TW202138707A - 管接頭 - Google Patents

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Abstract

本發明提供:偵測感測度受到改善,洩漏偵測機構對洩漏埠的施工作業容易,且洩漏偵測感測度也受到改善的管接頭。 本發明,為以下所述的管接頭(1),具備:第1套管(10A)及第2套管(10B),具有彼此連通的流體通路;環狀的墊片(20),夾介於第1套管(10A)與第2套管(10B)的對接端面之間;公螺紋構件(30),具有可供第1套管(10A)***的貫穿孔;母螺紋構件(40),具有可供第2套管(10B)***的貫穿孔;藉由公螺紋構件(30)與母螺紋構件(40)的鎖合而將第1套管(10A)及第2套管(10B)結合,並具有:洩漏埠(38),在公螺紋構件(30)之外周表面未被母螺紋構件(40)覆蓋的部分形成開口,並且與「公螺紋構件(30)與第1套管(10A)之間的間隙(G6)」連接,且用來偵測來自「第1套管(10A)、第2套管(10B)與墊片(20)之間洩漏流體」。

Description

管接頭
本發明關於管接頭,特別是關於具有洩漏埠(Leak port)的管接頭。
作為用來連接「半導體製造裝置等要求高潔淨度與耐藥品性、密封性」的各種閥和配管的管接頭,譬如已知有專利文獻1和專利文獻2所揭示的接頭。該管接頭,在其中一端部具有凸緣部與密封部的管材,亦即第1及第2套管的前述其中一端部(接頭側端部)彼此,隔著環狀的墊片對接,並使「已卡合於第1套管之凸緣部的母螺紋構件(蓋型螺帽)」與「已卡合於第2套管的公螺紋構件(聯結器)」彼此鎖合,而將2個套管結合,而形成密封。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2013-68269號公報 [專利文獻2] 日本特開2016-205408號公報 [專利文獻3] 日本實開平5-86086號公報
[發明欲解決之問題]
在上述的管接頭中,為了偵測來自墊片之密封部的洩漏流體,譬如在蓋型螺帽設有洩漏埠。然而,在該方法中,當連結接頭時,由於將聯結器固定於套管,並使蓋型螺帽轉動,因此洩漏埠的位置並不一定,將洩漏偵測機構連接於「接頭於連結後的洩漏埠」的施工作業並不容易。 此外,上述的管接頭,由於是採用蓋型螺帽及聯結器將套管彼此結合的構造,洩漏流體的洩漏路徑,除了洩漏埠之外,包含螺紋部也存在許多,在洩漏流體到達洩漏埠之前,有時從洩漏流體洩漏埠以外的其它洩漏路徑洩漏至外部,洩漏偵測容易變得遲緩,偵測感知度容易下降。 舉例來說,如同專利文獻3所揭示的技術,考慮以O型環密封洩漏埠以外的洩漏路徑,而將洩漏流體匯集於洩漏埠的方法。然而,倘若分別在上述管接頭所具有複數個洩漏路徑設置O型環,O型環的數量也將增加,有必要在複數個零件密集的領域設置複數個O型環,工時也將增加。
本發明的中一個目的,是提供:洩漏機構對洩漏埠的施工作業容易,洩漏偵測感知度也受到改善的管接頭。 [解決問題之手段]
本發明的管接頭,是以下所述的管接頭,具備:第1及第2套管,具有彼此連通的流體流路;環狀的墊片,夾介於前述第1及第2套管的對接端面之間;公螺紋構件,具有可供前述第1套管***的貫穿孔;母螺紋構件,具有可供前述第2套管***的貫穿孔,藉由前述公螺紋構件與前述母螺紋構件的鎖合,而將前述第1及第2套管結合, 具有洩漏埠,該洩漏部在前述公螺紋構件之外周表面未被前述母螺紋構件覆蓋的部分形成開口,並且與「前述公螺紋構件與前述第1套管之間的間隙」連接,且用來偵測來自前述第1及第2套管與前述墊片間之洩漏流體。 當前述公螺紋構件與前述母螺紋構件連結時,將前述公螺紋構件固定於前述第1及第2套管,並使前述母螺紋構件相對於前述第1及第2套管轉動。此時,最好是前述第2密封構件在前述第1套管與前述公螺紋構件之間變形,達成用來限制「前述公螺紋構件對前述第1套管的轉動」之暫時定位(provisional tacking)的作用。
最好前述公螺紋構件,其形成圓筒狀的前端部延伸至前述第2套管為止,並覆蓋前述第1套管與前述第2套管間之對接部的外周面,並且採用以下的構造,具有: 環狀的第1密封構件,用來阻止前述洩漏流體通過前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管之間的間隙,而朝形成於前述公螺紋構件與前述母螺紋構件間之鎖合部的間隙、及前述第2套管與前述母螺紋構件間的間隙洩漏; 環狀的第2密封構件,配置在比前述公螺紋構件之前述洩漏埠的配置位置更後端部(與第2套管反方向)側,並且用來密封前述第1套管與前述公螺紋構件之間的間隙。
更好的是可採用以下的構造:前述第1密封構件,由前述母螺紋構件所保持,並伴隨著前述母螺紋構件之鎖緊的進行,在前述公螺紋構件的前端面與該母螺紋構件之間受到壓縮而變形,進而緊密附著於前述第2套管的對接部外周面。 更好的是可以採用以下的構造:前述第1密封構件,藉由變形,阻止洩漏流體通過前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管之間的間隙,而朝通往前述鎖合部之前述公螺紋構件的前端部與前述母螺紋構件之間的間隙、及前述第2套管與前述母螺紋構件間的間隙洩漏。
可採用以下的構造來加以取代:將前述第1密封構件,設在前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管的對接部之間。
最好可以採用以下的構造:前述第1及第2套管在對接部具有凸緣部, 前述公螺紋構件,具有:小徑孔部,可供前述第1套管***;大徑孔部,具有比該小徑孔部的內徑更大的大徑,可承接前述第1套管的凸緣部;圓環狀的卡合面,由前述小徑孔部與前述大徑孔部之間的段差所形成,與前述第1套管的凸緣部之圓環狀的壁面抵接, 在前述卡合面或者壁面的局部,形成有用來使「前述第1套管與前述小徑孔部之間的間隙」與「前述凸緣部與前述大徑孔部之間的間隙」連通的溝部。 此外,本發明的管接頭,是以下所述的管接頭,具備:第1及第2套管,具有彼此連通的流體流路;環狀的墊片,夾介於前述第1及第2套管的對接端面之間;公螺紋構件,具有可供前述第1套管***的貫穿孔;母螺紋構件,具有可供前述第2套管***的貫穿孔,藉由前述公螺紋構件與前述母螺紋構件的鎖合,而將前述第1及第2套管結合, 其中在前述公螺紋構件之外周表面未被前述母螺紋構件覆蓋的部分,具有經由該公螺紋構件的貫穿孔而與「與墊片外周接觸的空間」連通的洩漏埠。 [發明的效果]
根據本發明,可獲得:偵測感知度受到改善,洩漏機構對洩漏埠的施工作業容易,洩漏偵測感知度也受到改善的管接頭。
以下,針對本發明的實施形態,參考圖面進行說明。 圖1,為顯示本實施形態之管接頭的縱剖面圖。 管接頭1具有:2個套管10(10A、10B),由其中一端部對接而具有彼此連通之流體通路的管材所形成;環狀的墊片20,夾介於套管10A、10B的對接端面之間;略呈圓筒狀的公螺紋構件30,嵌合於套管10A的外周;略呈圓筒狀的母螺紋構件40,嵌合於套管10B的外周;環狀的密封構件50,由母螺紋構件40所保持;環狀的密封構件60,由公螺紋構件30所保持。
套管10,其內部成為流體通路,在對接端部設有凸緣部11,並在對接端面形成有:朝套管10的軸方向突出成圓環狀,並抵接於墊片20而形成密封的密封部10t。套管10,譬如是由SUS316L的不鏽鋼等的金屬所形成。 在分別形成於套管10A、10B之對接部的凹部12,收容著墊片20及用來保持墊片20的保持器80,保持器80安裝於套管10A側的凹部12。
墊片20,為鎳合金等的金屬製,藉由在套管10A、10B的密封部10t之間受到按壓產生塑性變形,而將套管10A及套管10B與墊片20之間密封。
公螺紋構件30,如同圖3A及圖3B所示,是形成圓筒狀之金屬製的構件,在內部形成有:可供套管10A***的小徑孔部31;以大於小徑孔部31之內徑的大徑,承接套管10A之凸緣部11的大徑孔部32。由小徑孔部31與大徑孔部32之間的段差所形成之圓環狀的卡合面35,與套管10A的凸緣部11後端側之圓環狀的壁面11a形成抵接。在卡合面35,於周方向的局部形成有圓弧狀的溝35a。該溝35a,如同稍後所述,是為了確保洩漏流體的流路所設。 在公螺紋構件30的外周面形成有公螺紋37,在該公螺紋37的前端側(圖3中的右側)形成有:形成圓筒狀的前端部34。前端部34,如圖1所示,延伸至套管10B(之凸緣部11的外周面),覆蓋套管10A與套管10B之間的對接部的外周面。前端部34之圓環狀的前端面30a,如稍後所述,按壓「套管10B所保持的密封構件50」。 在公螺紋構件30之外周面的後端面30b側,形成有可供工具卡合之六角形的工具卡合部36。在工具卡合部36形成有:在外周表面形成開口,並連通於小徑孔部31的洩漏埠38。洩漏埠38,在圖1中為了安裝洩漏偵測機構(圖面中未顯示),在內側形成有螺紋。 在公螺紋構件30之小徑孔部31的後端面30b側,形成有可供密封構件60安裝的溝部33。 密封構件60亦可安裝在設於套管10A的溝部。
回到圖1,母螺紋構件40,是所謂的蓋型螺帽,形成圓筒狀,在後端部41的中心部形成有「可供套管10B的外周面***的貫穿孔42」,在後端部41與套管10B的凸緣部11之間,設有防止共轉構件70(最好是墊圈、軸承)。在母螺紋構件40的內周面,在與後端部41鄰接的位置形成有「用來安裝密封構件50的溝44」,除此之外,在後端部41的相反側,形成有與公螺紋構件30的公螺紋37鎖合的母螺紋43。
密封構件50由樹脂所形成,如圖2所示,在管接頭1連結之前,除了安裝於溝的部分,其餘的部分沒有變形。當公螺紋構件30與母螺紋構件40連結時,將公螺紋構件30固定於套管10A、10B,並使母螺紋構件40相對於套管10A、10B轉動。套管10A、10B之對接部的相反側端部,藉由焊接等連接於圖面中未顯示的管。 密封構件50,伴隨著母螺紋構件40之鎖緊的進行,在公螺紋構件30的前端面30a與母螺紋構件40的後端部41的壁面之間受到壓縮而變形,如圖1所示,彎曲成R形狀的內周面,緊密附著於套管10B之凸緣部11的外周面。
密封構件60由樹脂所形成,在已彈性變形的狀態下,嵌合於套管10A的外周面。密封構件60變形而緊密附著於套管10A的外周面,藉此密封構件60達成「用來限制公螺紋構件30對套管10A的轉動」之暫時定位的作用。藉由該密封構件60,當母螺紋構件40鎖緊時,可以阻止公螺紋構件30相對於套管10A的轉動。
在管接頭1中,形成有洩漏流體可以侵入的複數個間隙G1~G6。 間隙G1形成於:公螺紋構件30之大徑孔部32的內周面、與套管10B之凸緣部11的外周面之間。 間隙G2形成於:公螺紋構件30之前端部34的外周面、與母螺紋構件40的內周面之間。 間隙G3與間隙G2連通,並且形成:公螺紋構件30的公螺紋37與母螺紋構件40的母螺紋43之間的鎖合部。 間隙G4形成於:套管10B的外周面、與母螺紋構件40的貫穿孔42的內周面之間。 間隙G5形成於:套管10A之凸緣部11的外周面、與公螺紋構件30之大徑孔部32的內周面之間。 間隙G6形成於:套管10A的外周面、與公螺紋構件30之小徑孔部31的內周面之間。
在密封構件50不存在的場合中,間隙G1~G4形成連通。密封構件50藉由變形,將間隙G1及間隙G2密封,而阻止洩漏流體通過間隙G1朝間隙G2、G3及間隙G4洩漏。
間隙G5與間隙G6,通過公螺紋構件30之卡合面35的溝35a而連通。 公螺紋構件30的卡合面35,一旦管接頭1連結,由於與壁面11a緊密地接觸,而存在間隙G5與間隙G6之間的連通被遮斷的可能性,藉由公螺紋構件30之卡合面35的溝35a的存在,能確保間隙G5與間隙G6之間的連通。
已洩漏至墊片20外周的洩漏流體,由於間隙G1被密封構件50所密封,故僅流出至間隙G5,並且通過溝35a及間隙G6而匯集於洩漏埠38。只要將洩漏偵測機構設於洩漏埠38,便能以高感測度來偵測洩漏。
根據本實施形態,由於將洩漏埠38設在不會轉動的公螺紋構件30,因此洩漏偵測機構對洩漏埠38的施工作業變得容易。除此之外,由於除了洩漏埠38之外,並不存在流體可洩漏的路徑,因此也能改善洩漏偵測的感測度。
圖4中,顯示本發明之管接頭的變形例。圖4的構成要件中,對於與上述實施形態相同的構成要件,使用相同的符號。 管接頭1B,將密封構件50B設在「套管10B之凸緣部11的外周面」與「公螺紋構件30之前端部34的內周面」之間,以取代上述的密封構件50,而將間隙G1密封。根據這樣的構造可阻止:洩漏流體通過間隙G1,而朝間隙G2、G3及間隙G4流出。
圖5中,顯示本發明之管接頭的其它變形例。圖5的構成要件中,對於與上述實施形態相同的構成要件,使用相同的符號。 管接頭1C,在比工具卡合部36更前方未被母螺紋構件40所覆蓋的位置,形成有洩漏埠38b,以取代「被設在公螺紋構件30之工具卡合部36的洩漏埠38」。
圖6中,顯示本發明之管接頭的另一種變形例。圖6的構成要件中,對於與圖1所示之管接頭1相同的構成要件,使用相同的符號。 管接頭1D與圖1所示之管接頭1的差異點在於:管接頭1D,將密封構件60設在「形成於套管10A的溝10r」。 根據這樣的構造,可在不將密封構件60安裝於溝10r,而已將套管10A***公螺紋構件30的狀態下,利用焊接將「套管10A之圖面中未顯示的端部」與「圖面中未顯示的管」連接,在此之後,再將密封構件60安裝於溝10r。其結果,可避免密封構件60受到焊接所引起之熱的影響。
本發明並不侷限於上述的實施形態,在不脫離本發明的精神及範圍的範圍內,能有各式各樣的變更。
1,1B,1C,1D:管接頭 10,10A,10B:套管(sleeve) 10t:密封部 10r:溝 11:凸緣部 11a:壁面 12:凹部 20:墊片 30:公螺紋構件 30a:前端面 30b:後端面 31:小孔徑部(貫穿孔) 32:大孔徑部 33:溝部 34:前端部 35:卡合面 35a:溝 36:工具卡合部 37:公螺紋 38,38b:洩漏埠 40:母螺紋構件 41:後端部 42:貫穿孔 43:母螺紋 44:溝 50,50B,60:密封構件 70:防止共轉構件 80:保持器 G1~G6:間隙
[圖1]:為本發明其中一個實施形態之管接頭的縱剖面圖。 [圖2]:為顯示圖1的管接頭之連結前狀態的縱剖面圖。 [圖3A]:公螺紋構件的縱剖面圖。 [圖3B]:公螺紋構件的右側視圖。 [圖4]:為顯示本發明實施形態的管接頭之變形例的縱剖面圖。 [圖5]:為顯示本發明實施形態的管接頭之其它變形例的縱剖面圖。 [圖6]:為顯示本發明實施形態的管接頭之另一種變形例的縱剖面圖。
1:管接頭
10,10A,10B:套管
10t:密封部
11:凸緣部
11a:壁面
12:凹部
20:墊片
30:公螺紋構件
34:前端部
35a:溝
36:工具卡合部
37:公螺紋
38:洩漏埠
40:母螺紋構件
41:後端部
42:貫穿孔
43:母螺紋
44:溝
50,60:密封構件
70:防止共轉構件
80:保持器
G1~G6:間隙

Claims (9)

  1. 一種管接頭,是以下所述的管接頭,具備:第1及第2套管,具有彼此連通的流體通路;環狀的墊片,夾介於前述第1及第2套管的對接端面之間;公螺紋構件,具有可供前述第1套管***的貫穿孔;母螺紋構件,具有可供前述第2套管***的貫穿孔;可藉由前述公螺紋構件與前述母螺紋構件的鎖合,而結合前述第1及第2套管, 其特徵為: 具有洩漏埠,該洩漏部在前述公螺紋構件之外周表面未被前述母螺紋構件覆蓋的部分形成開口,並且,和前述公螺紋構件與前述第1套管之間的間隙形成連接,且用來偵測來自前述第1及第2套管與前述墊片之間的洩漏流體。
  2. 如請求項1所記載的管接頭,其中當前述公螺紋構件與前述母螺紋構件連結時,將前述公螺紋構件固定於前述第1及第2套管,並使前述母螺紋構件相對於前述第1及第2套管轉動。
  3. 如請求項1或請求項2所記載的管接頭,其中前述公螺紋構件,其形成圓筒狀的前端部延伸至前述第2套管為止,並覆蓋前述第1套管與前述第2套管間之對接部的外周面, 並具有:環狀的第1密封構件,用來阻止前述洩漏流體通過前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管之間的間隙,而朝形成於前述公螺紋構件與前述母螺紋構件間之鎖合部的間隙、及前述第2套管與前述母螺紋構件間的間隙洩漏; 環狀的第2密封構件,配置在比前述公螺紋構件之前述洩漏埠的配置位置更後端部側,並且用來密封前述第1套管與前述公螺紋構件之間的間隙。
  4. 如請求項3所記載的管接頭,其中前述第2密封構件,在前述第1套管與前述公螺紋構件之間形成變形,而達成限制前述公螺紋構件相對於前述第1套管的轉動之暫時定位的效果。
  5. 如請求項3或請求項4所記載的管接頭,其中前述第1密封構件,由前述母螺紋構件所保持,並伴隨著前述母螺紋構件之鎖緊的進行,在前述公螺紋構件的前端面與該母螺紋構件之間受到壓縮而變形,進而緊密附著於前述第2套管之對接部的外周面。
  6. 如請求項4或請求項5所記載的管接頭,其中前述第1密封構件,藉由變形,阻止洩漏流體通過前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管之間的間隙,而朝通往前述鎖合部之前述公螺紋構件的前端部與前述母螺紋構件之間的間隙、及前述第2套管與前述母螺紋構件間的間隙洩漏。
  7. 如請求項3所記載的管接頭,其中前述第1密封構件,設在前述公螺紋構件的前端部與前述第2套管的對接部之間。
  8. 如請求項1至請求項3之其中任一項所記載的管接頭,其中前述第1及第2套管在對接部具有凸緣部, 前述公螺紋構件,具有:小徑孔部,可供前述第1套管***;大徑孔部,具有比該小徑孔部的內徑更大的大徑,可承接前述第1套管的凸緣部;圓環狀的卡合面,由前述小徑孔部與前述大徑孔部之間的段差所形成,與前述第1套管的凸緣部之圓環狀的壁面抵接, 在前述卡合面或者壁面的局部,形成有用來使前述第1套管與前述小徑孔部之間的間隙、與前述凸緣部與前述大徑孔部之間的間隙連通的溝部。
  9. 一種管接頭,是以下所述的管接頭,具備:第1及第2套管,具有彼此連通的流體通路;環狀的墊片,夾介於前述第1及第2套管的對接端面之間;公螺紋構件,具有可供前述第1套管***的貫穿孔;母螺紋構件,具有可供前述第2套管***的貫穿孔;可藉由前述公螺紋構件與前述母螺紋構件的鎖合,而結合前述第1及第2套管, 其特徵為: 在前述公螺紋構件之外周表面未被前述母螺紋構件覆蓋的部分具有洩漏埠,該洩漏埠經由該公螺紋構件的貫穿孔而連通於與墊片外周接觸的空間。
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