機器有，質量 流控制器（2 )、設在質量流控制器（2 )前方（入口側）之入口 側第1開閉閥（3 )、入口側第2開閉閥（4 )、逆止閥（5 )及 橫向連通路塊（6 )、設在質量流控制器（2 )後方（出口側）之 出口側第1開閉閥（1 1 )、出口側第2開閉閥（1 2 )、逆止閥 (1 3 )及分歧合流用通過通路塊（1 4 )。 質量流控制器（2 )在其下端部前後面具有入口側連接部 (2a)及出口側連接部（2b)，質量流控制器（2)及入口側第1 開閉閥（3 )及出口側第1開閉閥（π )分別由在其下方配置 -1 1 - 544751 五、發明說明（1〇) 成V字型通路塊接頭（21)而彼此連通。由同樣之V字型通 路塊接頭（2 1 )而亦與相鄰之流體控制裝置（4 )，（ 6 ) ( 7 ) ( 8 ) (9 ) ( 1 0 ) ( 1 2 ) ( 1 4 )相連通。而且，位於入口側端部之手動 閥（1 0 )及位於出口側端部之分歧合流用通過通路塊（1 4 )上 ，設置有與外部之連接用接頭（22)。 軌條（2 0 )在其前後端部上具有貫通孔，穿過此貫通孔之 陽螺栓（2 3 )將軌條（2 0 )固定在基板元件（丨）上。通路塊接 頭（2 1 )及外部之連接用接頭（2 2 )之上面設置有垂直之陰螺 紋，各流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) (1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )經由貫通各機器之陽螺栓（丨5 )螺合到連結元 件（2 1 )( 2 2 )之垂直之陰螺紋中，而被安裝到連結元件（2 1 ) (2 2 )上。 如第3圖所示，軌條（20 )被形成剖面爲u字狀，具有向 外之凸緣（20 a )及向內之凸緣（20b )。此軌條（20 )內***有 往復移動元件（24 )。往復移動元件（24 )爲金屬製成，可從 上方***軌條（2 0 )內地被分割成二等分。然後，左右之各 半體（24a) (24b)中，分別有垂直的陰螺紋部（25)成貫通狀 地設置，穿過連結元件（21 ) (22)之陽螺栓（26)與該陰螺紋 部（25 )螺合。左右之各半體（24a )( 24b)的上面設有外側成 爲較低之段差之設§十’垂直的陰螺紋部（2 5 )與陽螺检（2 6 ) 在鬆弛地螺合狀態下，雖然可以往復移動，但是不可轉動 。然後，從此狀態使陽螺栓（26 )被鎖緊，則往復移動元件 (2 4 )在軌條（2 0 )內向上方移動，往復移動元件（2 4 )上面之 -12- 544751 五、發明說明（11) 較低的面在軌條（20 )之向內凸緣（20b )下面推壓，使連結 元件（2 1 ) ( 22 )固定到軌條（20 )上。連結元件（2,1 ) ( 22 )之下 面與軌條（2 0 )之上面之間介入有一個墊圈（27)，往復移動 元件（24 )的較高之面與此墊圈（27 )之下面對接。而，設置 在連結元件（2 1 ) ( 22 )上之穿過孔（28 )中設有段部（28a )， 陽螺栓（26 )之軸部上嵌入有，上端部具有凸緣（29a )之圓 筒狀隔件（2 9 )，隔件（2 9 )之凸緣（2 9 a )與陽螺栓穿過孔（2 8 ) 的段部（28a )之間，介入有圓筒狀彈性元件（30 )。而且， 塊狀接頭（2 1 )被安裝到軌條（20 )上所用之陽螺栓（26 )可從 上方轉動，因而各流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) (9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( 13 ) ( 1 4 )之間的塊狀接頭（2 1 )中央部上 方須確保有板手穿過用的間隙。 而，上述之實施例中，往復移動元件（2 4 )不分割成二個 ，而保持一體狀態亦可，此時，往復移動元件（24 )從軌條 (20 )之前後任何一方之端部***軌條（20 )內。 而且，軌條（20 )之形狀並未特別限定，可做種種之變更 。其一個例子顯示在第4圖中。同圖所示的第2實施例中 ，軌條（40 )之開口向上，其剖面成E字狀，即具有剖面爲 U字型且向內之凸緣（4 1 a )的軌條本體（4 1 )的左右中央上， 沿寬度方向追加有分割之T字型中間壁（42 )的形狀亦可。 此時，往復移動元件（43 )爲正方體狀，左右配置一對，與 上述第1實施例同樣地，由陽螺栓（26)之螺合而向上方移 動，而被固定到軌條（4 0 )上。 544751 五、發明說明（12) 軌條（2 0 ) ( 4 0 )爲使各線（A ) ( b ) ( c )上之連結元件可進行 往復移動用之軌道，如第5圖所示，亦可在基板元件（1 ) 之上面設置引導往復移動元件（5 2 ) ( 5 4 )用之溝（5 1 ) ( 5 3 )， 使這些溝（5 1 ) ( 5 3 )用來取代這些軌條（2〇 ) ( 40 )而形成軌道 。如第5(a)(b)圖所示之第3實施例中，（a)中的溝（51)爲 剖面成下方擴大的梯形，（b )中的溝（5 3 )爲內部擴大溝， 艮P剖面成反T字型之溝。（a )之情形下，往復移動元件（5 2 ) 被做成其剖面爲下方擴大的梯形之塊狀，（b )之情形下， 往復移動元件（5 4 )被做成容納於內部擴大溝（5 3 )之擴大部 份中的正方體塊狀。（a )( b )之任何一個情形下，導往復移 動元件（5 2 )( 5 4 )由陽螺栓（2 6 )之螺合而向上方移動，而 被推壓到溝（5 1 )( 5 3 )之開口緣部上。 上述第1〜第3之實施例的流體控制裝置，裝置全體在組 合時’連結元件（2 1 ) ( 22 )沿著軌道（軌條（20 ) ( 40 )或溝 (5 1 )( 5 3 ))上往復移動而配置在必要位置之後，使流體控 制機器（2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)(14) 跨騎在這些連接元件（2 1 ) ( 22 )( 6 1 ) ( 62 )上而被安裝著最佳 ，組合亦很容易。 然後，例如使第2線（B )做成與第1線（A )相同之情況下 ，必須追加的流體控制機器（7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 )連接上所須之 連結元件（2Γ) ( 22 )從軌道（20 ) ( 40 ) ( 5 1 ) ( 5 3 )..之前端裝上， 沿著軌道往復移動到預定位置之後，使流體控制機器安裝 在這些連結元件上即可。此時，第1及第2實施例中之機 -14- 544751 五、發明說明（13) 器，亦可從軌道上方裝上◦然後，例如質量流控制器（2) 變更爲前後長度不同者之時，流體控制機器 (3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 〇 ) ( 1 1 )(丨 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )不必卸下 ，將連結兀件（2 1 ) ( 2 2 )放鬆，沿著軌道（2 〇 ) ( 4 〇 ) ( 5 1 ) ( 5 3 ) 往復移動到必要位置之後，被固定到軌道上，再度使流體 控制機器被安裝在連接元件上即可。此作業中既設線之連 結兀件原樣地被安裝到軌道上，而可防止這些元件落下及 遺失◦在各流體控制機器之間***新機器時，亦可與質量 流控制器（2 )更換同樣之順序進行。因而，線之變更很容 易。 從第6圖到第8圖是顯示本發明流體控制裝置之第4實 施例，是由第1線（A )、第2線（B )、預備線（C )成並列狀 地配置在基板元件（1 )上而形成，而且第1線（A )及第2線 (B )之流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) (1 2 )( 1 3 )( 1 4 )的構成，與第1實施例者相同◦下列之說明 中相同得構成付予相同的符號，說明則予以省略。 第6圖中，下段的塊狀接頭（6 1 )及外部連接用連結元件 (62 )，其形狀與第1實施例者有若干變更，而且各連結元 件（6 1 )( 62 )之下端上，如第8圖所詳示，具有軌條把持爪 (64)之合成樹脂製往復移動元件（63 )由螺絲（65)固定。軌 條（:、之剖面形成υ字狀，僅具有向外之凸緣（60 a )，而 沒有向內之凸緣。往復移動元件（6 3 )爲反U字狀，其下端 設置有與軌條（60 )之向外之凸緣（60a )卡合之向內軌條把 -1 5 - 544751 五、發明說明（14 ) 持爪（64 )。軌條把持爪（64 )具有可多少左右打開之程度的 彈性。因而，各連結元件（6 1 )( 6 2 )可沿著軌條，（6 〇 )往復移 動，而且通常之時不會向上方脫落，而可強制地向上方被 隹卩下。而，爲了防止組合後之各連結元件（6 1 )( 6 2 )之前後 移動，入口及出口之外部連接用連結元件（6 2 )及質量流控 制器（2 )之入口側接頭（6 1 A )所設置之往復移動元件（63 )被 固定在軌條（60)上。 此第4實施例中，如第7圖所示，有三個軌條（6 0 )在其 前後端部上由連結元件（6 6 )連結。因此，吋防止軌條（6 0 ) 之間隔變動或各軌條（60 )之晃動不穩，而且可防止機器從 軌條（60)上脫落。 上述第4實施例中，軌條（6 0 )之形狀不做特別限定’而 可做種種變更。例如，雖然軌條（6 0 )與第1實施例有不同 的形狀，使用同樣之軌條（2 0 )當然亦可。而且’如第9圖 所示之軌條（70 )及往復移動元件（7 1 )之形狀亦可。 如第9圖所示之第5實施例中，軌條（7 0 )之剖面形成U 字狀，僅具有向外之凸緣（7 0 a )，而沒有向內之凸緣。往 復移動元件（7 1 )上設置有與軌條（7 0 )之向外之凸緣（7 0 a ) 卡合之向內軌條把持爪（72 )。軌條把持爪（72 )具有可在左 右方向向內變形之程度的彈性。因而，各連結元件 (61) (62)可沿著軌條（7 0)往復移動，而且通常之時不會向 上方脫落，而可強制地向上方被卸下。 第4及第5實施例中，往復移動元件（63 )( 7 1 )爲合成樹 -16- 544751 五、發明說明（15) 百旨製成。以可付予左右打開之程度的彈性之金屬製造時當 然亦可。 ， 而且，往復移動元件爲金屬製時，如第1 0圖所示形態（ 第 6實施例）亦可。同圖之中，軌條（6 0 )及連結元件 (6 1 )( 6 1 A )( 6 2 )使用與第4實施例相反者，往復移動元件 (8 1 )爲反U字狀，其下端設置有向內軌條把持爪（82 )。此 往復移動元件（8 1 )從軌條（60 )之前後任何一端裝上，而後 移動到所須位置爲止而被固定。固定是使用陽螺栓（26 )， 使往復移動元件（8 1 )穿過的垂直陰螺紋部與陽螺栓（2 6 )進 行螺合，經由墊圈（8 3 )而鎖緊在軌條（6 0 )之向外之凸緣 (6 0a)上，而可阻止連結元件（61 )(61A) (62)之移動。設置 在連結元件（6 1 )( 6 1 A )( 62 )上之陽螺栓穿過孔（28 )上設有 與第1實施例相同的段部（2 8 a )，隔件（2 9 )及彈性元件（3 0 ) 則沒有使用。 此第6實施例之往復移動元件（8 1 )可與第4實施例之往 復移動元件（6 3 )倂用◦即，在入口及出口之外部連接用連 結元件（6 2 )及質量流控制器（2 )之入口側接頭（6 1 A )所設置 之往復移動元件可爲第6實施例之往復移動元件（8 1 )，剩 下的可使用第4實施例之往復移動元件（6 3 )，則可防止組 合後之各連結元件（61) (62)之前後移動，而且安裝有第4 實施例之往復移動元件（63 )的1妾頭（6 1 )’即使不移動到軌 條（60 )之末端時，亦可在上方被取出，因而線之變更、增 設時之作業很容易進行。 -17- 544751 五、發明說明（16) 上述第4〜第6之實施例的流體控制裝置，裝置全體在組 合時，連結元件（6 1 ) ( 6 2 )沿著軌道（軌條（6 0 ) (，7 0 ))上往復 移動而配置在所要位置之後，使流體控制機器 (2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )跨騎 在這些連接元件（61)(62)上而被安裝時最佳，組合亦很容 易。 然後，例如使第2線（B )做成與第1線（A )相同之情況下 ，必須追加的流體控制機器（7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 〇 )連接上所須 之連結元件（61) (62)從軌道（ 60 ) ( 70 )之前端裝上，沿著軌 道往復移動到預定位置之後，使流體控制機器安裝在這些 連結元件上即可。此時，第4及第5實施例中之機器，亦 可使往復移動元件（6 3 )( 7 1 )從軌道上方裝上。然後，在 各流體控制機器之間***新機器時，亦可同樣地進行。因 而，線之變更很容易。 而，第1、第2、第3、第4、第5、及第6實施例中， 軌道在基板元件上可裝設及可卸下地被安裝之軌條（2 〇 ) (40 )( 60 )( 70 )所形成之故，裝置全體在組合時，連結元件 (2 1 ) ( 2 2 ) ( 6 1 ) ( 6 2 )及流體控制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 Μ Ή (8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 )被安裝在軌條後，再安裝到 基板元件（1 )上即可’組合亦很容易。然後，線進行變更 時’因應於須要使通路連接裝置在上方被取下之後，被變 更之舊線從軌條上卸下，置換之線的軌條被安裝在基板元 件上’最後在變更後使必要之通路裝置依照順序被裝上即 544751 五、發明說明（17) 可，同樣地，線在增設時，因應於須要使通路連接裝置在 上方被取下之後，必須增設之線的軌條被安裝，在基板元件 上，最後在增設後使必要之通路裝置被裝上即可，因而線 之增設及變更很容易進行。 而，上述實施例中，雖然基板元件（1 )被做成板狀，如 第1 1圖到第1 3圖所示，基板元件亦可做成框狀。 同圖所示之第7實施例中，基板元件（9 1 )是由入口側軌 條（9 2 )、出U側軌條（9 3 )及連結在兩軌條（9 2 ) ( 9 3 )之間的 連結元件（9 4 )、及設置在兩軌條（9 2 )( 9 3 )中間的中間軌條 (95)所形成。然後，下段之連結元件（21 )(22)在各線 (A )( B)上，被安裝在線支持用軌條（96 )上，上段的流體控 制機器（2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) ( 1 0 ) ( 1 1 ) ( 1 2 ) ( 1 3 ) ( 1 4 ) 跨騎在這些連接元件（2 1 )( 2 2 )上而被安裝著。 此實施例之線支持用軌條（96 )，如第1 3圖所示，是由 對一條線（A )( B )分別各有一個溝型之型材（97 )之兩個並列 配置而形成。各型材（9 7 )分別具有向內凸緣（9 7 a )，其內 部形成的溝（97b )被做成其剖面爲下部縮小的梯形。然後 ，因應於此，往復移動元件（9 8 )之剖面形狀亦被做成下部 爲縮小的梯形。往復移動元件（98 )上設置有垂直陰螺紋部 (9 9 )，此垂直陰螺紋部（99 )與貫通連結元件（2 1 ) ( 2 2 )之陽 螺栓（26 )進行螺合〃在··此，往復移動元件（98 )之軸向長度 做成比型材（9 7 )之向內凸緣（9 7 a )的前端距離小，如第1 4 圖所示，與陽螺栓（2 6 )進行螺合之往復移動元件（9 8 )從第 -19- 544751 五、發明說明（18) 13圖之狀態轉動90°，而嵌入溝（97b)內（兩點破折線所示 之狀態），其後往復移動元件（9 8 )轉動9 0。（實，線及破折線 所示之狀態），使其成爲暫時固定狀態。 入口側軌條（92)、出口側軌條（93)及中間軌條（95)爲原 樣地使用兩個上述做成的一種溝型之型材（9 7 )使其成爲一 體化形狀之兩個溝型之型材。而且，入口側軌條（9 2 )及出 口側軌條（9 3 )連接用之連結元件（9 4 )是使用形成線支持用 軌條（96 )者相同之一種溝型之型材（97 )。 線支持用軌條（96 )是由與連結元件（2 1 )( 22 )被安裝在其 上者相伺之構成，而被安裝在入口側軌條（9 2 )及出口側軌 條（93 )上。gp，線支持用軌條（96 )之前後兩端部上設置有 周轉座，從此處穿過之陽螺栓元件（1 00 )與配置在入口側 及出口側軌條（92 )( 93 )內的往復移動元件（98 )進行螺合。 因而，各線支持用軌條（96 )可沿著與線（前後方向）垂直相 交之方向（左右方向）往復移動。 連結元件（94 )及入口側軌條（92 )、出口側軌條（9 3 )及中 間軌條（95 )均爲相同的構成，而使連結元件（94 )可往復移 動地被安裝在軌條（ 92 )( 93 )( 9 5 )上。 上述第7實施例顯示在第1 5圖及第1 6圖中。同圖中所 示之第8實施例中，一種線支持用軌條（1 〇丨）是由一種溝 型之型材（97 )兩個形成一體化形狀之兩·個遘型型材所；成 ◦軌條（1 0 1 )之內部形成的二個溝（1 〇丨a )其剖面爲下部縮 小的梯形。然後，因應於此，往復移動元件（1 0 2 )之剖面 -20- 544751 i、發明說明（1 9 ) 形狀亦被做成下部爲縮小的梯形。往復移動元件（1 Ο 2 )中 內藏有以彈簧（1 04 )向下壓縮之柱塞（1 03 )，此柱塞（1 03 ) 與溝（101a)之底面接觸，而使往復移動元件（102)向上推 壓。從而，陽螺栓（26 )與在往復移動元件（1 02 )之垂直陰 螺紋部（1 05 )進行螺合之前的階段上，進行往復移動元件 (1 0 2 )之暫時固定。 第7及第8實施例中，線在變更或增設時，既設之線 (A ) ( B)之線支持用軌條（9 6 ) ( 1 0 1 )因應於須要而往復移動 ，更換或追加之線的軌條被安裝在基板元件（9 1 )上，其後 ，既設之線（A ) ( B )之線支持用軌條（9 6 ) ( 1 0 1 )進行往復 移動而可回到適當之位置，因而使線之變更或增設很容易 進行。 第1 7圖顯示第9實施例。同圖之中，一個線支持用軌 條（111 )由兩個溝型之型材所形成。軌條（111 )內部中，形 成有二個向上開口且內部之剖面形狀爲下部縮小之梯形的 內部擴大溝（1 1 1 a )。再者，軌條（1 1 1 )上其兩外側面設置 有沿長度方向（前後方向）延伸之溝（1 1 1 b )。然後，往復移 動元件（1 1 2 )爲金屬製且做成外抓式。即，往復移動元件 (112)做成具有頂壁（112a)及前後垂直壁（112b)之反U字 型’往復移動元件（1 1 2 )其兩個垂直壁（1 1 2b )被挾在兩外 側面’而被固定在軌條Uil ) 土。往復移動元件（1 1 2 )之兩 個垂直壁（1 1 2b )其前後的中間部份具有缺口，因而使左右 方向之彈性變大，而且，其高度之中間部份向內方屈曲， -21 - 544751 五、發明說明（2〇) 而形成向內之突起（Π 3 )。往復移動元件（Π 2 )之垂直壁 (1 1 2b )的突起（1 1 3 )嵌合到軌條（1 1 1 )外側面之，溝（1 1 1 b )， 使往復移動元件（1 1 2 )僅能沿著長度方向移動。軌條（1 1 1 ) 之上面與往復移動元件（1 1 2 )之頂壁（1 1 2 a )之間，介入有 板狀之隔件（Π 4 )，穿過連結元件（22 )之陽螺栓（26 )再度 穿過往復移動元件（1 1 2 )之頂壁（1 1 2a )，此陽螺栓（26 )之 前端部與隔件（1 1 4 )所設之螺紋孔進行螺合，使連結元件 (2 2 )及往復移動元件（1 1 2 )被一體化。 第1 8圖顯示第1 0實施例◦同圖之中，線支持用軌條 (1 1 1 )與第9實施例者相同，往復移動元件（1 2 2 )爲金屬 製且做成外抓式之點，往復移動元件（1 2 2 )做成具有頂壁 (122a)及前後垂直壁（122b)之反U字型，穿過連結元件 (2 2 )之陽螺栓（26 )再度穿過往復移動元件（1 22 )之頂壁 (1 22a)，此陽螺栓（26)之前端部與隔件（1 14)所設之螺紋 孔進行螺合，使連結元件（22 )及往復移動元件（1 22 )被一 體化之點相同。然後，此實施例中，往復移動元件（1 2 2 ) 之兩個垂直壁（122b)其高度之中間部份向內突出之突起 (1 2 3 )被一體形成，此突起（1 2 3 )嵌合到軌條（111 )外側面 之溝（1 1 1 b )，使往復移動元件（1 1 2 )僅能沿著長度方向移 動。 上述第9實施例及第1 〇實施例中，往復移動元件 (112)(122)不是金屬製成，當然可由橡膠或合成樹脂製成 。橡膠製成之情況下，爲了確保其往復移動性，較佳爲以 -22- 544751 五、發明說明（21) 彡，黏著性橡膠製成。而且，即使是金屬製成的話，進行鐵 氟龍加工等使往復移動性提高之塗裝較佳。， 第1 9圖顯示第1 0實施例。同圖之中，線支持用軌條 (1 1 1 )與第9實施例者相同，往復移動元件（1 3 1 )嵌合到軌 條（1 1 1 )外側面之內部擴大溝（1 1 1 a )中◦即，往復移動元 件（Π 1 )爲橡膠製成，由與連結元件（2 2 )下面對接的板狀 部（1 3 3 )及板狀部（1 3 3 )下方所設置之下方突出部（1 3 4 )所 形成。下方突出部（1 3 4 )具有嵌入內部擴大溝（1 1 1 a )內而 .不致使其向上脫逸之F 5而部，而形成沿軌條（1 1 1 )之左右 方向容易變形之中空狀。軌條（1 Π )之上面與往復移動元 件（Π 1 )的板狀部（1 33 )之間，介入有板狀之隔件（1 32 )。 隔件（1 32 )設置有，使往復移動元件（1 3 1 )之下方突出部 (1 3 4 )從上方穿過的方形穿孔（1 3 5 )、使陽螺栓（1 3 7 )從下 方穿過用之兩個圓形穿孔（1 3 6 )、往復移動自如地嵌入軌 條（111 )內之下方突出部（1 3 8 )。往復移動元件（1 3 1 )由陽 螺栓（137)使隔件（132)被固定到連結元件（22)上，而與連 結元件（2 2 )形成一體。而，往復移動元件（1 3 1 )不是金屬 製成，當然可由橡膠或合成樹脂製成。 第8圖所示之第4實施例、第9圖所示之第5實施例、 第1 7圖所示之第9實施例、第18圖所示之第1 0實施例 及第19圖所示之第1丨實施例中，往復移動元件 (6 3 ) ( 7 1 ) ( 1 1 2 ) ( 1 22 ) ( 1 3 1 )並非由螺栓固定，因而爲可動 ，較佳爲可與固定在軌條上之固定往復移動元件（例如第 -23- 544751 五、發明說明（22) 1 5圖之（1 02 ))—起倂用。在此情形下，具有可動往復移動 元件（63 ) ( 71 ) ( 1 1 2 ) ( 1 22) ( 1 3 1 )之連結元件（61 )，（ 61 A) ( 22 ) ，在具有固定往復移動元件（1 02 )之連結元件（22 )及具有 可動往復移動元件（6 3 ) ( 7 1 ) ( 1 1 2 ) ( 1 22 ) ( 1 3 1 )之連結元件 (6 1 )( 6 1 A )( 2 2 )經由流體控制機器連接下，可阻止其移動 〇 第7到第1 1實施例中，線之變更或增設時，既設之線 (A ) (B)之線支持用軌條（96) ( 101 )因應於須要而往復移動 ，更換或追加之線的軌條被安裝在基板元件（9 1 )上，其後 ，既設之線（A ) ( B )之線支持用軌條（96 ) ( 1 0 1 )進行往復 移動而可回到適當之位置，因而使線之變更或增設很容易 進行。 而且，第7到第11實施例中，以使用不具有軌道之板 材來取代線支持用軌條（9 6 )( 1 0 1 )之時，在線之變更或增 設時，既設之線之線支持用板材因應於須要而往復移動’ 更換或追加之線的線支持用板材被安裝在基板元件上’其 後，既設之線之線支持用板材進行往復移動而可回到適當 之位置，因而使線之變更或增設很容易奏效。 【元件符號之說明】 A 第1線 B 第2線 C 預備線 -24- 544751 五 、發明說明（23) (2 ) ( 3 ) ( 4 ) ( 5 ) ( 6 ) ( 7 ) ( 8 )流體控制機器 (9)(10)(11)(12)(13)(14) 1 基板兀件 2 質量流控制器 2a 入口側連接部 2b 出口側連接部 3 入口側第1開閉閥 4 入口側第2開閉閥 5 逆止閥 6 橫向連通路塊 7 壓力感測器 8 壓力調整器 9 過濾器 10 手動閥 11 出口側第1開閉閥 12 出口側第2開閉閥 13 逆止閥 14 分歧合流用通過通 15 陽螺栓 20 軌條 20a 向外之凸緣 20b 向內之凸緣 21 V字型通路塊接頭 -25- 544751 五、發明說明（24 ) 21 , 22 連結元件 23 陽螺栓 24 往復移動元件 24a , ,24b 半體 2 5 陰螺紋部 26 陽螺栓 27 墊圈 28 穿過孔 28a 段部 29 隔件 29a 凸緣 30 彈性元件 40 軌條 41a 凸緣 43 往復移動元件 51 , 53 溝 52, 54 往復移動元件 60 軌條 60a 向外之凸緣 6 1 塊狀接頭 6 I A 入口側連結元件 62 連結元件 63 往復移動元件 -26- 544751 五、發明說明（25) 64 6 5 66 70 70a 7 1 8 1 82 83 9 1 92 93 94 95 96 97 97a 97b 98 99 i 01 101a 102 軌條把持爪 螺絲 連結元件 軌條 向內之凸緣 往復移動元件 往復移動元件 軌條把持爪 墊圈 基板元件 入口側軌條 出口側軌條 連結元件 中間軌條 線支持用軌條 型材 向內凸緣 溝 往復移動元件 垂直陰螺紋部 軌條 溝 往復移動元件 -27- 544751 五、發明說明（26) 1 03 柱塞 1 04 彈簧 111 線支持用軌條 111a 內部擴大溝 111b 溝 1 12 往復移動元件 1 12a 頂壁 1 12b 前後垂直壁 113 突起 1 14 隔件 1 22 往復移動元件 1 22a 頂壁 1 22b 垂直壁 1 23 突起 1 31 往復移動元件 1 32 隔件 1 33 板狀部 1 34 下方突出部 1 35 方形穿孔 1 36 圓形穿孔 1 37 陽螺栓 1 37 陽螺栓 1 38 下方突出部 -28-