TW536442B - 6-DOF fine position adjustment platform - Google Patents

Description

536442 A7 r____B7 五、發明說明（/ ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於一種六自由度微調定位平台裝置，尤指 一種可令夾座達到六自由度奈/微米調整的平台裝置，以 滿足不同領域之精密微奈米級定位平台。 近年來隨著光電、通訊、半導體、生物科枯耸基口 精密化、微小化的趨勢，相關零件亦愈趨精密細緻，反應 在組裝或檢查程序上，即要求的相關作業機台、基座的定 位精度極高，這些組裝或檢查作業所要求精度所跨足的產 業包含有：磁碟機資料讀寫頭的組裝、傳真機用光學頭電 路板的組裝、半導體檢查裝置之光學系統，或_搞合對 準等領域，該等精密製程作業通常所要求精度均在微米 區，甚至低於l〇〇nin以下的尺寸。 上述提及的各項製程作業的傳統之精密零件定位作 上，大多會利用到伺服馬達及滾珠螺桿所構成的驅動裝 置，但隨著產品微小化的趨勢，要求的作業精度已愈來愈 接近傳統伺服機構之解析度的上限，且這些精密零組件: 組裝時，仍存在下列缺點： 1 ·零件微小，不利組裝作業。 2 ·零件在稍微固定後，不易作微動調整。 3 ·零件在精確位置調整後，因後續的強力固定作 業’會使位置再偏移。 由於傳統伺服移動機構在微米以下之微動範圍，傳重 組件間存在著“黏著—滑動（stick—slip)，，的問題，、 易達到精確的定位要求，故此類組裝作業大多仰賴熟練= 術士的技術及經驗的判斷，以人工調整的方式達到高精宓 本紙張尺^7^_辟(^)A4 ⑵Q χ 2973公爱） A7 B7 五、發明說明〇) 的作業需求。 綜上所述，對於精密產業確實達到微米尺寸的效果，是=動機台，仍無法 置仍=步改良’才能達到較為精良的產品。 穿詈外 ^ °周正被奈米及的微動基座 !的:程:r]六自…間的移動，™線對 裝置包ΐ有述目的所使用之主要技術手段係令該微調平台 一基座； 脖組直線微調微動組，錢置於基座上，其包含數個 方疋轉檯，部份旋轉檯堆疊設置； =多軸向微㈣動組，其疊設於該直線微調微動 組，係由具圓弧面的滑動塊組成； 數組位移驅動元件組，係分別設置於對應旋轉檯軸線 的對稱位置，係可產生單次奈/微米級的衝擊力；二夾座，分別設置於該直線微調微動組中單一旋轉檯 的頂端’另—則設置於該多軸向微調旋動組的頂端； 上述微調平台裝置主要操作原理，係控制直線微調微 動組與多軸向微調旋動組各旋轉檯的動作’使夾座呈不同 方向直線及多軸向角度的位移’由於可設定直線微調微動 組的疊設旋轉檯間為單一固定方向滑動，以及設定多軸向 微調旋動組的疊設旋轉檯呈三軸方向的角度的滑動，因 此，對於設置於平台的央座可達到六個自由度的微調，可 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂，： 參 -n n n n n ‘ 本紙張尺國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公爱）一 536442 第一圖 第二圖 第三圖 第八圖 第九圖 第十圖 A7 五、發明說明（$ ) 應用於精密作業的微調之用，相當具有實用性。 為使貴審查委員能進一步瞭解本發明具體之設計及 其他目的’兹附以圖式詳細說明如后： (一）圖式部份： 係本發明第一較佳實施例的一立體組合圖。 係第一圖的立體分解圖。 係第一圖直線微調台的立體分解圖，其揭示γ、 X軸微動檯結構。 第四圖：係第一圖直線微調台的z軸微動檯的立體分解 圖。 第五圖：係第一圖多軸向微調台的Y角度旋轉檯的立體分 解圖。 第六圖：係第一圖多軸向微調台的X角度旋轉檯的立體分 解圖。 第七圖·係第一圖多軸向微調台的轉塊與夾座立體分解 圖。 係本發明位移驅動元件組的立體分解圖。 係本發明第二較佳實施例的立體圖。 係第九圖的多軸向微調台立體分解圖。 第十一圖：係第十一圖的上視圖。 第十二圖：係第十一圖的一位移驅動元件組的剖面圖。 第十二圖·係本發明位移驅動元件組各點的特性圖，其揭 示該位移驅動元件組通電後各點呈現的施力狀態 與位移狀態。 本紙張尺度刺中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 公釐 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

536442 A7 五、發明說明（ 第十四圖A、b ··係本發明 側視平面圖。 (二）圖號部份： (10)平台 (1 1 1 )定位柱 (1 3)位移驅動元件組 (1 3 2)壓電元件 (1 3 4 )慣性體 (1 3 6 )穿孔 (2 0 ) Y轴微動楼 (2 2 )凸塊 (2 4)位移驅動元件組 (3 2 )凹孤面 (3 2 2)穿孔 (3 3 1 )螺孔 (3 5 )支撐體 (3 5 2)空間 (3 7)本體 (3 7 2 )位移驅動元件組 (3 8 1 )容置槽 (383)壓電元件 (3 8 5 )慣性體 (4 0 ) Y角度旋轉檯 (4 1 2)凹槽

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 第三較佳實施例的一組合立體 (11)基座 (1 2)凸塊 (1 3 1 )外殼 (1 3 3)打擊部 (1 3 5)彈簣 (1 4)位移驅動元件組 (2 1 )凹槽 (2 3 )位移驅動元件組 (3 Ο ) X軸微動檯 (3 2 1 )長槽 (3 3 )基台 (3 4)套環 (3 5 1 )凹室 (3 6 )旋動檯 (3 7 1 )容置槽 (3 8)轉盤 (3 8 2 )位移驅動元件組 (3 8 4 )打擊部 (3 8 6 )彈簧 (41)凸弧面 (4 1 3)凹槽 297 " (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

536442 A7 B7 五 、發明說明（f) (4 2 )凸弧面 (4 2 2 )穿孔 (4 4)位移驅動元件組 (4 6 )螺帽 (5 0 ) X角度旋轉檯 (5 2 )位移驅動元件組 (5 4 )凹槽 (5 6 )凹槽 (6 0 )轉塊 (6 2 )凹槽 (6 4)位移驅動元件組 (6 6 )樞轴 (7 0 a ) Z軸微動檯 (7 1 a )位移驅動元件組 (7 2 a )位移驅動元件組 (7 4 )彈簧 (7 6 )長槽 (7 8 )下斜塊 (8 0 )固定柱 (9 0 )夾座 (9 2 )光纖 (4 2 1 )長槽 (4 3 )位移驅動元件組 (4 5 )螺柱 (4 7)強力磁鐵 (51)凸弧面 (5 3 )位移驅動元件組 (5 5 )穿孔 (5 7)凹槽 (6 1 )凹槽 (6 3 )位移驅動元件組 (6 5 )軸孔 (7 0) Z軸微動檯 (7 1 )位移驅動元件組 (7 2 )位移驅動元件組 (7 3 )螺栓 (7 5)墊圈 (7 7)上斜塊 (7 8 1 )軌槽 (81)軌槽 (91)夾座 (9 3 )光纖 --------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·_ 本發明係為一種具有微奈米級的六自由度調整功能的 微動基座裝置，係主要藉由於一平台上設置一組直線微調 微動組及一組多軸向微調旋動組等構件組成六自由度微調

536442 五、發明說明（b)

裝置。 >本餐明主要包括有一基台、一直線微動組及一多轴向 方疋動組，δ亥基座上依序疊接該直線微動組及一多轴向旋動 組，其中： z軸直線移動的 Y、Z軸向旋動 該直線微動組係包含三個依X、γ 平檯，三平檯係相互疊接； 该多軸向微調旋動組係包含三個X 的弧形檯，又三弧形檯係相互疊接；

I 上述六自由度微動裝置可藉由操作直線微動組，可依 γ/ζ三軸向呈直線運動，又，控制多軸向微調旋動 則可令微動裝置作旋動，其旋動之軸心分別為乂、 Ζ二軸向’由於各平檯或弧形檯内設有位移驅動元件 而各位移驅動元件組可產生奈/微米級的敲擊力，八 各平檯或弧形檯運作，而構成六自由度的微動功能。? 再請配合參閱第i及第二圖所示，係為本發明 一較佳實施例微動平台裝置的詳細結構圖，其中： 該基座（1D ’其上端面形成轴鳩尾凸塊（1 杜於该凸塊（12)的兩端位置設置兩對稱 動凡件組（13) (14)，如第三圖所示； 该直線微調微動組係分別設置於基座（1 〇 & 配合參閱第三圖及第四圖，係包含有·· 月 ，微動檯（20)，其下端面相對該 1)的場尾凸塊（12)形成一γ轴鳩尾凹槽（21)， 即位於兩位移驅動元件組（1 3 ) Γ 1 /1、 4 J間，藉由位移 本紙張尺度細中‘家標準（CNS)A4規格（210 X 29$公董） A7 、發明說明（J；) 驅動元件組（1 3 ) r， 微動檯(20)與基座心===令該Y轴 又該Y軸微動檯（？ n 向的直線移動， (川，並於凸塊(0二上端面形成-x軸鳩尾凸塊 移驅動元件組（2 ( 2 4广兩側设置有-組對稱的位 —X軸微動檯（q ^ „ 凸塊（22)的凹样（3 而面形成相對X軸場尾 位於Y轴微動接厶^二成/轴直線滑動面，- (24)間，又二二)的兩位移驅動元件組（… 一上ί而面形成一凹弧面（3 ρ ) 心軸與Υ軸方向相同； 面w 2 ) ’其中 直可；：τ定柱(80) ’係固定設置於基座（10)上， 八σ - 形，並於其中側邊形成一長形執槽（8 i ) · 側翼、rzr動棱（70) ’其呈一 ^，其-側延伸-=，並於側翼邊形成長槽（76)，可透過_組螺栓 3)、墊片（75)、及彈簧（7 4)組插設至該固 (8 〇 )的長形執槽（8 1 )上’並於相對ζ軸方向 設置一組對稱擺設的位移驅動元件組（71) ， 又其頂端可固設一夹座（QQ); 又，該多軸向微調旋動組係疊設於部份直線微調微動 組結構上，請配合參閱第五圖、第六圖及第七圖所示，其 包含有： 一 Υ角度旋轉檯（4 0 )，其下端面形成可與χ軸微 動檯（3 0 )滑接的X軸凸弧面（4 1 )，令該γ角度旋 轉檯（4 0 )相對X軸微動檯（3 0)形成γ軸角度$自 ϋ張尺度ϋ中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

· I . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂· B7 五 .¾. 536442 A7 B7 、發明說明（f) 由度移動，又其上端面形成γ軸上凹弧面（42)，其中 下凸弧面（4 1 )形成有兩對稱的χ軸凹槽（4 1 2 ) (413)，供一組正、反方向移動的位移驅動元件組 (43) (44)設置其中； ^ —Χ角度旋轉檯（50)，其下端面形成可與γ角度 旋轉檯（40)滑接的下圓弧面（51)，而其上端面ς 内凹形成-具有穿孔（55)的圓形凹槽（54)，其中 下圓弧面（5 1 )形成有兩對稱的γ軸凹槽（5 6 )( 5 7)，供一組正、反方向移動的位移驅動元件組（52) (5 3 )設置其中； 一圓形轉塊（β〇)，係設置於該圓形凹槽（5 4) 上，其中心位置形成有一軸孔（6 5 )以對正凹槽（5 4)的穿孔，供一樞軸（66)穿經，又該圓形轉塊（6 〇)形成兩凹槽（61) (62)，供兩位移驅動元件組 ( 6 3 ) ( 6 4 )容置，並供夾座（9〇)固設於其上； 上述微動平台裝置藉由直線與多軸向微調旋動組的設 置，構成一具六自由度的可動結構，並於各段旋轉楼皆設 有相對產生敲擊力的位移驅動元件組，使旋轉檯產生奈/ 微米的位移。 上述於角度位置的調整係受到重力影響，故對於以圓 弧面接合的旋轉檯，即需考慮其接觸的磨擦力影響，請參 閱第五圖所示，於Χ微動檯（3 〇)上端凹弧面（3 2 ) 的中心線位置形成一γ軸長槽（321)，而該γ角度旋 轉檯（40)的上端弧面依中心線位置同樣形成一乂軸長 本紙張―尺㈣财關家鮮（CNS)A4規格⑵G χ 29丨70公爱 --------------裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —訂. 536442 A7 五、發明說明（^ ) 槽（4 2 1 )，並於兩長槽（3 2丄）（4 2丄）的中心 .…占形成一牙孔（3 2 2 ) ( 4 2 2 )，以供調整磨擦力裝 置設於其中，各調整磨擦力裝置包含有： 一螺柱（4 5 )，其插設於該貫穿孔（4 2 2 )中；螺巾自（4 6 )，自螺柱（4 5 ) —端栓入，可配合 墊圈（4 8 )使用； 一強力磁鐵（4 7 )，係吸附於該螺帽（4 6 )上， 並且谷置於長槽（321) (421)中。 以Y角度旋轉台（4 0 )的磨擦力調整裝置來說，該 強力磁鐵（4 7 )係與對應的X角度旋轉檯（5 〇 )呈相 異磁性，而令Y角度旋轉檯U 0)與X角度旋㈣（5 〇)形成一吸引力，以增加兩者間之磨擦力令 樓（…固定於Υ角度娜(40)，又二= 磁鐵（4 7 )吸附於螺帽（4 6 )上，故調整螺帽（4 6)位置，即能改變吸收力的強弱，而達到調整兩 擦力的作用。 請參閱第八圖所示，係為上述位移驅動元件組的詳細 結構没計圖，其包含有； 外设（1 3 1 )，其一側形成一穿孔（ 6 ) -壓電元件（132)，係具極高的頻率響應特性， 故施予脈衝電壓，會令其瞬間產生伸縮狀態； -打擊部（1 3 3 )，係連接於該壓電元件 的一適當位置； 丄J -慣性體（1 3 4 )，係設置於相對該打擊部（1 3 本紙張尺度刺巾闕家鮮（CNS)A4規格（210 X ^公爱「 --------------裝--- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·

536442 A7 五 3 )對稱位置的壓電元件（1 3 2 )上； 一彈簧（1 3 5 )，係設於該慣性體（1 3 4 )上， H 4打擊部（1 3 3 )位置呈一直線，並抵止於外殼（1 31)内壁。 欠前述夾座設置於微移基座裝置，達到六自由度位置調 整’以下分別就該夾座進行各自由度的調整說明如下，請 一 5多閱第一圖及第二圖所示（以第一象限正、 向）： 1 Y軸的自由度移動：欲令夾座（9〇)向γ軸的 正向移動，則控制基座（丨i )左側的位移驅動元件組 (1 4 )彳里擊γ軸微動檯（2 〇 )，故疊設於γ軸微動檯 (2 〇)之上各旋轉檯及夾座（g〇)，即可於呈γ軸正 向移動，反之，若令夾座（9 〇 )呈Y軸反向運動，則令 基座右側的位移驅動元件組（i 3 )向左敲擊，使夾座 (9 0)得連動向左移動。 2 X軸的自由度移動：欲令夾座（g〇)向X軸的 正向移動，則控制Y軸微動檯（2 〇 )後側的位移驅動元 件、、且（2 3 ) 4里擊X軸微動檯（3 〇 )，故疊設於X軸微

動檯（30)上的各旋轉檯及夾座（g〇)，即可於呈X 軸正向移動，反之，若令夾座（9 〇)呈X軸反向運動， 則令Y軸微動檯（2 〇 )前側的位移驅動元件組（2 4 ) 向後的X軸微動檯（3 〇 )敲擊，使夾座（9 〇 )得連動 向後移動。 3 · Z軸的自由度移動：欲令夾座（9丄）向z軸的 --------------裝—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · 536442 五、發明說明（y \ 龍制ZIA微動檯（7 Q)下側的位 ::，件組（72)向上撞擊，令2軸微動檯（72) ^二柱（8 〇)上向上移動，此時，即帶動夾座（9 下）；私’反之’若欲令夾座（9丄）呈Z軸反向（向 組Γ 7則7 2軸微動檯（7 0)的上側位移驅動元件 下撞擊，使夹座（91)得隨著ζ ◦)向下移動。 站2·¥軸角度的自由度移動：欲令夾座（9 0)作γ 後如广！角度順向調整，則控制¥角度旋轉檯（40)的 =移驅動元件組（44)，如第五圖所示， :轉棱(40)中間位置敲擊，以令γ角度旋轉摄（4 疊接旋轉檯與夾座（9〇)，一同於χ軸微動 :3 0)上呈順向角度移動；反之，該夾座（"）欲 f =軸角度的逆向移動，僅需控制該另-位移驅動元件 。且（4 3 )動作即可。 5 X軸角度的自由度移動··欲令夾座（9 〇 )作X =度順向調整’如第六圖所示，則控制x角度旋 至 的左側位移驅動元件組（5 3 )向X角产旋 轉檯（5 〇 )的中間敲擊，令X角度旋轉檯（5 0):夾 f (9〇)，一同於Y角度旋轉檯（40)上呈順向角度 移動，反之’該夾座（9 Q )欲達到χ㈣度的逆向^ 動’僅需控制該另-位移驅動元件組（5 2)動作即可。 6 · Ζ軸角度的自由度移動：欲令夾座作Ζ轴角度的 角度順向調整，如第七圖所示，係控制該圓形轉心6 本紙張尺㈣财關家鮮（CNS)A4祕（21G X 297公愛 五、發明說明（Ια) 〇 )内之位移驅動元件 於其上的夹座（90)順向偏移=動：，即可令固定 〇)欲進行逆向調整，再令 ，右圓形轉塊（6 4)動作即可。 側之位移驅動元件組（6 由上述可知，將兩光、纖（9 兩夹座（90) (91)上，即可（93)分别設置於 正，以降低損耗。 ^由度的精密校調對

請參閱第九圖所示，传A 其中基座（1 〇 )與直線微調整二：二二佳實施例， 向微調旋動組係以球體代替弧; 訂 藉由圓弧面達到角声轉動^疋轉&的§又叶，但同樣為 -轉動的功效’請配合參閱第+ F1所 =，该多轴向微調旋動組係包含有-基檯（二十圖： 成；其中：勺套衣（34)及一支撐體（35)組 螺外側形成有外螺紋，其中心點形成一 螺紋該Γ(34)内壁形成有對應該基接（33)的内 〆支铋體（3 5 )的上段位置内凹一球形凹室（3 5 1)而下奴位置形成一貫穿上方球形凹室（η】）的 内螺、次工間（3 5 2 )’以同樣螺合至該基檯（3 3 ) 球形方疋動檯（3 6 )，係由一具有球面的本體（3 7)與一轉盤（3 8)構成，其中： ^紙張尺度適用中國國""^票準（CNS)A4規格（210 X 2^公楚)------ 336442 A7 B7 、發明說明（/3 ) (3 本3 7)形成有球面的位置係容置於該支撐遷 的球圓凹室、 成數個容置槽（371) 並對應XZ、YZ平面死 上，而H、（3 8)係設置於該本體（3 7)的非球面 士應於π平面位置形成兩對稱容置槽（38 1); 位移驅動元件組（3 7 2 ) ( 3 8 2 )，係 於球形旋動檯㈡6)的對應容置槽（3川 、J 8 1 )内。 !且P1棋述可知，配合S —較佳實施例的直線微調微動 氕平可達到六自由度的微調功能，即設置於本發明微 =口裝置的夾座（90)，可供元件，如光纖（92) 後’經由平台的各角度調整，得令兩光纖的接 占决為最低，亦即，可獲得最小損耗值。 月多閱苐十一圖所示，係為上述裝設於轉盤（3 8) 二的位移驅動元件組（3 8 2 )的剖面圖，其同樣包含有 ^電兀件（3 8 3 )、打擊部（3 8 4 )、慣性體（3 8 及彈f ( 3 8 6 )，請配合參閱第十二圖所示，當加 入一週期性的脈波至上述壓電元件（3 84)，即令其產 生週期性的膨脹/縮小狀態，當瞬間膨脹時，即可提供兩 相對設置的打擊部（3 8 5 )與彈簧（3 8 6 )各一Z小 相同方向相反的作用力F1、F0，此時，供予彈箬（3 8 6 )的作用力F0會由彈簧（3 8 6 )吸收，故僅剩作用力 F1供予該打擊部（ 3 8 4 )，令其向外推出。 丽揭第一及第二實施例的直線微調微動組係作為三軸 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . •線- 本紙張尺度適用中國^^票準（CNS)A4 格 χ 2^公釐- A7 五 、發明說明（丨f) B7 X平Y1:直線微調，而其中Z軸微動檯（7 〇 )係另設置於 以轴微動擾(7〇)與轉塊(6〇): ( 刀別固設有兩放置光纖用的夾座（9〇) ，失兩夾座皆為可調夾座（9〇) (91)，而再 微調微動組二二广發明的第三實施例’係將直線 ;、夕軸向知轉組全部整合，亦即，言亥z軸微動 後 a可设於基座（1 1 )的下方，其由—组钭面 接合的上、τ/ 、、'且针® 下斜塊（77) (78)組成，並於該基座 ^側邊樞設_個定位柱（111)，又，該下斜塊 认)上斜面凹入一軌槽（7 8 1 )供上斜塊（7 7) 的下斜面於其中潛叙 ^ 、 動，如弟十四圖A所示，其中下斜塊 )底面相對兩側凹設一位移驅動元件組（7 2 a ) 7 2 a )，藉中驅動單一側位移驅動元件組（7 1 a ) j 7 2、a )，令下斜塊（7 § )内部產生瞬間敲擊力，使 :左右平移’又斜面結構及定位柱（1 1 1 )配合，當下 枓塊（7 8 )移動，會將上斜塊（7 7)及其以上之多軸 向旋轉組將全部作Z軸方向的移動。 。綜上所述，本發明確實具有六自由度的位置改變，並 且可達奈/微米的移動精度，此外，更具有下列各項優 點： 一 1可構成自走式的定位裝置，其行程不受限於壓電 兀件的微小位移，可任意加大作業範圍。 2、 因為使用衝擊力，除驅動外，無需通電操作。 3、 改變位移驅動元件組不同的配置位置，可構成卜 家標準（CNS)A4 細: (210 x 297 公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) - -------t·--------- » 536442 A7 五、發明說明（丨f) 3自由度（直動2軸及旋轉1轴）的移動機構。 4、定位分解能，可達丨微米至1〇 度要求。 /、木从下的高精 5、可構成小型化移動檯，故可於真空室㈣ / 6、對於半固^狀態的微小零件作精密定位 可得穩定微動位移。 調整時· 7、控制壓電元件波形單純， 電’控制器之價格相對低廉。 因此，本發明確實符合精密產業上利 發明專利之要件，爰依法具文提出申請。 ''且付5 加上驅動外並不需通 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ ϋ n n n n 一-口、 I ϋ n ϋ ϋ · 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 536442 098899 ABCD 、申請專利範圍 1、一種六自由度微調定位平台裝置，其包含有： 一基座； 、-直線微調微動組，係設置於該基座，由數組旋轉檯 、、且成，以一直線排設於基座上，各旋轉檯於對稱位置設有 位移驅動兀件組； 、夕軸向彳政_旋動組，係疊設於該直線微調微動組之 上，並於各轴向的對稱位置設置兩位移驅動元件組。 、，么^如申明專利範圍第1項所述之六自由度微調定位 平口放置该直線微調微動組係包含有： 一γ軸微動檯，用以直線滑設於該基座上，其兩相對 Y軸兩側即分別插止於基座上的位移驅動元件組，其相對 X軸兩側分別設置有一位移驅動元件組； 一X軸微動檯，用以直線滑設於該γ軸微動檯上，並 抵止於γ軸微動檯的兩位移驅動元件組間，又其上端面形 成一 Υ軸圓弧面； y 固疋柱，係固定設置於基座上對應上述γ、X軸微 動檯的直線位置，其形成一長形軌槽； 一 Z軸微動檯，係透過一螺栓插設於該固定柱的長形 軌槽上，並於相對2軸方向設置一組對稱擺設的位移驅動 元件組，其頂部可供一夾座連接。 “ 3、如申請專利範圍第2項所述之六自由度微調定位 平台裝置，該多轴向微調旋動組包含有： Y角度旋轉檯，係與X軸微動檯形成弧形滑接，其 上端面形成X軸圓弧面，其中下圓弧面形成有兩對稱的χ Λ張尺度適財_家標準(CNS) A4規格⑽x糊公箸） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   536442 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 轴凹槽，供一組正、反方向移動的位移驅動元件組設置其 中； -X角度旋轉檯’係與γ角度旋轉檯滑接，其中下圓 孤面形成有兩對稱的γ軸凹槽’供—組正、反方向移動的 位移驅動元件組設置其中； 一轉塊’係樞接於該X角度旋轉檯上，其間凹設兩組 位移驅動元件組，其上可供一夾座連接。 …4、如申請專利範圍第項所述之六自由度 锨凋疋位平台裝置，各位移驅動元件組包含有： 一外殼’其一側形成一穿孔； 壓電元件，係設置於該外殼内，當電壓改變時，其 膨脹量亦隨之改變； -打擊部，係設置於該壓電元件的一端，並自外殼的 穿孔伸出。 f、如巾請專利範圍第4項所述之六自由度微調定位 平口 I置，各位移驅動元件組進一步包含有·· 一慣性體，係設置於該壓電元件的另一端； 一弹黃，其冑接至該慣性體之一側，並抵止於外殼 壁。 、$、如中請專利範圍第i項所述之六自由度微調定位 平台裝置’該基座形成一鳩尾凸塊，又該γ軸微動搂下端 面相對形成一螞尾卡槽，以與基座相卡接，其中基座的兩 位移驅動元件組分別設置於鳩尾凸塊兩侧。 7、如中請專利範圍第2項所述之六自由度微調定位 I紙張尺度適財關家標準(CNS) Α4規格⑵Q χ漱公愛） ..........................裝------ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 線 536442 A8B8C8D8 申請專利範園 平台裝置，該γ軸微動檯上端面形成一鸠尾凸塊，又該X 軸微動檯相對形成-鴻尾卡槽，以與γ軸微動棱相卡接， 其中γ軸微動檯的兩位移驅動元件組分別設置於填尾凸塊 的兩側。 “ 8如申5月專利範圍第3項所述之六自由度微調定位 平口裒置’该Υ角度旋轉檯的上端面分別形成一X軸方向 之f槽二並於長槽中心點形成一穿孔，用以供一調整磨擦 力哀置谷置’而该x角度微動檯上的γ軸圓弧面形成一長 槽，並於長槽中心點形成一穿孔，同樣供 置設置於其中，該調整磨擦力裝置包含有：磨… 一螺柱，其插設於該貫穿孔中； 兩累巾自，为別自螺柱兩端栓入，可配合墊圈使用； 2強力磁鐵，係吸附於兩螺帽上，並且容置於長槽 中：當調整螺帽的位置，即可令Y角度旋轉檯調整與上、 下豐接X角度旋轉檯與X軸微動檯的距離。 ^9、如申請專利範圍第3項所述之六自由度微調定位 t 口波置’該轉塊中心形成一軸孔，而該X角度旋轉檯上 :面相對該轉塊形成一穿孔’供-樞軸容置於軸孔與穿孔 立、如申請專利範圍第1項所述之六自由度微調定 位平口I置，該z軸微動檯之斷面係呈一 E形狀。 11、如申請專利範圍第i項所述之六自由度微調定 位平台裝置，該固定柱係為一L形狀。 1 2、如申請專利範圍第丄項所述之六自由度微調定 娜⑽x 2卵公釐） 536442 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 位平台裝置，該螺栓係進一步套設有墊片與彈箬。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 1 3、如巾請專利範圍第2項所述之六自^ 位平台裝置，該多軸向微調旋動組係包含有：又° 一基檯，其外側形成有外螺紋； 一套環，其内壁形成有對應該基檯的内螺紋；及 -支撐體’其上段位置内凹一球形凹室，而下段位置 形成一貫穿上方球形凹室的内螺紋空間，以螺合至該基檯 上； i 一球形旋動檯，係由一具有球面的本體與一轉盤構 成，其中： 該本體形成有球面的位置係容置於該支撐體的球圓凹 至上’並對應XZ、YZ平面形成數個容置槽； 忒轉盤係没置於該本體的非球面上，而對應於平面 位置形成兩對稱容置槽；

   至少六組位移驅動元件組，係分別設置於球形旋動檯 的對應容置槽内。 i !· 4、如申請專利範圍第1 3項所述之六自由度微調 定位平台裝置，該基檯中心點位置形成一螺孔，供一螺絲 設置於其中，該螺絲頂部吸附一強力磁鐵。 1 5、如申請專利範圍第1 3或1 4項所述之六自由 度微調定位平台裝置’各位移驅動元件組包含有·· 一壓電元件，係設置於該外殼内，當電壓改變時，其 膨脹量亦隨之改變； 打擊部’係設置於該壓電元件的一端。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)人4規格(210 χ淋公釐) --------- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 ) ^36442 、申請專利範園 定位平 利範圍第15項所述之六自由度微調 干口衣置’各位移驅動元件組進—步包含有： 二生體’係設置於該壓電元件的另-端； 壁。^，其連接至該慣性體之-側，並抵止於外殼内 1 7、如申請專利範圍第 定位平台裝置，該基座形成= =:對形成一鳩尾卡槽，以與基座相卡接， 的兩位移驅動元件組分別設置於續尾凸塊兩側。 ^ 8彡申明專利範圍第1 3項所述之六自由产糌 定位平台裝置，兮γ圭山Μ說 又a 口周 “ 軸動接端面形成-鳩尾凸塊，又 二= i尾卡槽，以與Y軸微動檯相卡 凸塊的兩側純的兩位移驅動元件組分別設置於鳩尾 〜19、如申請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位平台裝置，該Ζ軸微動檯之斷面係呈一 Ε形狀。° 定位平w、r請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位千台裝置，該固定柱係為一 L形狀。 —Η、如申請專利範圍第13項所述之六自由度微調 疋位平台裝置’連接Z軸微動檯與固定座的螺栓係進_ + 套設有墊片與彈簧。 ^ 22、如申請專利範圍第工項所述之六自由度微調定 位平台裝置，該直線微調微動組包含有·· 一Y軸微動檯’用以直線滑設於該基座上，其兩相對

   — — — — — ----1 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 線 536442 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 Y軸兩側即分別插止於基座上的位移驅動元件組，其相對 X軸兩側分別設置有一位移驅動元件組； -X軸微動檯1以直線滑設於該丫轴微動檯上，並 抵.止於Y轴微動檯的兩位移驅動元件组間 成一Y轴圓孤面； 、’又其上端面形 一 Z軸微動檯，係疊設於該基座的下方，其勹人 =接滑設的上、下斜塊，該下斜塊形成:軌 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X _公釐7 --------------------------裝……---------訂……..........-線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)