TW202240146A - 電磁波訊號解析裝置及電磁波訊號解析用程式 - Google Patents

Abstract

[課題] 藉由進行對於電磁波會被水蒸氣所吸收一事積極地作了利用的解析，來成為能夠對於液體試料而容易地檢測出固有之特徵。 [解決手段] 係具備有：頻譜取得部(11)，係取得根據藉由分光裝置(20)所取得的電磁波訊號所產生的表現有相對於頻率之特性值的頻譜；和水蒸氣擬合處理部(12)，係針對由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率的頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合；和特性解析部(14)，係使用對於被使用在該擬合中的擬合用函數之性質作制定之至少2個的值，來對於液體試料之特性進行解析，對於由從液體試料之表面所產生的水蒸氣而導致之電磁波之吸收會變大的頻率之頻譜進行處理，來對於液體試料之特性進行解析。

Description

電磁波訊號解析裝置及電磁波訊號解析用程式

本發明，係有關於電磁波訊號解析裝置以及電磁波訊號解析用程式，特別是有關於對於經過了配置在分光裝置之光路上的液體試料後之電磁波之特性進行解析的裝置以及使用於該裝置中之程式。

於先前技術中，係提供有使用電磁波來對於物質之特性進行計測的分光裝置。在分光裝置中，係使電磁波對於試料作透過或反射，並根據起因於電磁波與試料之間之相互作用所產生的電磁波之變化，來對於試料之物理性質或化學性質作計測。藉由此分光計測所觀測到的試料之頻譜，係具有試料所固有之頻譜構造。特別是，在使用有身為電磁波之其中一種的兆赫波之分光法中，係會觀測到起因於氫鍵結等所導致的分子間相互作用。

然而，由於藉由分光計測所觀測到的頻譜係會相互重合，因此係難以將特定頻率之峰值抽出。故而，係難以得知「在頻譜中之何處為表現有試料之特徵」或者是「在何種波形中為表現有試料之特徵」，而有著極為難以發現到該特徵的問題。

為了解決此種問題，係提案有一種兆赫波解析裝置，其係使兆赫波對於配置在光路上之計測對象之液體試料而作透過或反射，並對於藉由以分光裝置來檢測出如此這般地而對於液體試料有所作用的兆赫波一事所得到的兆赫波訊號進行解析，而成為能夠進行可容易地得知與液體試料之特性相對應的特徵之可視化(例如，參照專利文獻1)。在此專利文獻1所記載之解析裝置中，係構成為針對從兆赫波訊號所取得的頻譜，而使其與複數之擬合用函數之合成波形相擬合，並將對於被使用該擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之至少2個的值作為參數，而產生圖表。

另外，電磁波，由於係亦會被存在於大氣中之水蒸氣所吸收，因此，在所取得的頻譜之中，係會有包含有水蒸氣之特性的可能性。因此，在專利文獻1所記載之解析裝置中，係在進行由擬合用函數所致之擬合處理之前，先進行將在由水蒸氣所致之兆赫波之吸收會變大的頻率處的極值拔除之處理。亦即是，係構成為藉由將在頻譜中之相對於各頻率之吸光度資料中的「在起因於液體試料以外之水蒸氣而兆赫波之吸收會變大的頻率處之極值」拔除，來設為難以受到起因於水蒸氣所導致的頻譜吸收之影響的狀態，並進行擬合。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]WO2018／110481號公報 [專利文獻2]日本特開2010-164511號公報 [專利文獻3]日本特開2008-46574號公報 [專利文獻4]日本特開2007-108151號公報 [專利文獻5]日本特開2000-74827號公報

[發明所欲解決的課題]

如同上述一般，電磁波會被水蒸氣所吸收，此事係為周知。起因於此，在進行電磁波之分光測定時，一般而言係會構成為對於起因於試料以外之在大氣中所包含的水蒸氣所致之頻譜吸收之影響作避免(例如，上述專利文獻1，進而，亦參照專利文獻2～5)。相對於此，本申請案之發明者們，係發現到了，藉由反倒是對於電磁波會被水蒸氣所吸收一事積極地作利用，係能夠從分光計測出之頻譜而解析出液體試料之固有之特性。

亦即是，本發明之目的係在於：針對藉由分光裝置所檢測出的電磁波訊號，而進行對於電磁波會被水蒸氣所吸收一事積極地作了利用的解析，藉由此，來成為能夠對於液體試料而容易地檢測出固有之特徵。 [用以解決問題之手段]

為了解決上述之課題，本發明之電磁波訊號解析裝置，係對於藉由分光裝置所取得的電磁波訊號進行解析，該分光裝置，係檢測出對於藉由從噴嘴來噴出液體一事所在空間中產生之膜狀的液體試料而作了透過或反射的電磁波。具體而言，電磁波訊號解析裝置，係構成為針對「根據電磁波訊號所產生的表現有相對於頻率之特性值的頻譜」之中之身為「由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率」之水蒸氣吸收頻率之頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合，並使用對於被使用在該擬合中的擬合用函數之性質作制定之至少2個的值，來對於液體試料之特性進行解析。 [發明之效果]

如同上述一般，若是藉由從噴嘴噴出液體一事而在空間中產生膜狀之液體試料，則水蒸氣係會從液體試料之表面而產生，電磁波係亦會在此水蒸氣之中而作透過。此水蒸氣，由於係身為包含有液體試料之性質者，因此，藉由對於由此水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率之頻譜進行處理，係能夠對於液體試料之特性進行解析。並且，水蒸氣之頻譜，由於峰值係為明確且為銳利(sharp)，因此係易於讀取，而較為容易進行解析。而，若依據如同上述一般地所構成之本發明，則起因於從液體試料所產生的水蒸氣而導致之頻譜，係在繼承有該液體試料之特性的形態下，藉由1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形而被作近似，基於關連於被使用在該近似中的擬合用函數之值，液體試料之特性係被解析出來。藉由此，若依據本發明，則藉由針對藉由分光裝置所檢測出的電磁波訊號而進行對於電磁波會被水蒸氣所吸收一事積極地作了利用的解析，係能夠對於液體試料而容易地檢測出固有之特徵。

以下，根據圖面，對於本發明之其中一種實施形態作說明。圖1，係為對於由本實施形態所致的電磁波訊號解析裝置之功能構成例作展示之區塊圖。本實施形態之電磁波訊號解析裝置10，係為對於「針對液體試料而藉由分光裝置20所取得的電磁波訊號」進行解析者，作為其之功能構成，係具備有頻譜取得部11、和水蒸氣擬合處理部12、和液體擬合處理部13、以及特性解析部14。

在本實施形態之電磁波訊號解析裝置10而作為解析之對象的電磁波，例如係為兆赫波、紅外線、可視光線、紫外線等，只要是包含有會被水蒸氣所吸收的頻率帶之電磁波，則不論是何者均可作為對象。另外，特別是在兆赫波的情況時，由於回應於兆赫波而在液體試料處所產生的分子間相互作用係具有複雜之過程，因此，藉由分光計測所觀測到的頻譜相互重合的程度係為強，相較於紅外線分光或光電子分光，係難以將特定頻率之峰值抽出。本實施形態之電磁波訊號解析裝置10，係亦能夠對於此種兆赫波訊號進行解析。

上述之各功能區塊11～14，係可藉由硬體、數位訊號處理器(DSP、Digital Signal Processor)、軟體之任一者來構成。例如在藉由軟體來構成的情況時，上述各功能區塊11～14，實際上係具備有電腦之CPU、RAM、ROM等地而被構成，並藉由使被記憶在RAM或ROM、硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體中的電磁波訊號解析用程式動作，來實現之。

頻譜取得部11，係取得根據藉由分光裝置20所檢測出的電磁波訊號所產生之表現有相對於頻率之特性值的頻譜。在本實施形態中，作為特性值之其中一例，係取得對於吸光度作了表現的頻譜。頻譜取得部11，係可構成為取得藉由分光裝置20所檢測出的頻譜，亦可構成為藉由根據以分光裝置20所產生的電磁波訊號來自己產生頻譜，而取得該頻譜。

分光裝置20，係使電磁波對於配置在光路上之計測對象之液體試料而作透過或反射，並檢測出如此這般地而對於液體試料有所作用的電磁波。在本實施形態中，作為此分光裝置20，係可使用公知之各種形態之分光裝置。但是，在本實施形態中所使用的分光裝置20，係具備有特定之噴嘴，並藉由從該噴嘴噴出液體一事，而在空間中(電磁波之路徑上)產生膜狀之液體試料。

圖2，係為對於在本實施形態中所使用的液膜產生裝置之構成例作展示之圖。如同圖2(a)中所示一般，液膜產生裝置，係具備有容器1、液膜卡匣2、軟管幫浦3、往路配管4以及返路配管5，而構成之。在容器1處，係被設置有液體之回收槽1a。在液膜卡匣2處，係被設置有噴出液體並產生液膜(以下，稱作試料液膜100)之噴嘴21(參照圖2(b))。

軟管幫浦3，係從回收槽1a而經由返路配管5來將計測對象之液體上吸，並將作了上吸的液體加壓，而經由往路配管4來導出至液膜卡匣2處。液膜卡匣2，係藉由將藉由軟管幫浦3而從回收槽1a所導出的液體從噴嘴21來噴出，而在空間上產生表面為平坦之板狀的試料液膜100。在容器1以及液膜卡匣2之側面處，係於試料液膜100所被形成之高度的附近處被設置有孔，經由此孔，電磁波係透過試料液膜100。

回收槽1a，係將從液膜卡匣2所滴落的液體回收並作儲存。被儲存於回收槽1a中之液體，係藉由軟管幫浦3而再度被上吸，並被作加壓而從液膜卡匣2之噴嘴21噴出。如此這般，回收槽1a內之液體係作循環，並成為在該循環之過程中藉由噴嘴21來使試料液膜100被產生。

圖2(b)，係為用以對於藉由噴嘴21所產生的試料液膜100作說明的圖。於此，係將對於空間作定義的3維座標軸以x－y－z來作標示。噴嘴21之中心軸21a，係設為朝向y軸方向。在噴嘴21之前端處，係被設置有與中心軸21a相正交之細縫狀之開口部21b，此細縫係設為與x軸相平行。

如同圖2(b)中所示一般，藉由被設置在噴嘴21之前端處的開口部21b所噴出之液體，係依序形成相互正交之複數之液膜面101～103。第1液膜面101，係為從噴嘴21之開口部21b所噴出的液體，並於在z-y平面內而流動之2根的帶狀之流體柱111之間，藉由液體之表面張力而被形成。亦即是，2根的帶狀之流體柱111，係一面描繪出平滑之弧，一面在流體柱集合點121處而相互碰撞，並在從噴嘴21之開口部21b起直到流體柱集合點121為止的空間中，藉由液體之表面張力而形成第1液膜面101。故而，第1液膜面101，係身為與x軸相垂直並與z－y平面相平行之面。

在流體柱集合點121處而相互作了碰撞的2根之帶狀之流體柱111，係作90度的角度改變，而成為在x－y平面內流動之2根的帶狀之流體柱112，並一面描繪出平滑之弧，一面在下一個的流體柱集合點122處而相碰撞。藉由此，在從第1個的流體柱集合點121起直到第2個的流體柱集合點122為止的空間中，藉由液體之表面張力，第2液膜面102係被形成。故而，第2液膜面102，係相對於第1液膜面101而為垂直，並成為與x軸相垂直且與x－y平面相平行之面。

第3液膜面103，亦係與第1液膜面101和第2液膜面102相同的，在從第2個的流體柱集合點122起直到第3個的流體柱集合點123為止的空間中，藉由液體之表面張力而被形成。第3液膜面103，係相對於第2液膜面102而為垂直，並成為與x軸相垂直且與z－y平面相平行之面。在分光裝置20處，係使電磁波對於如此這般地而被形成的液膜面101～103中之第1液膜面101作透過或反射。此第1液膜面101，係相當於申請專利範圍中之「液體試料」。

另外，於此所示之液膜產生裝置以及噴嘴21之構成，係僅為其中一例，而並不被限定於此。只要是身為能夠如同圖2(b)中所示一般地來藉由液體之噴出而在空間上產生液膜之裝置以及噴嘴，則不論是何種構成，均能夠在本實施形態中而作使用。

圖3，係為對於在藉由噴嘴21所產生的液體試料之周圍處而發生有水蒸氣的模樣作展示之圖。若是藉由從噴嘴21噴出液體一事而在空間中產生試料液膜100(液體試料)，則水蒸氣110係會從試料液膜100之表面而產生。在分光裝置20之光路上而前進的電磁波，係亦會透過此水蒸氣110之中，並對於試料液膜100作透過或反射。

圖4，係為對於藉由頻譜取得部11所求取出的頻譜之其中一例作展示之圖。在圖4中，縱軸係代表吸光度，橫軸係代表頻率，並對於0～2THz之範圍的頻譜作展示。此頻譜，係在性質為相異之各液體試料的每一者處而分別成為相異之波形，但是，係成為難以得知「在波形中之何處為表現有液體試料之特徵」或者是「在何種波形中為表現有液體試料之特徵」的頻譜。本實施形態之電磁波訊號解析裝置10，係身為藉由對於此種頻譜進行解析來將與液體試料之特性相對應的特徵易於理解地作提示者。

回到圖1，針對電磁波訊號解析裝置10之構成作說明。水蒸氣擬合處理部12，係針對藉由頻譜取得部11所取得的頻譜中之由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率的頻譜，而進行使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合之處理。以下，將由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率，稱作「水蒸氣吸收頻率」，並將藉由水蒸氣擬合處理部12所產生的水蒸氣吸收頻率之頻譜，稱作「水蒸氣頻譜」。

關於在何者之頻率處而由水蒸氣所致之電磁波之吸收會變大一事，例如，係可使用由NICT(國立研究開發法人 資訊通訊研究機構)所提供的資料，而特定出來。NICT，係為了進行電磁波通訊，而公開有空氣(包含水蒸氣)的電波衰減率之資料。或者是，係亦可使用在網站上而有所公開的HITRANonline之資料庫。藉由使用此些之資料，係能夠特定出由水蒸氣所致之電磁波之吸收會變大之頻率。在圖4中，係觀察到有數個的吸光度之峰值為極值性地變大的頻率，但是，此些係身為水蒸氣吸收頻率。

水蒸氣擬合處理部12，係作為擬合用函數之其中一例，而使用中心頻率、振幅以及寬幅之至少1者為相異的複數之常態分布函數(高斯函數)，來進行擬合，亦即是，水蒸氣擬合處理部12，係針對藉由頻譜取得部11所求取出的頻譜中之複數之水蒸氣吸收頻率的頻譜，而使其分別與中心頻率、振幅以及寬幅(例如，1／e寬幅)之至少1者為相異的複數之常態分布函數之波形相擬合。

水蒸氣擬合處理部12，針對複數的水蒸氣吸收頻率之各者，基本上係基於「能夠將1個的頻譜(峰值波形)以1個的常態分布函數之波形來作近似」的前提，來將會使「在各頻率處之吸光度之值」和「與其相對應之在各頻率處之常態分布函數之波形之值」之間的殘差最小化的常態分布函數，藉由以中心頻率、振幅以及寬幅作為變數的最佳化計算，來針對複數之水蒸氣吸收頻率之各者而分別算出之。

藉由水蒸氣擬合處理部12之最佳化計算所產生的水蒸氣頻譜，係可藉由下述之(式1)來作表現。在此(式1)中，i係為複數之水蒸氣吸收頻率之辨識碼(i=1、2、・・・、m)，λ _i係為水蒸氣吸收頻率，I _i係為在水蒸氣吸收頻率處之吸光度，λ _0i係為常態分布函數之中心頻率，a _0i係為常態分布函數之振幅，a _1i係為常態分布函數之寬幅。

圖5，係為對於藉由水蒸氣擬合處理部12所產生的水蒸氣頻譜之其中一例作展示之圖。如同圖5中所示一般，藉由水蒸氣擬合處理部12所產生的水蒸氣頻譜，係成為將在圖4中所示之全體的頻譜中之吸光度之峰值為極值性地變大的複數之水蒸氣吸收頻率周邊之頻譜藉由複數之常態分布函數之波形而分別作了近似者。又，在圖5中所示之水蒸氣頻譜，係成為僅將在複數之水蒸氣吸收頻率處的吸光度之峰值成分之波形作了展示者。

另外，在圖5中所示之水蒸氣頻譜之吸光度，係在各者之水蒸氣吸收頻率處，而展示有相對於基準值之強度的差分值。所謂基準值，係為相當於成為峰值的波形之根本部分(基底部)的吸光度之值。在本實施形態中，係在藉由以下所說明的液體擬合處理部13所產生之頻譜中，將於複數之水蒸氣吸收頻率處的各吸光度，作為在該複數之水蒸氣吸收頻率處的基準值來使用。

於此，雖係針對「對於1個的水蒸氣吸收頻率之頻譜(1個的峰值波形)，而使1個的常態分布函數之波形作擬合」之例來作了說明，但是，係並不被限定於此。例如，係亦可構成為「對於1個的水蒸氣吸收頻率之頻譜，而使複數之常態分布函數之合成波形作擬合」。在相較於「藉由1個的常態分布函數之波形來作近似」而以「藉由複數之常態分布函數之合成波形來作近似」的情況為更能夠使擬合之精確度提升的情況等時，係亦可構成為使用合成波形來進行擬合。

液體擬合處理部13，係進行「針對藉由頻譜取得部11所取得的頻譜中之除了水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外的頻譜，而使其與複數之擬合用函數之合成波形相擬合」之處理。以下，將藉由液體擬合處理部13所產生的頻譜，稱作「液體頻譜」。

於此，所謂「除了水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外」，係並非為將「水蒸氣吸收頻率之吸光度資料」刪除，而是指「從藉由頻譜取得部11所取得的如同圖4一般之頻譜，而僅將水蒸氣吸收頻率之峰值成分分離」。所謂「僅將水蒸氣吸收頻率之峰值成分分離」，係相當於在進行由液體擬合處理部13所致之擬合時，針對水蒸氣吸收頻率，係視為吸光度乃身為上述之基準值地來進行擬合。關於此點，係與「在將水蒸氣吸收頻率處之吸光度資料作了去除之後，再進行擬合」之專利文獻1相異。關於所作了分離的水蒸氣吸收頻率之峰值成分，係如同上述一般地藉由水蒸氣擬合處理部12來進行擬合。

在本實施形態中，液體擬合處理部13，係作為複數之擬合用函數，而使用包含複數之項的多項式函數，來進行擬合。亦即是，液體擬合處理部13，係對於藉由頻譜取得部11所取得的頻譜中之針對水蒸氣吸收頻率而將峰值成分作了分離後的頻譜，而使其與藉由在n次多項式(n＞1)中的各次之項所特定的各波形之合成波形相擬合。於此，在n次多項式中的各次之項，係相當於「複數之擬合用函數」。

液體擬合處理部13，係基於「能夠藉由n次多項式之函數來將液體頻譜作近似」的前提，來以會使「在各頻率處之吸光度之值」和「與其相對應之在各頻率處之合成波形之值(多項式函數之值)」之間的殘差最小化的方式，而將在多項式函數中的複數之項之各係數，藉由最佳化計算而計算出來。藉由液體擬合處理部13之最佳化計算所產生的液體頻譜，係可藉由下述之(式2)來作表現。在此(式2)中，x係為1變數多項式(僅具有1個的不定元之多項式)的變數，於此，係代表頻率。j，係為n次多項式之各次(j=1、2、・・・、n)，b _j係代表各項之係數。

圖6，係為對於藉由液體擬合處理部13所產生的液體頻譜之其中一例作展示之圖。如同圖6中所示一般，藉由液體擬合處理部13所產生的液體頻譜，係成為將在圖4中所示之全體的頻譜中之並不包含有在水蒸氣吸收頻率處的吸光度之峰值成分之頻譜，藉由多項式函數之合成波形而作了近似者。

若是將圖5中所示之水蒸氣頻譜與圖6中所示之液體頻譜作合成，則係成為將圖4中所示之頻譜之全體作了近似的頻譜(以下，稱作全體擬合頻譜)。圖7，係為對於此全體擬合頻譜之其中一例作展示之圖。另外，在本實施形態中，係將藉由頻譜取得部11所取得的如同圖4一般之頻譜，藉由如同下式一般地而將水蒸氣頻譜與液體頻譜作了合成的頻譜來進行擬合。 全體擬合頻譜=水蒸氣頻譜＋液體頻譜

另外，為了方便說明，雖係將水蒸氣擬合處理部12與液體擬合處理部13作為相異之功能區塊來作圖示，但是，係能夠對於水蒸氣頻譜與液體頻譜同時作計算並求取出全體擬合頻譜。

特性解析部14，係使用包含有對於被使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在液體擬合處理部13之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值，來對於液體試料之特性進行解析。所謂對於被使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值，係身為複數之常態分布函數之中心頻率、振幅以及寬幅(上述之(式1)中的λ _0i、a _0i、a _1i之值)。又，所謂對於被使用在液體擬合處理部13之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值，係身為多項式函數之各係數(上述之(式2)中的b _j之值)。特性解析部14，係使用此些之值λ _0i、a _0i、a _1i、b _j之中之至少2個，而對於液體試料之特性進行解析。

於此，特性解析部14，係可構成為使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少2個，來對於液體試料之特性進行解析。又，特性解析部14，係可構成為使用在液體擬合處理部13之擬合中所使用了的多項式函數之各係數b _j之中之至少2個，來對於液體試料之特性進行解析。又，特性解析部14，係亦可構成為使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少1個、和在液體擬合處理部13之擬合中所使用了的多項式函數之各係數b _j之中之至少1個，來對於液體試料之特性進行解析。

特性解析部14所進行的解析之內容，例如，係身為使用上述之至少2個的值所進行的特定之統計處理或函數處理。在此統計處理或函數處理中所使用之至少2個的值，係身為對於在水蒸氣頻譜之產生中所使用了的複數之擬合用函數之性質作制定之值、對於在液體頻譜之產生中所使用了的複數之擬合用函數之性質作制定之值，而均成為對於液體試料之特性有所反映之值。故而，使用此些之值而進行了特定之統計處理或函數處理後的結果之值，係成為對於液體試料之特性有所反映的固有之值。

因此，係成為能夠使用如此這般所被算出的統計值或函數值，來對於液體試料之特性進行同定、或者是將具有相同或相類似之特性的液體試料彼此作分類。又，係亦可進行像是「使用根據「針對相同之液體試料而空出有時間間隔地來涵蓋複數次地而藉由分光裝置20所計測出之頻譜」而算出之統計值或函數值，來檢測出液體試料之特性之變化」之類的解析。

又，特性解析部14，係亦能夠進行像是「將「根據特性為既知之液體試料所算出的上述之至少2個的值」與「代表該液體試料之特性的資料」之組作為教師資料，並藉由使用有複數之教師資料之機械學習來產生已完成學習模型(預測模型)，再對於該已完成學習模型而輸入根據特性為未知之液體試料所算出的上述之至少2個的值，藉由此，來從預測模型而輸出代表液體試料之特性之資料」一般之解析。例如，係能夠使用進行了機械學習之預測模型，來對於「在溶液中的特定之溶媒或溶劑之濃度」、「在溶液中所包含的溶媒或溶劑之種類」、「是否存在有對於基準液體的異物之混入」等的特性進行解析。另外，於此作為解析對象所展示之液體試料之特性，係僅為其中一例，而並不被限定於此。

又，特性解析部14，係亦可構成為將上述之至少2個的值作為參數，而產生特定之圖表。例如，特性解析部14，係可構成為產生對於將在水蒸氣頻譜之產生中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少2者的關係作展示之圖表。又，特性解析部14，係亦可構成為針對複數之常態分布函數之每一者，而分別根據振幅a _0j以及寬幅a _1j之來算出常態分布波形之特定區域(具有成為1／e寬幅之振幅以上的振幅之波形區域)的面積A _i，並產生對於中心頻率λ _0i與面積A _i之間之關係作展示之圖表。

又，特性解析部14，係亦可構成為「將複數之常態分布函數中之1個作為基準，並針對複數之中心頻率λ _0y之各者，而分別算出「此作為基準之常態分布函數之振幅a _0x或寬幅a _1x(x係為1～i之其中一者)」與「其他之常態分布函數之振幅a _0y或寬幅a _1y(y係為1～i之其中一者，x≠y)」之間之比例R _xy(相當於代表關於針對在各水蒸氣吸收頻率處之峰值成分之波形而附加特徵的振幅a _0i或寬幅a _1i之峰值間之平衡度之值)，並產生對於中心頻率λ _0y與比例R _xy之間之關係作展示之圖表。

以下，針對使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少2個，來產生圖表的例子作說明。

圖8，係為對於藉由特性解析部14所產生的圖表之其中一例作展示之圖。圖8中所示之圖表，係為將在水蒸氣頻譜之產生中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i(代表略近似於複數之水蒸氣吸收頻率之中心頻率之值)之中的5個作為軸，並將振幅a _0i、寬幅a _1i或面積A _i作為各軸之值來作展示的雷達圖。

圖8之雷達圖，係針對「作為電磁波之其中一例而使用兆赫波，並作為中心頻率λ _0i之值而使用0.75THz、0.99THz、1.10THz、1.16THz、1.41THz之5個來作為軸」的情況時所產生之雷達圖之例作展示。於此所使用了的5個的中心頻率λ _0i，係身為與「存在有兆赫波之大的吸收的水蒸氣吸收頻率、亦即是峰值為大的水蒸氣吸收頻率」相對應者。

另外，關於要在圖表化中使用關連於複數之水蒸氣吸收頻率之中之何者之頻率之值(中心頻率λ _0i、振幅a _0i、寬幅a _1i)一事，係可任意作定義。例如，係能夠構成為使用關連於在如同圖5一般地所產生的水蒸氣頻譜中之吸光度乃成為特定值以上之水蒸氣吸收頻率之值，來產生圖表。又，係亦可構成為使用關連於複數之水蒸氣吸收頻率之值的全部，來產生圖表。又，係亦可構成為使用關連於使用者從複數之水蒸氣吸收頻率之中所任意選擇了的水蒸氣吸收頻率之值，來產生圖表。

圖8(a)中所示之雷達圖，係身為根據關連於某1個的液體試料之兆赫波訊號所產生者。圖8(b)中所示之雷達圖，係身為根據關連於其他之液體試料之兆赫波訊號所產生者。如此這般，藉由特性解析部14所產生的圖表，係身為反映有液體試料之特性之差異者，該特性之差異係成為圖表之形狀的差異而明確地出現。藉由此，係能夠將與液體試料之特性相對應的特徵以圖表之形態來易於理解地作可視化。例如，係亦能夠將在先前技術中僅能夠靠人的感覺來掌握的液體試料之特徵，作為雷達圖之形狀來客觀性地可視化。

於此，雖係針對根據相異之2個的液體試料來各別地產生2個的雷達圖之例作了展示，但是，係並不被限定於此。例如，係亦可構成為「針對複數之中心頻率λ _0i之各者，而分別算出「根據其中一方之液體試料之頻譜所算出的常態分布函數之振幅a _0i或寬幅a _1i」與「根據另外一方之液體試料之頻譜所算出的常態分布函數之振幅a _0i或寬幅a _1i」之間之比例R _i，並產生對於中心頻率λ _0i與比例R _i之間之關係作了展示的圖表」。

另外，係亦可構成為將根據複數之電磁波訊號所產生了的複數之雷達圖作重疊並可視化。圖9，係為對於其之一例作展示之圖。圖9中所示之例，係為將對於「針對相同之液體試料而空出有時間間隔地來涵蓋複數次地而藉由分光裝置20所計測出之頻譜」進行解析所得到的複數之雷達圖相重疊並作了可視化者。在此例中，係將「隨著時間的經過，液體試料之特性係如何地改變」一事作了可視化。

上述圖9之例，係身為藉由複數之雷達圖來將1個的液體試料之伴隨著時間經過之狀態變化作了表現者，但是，係亦可構成為將根據複數之液體試料所產生了的複數之雷達圖作重疊並可視化。於此情況，若是複數之液體試料乃身為具有相同之特性者，則所產生的複數之雷達圖係作為略相同之形狀而相重合。另一方面，若是複數之液體試料乃身為具有相異之特性者，則所產生的雷達圖係成為相異之形狀。

根據此，藉由針對特性為未知之複數之液體試料而產生雷達圖，係能夠容易地判定該些之液體試料是身為相互具有相同特性者還是具有相異特性者。又，藉由根據特性為既知之1個的液體試料以及特性為未知之複數之液體試料之各者而產生雷達圖，係亦能夠容易地進行具有與既知之特性相同特性的液體試料之同定。

於此，雖係對於將根據「針對1個的液體試料而在複數之時間點處所計測到的複數之頻譜」所求取出之複數之雷達圖相重疊並作可視化之例作了展示，但是，係並不被限定於此。例如，係亦可構成為「針對複數之中心頻率λ _0i之各者，而分別算出「根據在某一時間點處之液體試料之頻譜所算出的常態分布函數之振幅a _0i或寬幅a _1i」與「根據在其他之時間點處之液體試料之頻譜所算出的常態分布函數之振幅a _0i或寬幅a _1i」之間之比例R _it，並產生對於中心頻率λ _0i與比例R _it之間之關係作了展示的圖表」。

另外，所產生的圖表之形態，係並不被限定於雷達圖。例如，係亦可構成為產生折線圖、棒狀圖、分布圖等。又，係亦可構成為將各中心頻率之每一者的振幅、寬幅或面積的大小藉由圓餅圖來產生。又，係亦可構成為產生「將縱軸設為振幅，將橫軸設為寬幅，並將中心頻率藉由圓的大小來作了表現的泡泡圖」。例如，係亦可構成為在圖表之要素中並不導入中心頻率，並產生對於振幅與寬幅之關係作了展示的圖表(雷達圖、折線圖、棒狀圖、分布圖等)。

進而，係亦可構成為產生如同圖10中所示一般之分支圖(Branch graph)。圖10，係為將複數之中心頻率λ _0i作為複數之軸(branch)，並將常態分布函數之振幅a _0i、寬幅a _1i、面積A _i之中之其中一者以各軸之長度來作表現，並且藉由在軸之前端處所描繪的圓形之大小來對於常態分布函數之振幅a _0i、寬幅a _1i、面積A _i之中之另外一者作了表現者。

以上，係為使用在水蒸氣頻譜之產生中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少2個來產生圖表的數個例子。

又，特性解析部14，係可構成為產生對於將在液體頻譜之產生中所使用了的多項式函數之各係數b _j之中之至少2個的關係作了展示之圖表。使用多項式函數之各係數b _i之中之至少2個所產生的圖表，亦係可設為雷達圖、折線圖、棒狀圖、分布圖、圓餅圖、分支圖等。

又，特性解析部14，係亦可構成為將包含有對於被使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在液體擬合處理部13之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值作為參數，來產生圖表。例如，特性解析部14，係亦可構成為產生對於「在水蒸氣擬合處理部12之擬合中所使用了的複數之常態分布函數之中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少1個」和「在液體擬合處理部13之擬合中所使用了的多項式函數之各係數b _j之中之至少1個」之間之關係作了展示的圖表。

於此，係亦可構成為產生對於「中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少1個」和「多項式函數之各係數b _j之中之至少1個」之間之關係直接性地作了展示的圖表。

或者是，係亦可構成為在藉由「將多項式函數之各係數b _j置換為中心頻率λ _0j、振幅a _0j以及寬幅a _1j」一事而使參數之種類相互一致之後，產生對於「根據水蒸氣頻譜所求取出的中心頻率λ _0i、振幅a _0i以及寬幅a _1i之中之至少1個」與「根據液體頻譜所求取出的中心頻率λ _0j、振幅a _0j以及寬幅a _1j之中之至少1個」之間之關係作了展示的圖表。於此情況，液體擬合處理部13，係作為複數之擬合用函數，而使用式(2)中所示之多項式函數來進行第1擬合，並針對藉由該第1擬合所取得的頻譜(參照圖6)，來使用複數之常態分布函數之合成波形而進行第2擬合。

圖11，係對於「使根據水蒸氣頻譜所求取出的參數與根據液體頻譜所求取出的參數相互一致並包含有水蒸氣頻譜之要素與液體頻譜之要素之雙方地所產生的分支圖」之例作展示。圖11中所示之分支圖，係身為將5個的軸(分支)之中之1個作為水蒸氣頻譜之要素並將剩餘之4個作為液體頻譜之要素所產生者。亦即是，係將根據水蒸氣頻譜所求取出之1個的中心頻率λ _0i作為1個的軸，並將常態分布函數之振幅a _0i、寬幅a _1i、面積A _i之中之其中一者以該軸之長度來作表現，並且藉由在該軸之前端處所描繪的圓形之大小來對於常態分布函數之振幅a _0i、寬幅a _1i、面積A _i之中之另外一者作表現。又，係將根據液體頻譜所求取出之4個的中心頻率作為4個的軸，並將常態分布函數之振幅a _0j、寬幅a _1j、面積A _j之中之其中一者以該4個的軸之長度來作表現，並且藉由在該4個的軸之前端處所描繪的圓形之大小來對於常態分布函數之振幅a _0j、寬幅a _1j、面積A _j之中之另外一者作表現。

另外，於此，為了關連於液體頻譜而得到複數之常態分布函數之中心頻率λ _0j、振幅a _0j以及寬幅a _1j之值，雖係針對在使用式(2)中所示之多項式函數而進行了第1擬合之後，針對藉由此所取得的頻譜來使用複數之常態分布函數之合成波形而進行第2擬合之例，而作了說明，但是，本發明係並不被限定於此。亦即是，係亦可構成為針對藉由頻譜取得部11所取得的頻譜中之除了水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外的頻譜，而直接進行使用有複數之常態分布函數之合成波形的擬合。

如同以上所詳細作了說明一般，在本實施形態中，係構成為針對藉由分光裝置20所取得的電磁波訊號之頻譜中之水蒸氣吸收頻率之頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合，並使用對於被使用在該擬合中的擬合用函數之性質作制定之值，來對於液體試料之特性進行解析。

水蒸氣吸收頻率之頻譜，係身為反映有「在液體試料之周圍所產生之水蒸氣所具有的特性」者。此水蒸氣，由於係身為包含有液體試料之性質者，因此，藉由對於水蒸氣吸收頻率之頻譜進行處理，係能夠對於液體試料之特性進行解析。並且，水蒸氣之頻譜，由於峰值係為明確且為銳利，因此係易於讀取。而，若依據如同上述一般地所構成之本實施形態，則起因於從液體試料所產生的水蒸氣而導致之頻譜，係在繼承有該液體試料之特性的形態下，藉由1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形而被作近似，基於關連於被使用在該近似中的擬合用函數之值，液體試料之特性係被解析出來。藉由此，若依據本實施形態，則藉由針對藉由分光裝置20所檢測出的電磁波訊號而進行對於電磁波會被水蒸氣所吸收一事積極地作了利用的解析，係能夠對於液體試料而容易地檢測出固有之特徵。

又，在本實施形態中，係構成為針對藉由分光裝置20所取得的電磁波訊號之頻譜中之除了水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外的頻譜，而使其與複數之擬合用函數之合成波形相擬合，並使用對於被使用在該擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值，來對於液體試料之特性進行解析。於此，係構成為以會使「全體擬合頻譜=水蒸氣頻譜＋液體頻譜」之關係成立的方式，來對於全體之頻譜進行擬合。

藉由此，來對於「藉由使電磁波透過液體試料之周圍之水蒸氣之中一事而被反映於水蒸氣吸收頻率之頻譜中的液體試料之特性」和「藉由使電磁波對於液體試料作透過或反射一事而被反映於水蒸氣吸收頻率以外的頻率之頻譜中的液體試料之特性」之全體進行解析，而能夠對於液體試料而容易地檢測出固有之特徵。

並且，在本實施形態中，在對於液體頻譜進行擬合時，係並不會將水蒸氣吸收頻率之吸光度資料刪除，而僅單純為將水蒸氣吸收頻率之峰值成分分離並進行擬合。因此，係能夠在不會發生「在水蒸氣吸收頻率處之分光資料之缺損」的狀態下而求取出液體頻譜。藉由此，係能夠針對藉由使電磁波對於液體試料作通過或者是反射一事而在電磁波中所反映的液體試料之特性，相較於在專利文獻1中所記載之方法而更高精確度地來進行解析。

另外，在上述實施形態中，雖係針對「使水蒸氣擬合處理部12如同(式1)一般地來使用複數之常態分布函數而進行擬合，並使特性解析部14使用該複數之常態分布函數之中心頻率、振幅以及寬幅來對於液體試料之特性進行解析」的例子而作了說明，但是本發明係並不被限定於此。例如，係亦可構成為「使水蒸氣擬合處理部12如同(式2)一般地來使用多項式函數而進行擬合，並使特性解析部14使用多項式函數之各係數來對於液體試料之特性進行解析」。

又，在上述實施形態中，雖係針對「使液體擬合處理部13如同(式2)一般地來使用多項式函數而進行擬合，並使特性解析部14使用多項式函數之各係數之中之至少2個來對於液體試料之特性進行解析」的例子而作了說明，但是本發明係並不被限定於此。例如，係亦可構成為「使液體擬合處理部13使用複數之常態分布函數之合成波形而進行擬合，並使特性解析部14使用該複數之常態分布函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之至少2個來對於液體試料之特性進行解析」。又，在能夠藉由1個的常態分布函數之波形而將液體頻率之頻譜作某種程度之近似的情況時，係亦可構成為「使用該1個的常態分布函數之波形而進行擬合，並使特性解析部14使用該1個的常態分布函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之任一者來對於液體試料之特性進行解析」。

又，在上述實施形態中，雖係針對「使用包含有對於被使用在水蒸氣擬合處理部12之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在液體擬合處理部13之擬合中的複數之擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值，來對於液體試料之特性進行解析」的數個例子而作了說明，但是，本發明係並不被限定於上述之例。

又，在上述實施形態中，雖係針對「電磁波訊號解析裝置10為具備有水蒸氣擬合處理部12以及液體擬合處理部13之雙方」的構成而作了說明，但是本發明係並不被限定於此。例如，係亦可構成為使電磁波訊號解析裝置10僅具備有水蒸氣擬合處理部12。於此情況，頻譜取得部11，係可替代「取得頻率全體之頻譜」而構成為「取得水蒸氣吸收頻率之頻譜」。

又，在上述實施形態中，作為在擬合中所使用之函數之其中一例，雖係使用有常態分布函數(高斯函數)，但是，就算是使用羅倫茲函數、福格特函數等，亦能夠實現。又，係亦可使用並非為中心對稱而是身為非對稱之形狀的卜瓦松分布(Poisson distribution)之函數(機率質量函數、累積分布函數)或卡方分布(Chi-square distribution)之函數(機率密度函數、累積分布函數)等的機率分布函數，亦可使用波形形狀會成為山型的其他之函數。在使用有機率分布函數的情況時，係以對於機率分布之性質作表現之值(例如，振幅之中央值或最頻值、能夠得到該振幅值之頻率、振幅會成為特定值以上或特定值以下之頻率寬幅等)作為參數，來進行擬合。在使用有山型之函數的情況時，係將成為頂點之最大振幅、能夠得到該最大振幅值之頻率、振幅會成為特定值以上或特定值以下之頻率寬幅等)作為參數，來進行擬合。

又，在上述實施形態中，雖係針對「作為電磁波訊號之特性值，係使用吸光度，並求取出針對相對於頻率之吸光度而作了表現的頻譜」之例，來作了說明，但是，係亦可使用透射率等之其他之特性值。

另外，上述實施形態，係均僅為對於在實施本發明時的具體化之其中一例作展示者，而並不應該基於此些實施形態而對於本發明之技術性範圍作限定性的解釋。亦即是，本發明，在不脫離其之要旨或者是主要之特徵的前提下，係能夠以各種形態來實施之。

10:電磁波訊號解析裝置 11:頻譜取得部 12:水蒸氣擬合處理部 13:液體擬合處理部 14:特性解析部 20:分光裝置

[圖1]係為對於由本實施形態所致的電磁波訊號解析裝置之功能構成例作展示之區塊圖。 [圖2]係為對於在本實施形態中所使用的液膜產生裝置之構成例作展示之圖。 [圖3]係為對於在藉由噴嘴所產生的液體試料之周圍處而發生有水蒸氣的模樣作展示之圖。 [圖4]係為對於藉由本實施形態之頻譜取得部所求取出的頻譜之其中一例作展示之圖。 [圖5]係為對於藉由本實施形態之水蒸氣擬合處理部所產生的水蒸氣頻譜之其中一例作展示之圖。 [圖6]係為對於藉由本實施形態之液體擬合處理部所產生的液體頻譜之其中一例作展示之圖。 [圖7]係為對於藉由本實施形態而被作了擬合的全體之頻譜之其中一例作展示之圖。 [圖8]係為對於藉由本實施形態之特性解析部所產生的圖表之其中一例作展示之圖。 [圖9]係為對於藉由本實施形態之特性解析部所產生的圖表之其中一例作展示之圖。 [圖10]係為對於藉由本實施形態之特性解析部所產生的圖表之其中一例作展示之圖。 [圖11]係為對於藉由本實施形態之特性解析部所產生的圖表之其中一例作展示之圖。

10:電磁波訊號解析裝置

11:頻譜取得部

12:水蒸氣擬合處理部

13:液體擬合處理部

14:特性解析部

20:分光裝置

Claims (12)

1. 一種電磁波訊號解析裝置，係對於藉由分光裝置所取得的電磁波訊號進行解析，該分光裝置，係檢測出對於藉由從噴嘴來噴出液體一事所在空間中產生之膜狀的液體試料而作了透過或反射的電磁波，該電磁波訊號解析裝置，其特徵為，係具備有： 頻譜取得部，係取得根據上述電磁波訊號所產生的表現有相對於頻率之特性值的頻譜；和 水蒸氣擬合處理部，係針對藉由上述頻譜取得部所取得的上述頻譜中之水蒸氣吸收頻率之頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合，該水蒸氣吸收頻率，係身為由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率；和 特性解析部，係使用對於被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之至少2個的值，來對於上述液體試料之特性進行解析。
2. 如請求項1所記載之電磁波訊號解析裝置，其中，係更進而具備有： 液體擬合處理部，係針對藉由上述頻譜取得部所取得的上述頻譜中之除了上述水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外的頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合， 上述特性解析部，係使用包含有對於被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在上述液體擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值，來對於上述液體試料之特性進行解析。
3. 如請求項1或2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述水蒸氣擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用1或複數之常態分布函數、羅倫茲函數(Lorentz function)、福格特函數(Voigt function)、機率分布函數或波形形狀會成為山型的其他之函數，來進行上述擬合， 上述特性解析部，係使用被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之至少一者，來對於上述液體試料之特性進行解析。
4. 如請求項1或2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述水蒸氣擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用包含複數之項的多項式函數，來進行上述擬合， 上述特性解析部，係使用被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述多項式函數中之上述複數之項之各係數之中之至少一者，來對於上述液體試料之特性進行解析。
5. 如請求項2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述液體擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用包含複數之項的多項式函數，來進行上述擬合， 上述特性解析部，係使用被使用在上述液體擬合處理部之擬合中的上述多項式函數中之上述複數之項之各係數之中之至少一者，來對於上述液體試料之特性進行解析。
6. 如請求項2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述液體擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用1或複數之常態分布函數、羅倫茲函數(Lorentz function)、福格特函數(Voigt function)、機率分布函數或波形形狀會成為山型的其他之函數，來進行上述擬合， 上述特性解析部，係使用被使用在上述液體擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之至少一者，來對於上述液體試料之特性進行解析。
7. 如請求項2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述水蒸氣擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用1或複數之常態分布函數、羅倫茲函數(Lorentz function)、福格特函數(Voigt function)、機率分布函數或波形形狀會成為山型的其他之函數，來進行上述擬合， 上述液體擬合處理部，係作為上述擬合用函數，而使用包含複數之項之多項式函數來進行第1擬合，並針對藉由該第1擬合所取得的頻譜，來作為上述擬合用函數，而使用1或複數之常態分布函數、羅倫茲函數(Lorentz function)、福格特函數(Voigt function)、機率分布函數或波形形狀會成為山型的其他之函數，來進行第2擬合， 上述特性解析部，係使用被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之至少1者、和被使用在上述液體擬合處理部之上述第2擬合中的上述擬合用函數之中心頻率、振幅以及寬幅中之至少1者，來對於上述液體試料之特性進行解析。
8. 一種電磁波訊號解析裝置，係對於藉由分光裝置所取得的電磁波訊號進行解析，該分光裝置，係檢測出對於藉由從噴嘴來噴出液體一事所在空間中產生之膜狀的液體試料而作了透過或反射的電磁波，該電磁波訊號解析裝置，其特徵為，係具備有： 頻譜取得部，係取得根據上述電磁波訊號所產生的表現有相對於水蒸氣吸收頻率之特性值的頻譜，該水蒸氣吸收頻率，係身為由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率；和 水蒸氣擬合處理部，係針對藉由上述頻譜取得部所取得的上述頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合；和 特性解析部，係使用對於被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之至少2個的值，來對於上述液體試料之特性進行解析。
9. 如請求項1所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述特性解析部，係將對於被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之至少2個的值作為參數，而產生圖表。
10. 如請求項2所記載之電磁波訊號解析裝置，其中， 上述特性解析部，係將包含有對於被使用在上述水蒸氣擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在上述液體擬合處理部之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值作為參數，而產生圖表。
11. 一種電磁波訊號解析程式，係對於藉由分光裝置所取得的電磁波訊號進行解析，該分光裝置，係檢測出對於藉由從噴嘴來噴出液體一事所在空間中產生之膜狀的液體試料而作了透過或反射的電磁波，該電磁波訊號解析程式，其特徵為，係用以使電腦作為下述手段而起作用： 頻譜取得手段，係取得根據上述電磁波訊號所產生的表現有相對於頻率之特性值的頻譜；和 水蒸氣擬合處理手段，係針對藉由上述頻譜取得手段所取得的上述頻譜中之水蒸氣吸收頻率之頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合，該水蒸氣吸收頻率，係身為由水蒸氣所致的電磁波之吸收會變大之頻率；和 特性解析手段，係使用對於被使用在上述水蒸氣擬合處理手段之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之至少2個的值，來對於上述液體試料之特性進行解析。
12. 如請求項11所記載之電磁波訊號解析程式，其中，係使上述電腦更進而作為下述手段而起作用： 液體擬合處理手段，係針對藉由上述頻譜取得手段所取得的上述頻譜中之除了上述水蒸氣吸收頻率之峰值成分以外的頻譜，而使其與1個的擬合用函數之波形或者是複數之擬合用函數之合成波形相擬合， 上述特性解析手段，係使用包含有對於被使用在上述水蒸氣擬合處理手段之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值和對於被使用在上述液體擬合處理手段之擬合中的上述擬合用函數之性質作制定之值之至少2個的值，來對於上述液體試料之特性進行解析。

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