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經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 C7 D7 五、創作説明（1 ) 〔產業上之利用領域〕 本創作係有關使用於半導體基板，多片模組（Multi-chip Module, MCM) ， 印刷電路板等之蝕刻 ，灰化 （ashing) ，沈積，表面改品質，表面清洗等之電漿處理裝置 及其運轉方法，尤其，予以增進生產置之技術或對於被處 理基板不賦與電漿產生時之損傷之技術有關。 〔先前之技術〕 先前之LS I (大型積體電路）製造過程之在半導體 基板等之蝕刻，灰化，沈積，表面改質，表面清洗等中， 廣範地採用著在減壓下予以產生電漿來處理基板之各種電 漿處理裝置。 在如此之電漿處理裝置，係配設裝載用眞空室（Load Lock Chamber)成鄰接.於實施電漿處理之處理室，並從該 裝載用眞空室進行基板之搬運。該場合，將設置搬運基板 於處理室和裝載用眞空室間用之開閉口，以在處理時，將 該開閉口以稱爲滑門閥（Gate Va丨ve )之門扉體予以關閉 (封閉）成氣密狀態，而在搬運時，則從該開閉口實施基 板之搬出搬進。 〔創作擬解決之課體〕 然而，上述之先前電漿處理裝置，門扉體因配設於裝 載用眞空室一側，以從裝載用眞空室側實施開閉口之開閉 ，以致有必要在裝載用眞空室內配設驅動門扉體用之驅動 本紙張尺度適用中國國家橾率{ CNS〉A4规格（210X297公釐> -4 - ---------1------tr--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C7 D7 i999S§ 五、創作説明（2 ) 機構及門扉體之驅動用空間。爲此，將使裝載用眞空室之 容稹變大，而使抽眞空之時間變長，致使形成會降低基板 每—片之處理效率，亦即降低生產量之主要原因。 另一方面，電漿處理雖在搬運被處理基板直至所定之 處理位置之後，予以產生電漿來進行，惟該時具有所謂在 電漿產生時，將會施加較穗定狀態（定態）之電漿維持電 壓更爲大之放電開始（啓動）電壓，而暫時性地生成多量 之電子及離子，以致半導體基板等之被處理基板乃具有由 該等初期性所生成之電子及離子而受到損傷之虞·之問題。 本創作係鑑於上述之情事所創作者，其目的係擬提供 一種可增進m漿處理之生產置之裝置，及不賦與電漿產生 時之損傷於被處理基板之運轉方法者。 〔解決課題所用之機構〕 申請專利範園第1項（以下簡稱爲請求項1 )所記載 之電漿處理裝置，其特徵爲：具備有：由實施電漿放電來 進行基板表面·處理用之處理室：經由形成於形成該處理室 之壁部的開閉口而成爲與該處理室連通自如之裝載用眞空 室；具有從前述壁部之處埋室內面側使之開閉之門扉體的 開閉機構：及將進行基板之搬運於前述處理室和裝載用眞 空室間之搬運機構，所構成。 請求項2所記載之電漿處理裝置，係在請求項1所記 載之電漿處理裝置中，前述開閉口配設有複數於前述壁部 之同時，對於每各開閉口配設有複數之前述裝載用眞空室 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS>A4規格（210X297公釐）-5 - l·--------S-------irI------ϊ (請先閲讀背面之注意·Ϋ項再填寫本頁) 經濟部申央標率局負工消費合作社印製 經濟部中央標準局貝工消资合作杜印製 C7 D7 五、創作説明（3 ) ，而前述搬運機構，以前述處理室和一間裝載用眞空室當 作1個單位，在每一單位加以配設爲其特徵。 請求項3所記載之電漿處理裝置係構成，其特徵爲具 備有：由實施電漿放電芣進行基板表面處理用之處理室； 經由形成於形成該處理室之壁部的第1開閉口而成爲與該 處理室連通自如之第1裝載甩眞空室；經由形成於前述壁 部之第2開閉口而成爲與該/處理室連通自如之第2裝載用 眞空室：被支承於前述處理室內，並以移動於該處理室內 來交替地從該處理室內面側關閉前述第1開閉口，第2開 閉口的門扉體：被固定於朝向該門扉髏之前述第1裝載用 眞空室一側來保持基板，並在該門扉體關閉前述第1開閉 口之時，使該基板位於前述第1裝載用眞空室之位置，而 在該門扉體關閉前述第2開閉口之時，使該基板位於前述 處理室內之位置的第1搬運舟皿：及被固定於朝向該門扉 體之前述第2裝載用眞空室一側來保持基板，並在該門扉 體關閉前述第2開閉口之時，使該基板位於前述第2裝載 用眞空室之位置，而在該門扉體關閉前述第1開閉口之時 ，使該基板位於前述處理室內之位置的第2搬運舟皿，所 構成。 請求項4所記載之電漿處理裝置，係在請求項3所記 載之電漿處理裝S中，前述門扉體係構成，在於前述處理 室內以形成垂直方向之軸線來配置之同時，被固定於由驅 動源所轉動之軸體，而由該軸體之轉動使之攏動，以令前 述第1開閉口，第2開閉口形成交替地開閉爲其特徵。 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS)A4規格（210X297公釐）_ 6 _ ---------^------ir—：----線，·{ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) C7 D7 298Β$9 五、創作説明（4 ) 請求項5所記載之®漿處理裝置，係在請求項3所記 載之電漿處理裝置中，前述第1，第2之搬運舟皿係個別 具備載置基板下面周緣部用之保持部，而在前述第1 ，第 2之裝載用眞空室，形成基板之裝入•取出孔於個別之上 壁，並配設有由於朝上下方向移動而開閉該基板裝入•取 出孔之蓋體，而且配置有在其內部形成上下方向移動自如 之同時，當從下限位®朝上.方移動時，能在該內部撮取載 置於前述保持部上之基板而使該基板從前述基板裝入•取 出孔朝外部移動，或從上限位置朝下方移動時，可使在前 述基板裝入•取出孔上方所接收之基板予以載置於前述保 持部上之基板交接台，而更附設有可令前述蓋體和基板交 接台使之同步地朝上下方向移動之驅動機構爲其特徵。 請求項6所記載之電漿處理裝置，係在請求項4所記 載之電漿處理裝置中，前述第1，第2之搬運舟皿係個別 具備載置基板下面周緣部用之保持部，而在前述第1 ，第 2之裝載用眞空室，形成基板之裝入•取出孔於個別之上 壁，並配設有由於朝上下方向移動而開閉該基板裝入•取 出孔之蓋體，而且配置有在其內部形成上下方向移動自如 之同時，當從下限位置朝上方移動時，能在該內部撮取載 置於前述保持部上之基板而使該基板從前述基板裝入•取 出孔朝外部移動，或從上限位置朝下方移動時，可使在前 述基板裝入•取出孔上方所接收之基板予以載置於前述保 持部上之基板交接台，而更附設有可令前述蓋體和基板交 接台使之同步地朝上下方向移動之驅動機構爲其特徴。 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-7 - l·--------裝(-----4T--^----I (請先閲讀背面之注意-f項再填夷本頁) 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 C7 _D7_ 五、創作説明（5 ) 請求項7所記載之電漿處理裝置之運轉方法，係做爲 運轉記載於請求項1至6之任一項所記載之電漿處理裝® 所用之方法，其特徵爲：遍及複數之基板搬運之期間，可 形成連續性地維持用以進行電漿處理所用之電漿放電。 〔作用〕 在請求項1·記載之電氣處理裝置，因配置門扉於ψ經 常維持成減壓狀而使容積即使加大亦對於生產童不產生影 響之處理室內，因此，在裝載用眞空室側並不必要顧及配 設門扉體之開閉所需要之空間。爲此，重複地實施開放於 大氣中和抽眞空且其容稹會賦與生產量產生影響之裝載用 眞空室，可儘置地使其容積構成爲小，而可縮短抽成眞空 所需之時間，由而可增進生產量。 在請求項2記載之電漿處理裝置，因裝載用眞空室爲 複數室，由而從某一裝載用眞空室進行基板搬運之時，對 於其他之裝載用眞空室，可實施基板搬運之準備。亦即， 基板之搬運和搬運準備作業可並行地來進行，故可增進生 產量。 請求項3記載之電漿處理裝置，係由一個門扉體就可 令第1及第2之開閉口之開閉操作以一個動作來完成，由 而可縮知門扉體之開閉時間而可增進生產量。而且在門扉 體，第1及第2之搬運舟皿成一體地被固定著，因此，與 開閉操作之同時，可予以進行基板搬運而使裝e結構極顯 著地成爲單純化。 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS)A4规格（ 210X297公釐）-8 - N--------S-----钉—^----線-{丨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央梂準局負工消费合作社印裂

Cl D7_ 五、創作説明（6 ) 請求項4記載之電漿處理裝置，乃以配設於處理室內 之軸體爲中心來擺動門扉體而交替地予以開閉第1及第2 之開閉口，因此，能以容易的結構來實現由門扉所實施之 第1及第2開閉口之交替的開閉。 請求項5或6記載之電漿處理裝置，係基板之裝入. 取出乃由驅動機構使蓋體和基板交接台朝上下方向移動而 達成。 , 亦即，當蓋體和基板交接台一齊朝上方向移動時，因 蓋體之上升而開放（打開）基板裝入·取出孔，並同時由 於基板交接台之上升而撮取載置於保持部上之基板，並從 基板裝入•取出孔使基板朝外部移動來收回基板。 相反地，使蓋體和基板交接台一齊朝下面方向移動時 ，因由基板交接台之下降而使在基板裝入•取出孔上方所 接收之基板，將會被載置於前述保持部上，並同時由於蓋 體之降下而使基板裝入·取出孔被封閉，而完成基板之裝 入。 請求項7記載之電漿處理裝e之運轉方法，係在複數 之基板搬運期間，因可連續地維持電漿放電，由而能在電 漿放電成穩定常態性之進行狀態下，使被處理基板搬入處 理室內且從處理室內予以搬出，因此，對於被處理基板並 不產生電漿產生時之損傷。 〔實施例〕 以下，將參照圖1及圖2來說明有關本創作之電獎處 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS )八4规格（210Χ297公釐）-9 - L--------裝(-----，·1Τ--.----線乂 — (請先閲讀背面之注意辜項再填寫本頁) 經濟部中夬標準局貝工消費合作社印製 C7 D7 五、創作説明（7 ) 理裝置之一實施例。 圖1及圖2係顯示有關本創作之電漿處理裝S之一H 施例者，圖中，符號1爲底座，1 〇爲處理室，2 OR， 2 〇 L均爲裝載用眞空室（第1及第2之裝載用眞空室） ，3 〇爲門扉髋，4 0 R，4 0 L均爲搬運舟皿（第1及 第2之搬運舟皿），W係表示著基板。 處理室1 0乃由壁部a所形成，並予以固定於底 座1上。 在壁部1 0 a形成有，開閉口 1 1 R，1 1 L (第1 及第2之開閉口），排氣口12及開口13。在排氣口 1 2則連接著例如由渦輪分子泵1 4 a及預抽眞空泵（<3-ry vaccum pump) 14 b之組合所構成之高眞空排氣機構 1 4 ，構成藉由排氣口可使處理室1 0內排氣成高眞空。 在處理室1 0連接有連通開口 1 3來引起電漿放電之電漿 產生室1 3 a。又在處理室1 P ，配置有予以構成可上下 動自如之基板位置調整機構1 5，而可使基板W使之上下 動0 * 裝載用眞空室2 0 R，2 0 L係用以搬運基板至處理 室1 0及從外部進行基板W之裝入•取出所用者，而配置 成同心園狀個別鄰接於處理室1〇之兩側方。裝載用眞空 室20R，20L形成有與開閉口1 1R，1 1L相連通 之開口部2 1 ，而藉由該等開口部2 1及開閉口1 1 R， 11L與處理室形成連通自如之同時，在圍繞該開口部 2 1之裝載用眞空室2 0 R，2 0 L之側壁部2 0 a，配 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐>-1〇 - L. 裝{·ΐτ--;----.^.α.— (請先聞讀背面之注意寧項再填寫本頁) 經濟部中央標率局負工消费合作社印袋 C7 D7 五、創作説明（8 ) 設有〇環等之封閉（密封）材料（劑）2 1 a，以使側壁 部2 0 a和處理室1 〇之側壁部1 0 b以形成挾持封閉劑 2 1 a之狀態下固定成氣密狀態。裝載用眞空室2 0 R， 2 0 L，在其上壁部2 0 b形成有基板裝入·取出孔2 2 〇 而在裝載用眞空室2 OR，2 0L外部側方，配設著 氣缸2 3 (驅動機構），而.在附設於氣缸2 3之活塞桿 2 3 a之露出狀態時的上端，將配設成由朝上下方向移動 時可打開•封閉基板裝入·取出孔2 2之盖體2 4 ，以連 接體2 3 b安裝成爲一體，並在活塞桿2 3 a之露出狀態 時之下端，將配設成以貫穿下（面）壁部2 0 c成氣密狀 態下可上下動之基板交接台2 5 ，以連接體2 3 b安裝成 爲一體。如此之狀態下，活塞桿2 3 a之上下端，因能成 一體來移動，由而盖體2 4和基板交接台2 5 ，將可同時 地（形成同步地）賦予上下動。又在裝載用眞空室2 0 R ，2 0 L，將未圖示之高眞空排氣機構以閥等連接成可連 接•分開狀之伺時，配設有導入氬，氮，空氣等之惰性氣 體用之漏口閥（Leak valve)。 門扉體3 0乃在處理室1 〇內以形成垂直方向之軸線 來配置之同時，被固定於以未圖示之驅動源所轉動之軸體 3 0 a，並由該軸體3 0 a之轉動而在處理室1 〇內予以 擺動，以令開閉口 1 1 R，1 1 L從壁部1 〇 a之處理室 1 0內面側形成交替地予以開閉者。該場合之由門扉體 3 0來進行開閉口 1 1 R之封閉（關閉），係以朝向配設 本紙張尺度適用中國國家榣準（CNS> A4规格（2丨0X297公釐^ . l·--------#------奵--:----線乂| (請先閱讀背面之注意卒項再填寫本頁) 39ββ9β C7 D7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、創作説明（9 ) 於圍繞開閉口 1 1 R之處理室1 0側壁部χ 內面側周緣部1 〇 c之0環等之封閉材料3 體3 0之裝載用眞空室2 0 R側壁面3 〇 e 態下，由配設於軸體3 0 a之止動（鎖緊） )來加以固定來形成。由門扉體3 〇來進行 之封閉亦同樣地來實施，該場合乃形成裝載 2 0 L之側壁面3 0 d朝向.封閉材料3 〇 b 如此地，由門扉體3 0 ，軸體3 0 a，驅動 而構成用以開閉開閉口 1 1 R，1 1 L用之 搬運舟皿4 0 R，4 0 L，係在朝向門 個裝載用眞空室2 0 R，2 0 L之兩側方向 一體固定者，構成即使門扉體3 0之擺動亦 眞空室20R，20L及開閉口 11R，；l 之外形，而且形成有較基板W形成若干大之 同時，將朝向該凹處4 0 a裡面側突出所形 (保持部）上用以載置基板W之下端周緣部 4 0 R，4 0 1和基板交接台2 5，係設計 在所定位置進行上下動之時，互相可避免干 如將基板交接台2 5外徑予以設定成較凹處 之同時，在基板交接台2 5外周（邊）緣， 爪4 0 b產生干擾用之凹處2 5 a，並在此 以進行基板交接台2 5使之上升而撮取載置 之基板W，相反地，下降載置有基板W之基 以載置基板W於爪4 0 b上之動作。 0 b之處理室 〇 b來使門扉 推壓成氣密狀 機構（未圖示 開閉口 1 1 L 用眞空室 推壓之狀態。 源及止動機構 開閉機構。 扉體3 0之2 ，個別予以成 不會與裝載用 1 L產生干擾 凹處4 0 a之 成之爪4 0 b 。又搬運舟皿 成交接台2 5 擾之形狀，例 4 0 a更小徑 形成有避免與 結構之下，予 於爪4 0 b上 板交接台2 5 請 先 聞 讀 背 之 注 | 項 再 % · 寫i 本本 頁 , 訂 •線 本紙法尺度通用中國國家橾準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）-12 -

經濟部中央標準局貝工消費合作社印$L 五、創作説明（10 ) 而搬運舟皿4 0 R乃在門扉體3 0在關閉了開閉口 1 1 R之時，使基板W位於裝載用眞空室2 0 R之位置， 並在門扉體3 0在關閉了開閉口1 1 L之時，就使基板W 位於處理室1〇內之位置者，至於搬運舟皿11L則與此 相反，當門扉體3 0關閉了開閉口 1 1R之時，就使基板 W位於處理室1 〇內之位置，而在門扉體3 0關閉了開閉 口 1 1 L之時，則使基板W位於裝載用眞空室2 0 L之位 置者。此時，倘若將處理室1 0和裝載用眞空室2 0R當 作一個單位時，門扉體3 0之開閉機構的驅動源，將兼爲 搬運機構之驅動源，而由搬運舟皿4 0 R及門扉體3 0之 開閉機構來構成搬運機構。再者，處理室1〇和裝載用眞 空室2 0 L當作一個單來看之時，亦爲相同。 將參照圇3對於使用具有如上述結構之電漿處理裝縻 時之電漿處理，說明如下。 ① 處理之準備： 首先，門.扉體3 0以例如圖1及圖2所示，封閉裝載 用眞空室2 0 R之開閉口 1 1 R之狀態下，由個別之眞空 排氣機構予以排氣處理室1 0及裝載用眞空室2 0 R成高 成空，並在獲得所定之眞空度之後，在電漿產生室1 3 a 予以產生對應於處理目的之電漿。 ② 第1次之處理： ②一 1 ，從外部導入基板至裝載用眞空室2 0 R之狀 況。 本紙張尺度遴用中國國家標率（〇<5)八4規格（210\297公釐）-；13 - l·--------iii (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線人！ C7 D7 39ββ8β 五、創作説明（11 ) (請先閲讀背面之注意卞項再填寫本頁) 對於由門扉體3 0而封閉著開閉口 1 1 r之裝載用眞 空室，解用眞空排氣機構，且由漏口閥來導入惰性氣體， 以使該裝載用眞空室2 0 R內成爲常壓（或較常壓有若千 高之壓力）。 以驅動氣缸來上升活塞桿2 3 a，使之蓋體2 4上升 而開放（打開）裝載用眞空室2 0 R之基板裝入·取出孔 2 2 ，並同時基板交接台2. 5將會從下限位置移動至上方 且從基板裝入•取出孔2 2移動至外部，而成爲可接受基 板W之狀態。在載置被處理基板W於該狀態之基板交接台 2 5上之後，予以驅動氣缸2 3令活塞桿2 3 a下降，而 由盖體2 4來封閉基板裝入·取出孔2 2之同時，將使基 板交接台2 5從上限位置移動至下方，而使在基板裝入· 取出孔2 2上方所接受之被處理基板W予以導入於裝載用 眞空室2 0 R內，並戴置於搬運舟皿4 0 R之爪4 0 b上 Ο 而後，以眞空排氣機構來進行裝載用眞空室2 0 R之 抽眞空直至與'處理室1 0爲同一程度之眞空度。 經濟部t央梂準局舅工消费合作社印裝 ②一 2 ，從裝載用眞空室2 OR搬運至處理室1 0之 狀況。 將門扉髏3 0以軸體3 0 a爲中心，朝如圖示之反時 鐘轉動以使之擺動，以令門扉體3 0形成封閉著裝載用眞 空室2 0 L之開閉口 1 1 L之狀態。由此一動作，可達成 由門扉體3 0而進行之開閉口 1 1 R之打開操作和開閉口 1 1 L之關閉操作，及由搬運舟皿4 0 R來進行之被處理 本紙張尺度適用中國國家橾準（〇吣）八4規格（210父297公釐）-14- 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印褽 C7 D7 五、創作説明（l2 ) 基板W之搬入。 ② 一 3，電漿處理之狀況。 在處理室1 0內，予以適當地進行由基板位置調整機 構1 5之高度調節等之處理條件之最適當化，並予以實施 由來自電漿產生室1 3 a之根基等之表面處理。 ③ 第2次之處理： ③一1 ，從外部導入蘂板至裝載用眞空室2 0 L之狀 況。 如上述，從封閉裝載用眞空室2 0 L之時刻、開始進 行對於裝載用眞空室2 0 L之基板導入。亦即，與上述^ ②一 3之電漿處理」並行，開始進行對裝載用眞空室 2 0 L之基板導入作業。 ③一 2 ，從裝載用眞空室2 0L搬運至處理室1 0之 狀況。 將門扉髋3 0以軸體3 0 a爲中心，朝如圚示之反時 鐘（時針）轉動來使之擺動，以令門扉體3 0形成封閉著 裝載用眞空室·2 0 R之開閉口 1 1 R之狀態。由此一動作 ，而達成從裝載用眞空室2 0 L至處理室之被處理基板W 之搬入之同時，可達成從處理室1 0至裝載用眞空室 2 0 R之已完成處理之基板W之搬出。 ③一 3 ，電漿處理之狀況。 對於從裝載用眞空室2 0 L搬入至處理室1 0之被處 理基板W，將以與上述「②_ 3之電漿處理」同樣之程序 來實施電漿處理。 裝 |-----訂.--_----線Λ. (請先S讀背面之注意事，項再填寫本頁) 本紙張尺度遑用中國國家揉準（CNS)A4規格（ 210X297公釐）_ - 經濟部中央梯準局員工消費合作.杜印製 C7 D7 五、創作説明（13 ) ④第3次以後之處理： ④一 1 ，在裝載用眞空室2 0 R之基板更換（調換） 之狀況。 從開始上述「③-3之電漿處理」之時刻，予以並行 進行在裝載用眞空室2 0 R之基板更換。 其程序（方法）係與上述「②一 1之從外部導入基板 至裝載用眞空室2 0 R」箴同樣，有相異之處乃在上升基 板交接台2 5之時，附加有，基板交接台2 5在裝載用眞 空室2 0 R內予以攝取爪4 0 b上之已處理完成之基板W 並朝外部移動，以進行收回已處理完成之基板W之操作。 以下則在記載④-2之搬運後，依次重複地予以並行 進行④一 3和⑤_ 1等之操作。該時，直至處理終了，電 漿將不會切斷而連續地使之運轉。 〔實施例〕 製造了具備上述結構之電漿處理裝置，而實施爲電漿 處理之一例子之灰化（ash i ng )處理之試車，其結果係如 圖3所示，基板W之更換爲4 5秒（基板回收•設定5秒 ，裝載用眞空室2 0之抽眞空爲4 0秒），由門扉體3 0 之擺動所實施之基板搬運爲5秒，灰化時間（電漿處理時 間）爲4 0秒，總共以9 0秒鐘來完成1個過程。然而以 如圖3所示，予以並行使用2個裝載用眞空室2 OR， 2 0 L，亦即予以並行地進行電漿處理和基板之更換之時 ，就對於每一片之處理所需之週期能以5 0秒鐘來達成， 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS > A4規格（210X297公釐）-16 - ----------及------，*tTI-7---- (請先閱讀背面之注意事項再篇寫本筲) 經濟部中央捸率局貞工消費合作社印製 C7 _* K__D7__ 五、創作説明（14 ) 而達到所爲7 2片/小時之極高之產量。 在上述竄漿處理裝置，因門扉體3 〇乃配設於處理室 1 0內，而使門扉體及其驅動機構•驅動空間，並不必要 配置於裝載用眞空室2 0 R，2 0 L。因此，可令裝載用 眞空室2 0 R，2 0 L之容稹構成儘可能之小，以致抽眞 空所需之時間可顯著地縮短至例如在上述實驗例中爲4 0 秒鐘之可增進生產量。 . 又裝載用眞空室2 OR，2 0 L爲兩（2 )個，由而 在從一邊之裝載用眞空室之基板搬運之後，可同時並行地 進行電漿處理和對於另一邊之裝載用眞空室之基板搬運之 準備（更換基板），例如在上述實驗例，實際所费之時間 爲9 0秒之過程，由於並行進行處理而可使之變爲5 0秒 ，因此可增進生產量。 再者，以1個門扉體3 0而使2個裝載用眞空室 2 OR，2 0L之開閉口 1 1R，1 1L之開閉操作，能 以一個動作來進行，由而可縮短門扉體3 0之開閉時間而 可增進生產量〜而且更加上於此，門扉體3 0因使搬運舟 皿4 0 R，4 0 L形成一體固定著，由而實施開閉動作之 同時，可進行基板之搬運，例如在上述實驗例中，能以5 秒鐘就可實現該開閉操作和基板之搬運，致使可增進生產 量之同時，可使裝置之結構使之單純化而可減低裝置之成 本。 又因構成以軸髓3 0 a爲中心來擺動門扉體，使開閉 口 1 1R，1 1 L交替地來開閉，由而該動作能以容易地 本紙張尺度適用中國國家梂準（匚邓）八4规格（210父297公*)- 17 - I.--------裝 r-----訂·—.----線-< , (請先閲讀背面之注意#項再填寫本頁) D7 d«S68e 五、創作説明（15 ) 結構來實現，而可減低裝置之成本。 而且僅予以驅動氣缸2 3，就可實施裝載用眞空室 2 〇 R，2 0 L之基板W之交接，故能使基板之交接成爲 容易且迅速。加上裝載用眞空室2 0 R，2 0 L，只要具 備可收容基板W ·搬運舟皿4 0 R或搬運舟皿4 0 L ·基 板交接台2 5之容積就已足夠，故可設計容積成爲儘置地 小，而使實施裝載用眞空室.2 OR，2 0L之抽眞空所需 之時間，極顯著地縮短例如在上述實驗例中爲4 0秒鐘， 致使對於增進生產量有所貢獻。 再者，在遍及複數之基板搬運之期間，因不予以切斷 電漿放電之下，連績地予以維持，而形成穩定常態性地實 施電漿放電之狀態下來進行被處理基板W之裝入取出，因 此，對於被處理基板不使之開始產生電漿時之損傷。此運 轉方法乃以下列做爲主要原因，而使不切斷電漿之連續運 轉，在現實上成爲無不合適而有利之運轉方法。 (1 )由於裝載用眞空室2 OR，2 0L之小容稹化 而達成抽眞空時間之縮短， (2)由於裝載用眞空室20R，20L之並行利用 而增進效率， (3 )由於1個門扉體3 0能以一個動作就開閉2個 之裝載用眞空室20R，20L之開閉口1 1R，1 1L 間而達成開閉操作之快速化， (4 )由於搬運舟皿4 0 R，4 0 L在門扉體3 0成 爲一體.化，致使裝載用眞空室2 0 R，2 0 L之開閉和基 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS>A4規格（210X297公釐）_ 18 - 請 先 閲 讀 背 面 之 注

I 經濟部中央梯準局負工消費合作杜印製 經濟部中央棣率局貝工消費合作杜印装 C7 D7 五、創作説明（16 ) 板搬運能以一個動作來完成而達成基板搬運操作之快速化 9 (5 )由於裝載用眞空室2 0 R，2 0 L之基板更換 機構（氣缸2 3，蓋體2 4，基板交接台2 5 )而可快速 地進行基板之更換。 再者，本創作之電漿處理裝置，並非限定於上述實施 例而已，亦可構成如下之氟施狀態。 a)替代設置2個之裝載用眞空室20R，20L， 而配設一個裝載用眞空室，或3個以上之裝載用眞空室。 b )替代對於2個之裝載用眞空室2 0 R，2 0 L配 設一個門扉體3 0 ，而對於2個之裝載用眞空室個別地予 以配設門扉體。 c )替代由擺動運動來進行以門扉體3 0實施2個裝 載用眞空室2 OR，2 0L之開閉口 1 1R，1 1L之封 閉，而由直線性之往回運動來進行° d)替代對於處理室1〇形成同心圓狀相鄰接配置2 個之裝載用眞空室，而予以形成直線狀相鄰接配置，或形 成任意之位置關係來配置。 e )替代使搬運舟皿4 0 R，4 0 L對於門扉體3 0 成一體配設，而予以配設成另一體。 F )#代配設基板交接台2 5於裝載用眞空室2 0 R ，20L內，而在裝載用眞空室20R，20L之下面壁 部2 〇,c予以配設與蓋體2 4同樣之蓋體’並將該蓋體做 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210x297公簸）-19 - L---------^ ! (請先W讀背面之注意-Ϋ項再^寫本頁) -Ja 線人 經濟部中夬標率局属工消费合作社印製 C7 D7 五、創作説明（17 ) 爲基板交接台來使用。 g )替代連接電漿產生室1 3 a於處理室1 〇，而配 設霉漿產生機構於處理室10內。 h )替代在裝載用眞空室2 0 R，2 0 L配設與處理 室10之高眞空排氣機構14爲另外之眞空排氣機構，而 使高眞空排氣機構1 4予以兼用爲裝載用眞空室2 0 R， 2 0 L之抽眞空用。 . i )替代進行灰化處理做爲電漿處理，而予以進行蝕 刻處理，沈積，表面改性質等之其他電漿處理。 i)以處理室和裝載用眞空室爲每一各單位來個別地 配設搬運機構。 〔創作之效果〕 依據請求項1記載.之電漿處理裝置，門扉體因配置於 處理室內，因此，在裝載用眞空室側並不必要配設門扉體 及其驅動機構•驅動空間之需要。爲此，可儘量地予以構 成裝載用眞空室之容積成爲小，而可縮短抽成眞空所需之 時間，由而可增進生產量。 依據請求項2記載之電漿處理裝置，因裝載用眞空室 爲複數室，由而利用從某一裝載用眞空室進行基板搬運之 時，對於其他之裝載用眞空室，可實施基板搬運之準備。 亦即，基板之搬運和搬運準備作業可並行地來進行，故可 增進生產量。 依據請求項3記載之電漿處理裝置，因由一個門扉體 本&張尺度逋用中國國家棣準（CNS> A4規格（210X297公釐）-20 - .---------Λ------'1T1-^-----線·〈 (請先《讀背面之注意事項再其寫本頁) C7 D7 間而可 皿成一 增進生產 體地被固 板搬運而 成本。 置，乃以 替地予以 構來實現 ，而減低 進行基 裝置之 處理裝 體而交 易的結 的開閉 五、創作説明（18 ) 就可令第1及第2之開閉口之 ，由而可縮知門扉體之開閉時 門扉體，第1及第2之搬運舟 ，與開閉操作之同時，可予以 極顯著地成爲單純化，且減低 依據請求項4記載之電漿 室內之軸镫爲中心來擺動門.扉 第2之開閉口，因此，能以容 施之第1及第2開閉口之交替 開閉操作以一個動作來完成 量。而且在 定著，因此 使裝置結構 配設於處理 開閉第1及 由門扉所實 裝ffi之成本 請 先 閲 讀 背 I& 之 注 意 項 再 寫 本 頁 請求項5或6記載之電漿處理裝置，因基板之裝入 •取出乃由驅動機構使蓋體和基板交接台朝上下方向移動 而達成，故能容易且迅速地來進行基板之更換。又加上， 可儘可能地設計裝載用眞空室之容積成爲小。 依據請求項7記載之電漿處理裝置之運轉方法，係在 複數之基板搬運期間，因可連績地維持電漿放電，由而能 在電漿放電成穩定常態性之進行狀態下，使被處理基板進 行交接之搬出入，故不招致在被處理基板引起剛電漿產生 時之損傷。 〔圖式之簡單說明〕 圖1係顯示有關本創作之電漿處理裝置之一資施例平 剖面圖。 圖2係在圚1中之X — X線箭頭方向之展開圖。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS)A4规格（210X297公釐〉-21 - -訂 線 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 €f D7 五、創作説明（I9 )圖3係顯示有關本創作運轉方法之一實施例之時間圖 請 先 閲 讀 背 之 注•I 再 -訂

線·t I 經濟部中央棣準局貝工消費合作社印装 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）-22 -

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 298660 C8 D8 τ、申萝子迥獎處理裝置，其特徵爲；具備有：由實施 電漿放電來進行基板表面處理用之處理室：經由形成於形 成該處理室之壁部的第1開閉口而成爲與該處理室連通自 如之第1裝載用眞空室；經由形成於前述壁部之第2開閉 口而成爲與該處理室連通自如之第2裝載用眞空室；被支 承於前述處理室內，並以移動於該處理室內來交替地從該 處理室內面側關閉前述第1開閉口，第2開閉口的門扉體 :被固定於朝向該門扉體之前述第1裝載用眞空室一側來 保持|ΐτ述基板，並在該門扉體關閉前述第1開閉口之時， 使該基板位於前述第1裝載用眞空室之位置，而在該門扉 體關閉前述第2開閉口之時，使該基板位於前述處理室內 之位置的第1搬運舟皿：及被固定於朝向該門扉體之前述 第2裝載用眞空室一側來保持前述基板，並在該門扉體關 閉前述第2開閉口之時，使該基板位於前述第2裝載用眞 空室之位置，而在該門扉體關閉前述第1開閉口之時，使 該基板位於前述處理室內之位置的第2搬運舟皿，所構成 ，而在前述門扉體，使前述第1之搬運舟皿及前述第2之 搬運舟皿，個別被固定於前述門扉體之兩側並使之成爲一 體。 2 .如申請專利範圍第1項所述之電漿處理裝置，其 中，前述門扉體係構成，在於前述處理室內以形成垂直方 向之軸線來配置之同時，被固定於由驅動源所轉動之軸體 ，而由該軸體之轉動使之擺動，以令前述第1開閉口，第 2開閉口形成交替地開閉之結構者。 本紙张尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公嫠）-Μ --------{ 袈-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局爲工消費合作社印装 A8 m C8 D8 ^' mm% 專利範圍第1項所述之電漿處理裝置，其 中，前述第1 ，第2之搬運舟皿係個別具備載置基板下面 周緣部用之保持部，而在前述第1 ，第2之裝載用眞空室 ，形成基板之裝入•取出孔於個別之上壁，並配設有由於 朝上下方向移動而開閉該基板裝入•取出孔之蓋體，而且 配置有在其內部形成上下方向移動自如之同時，當從下限 位置朝上方移動時，能在該內部撮取載置於前述保持部上 之基板而使該基板從前述基板裝入•取出孔朝外..部移動， 或從上限位置朝下方移動時，可使在前述基板裝入•取出 孔上方所接收之基板予以載置於前述保持部上之基板交接 台，而更附設有可令前述蓋體和基板交接台使之同步地朝 上下方向移動之驅動機構爲其特徵。 4 .如申·請專利範圍第2項所述之電漿處理裝置，其 中，前述第1 ，第2之搬運舟皿係個別具備載置基板下面 周緣部用之保持部，而在前述第1，第2之裝載用眞空室 ，形成基板之裝入•取出孔於個別之上壁，並配設有由於 朝上下方向移動而開閉該基板裝入•取出孔之蓋體，而且 配置有在其內部形成上下方向移動自如之同時，當從下限 位置朝上方移動時，能在該內部撮取載置於前述保持部上 之基板而使該基板從前述基板裝入•取出孔朝外部移動， 或從上限位置朝下方移動時，可使在前述基板裝入•取出 孔上方所接收之基板予以載置於前述保持部上之基板交接 台，而更附設有可令前述蓋體和基板交接台使之同步地朝 上下方向移動之驅動機構爲其特徵。 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐）-24 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂<