TW201817561A - 機器人系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種可提高產能之機器人系統。本發明之機器人系統之特徵在於具備：供給部，其供給對象物；第1檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第1檢查部；第2檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第2檢查部；回收部，其回收檢查後之上述對象物；及機器人，其具有機械臂，進行上述對象物之保持、搬送及釋放；且上述機器人可一次性搬送複數個上述對象物，於自上述對象物之供給至回收為止之期間，上述機器人搬送上述對象物之搬送時間之合計短於上述機器人保持及釋放上述對象物之處理時間之合計。

Description

機器人系統

本發明係關於一種機器人系統。

自先前，已知有例如檢查電子零件之電氣特性之測試處理器。作為此種測試處理器，例如於專利文獻1中，揭示有具有如下構件之測試處理器模組：供給輸送機，其搬送基板；檢查室，其對自供給輸送機搬送之基板進行檢查；及排出輸送機，其搬送已完成檢查之基板。又，該測試處理器模組具備搬送機器人，該搬送機器人自供給輸送機接過基板，並將基板搬送至檢查室。又，搬送機器人進行自檢查室接過基板並將基板轉交至排出輸送機之作業。[先前技術文獻][專利文獻][專利文獻1]日本專利特開2013-219354號公報

[發明所欲解決之問題]但於專利文獻1所記載之測試處理器模組中，搬送機器人一次僅可搬送1個對象物，因此將複數個對象物自供給輸送機搬送至檢查室之時間較長。同樣地，將複數個對象物自檢查室搬送至排出輸送機之時間較長。因此，於該測試處理器模組中，有難以提高產能之問題。[解決問題之技術手段]本發明係為解決上述課題之至少一部分而完成者，可藉由以下之本發明實現。本發明之機器人系統之特徵在於具備：供給部，其供給對象物；第1檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第1檢查部；第2檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第2檢查部；回收部，其回收檢查後之上述對象物；及機器人，其具有機械臂，進行上述對象物之保持、搬送及釋放；且上述機器人可一次性搬送複數個上述對象物，於自上述對象物之供給至回收為止之期間，上述機器人搬送上述對象物耗費之搬送時間之合計短於上述機器人保持及釋放上述對象物耗費之處理時間之合計。 根據此種本發明之機器人系統，機器人可一次性搬送複數個對象物，因此可將複數個對象物一次集中搬送至第1檢查部群或第2檢查部群。又，具有複數個第1檢查部及第2檢查部，因此可於1個機器人系統中進行複數個對象物之檢查。進而，根據本發明之機器人系統，可使機器人之搬送時間之合計短於處理時間(保持、釋放之時間：給料卸料時間)之合計，因此既可減少例如對象物之保持錯誤等之發生，亦可將更多對象物以更短時間搬送至第1檢查部或第2檢查部。基於此種優點，能以更短時間檢查更多對象物。因此，可使產能(每單位時間可處理之對象物之檢查數)較先前有所提高。 此處，所謂搬送時間係指自於1個區域(例如，供給部、檢查部群或回收部中任一者)開始加速之狀態至於與上述1個區域不同之另一區域完成減速之狀態為止之動作。又，所謂處理時間係指於1個區域(例如，供給部、檢查部群或回收部)，自機器人開始執行保持(或釋放)第1個對象物之動作之狀態至機器人完成最後一個對象物之保持(或釋放)且機器人即將開始將對象物向其他單元搬送之狀態為止之動作。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人對上述對象物之保持及釋放之至少一者係於上述供給部、上述第1檢查部群、上述第2檢查部群及上述回收部各者中進行。藉由延長於此種部位之處理時間，既可減小例如對象物之破損之虞，亦可適切地保持及釋放對象物。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人對上述對象物之搬送係於上述供給部與上述第1檢查部群之間、上述第1檢查部群與上述回收部之間、上述供給部與上述第2檢查部群之間、及上述第2檢查部群與上述回收部之間之各者中進行。藉由縮短於此種區間之搬送時間，可進一步縮短搬送時間之合計，從而可進一步提高產能。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人對上述對象物之作業具有：第1階段，其包含於上述供給部、上述第1檢查部群及上述回收部中之上述對象物之保持及釋放之至少一者、以及於上述供給部與上述第1檢查部群之間及上述第1檢查部群與上述回收部之間之上述對象物之搬送；及第2階段，其包含於上述供給部、上述第2檢查部群及上述回收部中之上述對象物之保持及釋放之至少一者、以及於上述供給部與上述第2檢查部群之間及上述第2檢查部群與上述回收部之間之上述對象物之搬送；且於上述第1階段中，上述機器人對上述對象物之搬送時間之合計短於上述機器人對上述對象物之處理時間之合計，於上述第2階段中，上述機器人對上述對象物之搬送時間之合計短於上述機器人對上述對象物之處理時間之合計。藉此，於第1階段及第2階段兩者中，搬送時間之合計均短於處理時間之合計，因此可進一步提高產能。此處，所謂「階段」表示機器人之作業之單位。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人進行：第1作業，其係利用上述機械臂自上述供給部保持複數個上述對象物；第2作業，其係於上述第1作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述供給部搬送至上述第1檢查部群；第3作業，其係於上述第2作業之後在上述第1檢查部群利用上述機械臂進行釋放複數個上述對象物之作業及保持複數個上述對象物之作業；第4作業，其係於上述第3作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述第1檢查部群搬送至上述回收部；第5作業，其係於上述第4作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物於上述回收部釋放；第6作業，其係於上述第5作業之後利用上述機械臂自上述供給部保持複數個上述對象物；第7作業，其係於上述第6作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述供給部搬送至上述第2檢查部群；第8作業，其係於上述第7作業之後在上述第2檢查部群利用上述機械臂進行釋放複數個上述對象物之作業及保持複數個上述對象物之作業；第9作業，其係於上述第8作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述第2檢查部群搬送至上述回收部；及第10作業，其係於上述第9作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物於上述回收部釋放；且作為上述第2作業花費之上述搬送時間之第2時間與作為上述第4作業花費之上述搬送時間之第4時間之合計，短於作為上述第1作業花費之上述處理時間之第1時間、作為上述第3作業花費之上述處理時間之第3時間、及作為上述第5作業花費之上述處理時間之第5時間的合計，作為上述第7作業花費之上述搬送時間之第7時間與作為上述第9作業花費之上述搬送時間之第9時間之合計，短於作為上述第6作業花費之上述處理時間之第6時間、作為上述第8作業花費之上述處理時間之第8時間、及作為上述第10作業花費之上述處理時間之第10時間的合計。藉此，既可減少例如對象物之保持錯誤等之發生，亦可於第1檢查部及第2檢查部以更短時間檢查更多對象物。因此，可進一步提高產能。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人具有連接於上述機械臂之末端執行器，且上述末端執行器具有：旋動構件，其可繞旋動軸旋動；及複數個保持部，其等設置於上述旋動構件，保持上述對象物。藉此，可實現小型且能一次性搬送複數個對象物之末端執行器。此處，所謂「連接於機械臂之末端執行器」包括經由設置於機械臂之任意構件(例如力檢測部)而連接之末端執行器。於本發明之機器人系統中，較佳為複數個上述第1檢查部及複數個上述第2檢查部分別自重力方向觀察，係配置於以上述機器人為中心之圓弧上。藉此，可於機械臂之前端部之可動範圍效率良好地設置複數個第1檢查部及第2檢查部。於本發明之機器人系統中，較佳為上述第1檢查部與上述第2檢查部自重力方向觀察為重疊配置。藉此，可利用相對較小之設置面積設置更多第1檢查部及第2檢查部。因此，可實現機器人系統之設置面積之省空間化。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人及上述供給部自重力方向觀察，位於上述第1檢查部群及上述第2檢查部群之內側，且上述供給部之上部之高度為上述第1檢查部之上部之高度以下，且上述供給部之上部之高度為上述第2檢查部之上部之高度以下。藉此，可減小或防止於藉由機器人進行對象物之保持、搬送及釋放時，機器人與供給部、第1檢查部及第2檢查部產生干擾之虞。於本發明之機器人系統中，較佳為設置面積為256 m² 以下。如此，可設置於設置面積相對較小之位置。因此，可使機器人系統充分小型化。於本發明之機器人系統中，較佳為具備收容上述供給部、上述第1檢查部、上述第2檢查部、上述回收部及上述機器人之殼體，且上述第1檢查部及上述第2檢查部分別具有載置上述對象物之檢查台、及可使上述檢查台移動至上述殼體外部之移動機構。藉此，可使檢查台移動至殼體之外部(機器人系統之外部)，因此作業人員可容易地進行例如檢查台之維護。於本發明之機器人系統中，較佳為上述第1檢查部及上述第2檢查部分別具有：第1構件，其連接於上述檢查台，在上述檢查台位於上述殼體之內部之狀態下設置於上述殼體；第2構件，其在上述檢查台位於上述殼體之內部之狀態下位於上述檢查台之上部；及連結構件，其將上述第1構件與上述第2構件連結；且上述檢查台係藉由將上述第1構件拉出至上述殼體之外側而位於上述殼體之外部，上述第2構件在上述檢查台位於上述殼體之外部之狀態下作為將上述殼體之內部與外部間隔開之間隔部發揮功能。藉此，當檢查台位於殼體之內部時，第2構件作為覆蓋檢查台之上部之外罩部發揮功能。又，當檢查台位於殼體之外部時，第2構件作為間隔部發揮功能，因此可防止作業人員例如於殼體之外部維護檢查台等時誤將手放入至殼體內。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人對上述第1檢查部群所具有之複數個上述第1檢查部中之被選擇之上述第1檢查部進行上述對象物之保持及釋放，且對上述第2檢查部群所具有之複數個上述第2檢查部中之被選擇之上述第2檢查部進行上述對象物之保持及釋放。藉此，例如可跳過正在維護之第1檢查部或第2檢查部，而對剩餘第1檢查部或第2檢查部進行對象物之保持或釋放。因此，例如於維護中無需停止機器人之所有作業(保持、搬送及釋放)等，故而可減少機器人之待機時間。其結果，可減小產能降低。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機械臂具有已連結之至少2個臂，且上述機器人於自上述對象物之供給至回收為止之期間，在上述至少2個臂交叉之狀態下進行上述對象物之搬送。藉此，可降低對象物之搬送時之機械臂之振動，故而可進一步加快使對象物移動時之機器人之速度及加速度。因此，可進一步提高產能。又，可更迅速地開始搬送後之對象物之保持及釋放。於本發明之機器人系統中，較佳為上述機器人具備：連接於上述機械臂，且具有藉由吸附而保持上述對象物之複數個吸附部之構件；流路部，其連接於上述吸附部，且具備供氣體流動之流路；檢測部，其檢測上述流路部中之上述氣體之壓力或每單位時間之流量；及攝像部，其具有攝像功能；且基於來自上述攝像部之檢測結果、及來自上述檢測部之檢測結果，求出上述機器人保持及釋放上述對象物時之教示點。藉此，可高精度地求出教示點，藉由使用該教示點讓機器人進行對象物之保持及釋放，例如可減少或防止對象物之保持錯誤等。因此，可確切地進行機器人保持及釋放對象物之作業。

以下，基於隨附圖式所示之較佳實施形態詳細地對本發明之機器人系統進行說明。＜第1實施形態＞1、機器人系統之構成圖1係自正面側觀察本發明之第1實施形態之機器人系統之立體圖。圖2係自背面側觀察圖1所示之機器人系統之立體圖。圖3係圖1所示之機器人系統之左側視圖。圖4係表示圖1所示之機器人系統之內部之立體圖。圖5係表示圖1所示之機器人系統之內部之俯視圖。圖6係圖1所示之機器人系統之方塊圖。圖7係表示圖1所示之供給部所具有之載置構件之俯視圖。圖8係表示圖1所示之檢查單元之立體圖。圖9係圖1所示之檢查部之側視圖。圖10係圖8所示之檢查台之俯視圖。圖11係表示將圖8所示之檢查台拉出至殼體外部之狀態之圖。再者，於圖7中，省略了檢查部所具有之承座307之圖示。再者，以下，為便於說明，以箭頭圖示出相互正交之3條軸即X軸、Y軸及Z軸，並將該箭頭之前端側設定為「+(正)」，將基端側設定為「-(負)」。又，以下，將與X軸平行之方向稱為「X軸方向」，將與Y軸平行之方向稱為「Y軸方向」，將與Z軸平行之方向稱為「Z軸方向」。又，將+Z軸側稱為「上側」，將-Z軸側稱為「下側」，將+Y軸側稱為「背面側」，將-Y軸側稱為「正面側」，將+X軸側稱為「左側」，將-X軸側稱為「右側」。又，包含X軸與Y軸之XY平面為水平，Z軸為鉛垂。此處，本申請案說明書中所謂之「水平」並不限定於完全水平，亦包括相對於水平在±5°以內之範圍中傾斜之情形。又，本申請案說明書中所謂之「鉛垂」並不限定於完全鉛垂，亦包括相對於鉛垂在±5°以內之範圍中傾斜之情形。又，鉛垂方向與重力方向一致。圖1～圖6所示之機器人系統100例如係對各種電子機器中使用之電子零件或電子機器等對象物(檢查對象物)進行檢查之裝置。作為電子零件，例如可列舉二極體或電晶體等主動零件、電容器等被動零件、封裝體或基板等功能零件、及其等組合而成之零件(例如，GPS(Global Positioning System，全球定位系統)模組基板、SiP(System in Package，系統級封裝)組件)等。又，作為電子機器，例如可列舉個人電腦、行動電話(包括多功能型行動電話(智慧型手機))、鐘錶(例如，帶GPS功能之鐘錶等)、相機、遊戲機等。又，作為對象物之檢查，例如可列舉導通檢查(電氣檢查)、聲音檢查、圖像檢查、通信檢查、外觀檢查、及確認振動器、感測器等各部之驅動狀態之功能檢查等。機器人系統100具有殼體6、供給單元2、檢查單元3、回收單元4、具有機械臂10之機器人1、對準用攝像部9、機器人控制裝置71、周邊機器控制裝置72及檢查控制裝置73(參照圖1～圖5)。於該機器人系統100中，供給單元2、檢查單元3、回收單元4分別以機器人1之機械臂10之前端可接近供給單元2、檢查單元3、回收單元4之方式配置。以下，依序對機器人系統100之各部進行說明。＜殼體＞如圖1～圖4所示，殼體6具有框架61、及設置於框架61之外罩構件62。該殼體6係收容供給單元2、檢查單元3、回收單元4、機器人1、對準用攝像部9、機器人控制裝置71、周邊機器控制裝置72及檢查控制裝置73之箱，自外部保護其等。又，於殼體6之正面側設置有可開閉之門63。作業人員藉由將門63打開即可接近殼體6之內部。又，門63例如具有由透明之玻璃或樹脂等構成之構件。因此，門63亦作為可視認殼體6內部之窗構件發揮功能。藉此，作業人員即便不對門63加以開閉亦可視認殼體6內部。又，於殼體6之上部設置有報告部65(信號燈)，該報告部65藉由顯現顏色之組合而報告機器人系統100之內部狀態等。藉此，作業人員可掌握於機器人系統100之內部是否發生了異常等。又，於殼體6之正面側上部，安裝有包含使視窗等各種畫面顯示之液晶面板等之顯示裝置60。作業人員可經由顯示裝置60掌握例如對象物之檢查結果等。再者，雖未圖示，但實際上於殼體6亦可設置例如包含滑鼠或鍵盤等之輸入裝置。藉此，作業人員可操作輸入裝置對機器人控制裝置71、周邊機器控制裝置72及檢查控制裝置73進行各種處理等之指示。又，顯示裝置60亦可兼具該輸入裝置之功能。於該情形時，可使顯示裝置60包含例如觸控面板(顯示輸入裝置)等。＜供給單元＞如圖4及圖5所示，於殼體6之內部之-Y軸側(正面側)設置有供給單元2。供給單元2具有供給對象物之供給部20。再者，於本實施形態中，供給部20之數量為1個，但供給部20之數量亦可為2個以上。該供給部20以可配置如圖7所示之能載置對象物之載置構件25之方式構成。如圖7所示，載置構件25包含符合JEDEC規格之托盤，形成為俯視形狀呈四邊形之板狀，且具有複數個載置對象物之凹部256。於該載置構件25中，可相對於1個凹部256載置1個對象物。又，載置構件25之板面在載置於供給部20之狀態下，與XY平面大致平行。再者，「載置構件」亦可使用符合JEDEC規格之托盤以外者。又，載置構件25可自供給部20取出。例如，作業人員可打開門63將載置構件25自供給部20取出，或設置於供給部20。＜檢查單元＞如圖4及圖5所示，於殼體6之內部之+Y軸側(背面側)設置有檢查單元3。如圖8所示，檢查單元3具有複數個可載置對象物並檢查所載置之對象物之檢查部300。於各檢查部300中，在下述檢查控制裝置73之控制之下，進行如上所述之內容之檢查(例如，導通檢查等)。又，於本實施形態中，將複數個檢查部300根據下述機器人1之作業分成4個組。具體而言，檢查單元3具有：第1檢查部群31，其具有4個第1檢查部310(檢查部300)；第2檢查部群32，其具有4個第2檢查部320(檢查部300)；第3檢查部群33，其具有4個第3檢查部330(檢查部300)；及第4檢查部群34，其具有4個第4檢查部340(檢查部300)。再者，於本實施形態中，各檢查部300檢查相同之內容，但亦可分別檢查不同之內容。此處，第1檢查部310、第2檢查部320、第3檢查部330及第4檢查部340分別係相同之構成，以下亦稱為「檢查部300」。又，將第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34分別於以下亦稱為「檢查部群30」。如圖5及圖7所示，複數個檢查部300自Z軸方向(重力方向)觀察呈圓弧狀配置。又，4個第1檢查部310與4個第3檢查部330位於同一平面上。同樣地，4個第2檢查部320與4個第4檢查部340位於同一平面上。又，4個第1檢查部310位於4個第2檢查部320之上方。同樣地，4個第3檢查部330位於4個第4檢查部340之上方。如圖9所示，檢查部300具有檢查台301、連接於檢查台301之第1構件302、位於檢查台301上方之第2構件303、將第1構件302與第2構件303連結之連結構件304、及使檢查台301移動之移動機構305。如圖9及圖10所示，檢查台301係俯視形狀呈四邊形之平板狀之構件。於檢查台301之上部，設置有具有載置對象物之凹部3071之承座307、及支持承座307之支持構件306。再者，支持構件306亦可省略。於該情形時，例如，承座307亦可固定於檢查台301。又，承座307亦可經由基板(未圖示)而固定於檢查台301。此處，各檢查部300具備電性連接於下述檢查控制裝置73之檢查用電路(未圖示)，且於該檢查用電路電性連接有承座307。藉由該檢查用電路，與載置於凹部3071之對象物相關之檢測結果輸出至檢查控制裝置73。第1構件302係俯視形狀呈四邊形之平板狀之構件，且固定於檢查台301之與支持構件306呈相反側之端部。該第1構件302如圖1所示，設置於殼體6之外罩構件62。又，於第1構件302設置有把手308。作業人員藉由握持把手308將其向殼體6外部拉拽，可如圖11所示，將檢查台301拉出至殼體6外部。藉此，作業人員可於殼體6之外部對設置於檢查台301之承座307等進行維護。如此，第1構件302具有作為拉出檢查台301之門構件之功能。圖9所示之第2構件303係平板狀之構件，其俯視形狀與第1構件302大致相同或大於第1構件302。於該第2構件303之第1構件302側之端部安裝有鉸鏈3031。第2構件303藉由該鉸鏈3031連接於殼體6。又，於第2構件303之與第1構件302相反之側連接有連結構件304(連桿)之一端部。連結構件304之另一端部連接於第1構件302之檢查台301側。此種第2構件303在檢查台301位於殼體6之內部之狀態下，如圖9所示，位於檢查台301之上方，與檢查台301之上表面大致平行。若作業人員自該狀態操作把手308使檢查台301移動至殼體6外部，則第2構件303以鉸鏈3031為旋動中心部沿著箭頭a3方向旋動。藉此，如圖11所示，成為以堵住因第1構件302開放而形成於外罩構件62之開口620之方式設置第2構件303之狀態。如此，第2構件303在檢查台301位於殼體6之內部時，作為覆蓋檢查台301之上部之外罩部發揮功能，在檢查台301位於殼體6之外部時，作為堵住開口620以將殼體6之內部與外部間隔開之間隔部發揮功能。藉此，可防止作業人員於在殼體6之外部實施維護時誤將手放入至殼體6內。又，當檢查台301位於殼體6之內部時，如圖9所示，連結構件304位於支持構件306之斜上方(檢查部300之第1構件302及第2構件303側)。另一方面，當檢查台301位於殼體6之外部時，如圖11所示，連結構件304位於支持構件306之下方(檢查部300之檢查台301側)，與檢查台301之上表面大致平行。如此，連結構件304實現了當檢查台301位於殼體6之內部時不會妨礙接近檢查台301之機器人1之動作的配置。另一方面，連結構件304實現了當檢查台301位於殼體6之外部不會妨礙作業人員對承座307等進行維護的配置。如圖9所示，於檢查台301之下方，設置有使檢查台301往返移動之移動機構305。藉此，若作業人員如上述般操作把手308，則可使檢查台301於殼體6之內部與外部之間移動。作為移動機構305之構成，雖未圖示，但例如具備軌道、及可滑動地設置於軌道之滑塊等。再者，移動機構305亦可設定為具備馬達等之構成。藉此，即便對於檢查台301作業人員不操作把手308，亦可使檢查台301自動地於殼體6之內部與外部之間移動。以上，對檢查單元3進行了說明。如上所述，機器人系統100具備收容供給部20、第1檢查部310、第2檢查部320、第3檢查部330、第4檢查部340、回收部40及機器人1之殼體6，第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34分別具有載置對象物之檢查台301、及可使檢查台301移動至殼體6外部之移動機構305。藉此，可使檢查台301向殼體6外部(機器人系統100外部)移動。因此，作業人員可容易地進行例如檢查台301之維護等。又，如上所述，第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34分別具有：第1構件302，其連接於檢查台301，在檢查台301位於殼體6之內部之狀態下設置於殼體6；第2構件303，其在檢查台301位於殼體6之內部之狀態下位於檢查台301之上部；及連結構件304，其將第1構件302與第2構件303連結。檢查台301藉由將第1構件302拉出至殼體6之外側而位於殼體6之外部。第2構件303在檢查台301位於殼體6之外部之狀態下作為將殼體6之內部與外部間隔開之間隔部發揮功能。藉此，當檢查台301位於殼體6之內部時，第2構件303作為覆蓋檢查台301之上部之外罩部發揮功能。又，當檢查台301位於殼體6之外部時，第2構件303作為間隔部發揮功能。因此，可防止作業人員例如於殼體6之外部維護檢查台301等時誤將手放入至殼體6內。又，於上述說明中，檢查單元3係將複數個檢查部300分割成4個部分，但其分割數量及分割部位並不特別限定。因此，雖於上述說明中對具有第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34之情形進行了說明，但實際上只要至少具有2個檢查部群30即可，又亦可具有5個以上檢查部群30。又，亦可將第1檢查部群31與第3檢查部群33合併理解為「第1檢查部群」。又，於上述說明中，將「第1檢查部群31」理解為申請專利範圍中所記載之「第1檢查部群」，將「第2檢查部群32」理解為申請專利範圍中所記載之「第2檢查部群」，但亦可將第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34中任一檢查部群30理解為申請專利範圍中所記載之「第1檢查部群」或「第2檢查部群」。例如，亦可將「第3檢查部群33」理解為「第1檢查部群」，將「第4檢查部群34」理解為「第2檢查部群」。又，同樣地，於上述說明中，將「第1檢查部310」理解為申請專利範圍中所記載之「第1檢查部」，將「第2檢查部320」理解為申請專利範圍中所記載之「第2檢查部」，但亦可將第1檢查部310、第2檢查部320、第3檢查部330及第4檢查部340中任一檢查部300理解為申請專利範圍中所記載之「第1檢查部」及「第2檢查部」。又，檢查部300之數量為任意，並不限定於圖示之數量。又，於本實施形態中，檢查部300並非設置於機器人系統100之正面側，但亦可於機器人系統100之正面側亦設置檢查部300。即，亦可為自Z軸方向觀察跨及機器人1之全周地設置。又，檢查部300之構成並不限定於上述構成，可根據檢查內容等適當進行設置。例如，亦可於第2構件303設置在進行按壓耐久試驗之情形時按壓載置於承座307之對象物之汽缸(未圖示)。＜回收單元＞如圖4及圖5所示，於殼體6之內部之-Y軸側(正面側)設置有回收單元4。回收單元4設置於供給單元2之-X軸側。再者，回收單元4與上述供給單元2之配置關係並不限定於圖示者。例如，亦可為回收單元4設置於供給單元2之+X側。又，回收單元4與上述供給單元2自Z軸方向觀察，係配置於較檢查單元3靠機器人系統100之中心部側。回收單元4具有回收已於檢查部300完成檢查之對象物之複數個回收部40。於本實施形態中，回收單元4具有3個回收部40，將已基於在檢查部300得出之檢查結果而分類之對象物按各自分類分開進行回收。於本實施形態中，對象物被分類成「良品」、「不良品」及「再檢查」。例如，所謂「良品」表示對象物之功能上無缺陷等。所謂「不良品」表示對象物之功能上有缺陷等。所謂「再檢查」表示於檢查結果為錯誤之情形時等需再次重新進行檢查。於本實施形態中，回收單元4具有良品用回收部41(回收部40)、不良品用回收部42(回收部40)、及再檢查用回收部43(回收部40)。於良品用回收部41載置在檢查部300中被判斷為良品之對象物。於不良品用回收部42載置在檢查部300中被判斷為不良品之對象物。於再檢查用回收部43載置在檢查部300中被判斷為再檢查之對象物。此處，良品用回收部41、不良品用回收部42、及再檢查用回收部43除了所回收之對象物之種類(具體而言為良品、不良品、或再檢查)不同以外，其他構成相同。因此，以下，將良品用回收部41、不良品用回收部42、及再檢查用回收部43亦分別稱為「回收部40」。回收部40與供給部20同樣地，係以可配置如圖7所示之能載置對象物之載置構件25之方式構成。又，回收部40與供給部20同樣地，載置構件25之板面在載置於回收部40之狀態下，與XY平面大致平行。又，載置構件25可自回收部40取出。以上，對回收單元4進行了說明。再者，於本實施形態中，回收部40之數量為3個，但回收部40之數量亦可為1個、2個、或4個以上。又，於回收單元4中，將對象物分為良品、不良品、及再檢查而進行回收，但亦可不將對象物分類地進行回收。在該情形時，於1個載置構件25載置回收之所有對象物。而且，藉由機器人控制裝置71或周邊機器控制裝置72預先記憶載置構件25所載置之各對象物究竟是良品、不良品及再檢查中之哪一種。藉此，亦可於將對象物自機器人系統100回收後，基於所記憶之資料將對象物分為良品、不良品、及再檢查。又，於本實施形態中，所有檢查部群30(第1檢查部群31～第4檢查部群34)設置有共通之1組回收部40(良品用回收部41、不良品用回收部42、及再檢查用回收部43)，但並不限定於此，例如，亦可為每個檢查部群30(第1檢查部群31～第4檢查部群34)各自設置有回收部40(良品用回收部41、不良品用回收部42、及再檢查用回收部43)。又，供給部20亦同樣如此。＜機器人＞圖12係圖1所示之機器人之前視圖。圖13及圖14分別係表示圖12所示之末端執行器之圖。圖15係表示圖13所示之旋動構件及保持部之圖。圖16及圖17分別係表示圖13所示之末端執行器與圖8所示之檢查部的關係之模式圖。圖18係表示圖12所示之機器人所具有的末端執行器之另一形態之圖。圖19係表示圖15所示之旋動構件及保持部之模式圖。圖20、圖21及圖22分別係表示圖19所示之旋動構件及保持部之變化例之模式圖。圖23係表示圖12所示之機器人之一部分之圖。再者，將圖12中之基台側稱為「基端」或「上游」，將其相反側(末端執行器側)稱為「前端」或「下游」。於以下之機器人之說明中，參照圖1～圖11以及圖12～圖23進行說明。如圖5所示，於殼體6之內部之中央部設置有機器人1。又，如圖4所示，機器人1安裝於殼體6之框架61之頂壁。即，機器人1係所謂之懸吊型機器人。再者，機器人1之設置位置並不限定於頂壁，例如，亦可為地板部或側壁部等。如圖12所示，機器人1具有基台110、機械臂10、力檢測部120、末端執行器5、負壓產生裝置130、及攝像部140。又，機器人1如圖6所示，具有驅動部18及位置感測器19。該機器人1接近上述供給部20、各檢查部300、各回收部40而進行各種作業。例如，機器人1於供給部20、各檢查部300、及各回收部40各者中，進行對象物之保持或釋放。又，機器人1於供給部20與各檢查部300之間、及各檢查部300與各回收部40之間各者中，進行對象物之搬送。以下，對機器人1之構成進行詳細敍述。＜基台＞圖12所示之基台110係用以將機器人1安裝於殼體6之構件。又，於基台110設置有以包圍基台110之方式安裝於基台110之凸緣1101。又，於基台110之下端部連接有機械臂10。於本實施形態中，如上所述，機器人1安裝於框架61之頂壁，故而機械臂10位於較基台110靠鉛垂下方。藉此，尤其可提高相對於機器人1處於鉛垂下方之區域之機器人1之作業性。再者，於本實施形態中基台110係安裝於頂壁，但基台110亦可安裝於其他位置，例如，亦可安裝於地板部。＜機械臂＞圖12所示之機械臂10相對於基台110可旋動地連接。該機械臂10具有第1臂11(臂)、第2臂12(臂)、第3臂13(臂)、第4臂14(臂)、第5臂15(臂)、及第6臂16(臂)。第1臂11連接於基台110之下端部。第1臂11、第2臂12、第3臂13、第4臂14、第5臂15、第6臂16係自基端側向前端側依此順序連結。如圖12所示，第1臂11形成為彎曲或折曲之形狀，且其基端部連接於基台110。該第1臂11具有：第1部分111，其連接於基台110，且於水平方向延伸；第2部分112，其連接於第2臂12，且於鉛垂方向(垂直方向)延伸；及第3部分113，其位於第1部分111與第2部分112之間，且在相對於水平方向及鉛垂方向而傾斜之方向延伸。再者，第1部分111、第2部分112及第3部分113形成為一體。第2臂12形成為長條形狀，且連接於第1臂11之前端部。第3臂13形成為長條形狀，且連接於第2臂12之與連接有第1臂11之端部相反之端部。第4臂14連接於第3臂13之與連接有第2臂12之端部相反之端部。第4臂14具有相互對向之1對支持部141、142。支持部141、142係用於與第5臂15之連接。再者，第4臂14並不限於該構造，例如，支持部亦可為1個(懸臂)。第5臂15位於支持部141、142之間，藉由安裝於支持部141、142而與第4臂14連接。第6臂16形成為俯視形狀呈圓形之板狀，且連接於第5臂15之前端部。此種各臂11～16之外裝(構成外形之構件)分別可由1個構件構成，亦可由複數個構件構成。又，如圖12所示，機械臂10具有6個關節171～176，該等關節具有將一臂以可相對於另一臂(或基台110)旋動之方式支持之機構。基台110與第1臂11經由關節171而連結，第1臂11可相對於基台110繞沿著鉛垂方向之第1旋動軸O1而旋動。又，第1臂11與第2臂12經由關節172而連結，第2臂12可相對於第1臂11繞沿著水平方向之第2旋動軸O2而旋動。又，第2臂12與第3臂13經由關節173而連結，第3臂13可相對於第2臂12繞沿著水平方向之第3旋動軸O3而旋動。又，第3臂13與第4臂14經由關節174而連結，第4臂14可相對於第3臂13繞與第3旋動軸O3正交之第4旋動軸O4而旋動。又，第4臂14與第5臂15經由關節175而連結，第5臂15可相對於第4臂14繞與第4旋動軸O4正交之第5旋動軸O5而旋動。又，第5臂15與第6臂16經由關節176而連結，第6臂16可相對於第5臂15繞與第5旋動軸O5正交之第6旋動軸O6而旋動。具有此種機械臂10之機器人1係具有6個(複數個)臂11～16之垂直多關節機器人，因此驅動範圍廣，可發揮較高作業性。雖於圖12中未圖示，但實際上於關節171～176分別設置有驅動部18、及位置感測器19(角度感測器)(參照圖6)。即，機器人1具有數量與6個臂11～16相同(於本實施形態中為6個)之驅動部18及位置感測器19。驅動部18具有產生使對應之臂旋動之驅動力之馬達(未圖示)、及使馬達之驅動力減速之減速機(未圖示)。位置感測器19檢測驅動部18所具有之馬達或減速機之旋轉軸之旋轉角度等。作為驅動部18所具有之馬達，例如可使用AC(Alternating Current，交流)伺服馬達、DC(Direct Current，直流)伺服馬達等伺服馬達。作為驅動部18所具有之減速機，例如可使用行星齒輪型減速機、波動齒輪裝置等。作為位置感測器19，例如可使用編碼器、旋轉編碼器等。又，各驅動部18係經由電性連接之馬達驅動器(未圖示)由機器人控制裝置71所控制。再者，馬達驅動器例如內置於基台110。＜力檢測部＞如圖12所示，於機械臂10之前端部(下端部)可裝卸地安裝有力檢測部120。再者，於本實施形態中，第6臂16之第6旋動軸O6與力檢測部120之中心軸O120大致一致(重疊)。力檢測部120係檢測施加於例如機器人1之力(包括力矩)即外力，並輸出與該外力相應之檢測結果(力輸出值)者。力檢測部120例如可包含力覺感測器或轉矩感測器等。於本實施形態中，使用6軸力覺感測器作為力檢測部120，該6軸力覺感測器可檢測相互正交之3條軸(x軸、y軸、z軸)方向之平移力成分Fx、Fy、Fz及環繞3條軸之旋轉力成分(力矩)Mx、My、Mz此6個成分。又，在本實施形態中，於力檢測部120之前端部設置有末端執行器5，藉由力檢測部120而檢測施加於末端執行器5之力。＜末端執行器＞如圖12所示，於力檢測部120之前端部(下端部)可裝卸地安裝有末端執行器5。末端執行器5係保持對象物之機器。此處，所謂對象物之「保持」係指藉由對象物之握持或吸附(負壓、吸附等方式)等而固定地支持對象物。如圖13及圖14所示，末端執行器5具有連接構件51、驅動部54、安裝構件55、軸桿53、旋動構件52、5個保持部520、及限制構件56。該末端執行器5可伴隨第6臂16之旋動而繞第6旋動軸O6旋動。又，末端執行器5以即便繞第6旋動軸O6旋動亦不與第2臂12產生干擾之方式構成。連接構件51係板狀之構件，用以將末端執行器5安裝於力檢測部120。又，如圖12所示，連接構件51具有較力檢測部120更向與力檢測部120之中心軸O120正交(交叉)之方向突出之部分。於該突出之部分設置有下述攝像部140。再者，攝像部140設置於連接構件51之與力檢測部120相同之面側。如圖13及圖14所示，於連接構件51之下方，安裝有連接於連接構件51之安裝構件55。藉由該安裝構件55於連接構件51安裝有驅動部54。又，於驅動部54連接有軸桿53。驅動部54具有使軸桿53繞其旋動軸O53旋動之馬達(未圖示)等、及收容馬達等之箱體541。又，軸桿53自驅動部54向與力檢測部120之中心軸O120正交(交叉)之方向突出。軸桿53之旋動軸O53與中心軸O120正交(交叉)。又，於軸桿53之前端部(與驅動部54呈相反側之端部)，相對於軸桿53可裝卸地安裝有平板狀之旋動構件52。該旋動構件52位於攝像部140之下方。又，旋動構件52係以板面與旋動軸O53正交(交叉)之方式安裝於軸桿53。安裝於該軸桿53之旋動構件52因軸桿53可繞旋動軸O53旋動，故與軸桿53之旋動一併旋動。具體而言，如圖15所示，旋動構件52可沿著箭頭a1方向及箭頭a2方向分別旋動。再者，軸桿53亦可構成為能沿著其旋動軸O53而滑動。又，如圖15所示，旋動構件52俯視下呈六邊形。具體而言，旋動構件52形成為正八邊形之上部欠缺而成之俯視形狀。更具體而言，旋動構件52之俯視形狀呈位於圖15之上側之2個頂點之內角小於剩餘4個頂點之內角之六邊形。於本實施形態中，上部之2個頂點之內角分別為90°，剩餘4個頂點之內角分別為135°。於此種旋動構件52之除上部之邊(緣)以外之5個邊(緣)，分別相對於旋動構件52可裝卸地安裝有保持部520。即，於旋動構件52設置有5個保持部520。又，各保持部520係以即便旋動構件52旋動亦不會與攝像部140接觸之方式設置於旋動構件52。各保持部520係保持對象物之部分。於本實施形態中，作為各保持部520，使用可將對象物藉由負壓而吸附並保持之吸附墊。於該保持部520設置有供氣體(具體而言為空氣)通過之貫通孔5201(參照圖45)。而且，如圖13及圖14所示，於各保持部520連接有配管50(流路部)。氣體通過該配管50而供給至保持部520之貫通孔5201。此處，為避免各配管50防礙機械臂10之旋動，於上述安裝構件55安裝有限制配管50之活動之限制構件56。該限制構件56以覆蓋安裝構件55、驅動部54、及複數個配管50之方式連接於安裝構件55之外表面。根據此種構成之末端執行器5，如上所述，旋動構件52形成為六邊形狀，且於旋動構件52之5條邊各者設置有保持部520，因此可保持複數個對象物，又，可進一步縮小末端執行器5之寬度L510(參照圖15)。又，此種末端執行器5之外形之大小較佳為根據檢查部300之大小而設定。具體而言，如圖16所示，末端執行器5之寬度L51(長度)較佳為與檢查部300之寬度之一半之長度L31相同或為其以下。藉此，可減少或防止於機器人1在檢查部300進行對象物之釋放(保持之解除)及保持時，末端執行器5侵入至鄰接之檢查部300的情況。又，如圖17所示，末端執行器5之高度L53(長度)小於堆疊之2個檢查部300所具有的檢查台301彼此之間之距離L33。嚴格而言，雖於圖17未圖示，但距離L33係位於下方之檢查部300所具有之承座307與位於上部之檢查部300之下端(下表面)之間之距離。藉此，可使末端執行器5之前端部效率良好地鑽入至堆疊之2個檢查部300所具有的檢查台301彼此之間。又，末端執行器5之突出長度L52較佳為以如下方式進行設定：在末端執行器5之前端部位於檢查部300上之狀態下，於力檢測部120與檢查部300之間可確保特定之距離d10。藉此，可減少或防止於機器人1在檢查部300進行對象物之保持及釋放時，力檢測部120或第6臂16與檢查部300產生干擾的情況。此處，末端執行器5具有自第6旋動軸O6之軸向觀察時較力檢測部120更向外側突出之突出部190(參照圖12)。所謂上述末端執行器5之突出長度L52係指該突出部190之長度。再者，於力檢測部120之寬度小於第6臂16之寬度之情形時或不具備力檢測部120之情形時，突出部190係指自第6旋動軸O6之軸向觀察時較第6臂16更向外側突出之部分。又，突出長度L52係表示以第6臂16代替力檢測部120作為基準之長度。以上，對末端執行器5進行了說明。再者，末端執行器5並不限定於上述構成。例如，亦可使用如圖18所示之末端執行器5a。該末端執行器5a具有呈1行配置之5個保持部520a。保持部520a之前端位於同一直線上。根據此種末端執行器5a，例如可一次性保持載置於載置構件25之複數個對象物。但根據上述本實施形態之末端執行器5，因其具備旋動構件52，故可使末端執行器5之前端部之寬度L510小於末端執行器5a之寬度L510a(參照圖15及圖18)。因此，自進一步縮小前端部之寬度之觀點而言，較佳為使用末端執行器5。又，如圖19所示，末端執行器5保持有複數個作為「對象物」之一例之對象物80之狀態下的末端執行器5之前端部之寬度L511小於末端執行器5a保持有複數個對象物80之狀態下的末端執行器5a之前端部之寬度L511a。寬度L511係包含複數個對象物80及末端執行器5之前端部在內之大小。同樣地，寬度L511a係包含複數個對象物80及末端執行器5a之前端部在內之大小。再者，於圖19中，省略了末端執行器5a之圖示，僅圖示出藉由末端執行器5a而保持之複數個對象物80。具體而言，例如，若使用大小為20 mm×20 mm×1 mm之對象物80，並以對象物80彼此不接觸之方式將對象物80彼此之間設定為5 mm，則末端執行器5a之前端部之寬度L511a需設定為125 mm以上。面對此情形，末端執行器5無需如末端執行器5a般將複數個對象物排列成1行，因此無需如末端執行器5a般考慮對象物80之寬度、厚度及對象物80彼此之間隙。於本實施形態中，例如，將包含作為末端執行器5之前端部之旋動構件52及複數個保持部520的構造體500之寬度L510設定為73 mm。因此，可將考慮到對象物80之厚度的末端執行器5之前端部之寬度L511設定為75 mm。如此，根據末端執行器5，即便保持與末端執行器5a相同數量之對象物80，亦可使末端執行器5之寬度L511小於末端執行器5a之寬度L511a。又，末端執行器5之寬度方向上之最大必要寬度L512小於末端執行器5a之寬度方向上之最大必要寬度L512a(參照圖15、圖18及圖19)。最大必要寬度L512係自保持及釋放對象物80之保持部520之位置起至包括對象物80在內之末端執行器5之寬度方向之一端部為止的距離(參照圖15及圖19)。於末端執行器5之情形時，無論藉由5個保持部520中之哪個保持部520進行保持，最大必要寬度L512均不變。又，最大必要寬度L512a係自位於最邊沿之保持部520a之位置起至包括對象物80在內之末端執行器5a之寬度方向之一端部為止的距離(參照圖18及圖19)。如此，根據末端執行器5，可使最大必要寬度L512較末端執行器5a小，故而可更有效地降低或減少侵入至鄰接之檢查部300的情況。又，自降低或減少侵入至鄰接之檢查部300的情況之觀點而言，末端執行器5之最大必要寬度L512或末端執行器5a之最大必要寬度L512a較佳為小於檢查部300之寬度之一半之長度L31(參照圖16、圖19)。於本實施形態中，例如，檢查部300之長度L31係112.5 mm，末端執行器5a之最大必要寬度L512a係110 mm，末端執行器5之最大必要寬度L512係37.5 mm。又，自一面如上所述保持複數個對象物一面謀求小型化之觀點而言，末端執行器5例如亦可設定為圖20、圖21及圖22所示之構成。圖20所示之末端執行器5b具有俯視形狀為正八邊形之旋動構件52、及設置於旋動構件52之各邊之8個保持部520。根據此種末端執行器5b，藉由增加旋動構件52之邊之條數，可於寬度與末端執行器5之寬度L511相同之狀態下，較末端執行器5保持更多對象物80。圖21所示之末端執行器5c具有俯視形狀為正五邊形之旋動構件52、及設置於旋動構件52之各邊之5個保持部520。根據此種末端執行器5c，藉由減少旋動構件52之邊之條數，可保持較藉由末端執行器5所能保持之對象物80大之對象物80。如上所述，機器人1具有連接於機械臂10之末端執行器5，末端執行器5具有：旋動構件52，其可繞旋動軸O53旋動；及複數個保持部520，其等設置於旋動構件52，保持對象物80(參照圖15)。藉此，可實現小型且能一次性搬送複數個對象物80之末端執行器5。再者，本發明中之「機器人」並不限定於圖12所示之機器人1。例如，亦可為圖12所示之機器人1以外之垂直多關節機器人、或所謂之水平多關節機器人。其中，於所載置之對象物之姿勢於供給部、檢查部及回收部中分別不同之情形時，較佳為具有複數個臂以變更設置於機械臂之前端之末端執行器之姿勢的垂直多關節機器人。＜負壓產生裝置＞如圖23所示，於第3臂13之與第2臂12呈相反側之區域S1設置有負壓產生裝置130。負壓產生裝置130安裝於機械臂10之第3臂13。雖未圖示，但負壓產生裝置130係經由插通至機器人1之第1臂11及第2臂12內之配管，與產生氣體(具體而言為壓縮空氣)之壓縮空氣供給裝置連接。又，負壓產生裝置130連接於末端執行器5之配管50。雖未圖示，但該負壓產生裝置130具備：噴射器，其利用氣體(具體而言為壓縮空氣)使配管50之內部成為負壓狀態(真空狀態)；空氣閥門，其係用以將配管50內切換至負壓狀態或正壓狀態；及分支單元，其係用以將配管分支成數量與末端執行器5之保持部520之數量相同之配管50。藉由此種負壓產生裝置130，可切換連接於末端執行器5之配管50(流路部)內之氣體之流動。即，可將配管50內切換至負壓狀態或正壓狀態。因此，可將與配管50內連通之保持部520之貫通孔5201內切換至負壓狀態或正壓狀態(參照圖45)。利用此設置，可藉由使貫通孔5201成為負壓狀態，利用保持部520吸附並握持對象物80。另一方面，可藉由使貫通孔5201成為正壓狀態，使對象物80自保持部520釋放。又，在圖23中，於區域S1設置有負壓產生裝置130，但例如亦可於區域S2設置有負壓產生裝置130。區域S2係第6臂16及力檢測部120之圖中左側之區域，且係第1臂11之下方之區域。藉由於該區域S2配置負壓產生裝置130，可進一步縮短負壓產生裝置130與保持部520之間之距離。因此，可提高保持部520之吸附之響應速度。又，可減少自第3臂13引繞至負壓產生裝置130之配管之數量，因此可使配管之引繞簡易化。又，負壓產生裝置130具備檢測藉由機器人1之保持部520而實現之保持(吸附)狀態之檢測部150。於本實施形態中，作為檢測部150，使用檢測連接於保持部520之配管50(流路部)內之氣體之壓力的壓力感測器(氣壓感測器)。再者，壓力感測器之構成並不特別限定，只要可檢測配管50內之壓力即可為任何構成。又，檢測部150並不限定於壓力感測器，例如亦可包含能檢測配管50內之每單位時間之流量之流量感測器(流量計)等。又，檢測部150之數量亦可為2個以上。於該情形時，例如，亦可具備包含壓力感測器之檢測部150、及包含流量感測器之檢測部150。又，檢測部150亦可設置於負壓產生裝置130以外之裝置。又，上述區域S1、S2係機器人1不易與自身等產生干擾之區域。因此，於區域S1、S2配置負壓產生裝置130自避免機器人1與自身等之干擾之觀點而言有效。又，由於區域S1、S2係機器人1不易與自身等產生干擾之區域，因此配置負壓產生裝置130以外之各種零件等亦有效。＜攝像部＞如圖23所示，於末端執行器5之上部設置有具有攝像功能之攝像部140。該攝像部140係以可拍攝攝像部140之下方即旋動構件52之下方之方式設置。再者，攝像部140亦可設置於旋動構件52，而與旋動構件52一併旋動。攝像部140包含具備LED(Light Emitting Diode，發光二極體)等之照明部143、具備複數個透鏡之透鏡群144、使光折射之稜鏡145、及具備CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合元件)等之攝像元件146。自照明部143射出之光於攝像對象物等上反射，其反射光入射至透鏡群144及稜鏡145而於攝像元件146之受光面上成像。然後，攝像部140將光轉換成電氣信號，並將該電氣信號輸出至機器人控制裝置71。由於此種攝像部140具備變更光之方向之稜鏡145等光學零件，因此可抑制攝像部140之高度方向(圖23之上下方向)之長度。因此，可使包含作為機器人1前端部之末端執行器5及攝像部140之構造體510成為扁平薄型且寬度較小之構成。因此，可使構造體510效率良好地鑽入至堆疊之2個檢查部300所具有之檢查台301彼此之間(參照圖17)。又，攝像部140具備自動調整焦點之自動聚焦功能或調整攝像倍率之變焦功能。又，連接於攝像部140之配線147與連接於上述末端執行器5之保持部520之配管50一併引繞至機器人1之第3臂13。再者，引繞至第3臂13之配線147通過第2臂12及第1臂11內，經由基台110內之電路基板(未圖示)而電性連接於機器人控制裝置71。以上，對機器人1之構成進行了說明。＜對準用攝像部＞如圖5所示，於殼體6之內部之中央部設置有對準用攝像部9。該對準用攝像部9位於機器人1之下方。對準用攝像部9具有攝像功能，例如固定於殼體6之地板面。又，雖未圖示，但對準用攝像部9包含具備LED等之照明部、具備複數個透鏡之透鏡群、及具備CCD等之攝像元件。自照明部射出之光於攝像對象物等上反射，其反射光入射至透鏡群而於攝像元件之受光面上成像。然後，對準用攝像部9將光轉換成電氣信號，並將該電氣信號例如輸出至周邊機器控制裝置72。再者，亦可構成為來自該對準用攝像部9之信號輸出至機器人控制裝置71。此種對準用攝像部9可拍攝對準用攝像部9之上方。因此，對準用攝像部9可拍攝位於其上方之機器人1之前端部。藉此，可基於利用對準用攝像部9拍攝到之圖像，掌握藉由機器人1而實現之對象物之保持狀態。又，於未適切地進行保持之情形時，算出自該適切值偏移之量作為修正值，並將該修正值輸出至周邊機器控制裝置72。藉此，可基於自周邊機器控制裝置72取得之修正值相關資料，於機器人控制裝置71之控制之下，由機器人1進行對象物之搬送及釋放等作業。因此，可更高精度地進行機器人1之作業。＜機器人控制裝置71＞如圖1所示，機器人控制裝置71設置於殼體6之內部之正面側(-Y軸側)。該機器人控制裝置71控制機器人1之各部。機器人控制裝置71例如可包含內置有CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)或ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)及RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)之個人電腦(PC)等。該機器人控制裝置71亦可藉由有線通信或無線通信中之任一者連接於機器人1。如圖6所示，機器人控制裝置71具備控制部711(處理部)、輸入輸出部712(資訊取得部)、及記憶部713。控制部711具有控制機器人1之驅動或攝像部140之作動等之功能、及處理各種運算等之功能等。該控制部711例如包含CPU等，控制部711之各功能可藉由利用CPU執行記憶於記憶部713之各種程式而實現。具體而言，控制部711控制機器人1所具有之各驅動部18之驅動，對各臂11～16分別獨立地加以控制。又，控制部711控制末端執行器5之驅動部54之驅動。又，例如，控制部711基於自位置感測器19、力檢測部120及攝像部140輸出之信號(檢測結果)，使末端執行器5之保持部520移動至目標位置。又，例如，控制部711基於攝像部140之圖像而計算圖像座標系中之攝像對象之座標。又，例如，控制部711求出用以將攝像部140之圖像座標系中之座標(圖像座標)轉換成機器人1之座標系中之座標(機器人座標)之修正參數。同樣地，控制部711求出用以將對準用攝像部9之圖像座標系中之座標(圖像座標)轉換成機器人1之座標系中之座標之修正參數。輸入輸出部712例如包含介面電路等，取得自位置感測器19、力檢測部120及攝像部140輸出之信號。又，輸入輸出部712對各驅動部18或驅動部54輸出馬達之目標值。又，輸入輸出部712與周邊機器控制裝置72及檢查控制裝置73進行資料等之交換。再者，機器人控制裝置71、周邊機器控制裝置72及檢查控制裝置73亦可相互藉由有線通信或無線通信中之任一者而連接。又，記憶部713例如包含RAM及ROM等，記憶用以供機器人控制裝置71進行各種處理等之程式或各種資料等。再者，記憶部713並不限於內置在機器人控制裝置71者(RAM及ROM等)，亦可為具有所謂外部記憶裝置(未圖示)之構成。＜周邊機器控制裝置72＞如圖1所示，周邊機器控制裝置72設置於殼體6之內部之正面側(-Y軸側)。該周邊機器控制裝置72控制對準用攝像部9或顯示裝置60等。又，周邊機器控制裝置72亦可根據供給部20、各檢查部300、各回收部40之構成而構成為控制該等各部。又，雖未圖示，但周邊機器控制裝置72係以控制設置於殼體6之照明或溫度感測器等之方式構成。再者，對準用攝像部9或顯示裝置60等亦可由機器人控制裝置71控制，代替由周邊機器控制裝置72控制。周邊機器控制裝置72例如可包含內置有CPU或ROM及RAM之個人電腦等。該周邊機器控制裝置72亦可藉由有線通信或無線通信中之任一者連接於對準用攝像部9或顯示裝置60等。如圖6所示，周邊機器控制裝置72具備控制部721(處理部)、輸入輸出部722(資訊取得部)、及記憶部723。控制部721具有控制對準用攝像部9之作動等之功能、及處理各種運算等之功能等。該控制部721例如包含CPU等，控制部721之各功能可藉由利用CPU執行記憶於記憶部723之各種程式而實現。例如，控制部721基於對準用攝像部9之圖像而計算圖像座標系中之攝像對象之座標。輸入輸出部722例如包含介面電路等，取得自對準用攝像部9輸出之信號。又，輸入輸出部722輸出用以將所期望之視窗(畫面)顯示於顯示裝置60之信號。又，輸入輸出部722與機器人控制裝置71及檢查控制裝置73進行資料等之交換。又，記憶部723例如包含RAM及ROM等，記憶用以供周邊機器控制裝置72進行各種處理等之程式、或各種資料等。再者，記憶部723並不限於內置在周邊機器控制裝置72者(RAM及ROM等)，亦可為具有所謂外部記憶裝置(未圖示)之構成。＜檢查控制裝置73＞如圖1所示，檢查控制裝置73設置於殼體6之內部之背面側(+Y軸側)。該檢查控制裝置73控制各檢查部300。檢查控制裝置73例如可包含內置有CPU或ROM及RAM之個人電腦等。該檢查控制裝置73亦可藉由有線通信或無線通信中之任一者連接於各檢查部300。如圖6所示，檢查控制裝置73具備控制部731(處理部)、輸入輸出部732(資訊取得部)、及記憶部733。控制部731具有控制各檢查部300之作動等之功能、及處理各種運算等之功能等。該控制部731例如包含CPU等，控制部731之各功能可藉由利用CPU執行記憶於記憶部733之各種程式而實現。例如，控制部731基於來自檢查部300之檢查結果，實施對象物之良品、不良品或再檢查之判斷等。輸入輸出部732例如包含介面電路等，取得自各檢查部300輸出之信號。又，輸入輸出部732與機器人控制裝置71及檢查控制裝置73進行資料等之交換。又，記憶部733例如包含RAM及ROM等，記憶用以供檢查控制裝置73進行各種處理等之程式、或各種資料等。再者，記憶部733並不限於內置在檢查控制裝置73者(RAM及ROM等)，亦可為具有所謂外部記憶裝置(未圖示)之構成。再者，檢查控制裝置73亦可不作為機器人系統100之構成被包含。於該情形時，例如，檢查單元3、機器人控制裝置71及周邊機器控制裝置72分別只要為可與獨立於機器人系統100外之「檢查控制裝置」進行有線通信或無線通信之構成即可。以上，對機器人系統100之各部之構成進行了說明。2、機器人之動作、及機器人系統之各部之配置等其次，對機器人1之動作、及機器人系統100之各部之配置等進行說明。圖24係表示圖12所示之機器人的第1臂、第2臂及第3臂不重疊之狀態之側視圖。圖25係表示圖12所示之機器人的第1臂、第2臂及第3臂重疊之狀態之側視圖。圖26係表示圖12所示之機器人之動作中的機械臂前端之移動路徑之圖。圖27係圖12所示之機器人之第1臂及第3臂交叉之狀態之概略側視圖。圖28係圖12所示之機器人之第1臂及第4臂重疊之狀態之概略側視圖。圖29及圖30分別係用以說明圖12所示之機器人所具有之機械臂的前端部之可動範圍之圖。圖31及圖32分別係表示圖12所示之機器人所具有之末端執行器的前端之可動範圍之圖。再者，於圖24、圖25、圖27～圖30中，省略了末端執行器5等之圖示。又，於圖32中，省略了殼體6之外罩構件62之圖示。如圖24所示，於機器人1中，第1臂11之長度L1設定為長於第2臂12之長度L2。此處，所謂第1臂11之長度L1係指自第2旋動軸O2觀察時第2旋動軸O2與沿著凸緣1101之板面延伸之線段181(或設置於基台110之驅動部18所具備之軸承部1105之中心線)之間之距離。再者，凸緣1101形成為以包圍基台110之方式設置而成之框狀，藉此，凸緣1101之板面與基台110之下表面一致。又，所謂第2臂12之長度L2係指自第2旋動軸O2之軸向觀察時第2旋動軸O2與第3旋動軸O3之間之距離。又，如圖25所示，機器人1係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，可使第1臂11與第2臂12所成之角度θ成為0°之方式構成。即，機器人1如圖25所示，係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，第1臂11與第2臂12可重疊之方式構成。而且，第2臂12係以當自第2旋動軸O2之軸向觀察第1臂11與第2臂12重疊時，第2臂12不與第1臂11產生干擾之方式構成。此處，所謂第1臂11與第2臂12所成之角度θ係指如圖24所示，自第2旋動軸O2之軸向觀察時通過第2旋動軸O2及第3旋動軸O3之直線182與第1旋動軸O1所成之角度。又，如圖25所示，機器人1係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，第2臂12與第3臂13可重疊之方式構成。因此，機器人1係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，第1臂11、第2臂12、及第3臂13可同時重疊之方式構成。又，如圖24所示，第3臂13、第4臂14、第5臂15及第6臂16之合計長度L3設定為長於第2臂12之長度L2。而且，機器人1如圖25所示，係以當自第2旋動軸O2之軸向觀察第2臂12與第3臂13重疊時，可使機械臂10之前端自第2臂12突出之方式構成。此處，所謂第3臂13、第4臂14、第5臂15及第6臂16之合計長度L3係指自第2旋動軸O2之軸向觀察，第3旋動軸O3與第6臂16之前端之間之距離。於該情形時，第3臂13、第4臂14及第5臂15如圖25所示，成為第4旋動軸O4與第6旋動軸O6一致、或平行之狀態。於具有此種機械臂10之機器人1中，若滿足如上所述之關係，則藉由使第1臂11不旋動，使第2臂12、第3臂13旋動，可經過自第2旋動軸O2之軸向觀察第1臂11與第2臂12重疊之狀態，使機械臂10之前端繞第1旋動軸O1移動至180°不同之位置。因此，如圖26所示，自第1旋動軸O1方向觀察，可不進行使機械臂10之前端如箭頭192、193所示般移動之動作而進行使其如箭頭191所示般移動之動作。即，自第1旋動軸O1之軸向觀察，可進行使機械臂10之前端於直線上移動之動作。藉此，可縮小用以避免機器人1產生干擾之空間。又，由於可進行使機械臂10之前端於直線上移動之動作，因此於使機械臂10之前端繞第1旋動軸O1移動至180°不同之位置時，可避免使第1臂11旋動，或縮小第1臂11之旋動角(旋動量)。因此，可減少自第1旋動軸O1之軸向觀察時較基台110向更外側伸出之部分即第1臂11之第2部分112及第3部分113與機器人1之周邊機器產生干擾的情況。又，由於可進行使機械臂10之前端於直線上移動之動作，因此易於掌握機器人1之活動。此處，例如，若欲使機械臂10之前端如圖26之箭頭192、193所示般移動，則有機器人1與周邊裝置產生干擾之虞，故而需將用以避免該干擾之多個退避點教示給機器人1。因此，教示要耗費大量工序及較長時間。面對此種情況，於機器人1中，由於可使機械臂10之前端如圖26之箭頭191所示般移動，因此有與周邊機器產生干擾之虞之區域非常少。因此，可減少要教示之退避點之數量，可減少教示所需之工序及時間。例如，根據機器人1，可將要教示之退避點之數量削減至先前之機器人之1/3左右，藉此，可飛躍性地使教示變得容易。又，如圖27所示，機器人1係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，第1臂11與第3臂13、第4臂14及第5臂15中至少1個臂可交叉之方式構成。於圖27中，第1臂11與第3臂13交叉。由於可採取該交叉姿勢，因此可使機器人1之驅動範圍進一步擴大。又，如圖28所示，機器人1係以自第2旋動軸O2之軸向觀察，第1臂11與第3臂13、第4臂14及第5臂15中至少1個臂可重疊之方式構成。於圖28中，第1臂11與第4臂14重疊。由於可採取該交叉姿勢，因此可使機器人1之驅動範圍進一步擴大。又，如圖29及圖30所示，機器人1可使機械臂10之前端部(具體而言為第5旋動軸O5)沿著呈球面狀之假想面C1上移動。再者，圖29表示機器人1之側視圖，圖30表示機器人1之仰視圖。假想面C1係以機器人1處於圖25所示之狀態下時第1旋動軸O1與第2旋動軸O2之交點P為中心之球面，且係由在使交點P與第5旋動軸O5之間之距離最遠之狀態(圖29及圖30之兩點鏈線所示之機器人1之姿勢)下驅動機械臂10時第5旋動軸O5所描繪之軌跡的集合體形成之面。因此，該假想面C1表示機械臂10之前端部(具體而言為第5旋動軸O5)之最大可動區域。又，如圖29及圖30所示，機器人1可使機械臂10之前端部沿著呈球面狀之假想面C2上移動。假想面C2係以交點P為中心之球面，且係由在使交點P與第5旋動軸O5之間之距離最近之狀態(圖29及圖30之實線所示之機器人1之狀態)下驅動機械臂10時第5旋動軸O5所描繪之軌跡的集合體形成之面。因此，該假想面C2表示機械臂10之前端部(具體而言為第5旋動軸O5)之最小可動區域。而且，如上所述，機器人1可採取如圖25、圖27及圖28所示之各姿勢。因此，可使機械臂10之前端部於上述最大可動區域與最小可動區域之間之範圍內移動。因此，機械臂10之前端部之可動範圍係假想面C1與假想面C2之間之空間S10(參照圖29及圖30)。再者，嚴格而言，為避免機械臂10與基台110等(機器人1自身)產生干擾，機械臂10之前端部之可動範圍係空間S10之除基台110及其附近以外之範圍。如此，機器人1可使機械臂10之前端部以交點P為中心呈大致球狀而移動。此處，如上所述，機器人1具有突出部190。於本實施形態中，突出部190包含攝像部140、末端執行器5之軸桿53、旋動構件52及複數個保持部520等。因此，末端執行器5之前端之可動範圍係以與突出部190相應之量，自上述機械臂10之前端部之可動範圍位移。考慮該位移量，於機器人系統100中，設定供給部20、複數個檢查部300及複數個回收部40之各配置。圖31中表示有假想面C51、C52、C53、C54、C55、C56，該等假想面表示末端執行器5之保持部520之最大可動區域。假想面C51～C55分別表示使突出部190朝向各檢查部300側之狀態下之保持部520之最大可動區域。又，假想面C56表示使突出部190朝向供給部20及複數個回收部40側之狀態下之保持部520之最大可動區域。因此，將該等假想面C51～C56之離機器人1之基台110最遠之部位連接的假想面C5可稱為全方位下之保持部520之最大可動區域。因此，藉由於假想面C5內配置供給部20、複數個檢查部300所具有之承座307之凹部3071及複數個回收部40，機器人1向其等之接近成為可能。特佳為如圖31所示，於假想面C5上或其附近配置承座307之凹部3071。藉此，可使機器人1效率良好地動作。又，圖32中表示有自正面側觀察機器人系統100之情形時之假想面C5。又，圖32中表示有表示全方位下之保持部520之最小可動區域的假想面C7。又，圖32所示之假想面C6之內側係機器人1會與自身產生干擾等之區域。因此，保持部520之可動範圍係自假想面C1之內側之空間將假想面C7之內側之空間及假想面C6之內側之空間除去後之空間S5。故而，於本實施形態中，為讓機器人1能夠接近，於空間S5配置供給部20、各檢查部300所具有之承座307之凹部3071及各回收部40等。如此，根據機器人1，可使保持部520之最大可動範圍為大致球狀。因此，如圖8及圖31所示，於機器人系統100中，複數個第1檢查部310、複數個第2檢查部320、複數個第3檢查部330及複數個第4檢查部340分別較佳為自Z軸方向觀察(自重力方向觀察)，配置於以機器人1(嚴格而言為第1旋動軸O1)為中心之圓弧上。藉此，可於末端執行器5所具有之保持部520之可動範圍內效率良好地設置複數個第1檢查部310、複數個第2檢查部320、複數個第3檢查部330及複數個第4檢查部340。因此，可實現機器人系統100之設置面積之省空間化。又，如上所述，第1檢查部310與第2檢查部320係自Z軸方向觀察(自重力方向觀察)重疊而配置(參照圖8)。同樣地，第3檢查部330與第4檢查部340係自Z軸方向觀察(自重力方向觀察)重疊而配置(參照圖8)。藉此，可利用相對較小之設置面積，設置更多第1檢查部310、第2檢查部320、第3檢查部330及第4檢查部340。因此，可進而提高機器人系統100之設置面積之省空間化。再者，所謂第1檢查部310與第2檢查部320重疊包括第1檢查部310之至少一部分與第2檢查部320之至少一部分重疊之情況。所謂2個檢查部300重疊包括一檢查部300之至少一部分與另一檢查部300之至少一部分重疊之情況。具體而言，機器人系統100之設置面積較佳為256 m² 以下，更佳為250 m² 以下，進而更佳為240 m² 以下。於本實施形態中，如圖5所示，機器人系統100之X軸方向之長度L13為約1600 mm。又，機器人系統100之Y軸方向之長度L12為約1600 mm。因此，機器人系統100之設置面積為256 m² 以下。如此，機器人系統100可設置於設置面積相對較小之位置。因此，可使機器人系統100充分小型化。又，機器人系統100具備如上所述之構成之機器人1，且根據機器人1之驅動而設計了供給部20、各檢查部300及各回收部40各配置等。因此，根據機器人系統100，即便設置面積較先前之機器人系統小，與先前之機器人系統相比，亦可將檢查部300之數量增加至1.3～2.6倍左右。又，於機器人系統100中，設置面積較佳為150 m² 以上，更佳為160 m² 以上，進而更佳為170 m² 以上。藉此，可使機器人1效率尤其良好地驅動。又，如圖3所示，於機器人系統100中，設置高度L11(機器人系統100之Z軸方向之長度)較佳為2100 mm以下，更佳為2000 mm以下，進而更佳為1900 mm以下。於本實施形態中，設置高度L11為約1880 mm。如此，藉由具備機器人1，並根據機器人1之驅動而設計供給部20、各檢查部300及各回收部40各配置等，可充分縮小機器人系統100之設置高度。又，如圖5所示，機器人1、上述各回收部40及供給部20自Z軸方向觀察(自重力方向觀察)，位於第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33及第4檢查部群34之內側(位於機器人系統100之中心側)。而且，供給部20(嚴格而言為載置構件25)之上部之高度係第1檢查部310之上部之高度以下，且供給部20(嚴格而言為載置構件25)之上部之高度係第2檢查部320之上部之位置之高度以下(參照圖32)。又，於本實施形態中，供給部20(嚴格而言為載置構件25)之上部之高度係第3檢查部330之上部之高度以下，且供給部20(嚴格而言為載置構件25)之上部之高度係第4檢查部340之上部之位置之高度以下(參照圖32)。尤其是，於本實施形態中，如圖32所示，檢查台301之上表面之位置與載置構件25之上表面之位置大致等同。藉此，可減小或防止於藉由機器人1進行對象物之保持、搬送及釋放時，機器人1與供給部20、第1檢查部310、第2檢查部320、第3檢查部330及第4檢查部340產生干擾之虞。3、機器人1之作業之一例其次，對機器人1之作業之一例進行說明。圖33係用以說明圖12所示之機器人的作業之一例之流程圖。圖34係用以說明圖12所示之機器人的作業之一例之圖。圖35～圖38分別係用以說明圖12所示之機器人所具有之末端執行器保持及釋放對象物之圖。圖39係表示藉由圖12所示之機器人而搬送之對象物之數量與節拍時間之關係之曲線圖。再者，於以下之作業時，機器人1之校準、機器人1與攝像部140之校準，機器人1與對準用攝像部9之校準已完成。又，於以下之作業時，機器人1之動作、或與供給部20、各檢查部300及回收部40之位置等相關之機器人1之示教已完成。如圖33所示，機器人1執行以下步驟：[1]於供給部20進行複數個對象物之保持(步驟S11)，[2]向檢查部群30搬送複數個對象物(步驟S12)，[3]於檢查部群30進行複數個對象物之保持及釋放(步驟S13)，[4]向回收部40搬送複數個對象物(步驟S14)，[5]於回收部40進行複數個對象物之釋放(步驟S15)。其後，機器人1[6]返回至供給部20(步驟S16)。機器人1進行複數次包括[1]～[6]之一系列作業之階段(作業之單位)。於本實施形態中，機器人1對第1檢查部群31、第2檢查部群32、第3檢查部群33、及第4檢查部群34各者進行[1]～[6]之一系列作業。此處，將對第1檢查部群31實施之一系列作業亦稱為「第1階段」，將對第2檢查部群32實施之一系列作業亦稱為「第2階段」，將對第3檢查部群33實施之一系列作業亦稱為「第3階段」，將對第4檢查部群34實施之一系列作業亦稱為「第4階段」。又，於各階段中，一次性進行4個對象物之保持、搬送及釋放。第1階段、第2階段、第3階段及第4階段中之作業除作為對象之檢查部群30不同以外，其他相同，因此以下將第1階段作為代表例進行說明。[1]於供給部20進行複數個對象物之保持(步驟S11)首先，機器人1驅動機械臂10，使末端執行器5之前端部位於供給部20上，自供給部20之載置構件25保持4個對象物80(參照圖12、圖34及圖36)。具體而言，如圖36所示，藉由機器人1所具有之末端執行器5保持4個對象物80。此處，對於圖36所示之末端執行器5所具有之5個保持部520，自圖36中位於最上側之保持部520起依序繞順時針方向亦稱為「第1保持部521」、「第2保持部522」、「第3保持部523」、「第4保持部524」及「第5保持部525」。又，對於圖36中所圖示之複數個對象物80，自圖36中位於最上側之對象物80起依序繞順時針方向亦稱為「第1對象物81」、「第2對象物82」、「第3對象物83」及「第4對象物84」。機器人1對4個對象物80之保持係藉由反覆實施以末端執行器5之1個保持部520吸附並保持1個對象物80之處理而完成。具體而言，首先，如圖35所示，以第1保持部521保持第1對象物81。其後，使旋動構件52繞其旋動軸O53(於本實施形態中為沿著箭頭a1方向)旋動，以第2保持部522保持第2對象物82。同樣地，使旋動構件52沿著箭頭a1方向旋動，以第3保持部523保持第3對象物83，然後使旋動構件52沿著箭頭a1方向旋動，以第4保持部524保持第4對象物84。然後，使旋動構件52沿著箭頭a1方向旋動，使第5保持部525位於最下側。藉此，如圖36所示，成為以除第5保持部525以外之4個保持部520各者保持對象物80之狀態。如此，根據具有旋動構件52及複數個保持部520之末端執行器5，可使旋動構件52旋動，而保持複數個對象物80。又，由於相鄰之保持部520彼此之間隔相等，因此可使旋動構件52於同一方向以固定量旋動，藉此保持各對象物80。因此，其控制相對較為容易。[2]向檢查部群30搬送複數個對象物(步驟S12)其次，機器人1驅動機械臂10，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A11移動，藉此自供給部20向第1檢查部群31搬送4個對象物80(參照圖12、圖34及圖36)。此處，使末端執行器5之前端部移動至位於最靠近供給部20之位置之第1檢查部310。又，於該步驟S12中，亦可經由對準用攝像部9上進行搬送。藉此，可利用對準用攝像部9掌握對象物之保持狀態。因此，於步驟S13中，可高精度地進行對象物向檢查部300之載置。[3]於檢查部群30進行複數個對象物之保持及釋放(步驟S13)其次，如圖34所示，機器人1於第1檢查部群31之各第1檢查部310進行對象物80之保持及釋放。於本實施形態中，相對於1個第1檢查部310，在保持檢查前之1個對象物80後，釋放檢查後之1個對象物80。又，於各第1檢查部310，設定載置有已完成檢查之對象物80。再者，於已完成檢查之對象物80未載置於檢查部300之情形時，只要省略對象物80之保持即可。又，自圖34中位於最左側之第1檢查部310起依序朝向右側，將各第1檢查部310亦稱為「第1檢查部310a」、「第1檢查部310b」、「第1檢查部310c」及「第1檢查部310d」。具體而言，首先，機器人1於第1檢查部310a中，藉由第5保持部525保持載置於第1檢查部310a之第5對象物85(對象物80)後，使旋動構件52繞其旋動軸O53(於本實施形態中為沿著與箭頭a1相反之箭頭a2方向)旋動，使第4保持部524釋放第4對象物84(參照圖12、圖34及圖37)。藉此，如圖37所示，成為以除第4保持部524以外之4個保持部520各者保持對象物80之狀態。繼而，機器人1驅動機械臂10，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A12移動而位於第1檢查部310b(參照圖12、圖34及圖37)。其後，藉由第4保持部524保持載置於第1檢查部310b之第6對象物86(對象物80)後，使旋動構件52沿著箭頭a2方向旋動，使第3保持部523釋放第3對象物83。繼而，同樣地，如圖34所示，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A13移動而位於第1檢查部310c。其後，藉由第3保持部523保持載置於第1檢查部310c之第7對象物87(對象物80)後，使旋動構件52沿著箭頭a2方向旋動，使第2保持部522釋放第2對象物82。繼而，同樣地，如圖34所示，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A14移動而位於第1檢查部310d。其後，藉由第2保持部522保持載置於第1檢查部310d之第8對象物88(對象物80)後，使旋動構件52沿著箭頭a2方向旋動，使第1保持部521釋放第1對象物81。藉此，如圖38所示，成為以除第1保持部521以外之4個保持部520各者保持對象物80之狀態。此處，於上述步驟S11中，5個保持部520中位於最邊沿之第5保持部525(或第1保持部521)成為未保持對象物80之狀態。而且，如上所述，於機器人1在第1檢查部群31保持及釋放對象物80時(步驟S13)，使旋動構件52沿著與機器人1在供給部20保持對象物80時(步驟S11)之旋動構件52之旋動方向相反之方向旋動。藉此，可效率良好地進行對象物80之保持及釋放。再者，於本實施形態中，按照第1檢查部310a、第1檢查部310b、第1檢查部310c及第1檢查部310d之順序進行對象物80之保持及釋放，但並不限定於該順序，順序為任意。例如，亦可按照第1檢查部310d、第1檢查部310c、第1檢查部310b及第1檢查部310a之順序進行對象物80之保持及釋放。[4]向回收部40搬送複數個對象物(步驟S14)其次，機器人1驅動機械臂10，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A15移動，藉此自第1檢查部群31向回收單元4搬送4個對象物80(第5對象物85、第6對象物86、第7對象物87及第8對象物88)(參照圖12、圖34及圖38)。[5]於回收部40進行複數個對象物之釋放(步驟S15)其次，機器人1於回收單元4進行對象物80之釋放。具體而言，基於自檢查控制裝置73傳送至機器人控制裝置71之各對象物80之各檢查結果(良品、不良品或再檢查)，將各對象物80載置於對應之回收部40之載置構件25。又，對象物80向回收部40之載置係藉由一面使旋動構件52沿著箭頭a1方向旋動一面使各保持部520逐一釋放對象物80而進行(參照圖38)。[6]返回至供給部20(步驟S16)然後，機器人1於在回收單元4之所有對象物80之釋放(載置)完成後，驅動機械臂10，使末端執行器5之前端部沿著箭頭A16移動，藉此自回收單元4返回至供給部20(參照圖12及圖34)。藉由以上，機器人1所執行之第1階段完成。於第1階段中，機器人1之搬送時間之合計係於步驟S12及步驟S14中耗費之時間之合計t1，於第1階段中，機器人1之處理時間之合計係於步驟S11、步驟S13及步驟S15中耗費之時間之合計T1。該第1階段中之時間(搬送時間)之合計t1與第1階段中之時間(處理時間)之合計T1成為t1＜T1之關係。又，第1階段完成後，機器人1與上述第1階段同樣地，依序進行第2階段、第3階段及第4階段。於第2、第3、第4階段中，時間之合計t1與時間之合計T1之關係亦分別相同。第2階段中之時間(搬送時間)之合計t2與第2階段中之時間(處理時間)之合計T2成為t2＜T2之關係。第3階段中之時間(搬送時間)之合計t3與第3階段中之時間(處理時間)之合計T3成為t3＜T3之關係。第4階段中之時間(搬送時間)之合計t4與第4階段中之時間(處理時間)之合計T4成為t4＜T4之關係。而且，若第4階段結束，則機器人系統100之檢查作業結束。再者，第4階段結束後，亦可進而反覆實施複數次自第1階段至第4階段之作業。又，於上述說明中，按照第1階段、第2階段、第3階段及第4階段之順序進行作業，但該順序為任意。例如，亦可於第1階段之後進行第3階段。又，所有階段(第1～第4階段)之搬送時間之合計Σ_{t1 ～ 4} 與所有階段(第1～第4階段)之處理時間之合計Σ_{T1 ～ 4} 成為Σ_{t1 ～ 4} ＜Σ_{T1 ～ 4} 之關係。又，反覆實施複數次(m次：m係1以上之整數)所有階段之情形時之搬送時間之合計(Σ_{t1 ～ 4} )×m與處理時間之合計(Σ_{T1 ～ 4} )×m亦成為Σ_{t1 ～ 4} ×m＜Σ_{T1 ～ 4} ×m之關係。以上，對機器人1之作業之一例進行了說明。如上所述，根據機器人1，可一次性搬送複數個對象物80。因此，可縮短節拍時間。此處，於利用機器人1將對象物80逐一分成4次進行搬送之情形時，即，於進行4次經由圖34之箭頭A11、A17之搬送之情形時，該節拍時間(Σ_{t1 ～ 4} ＋Σ_{T1 ～ 4} )為約22.4s。此係例如利用機器人1搬送1.5 kg對象物80之情形時之結果(模擬結果)。另一方面，於以相同條件(對象物80之重量、機器人1之速度及加速度)利用機器人1一次性搬送4個對象物80之情形時，即，於進行經由圖34之箭頭A11～A15之搬送之情形時，該節拍時間(Σ_{t1 ～ 4} ＋Σ_{T1 ～ 4} )為約19.5s。如此，藉由利用機器人1一次性搬送複數個對象物80，可大幅度削減節拍時間。又，實測各步驟S11～S15中之時間後發現：於利用機器人1將4個對象物80一次性搬送至第1檢查部群31等之情形時，步驟S11中之節拍時間為2.84 s，步驟S12中之節拍時間為1.30 s，步驟S13中之節拍時間為5.87 s，步驟S14中之節拍時間為1.53 s，步驟S15中之節拍時間為3.24 s。因此，於利用機器人1將4個對象物80一次性搬送至第1檢查部群31等之情形時，即於第1階段中，搬送時間為2.83 s，處理時間為11.95 s。又，於第2階段中，搬送時間為2.40 s，處理時間為14.02 s。另一方面，於利用機器人1將對象物80逐一分成4次進行搬送等之情形時，即於第1階段中，搬送時間為9.44 s，處理時間為10.64 s。又，於第2階段中，搬送時間為9.04 s，處理時間為12.4 s。又，於圖39中，表示出一次搬送之對象物80之數量與節拍時間(Σ_{t1 ～ z} ＋Σ_{T1 ～ z} ：Z係1以上之整數)之關係(模擬結果)。曲線圖之橫軸表示一次搬送之對象物80之數量，縱軸表示每1個對象物80之節拍時間[s]。於該例中，若一次搬送之對象物80之數量為2個以上且4個以下，則每1個對象物80之節拍時間[s]大幅度減少。又，於該例中，若一次搬送之對象物80之數量為5個以上，則每1個對象物80之節拍時間之減少幅度變小。自縮短節拍時間之觀點而言，利用機器人1一次搬送之對象物80之數量只要是複數個即可，並不特別限定，較佳為2～8個，更佳為6個以下，特佳為5個以下。尤其是，於本實施形態中，如上所述，將一次搬送之對象物80之數量設定為4個。藉此，可使節拍時間特短，且可使保持複數個對象物80之末端執行器5特別小型。又，根據機器人系統100，包含所有階段(第1～第4階段)之作業中之機器人1之搬送時間之合計(Σ_{t1 ～ 4} )短於處理時間(保持釋放時間)之合計(Σ_{T1 ～ 4} )。如此，藉由搬送時間之合計較短，可縮短節拍時間，又，藉由處理時間之合計較長，可減少對象物80之保持錯誤等。其結果，可提高產能。進而，根據機器人系統100，於第1階段、第2階段、第3階段及第4階段各者中，可使機器人1之搬送時間之合計短於處理時間之合計。因此，可更顯著地發揮上述效果。此處，所謂搬送時間例如係指機器人1於供給部20與檢查部群30之間進行搬送所耗費之時間、或機器人1於檢查部群30與回收部40之間進行搬送所耗費之時間。於本實施形態中，在步驟S12中耗費之時間、或在步驟S14中耗費之時間相當於搬送時間。再者，搬送時間中包括對象物80之搬送中經由任意位置(例如，對準用攝像部9上之位置)之搬送。但該搬送時間中不包括對象物80之保持或釋放之時間。更嚴格而言，所謂搬送時間係指自於1個區域(例如，供給部20、檢查部群30或回收部40中任一者)開始加速之狀態至於與上述1個區域不同之另一區域終止減速之狀態為止之動作。又，所謂處理時間例如係指機器人1於供給部20保持對象物80之時間、機器人1於檢查部群30保持及釋放對象物80之時間、或機器人1於回收部40釋放對象物80之時間。處理時間中包括機器人1之檢查部群30所具有之各檢查部300間之移動。又，處理時間中包括機器人1之回收單元4所具有之各回收部40間之移動。即，於1個單元(供給單元2、檢查單元3或回收單元4)內之移動包含於處理時間中。於本實施形態中，在步驟S11中耗費之時間、在步驟S13中耗費之時間、或在步驟S15中耗費之時間相當於處理時間。又，更嚴格而言，所謂處理時間係指於1個單元中，自機器人1開始執行保持(或釋放)第1個對象物之動作之狀態至機器人1完成最後一個對象物之保持(或釋放)且機器人1即將開始將對象物向其他單元搬送之狀態為止之動作。於本說明書中，處理時間之含義包括機器人1僅進行保持之時間，且包括機器人1僅進行釋放之時間。如以上所說明般，機器人系統100具備：供給部20，其供給對象物80；第1檢查部群31，其具有檢查所供給之對象物80之複數個第1檢查部310；第2檢查部群32，其具有檢查所供給之對象物80之複數個第2檢查部320；回收部40，其回收檢查後之對象物80；及機器人1，其具有機械臂10，進行對象物80之保持、搬送及釋放。而且，機器人1可一次性搬送複數個對象物80，於自對象物80之供給至回收為止之期間，機器人1搬送對象物80之搬送時間之合計短於機器人1保持或釋放對象物80之處理時間之合計。根據此種機器人系統100，機器人1可一次性搬送複數個對象物80，因此可將複數個對象物80一次集中搬送至第1檢查部群31或第2檢查部群32。又，具有複數個第1檢查部310及第2檢查部320，因此可於1個機器人系統100中進行複數個對象物80之檢查。進而，機器人1之搬送時間之合計短於處理時間(保持、釋放之時間：給料卸料時間)之合計，因此既可減少例如對象物80之保持錯誤等之發生，亦可將更多對象物80以更短時間搬送至第1檢查部310或第2檢查部320。基於此種優點，根據機器人系統100，能以更短時間檢查更多對象物80。因此，可使產能(每單位時間可處理之對象物之檢查數)較先前有所提高。又，搬送時間之合計較佳為處理時間之合計之1/3以下，更佳為1/4以下。藉此，既可減少例如對象物80之保持錯誤等之發生，亦可於第1檢查部310及第2檢查部320以更短時間檢查更多對象物80。進而，於本實施形態中，具有：第3檢查部群33，其具有檢查所供給之對象物80之複數個第3檢查部330；及第4檢查部群34，其具有檢查所供給之對象物80之複數個第4檢查部340。因此，可於1個機器人系統100中檢查更多對象物80。此處，一般而言，檢查IC(積體電路)單體之IC測試處理器具有1個檢查部，於該1個檢查部一次性檢查複數個IC。與此相對地，一般而言，於搭載有IC等之電路基板之檢查中，於1個檢查部檢查1個電路基板。因此，機器人系統100由於具有複數個檢查部300，故而於進行搭載有IC等之電路基板等(例如，SiP等)之檢查之情形時，可特別顯著地發揮上述效果。即，於在1個檢查部300中檢查1個對象物80之情形時可特別顯著地發揮上述效果。又，於機器人系統100具備2個以上「機器人」之情形時，各機器人耗費之搬送時間之合計短於處理時間之合計，又，各機器人之搬送時間之合計相加所得之時間短於各機器人之處理時間之合計相加所得之時間。藉此，可進一步提高產能。又，機器人1保持及釋放對象物80之作業中至少一者係於供給部20、第1檢查部群31、第2檢查部群32及回收部40各者中進行。藉由延長於此種部位之處理時間，例如可減小對象物80之破損或保持錯誤之虞，且可適切地保持及釋放對象物80。又，機器人1搬送對象物80之作業係於供給部20與第1檢查部群31之間、第1檢查部群31與回收部40之間、供給部20與第2檢查部群32之間、第2檢查部群32與回收部40之間各者中進行。藉由縮短於此種區間之搬送時間，可進一步縮短搬送時間之合計，從而可進一步提高產能。進而，於本實施形態中，機器人1搬送對象物80之作業係於供給部20與第3檢查部群33之間、第3檢查部群33與回收部40之間、供給部20與第4檢查部群34之間、第4檢查部群34與回收部40之間各者進行。藉此，可進一步縮短搬送時間之合計，從而可進一步提高產能。又，如上所述，機器人1以對象物80為對象所實施之作業具有：第1階段，其包含於供給部20、第1檢查部群31及回收部40中之對象物80之保持及釋放之至少一者、以及於供給部20與第1檢查部群31之間及第1檢查部群31與回收部40之間之對象物80之搬送；及第2階段，其包含於供給部20、第2檢查部群32及回收部40中之對象物80之保持及釋放之至少一者、以及於供給部20與第2檢查部群32之間及第2檢查部群32與回收部40之間之對象物80之搬送。而且，於第1階段中，機器人1對對象物80之搬送時間之合計短於機器人1對對象物80之處理時間之合計，於第2階段中，機器人1對對象物80之搬送時間之合計短於機器人1對對象物80之處理時間之合計。如此，於第1階段及第2階段兩者中，搬送時間之合計均短於處理時間之合計，因此可進一步提高產能。更具體而言，機器人1進行如下作業：第1作業(第1階段之步驟S11)，其係利用機械臂10自供給部20保持複數個對象物80；第2作業(第1階段之步驟S12)，其係於第1作業之後利用機械臂10將複數個對象物80自供給部20搬送至第1檢查部群31；第3作業(第1階段之步驟S13)，其係於第2作業之後在第1檢查部群31利用機械臂10進行釋放複數個對象物80之作業及保持複數個對象物80之作業；第4作業(第1階段之步驟S14)，其係於第3作業之後利用機械臂10將複數個對象物80自第1檢查部群31搬送至回收部40；及第5作業(第1階段之步驟S15)，其係於第4作業之後利用機械臂10將複數個對象物80於回收部40釋放。又，機器人1進行如下作業：第6作業(第2階段之步驟S11)，其係於第5作業之後利用機械臂10自供給部20保持複數個對象物80；第7作業(第2階段之步驟S12)，其係於第6作業之後利用機械臂10將複數個對象物80自供給部20搬送至第2檢查部群32；第8作業(第2階段之步驟S13)，其係於第7作業之後在第2檢查部群32利用機械臂10進行釋放複數個對象物80之作業及保持複數個對象物80之作業；第9作業(第2階段之步驟S14)，其係於第8作業之後利用機械臂10將複數個對象物80自第2檢查部群32搬送至回收部40；及第10作業(第2階段之步驟S15)，其係於第9作業之後利用機械臂10將複數個對象物80於回收部40釋放。而且，作為第2作業耗費之搬送時間之第2時間與作為第4作業耗費之搬送時間之第4時間之合計短於作為第1作業耗費之處理時間之第1時間、作為第3作業耗費之處理時間之第3時間、及作為第5作業耗費之處理時間之第5時間之合計。進而，作為第7作業耗費之搬送時間之第7時間與作為第9作業耗費之搬送時間之第9時間之合計短於作為第6作業耗費之處理時間之第6時間、作為第8作業耗費之處理時間之第8時間、及作為第10作業耗費之處理時間之第10時間之合計。藉此，可減少例如對象物80之保持錯誤等之發生，且可於第1檢查部310及第2檢查部320以更短時間檢查更多對象物80。因此，可進一步提高產能。進而，於本實施形態中，在第3階段中，機器人1對對象物80之搬送時間之合計短於機器人1對對象物80之處理時間之合計。又，在第4階段中，機器人1對對象物80之搬送時間之合計短於機器人1對對象物80之處理時間之合計。藉此，可進而提高產能。又，如上所述，機械臂10具有已連結之至少2個臂(例如，第1臂11及第2臂12)。而且，機器人1較佳為於自供給至回收為止之期間，在至少2個臂(例如，第1臂11及第2臂12)交叉之狀態下進行對象物80之搬送。藉此，可降低對象物80之搬送時之機械臂10之振動，故而可進一步加快使對象物80移動時之機器人1之速度及加速度。因此，可進一步提高產能。又，可更迅速地開始搬送後之對象物80之保持及釋放。此處，在伸長機械臂10之狀態下活動機械臂10相較於在彎曲機械臂10之狀態下活動機械臂，振動之影響變大。振動係因為各臂11～16之力而產生。因此，若使機械臂10於伸長之狀態下動作，則機器人1之重心位置遠離第1旋動軸O1之旋轉中心，故而重心位置之加速度變大。力(F)具有質量(m)×加速度(a)之關係，因此若重心位置之加速度變大，則機械臂10之力變大，藉此，振幅(振動量)變大。又，伸長機械臂10時，至機械臂10之前端之距離變遠，故而即便於伸長機械臂10之狀態下與彎曲機械臂10之狀態下機械臂10之根部(與基台110之連接部分)之振動量相同之情形時，機械臂10之前端之位置離根部更遠之伸長機械臂10之狀態下，機械臂10之前端之振動量更大地位移。基於此種原因，較佳為於至少2個臂交叉之狀態下進行對象物80之搬送。又，於上述機器人1之作業中，在檢查部群30所具有之全部4個檢查部300中利用機器人1進行對象物80之保持及釋放，但亦可僅對該等所有檢查部300中任意之檢查部300進行對象物80之保持及釋放。因此，機器人1亦可對第1檢查部群31所具有之複數個第1檢查部310中之被選擇之第1檢查部310進行對象物80之保持或釋放，對第2檢查部群32所具有之複數個第2檢查部320中之被選擇之第2檢查部320進行對象物80之保持或釋放。藉此，機器人1例如可跳過正在維護之第1檢查部310或第2檢查部320，對剩餘第1檢查部310或第2檢查部320進行對象物80之保持或釋放。因此，例如於維護中無需停止機器人1之所有作業(保持、搬送及釋放)等，故而可減少機器人1之待機時間。其結果，可減小產能降低。再者，此種機器人1之作業係於機器人控制裝置71之控制之下進行。又，於第1檢查部310之任一者正在進行維護等之情形時，機器人控制裝置71亦可按照機器人1跳過第1階段，進行第2階段、第3階段及第4階段之方式，控制機器人1。即，機器人控制裝置71可選擇是否於每個檢查部300逐一讓機器人1進行作業，亦可選擇是否於每個檢查部群30讓機器人1進行作業。又，例如，機器人控制裝置71亦可按照由維護完成之檢查部300或檢查部群30隨時讓機器人1進行作業之方式加以控制。4、自動示教其次，對機器人控制裝置71實施之自動示教進行說明。圖40係用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的一例之流程圖。圖41係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的機器人之前端部之圖。圖42係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的檢查台之圖。圖43係表示設置於圖42所示之承座之基準標記之圖。圖44係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的機器人之前端部之圖。圖45係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的末端執行器之保持部與檢查台上之對象物之距離之圖。以下，對自動示教之一例進行說明。以下，例如，以相對於機器人1之檢查部300之承座307之示教為例而進行說明(參照圖42)。如圖40所示，機器人控制裝置71[1]進行攝像部140之圖像座標系與機器人1之機器人座標系之校準(步驟S21)，[2]為進行示教使機器人1移動(步驟S22)，[3]進行示教(步驟S23)。[1]攝像部140之圖像座標系與機器人1之機器人座標系之校準(步驟S21)首先，機器人控制裝置71使攝像部140拍攝例如設置於校準板(未圖示)之任意之標記(未圖示)，使機器人1以保持部520之前端與該標記接觸。藉此，求出保持部520相對於機械臂10之前端之偏移量。再者，接觸部位並不限定於保持部520。繼而，進行所謂之9點校準，進行與機器人1之機器人座標系之對應建立即校準。藉此，可將機器人1之機器人座標系中之座標(機器人座標)轉換成攝像部140之圖像座標系中之座標(圖像座標)。再者，該步驟S21較佳為於進行末端執行器5之更換等之情形時進行，亦可適當予以省略。[2]用以示教承座307之機器人1之移動(步驟S22)其次，機器人控制裝置71為了對機器人1示教承座307使機器人1移動。具體而言，首先，機器人控制裝置71基於承座307之設計座標(更嚴格而言為凹部3071之設計座標)，使機器人1之末端執行器5移動至利用攝像部140可拍攝承座307之位置(參照圖41)。或者，機器人控制裝置71以一面利用攝像部140拍攝檢查台301，一面使末端執行器5之前端部於某預定區域S3內移動之方式驅動機器人1，藉此發現承座307之位置(參照圖41及圖42)。藉此，確定承座307之X軸方向及Y軸方向之位置。繼而，機器人控制裝置71尋找以攝像部140之自動聚焦功能而對焦之位置。藉此，確定承座307之Z軸方向之位置。[3]示教(步驟S23)其次，進行X軸方向及Y軸方向之示教，進行Z軸方向之示教。於X軸方向及Y軸方向之示教中，使用攝像部140。具體而言，利用攝像部140拍攝承座307上所準備之凹部3071之基準標記3072，記憶該位置之X軸及Y軸之機器人座標(x，y)(參照圖43及圖44)。再者，基準標記3072可為凹部3071之任一位置。其中，基準標記3072較佳為如圖43所示設置於凹部3071之底面之中心。或者，基準標記3072較佳為設置於凹部3071之底面之角落處等。藉此，可更高精度地求出用以更確切地進行對象物80之保持及釋放之教示點。又，於Z軸方向之示教中，使用設置於負壓產生裝置130之檢測部150(參照圖23)。又，此處，於承座307之凹部3071內預先載置對象物80(參照圖45)。具體而言，首先，如圖44所示，以末端執行器5之保持部520位於承座307之凹部3071之中心上之方式驅動機器人1。繼而，使負壓產生裝置130作動而使配管50內成為負壓狀態，例如，每次0.01～0.05 mm地使保持部520之前端逐步靠近凹部3071內之對象物80。然後，機器人控制裝置71記憶來自檢測部150之檢測結果(壓力值)未達閾值時之地點。將該地點作為保持部520能吸附對象物80之高度(Z軸方向上之位置)之上限值。繼而，使負壓產生裝置130作動而使配管50內成為正壓狀態，進而例如每次0.01～0.05 mm地使保持部520之前端逐步靠近凹部3071內之對象物80。然後，機器人控制裝置71記憶來自檢測部150之檢測結果(壓力值)超過閾值之地點。將該地點作為保持部520能吸附對象物80之高度之下限值。繼而，基於所求出之高度之上限值與下限值，如圖45所示，決定保持部520能吸附對象物80之高度範圍d20。然後，記憶該範圍d20之例如中間高度之Z軸之機器人座標(z)。然後，將以此方式求出之機器人座標(x，y，z)作為承座307之凹部3071之教示點加以記憶。再者，在本實施形態中，於在凹部3071載置有對象物80之狀態下進行了示教，但例如亦可不將對象物80載置於凹部3071，而對凹部3071之底面進行示教。於該情形時，只要使用所求出之機器人座標加上對象物80之設計厚度而求得之座標作為教示點即可。又，於本實施形態中，檢測部150係使用壓力感測器，於檢測部150係使用流量感測器之情形時，亦可藉由對利用檢測部150而檢測出之配管50中之氣體之每單位時間之流量，求出上述高度之上限值與下限值。又，亦可使用力檢測部120，例如對末端執行器5之保持部520與對象物80之接觸進行檢測，藉此求出上述高度。以上，對自動示教進行了說明。如上所述，機器人1具備：作為「構件」之末端執行器5，其連接於機械臂10，且具有作為以吸附方式保持對象物80之複數個「吸附部」發揮功能之保持部520；作為「流路部」之配管50，其連接於作為「吸附部」發揮功能之保持部520，且具備供氣體流動之流路(配管50之內部)；檢測部150，其檢測作為「流路部」之配管50中之氣體之壓力或每單位時間之流量；及攝像部140，其具有攝像功能(參照圖23)。然後，基於來自攝像部140之檢測結果(圖像資料)、及來自檢測部150之檢測結果(壓力值)，求出機器人1保持及釋放對象物80時之教示點。根據此種方法，可高精度地求出教示點。因此，藉由使用該教示點讓機器人1進行對象物80之保持及釋放，可減少或防止例如對象物80之保持錯誤等，故而可確切地進行機器人1保持及釋放對象物80之作業。此處，若在用於檢查部300之機型切換之維護、或日常檢查、清潔等中，進行檢查部300所具有之檢查台301之殼體6內外之進出，則有承座307之位置偏移之可能性。因此，於本實施形態中，較佳為例如在將檢查台301復位至殼體6內後等，於機器人控制裝置71之控制之下，如上所述，自動地進行機器人1之承座307示教(自動示教)。藉此，例如可節省伴隨檢查部300之機型切換，作業人員手動地進行承座307之對位(教示)之工序。因此，可效率良好地進行機型切換，故而根據機器人系統100，可較佳地應對變型變量生產。再者，於供給部20或回收部40中亦可謂相同。又，例如藉由使用攝像部140及檢測部150，例如可檢測載置於供給部20或回收部40之載置構件25之錯位、載置構件25相對於供給部20或回收部40之浮起、或載置構件25之翹曲等。其等例如可按照與上述自動示教之步驟S23同樣地求出。例如，機器人控制裝置71使用攝像部140求出載置構件25之8個角部257之位置(機器人座標：x，y)，基於所求出之位置，求出載置構件25之自設計位置(機器人座標：x，y)偏移之量作為修正值，並加以記憶(參照圖7)。再者，即便不求出8個角部257之位置，亦可使用位於載置構件25之角處之4個角部257求出修正值。又，例如，機器人控制裝置71使用檢測部150求出載置構件25之8個角部257之高度(機器人座標：z)，基於所求出之高度，求出載置構件25之自設計高度(機器人座標：z)偏移之量作為修正值，並加以記憶。藉由將此種修正值考慮在內而驅動機器人1，可更高精度地於供給部20或回收部40進行機器人1之作業。此處，例如，於承座307之凹部3071中混入有污物等異物之情形時等，有於檢查中發生導通不良之情形。於此種情形時，使負壓產生裝置130作動而使配管50內成為正壓狀態，使氣體(具體而言為壓縮空氣)自保持部520之貫通孔5201噴出。藉此，可自承座307之凹部3071除去異物。即，可自動清潔保持部520或承座307。又，雖未圖示，但例如較佳為將供作業人員對機器人控制裝置71下達開始自動清潔指示之按鈕預先設置於機器人系統100。藉此，作業人員可藉由操作該按鈕而於任意之時序執行自動清潔。該自動清潔例如較佳為於在同一檢查內容中發生了複數次不良之情形時進行。再者，亦可於末端執行器5設置保持部520以外之自動清潔專用墊(未圖示)。＜第2實施形態＞其次，對本發明之第2實施形態進行說明。圖46係表示本發明之第2實施形態之機器人系統所具有的檢查部之側視圖。圖47係表示於圖46所示之檢查部進行檢查之對象物之一例之圖。本實施形態之機器人系統除檢查部之構成不同以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第2實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明，對於相同之事項則省略其說明。本實施形態中之檢查部300如圖46所示具備承座309，該承座309具有作為可***對象物80之***部之凹部3091。凹部3091開設於圖46中右側。此種承座309例如形成為平板狀，適於檢查對象部分位於外周部之對象物之檢查。作為該對象物，例如可列舉如圖47所示之對象物89，該對象物89包含SSD(solid state drive，固體狀態驅動機)等，且設置於外周部之連接器891係檢查對象。於機器人1對此種對象物89實施搬送等作業之情形時，機器人1只要使用具有複數個指之手(未圖示)作為「末端執行器」，而利用複數個指握持對象物89之外周部即可。又，於利用機器人1向凹部3091中進行對象物89之連接器891之***及拔出時，較佳為基於來自力檢測部120之檢測結果而進行連接器891向凹部3091之***或連接器891自凹部3091之拔出。藉此，可更適切地進行連接器891之***及拔出。＜第3實施形態＞其次，對本發明之第3實施形態進行說明。圖48係自上側觀察本發明之第3實施形態的機器人系統之內部之模式圖。本實施形態之機器人系統除檢查部之構成不同以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第3實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明，對於相同之事項則省略其說明。本實施形態中之檢查單元3具有8個檢查部300。具體而言，第1檢查部群31具有2個第1檢查部310(檢查部300)，第2檢查部群32具有2個第2檢查部320(檢查部300)，第3檢查部群33具有2個第3檢查部330(檢查部300)，第4檢查部群34具有2個第4檢查部340(檢查部300)。又，於本實施形態中，將對第1檢查部群31及第3檢查部群33實施之一系列作業設定為「第1階段」，將對第2檢查部群32及第4檢查部群34實施之一系列作業設定為「第2階段」。因此，於本實施形態中，例如，於供給部20保持複數個對象物後，對2個第1檢查部310及2個第3檢查部330搬送複數個對象物並進行保持及釋放，然後，於回收部40進行複數個對象物之釋放。同樣地，例如，於供給部20保持複數個對象物後，對2個第2檢查部320及2個第4檢查部340搬送複數個對象物並進行保持及釋放，然後，於回收部40進行複數個對象物之釋放。再者，於本實施形態中，同樣地在預先未於檢查部300載置對象物之情形時，亦可於檢查部300中不進行對象物之保持。如此，亦可於1個階段中對2個以上檢查部群30進行作業。＜第4實施形態＞其次，對本發明之第4實施形態進行說明。圖49係自上側觀察本發明之第4實施形態的機器人系統之內部之模式圖。圖50係表示具有複數個圖49所示之機器人系統之機器人系統單元之圖。圖51及圖52係分別表示圖49所示之供給回收單元之變化例之模式圖。再者，於圖49～圖52中，省略了外罩構件62之圖示。本實施形態之機器人系統除供給部及回收部之構成不同以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第4實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明，對於相同之事項則省略其說明。如圖49所示，本實施形態中之機器人系統100具備具有供給部及回收部之功能且具有輸送機241之供給回收單元24。於本實施形態中，輸送機241設置於殼體6之外部。再者，亦可為輸送機241之一部分或全部設置於殼體6之內部。該輸送機241之搬送方向為-X軸方向，可於-X軸方向(於圖49中為自左向右)搬送對象物。再者，輸送機241之搬送方向亦可為+X軸方向，而於+X軸方向(於圖49中為自右向左)搬送對象物。又，輸送機241只要為可搬送對象物之構成即可，其構成並不特別限定，亦可為所謂之帶式輸送機或所謂之滾筒式輸送機等任意者。又，輸送機241之+X軸側之區域作為供給部發揮功能，輸送機241之-X軸側之區域作為回收部發揮功能。因此，機器人1於在輸送機241之+X軸側之區域進行對象物之保持後，將所保持之對象物搬送至檢查部300。又，機器人1將已完成檢查之對象物載置於輸送機241之-X軸側之區域(或於該區域釋放)。藉由具備此種構成之供給回收單元24，可節省作業人員對機器人系統100供給或回收對象物之工序，從而可使所有作業均自動化。又，於圖50中，表示出具備複數個機器人系統100之機器人系統單元1000。複數個機器人系統100係於X軸方向排列而設置，各機器人系統100所具有之輸送機241相連結。藉此，例如可實現能藉由於各機器人系統100中進行不同內容之檢查而進行多種檢查之機器人系統單元1000。又，供給回收單元24例如亦可設定為圖51及圖52所示之構成。圖51所示之供給回收單元24具有輸送機242。於輸送機242中，作為回收部發揮功能之-X軸側之區域分為3個區域2421、2422、2423。區域2421作為載置在檢查部300中被判斷為良品之對象物的良品用回收部發揮功能。區域2422作為載置在檢查部300中被判斷為不良品之對象物的不良品用回收部發揮功能。區域2423作為載置在檢查部300中被判斷為再檢查之對象物的再檢查用回收部發揮功能。如此，藉由將作為回收部發揮功能之-X軸側之區域根據檢查結果加以劃分，可節省之後按照每種檢查結果區分對象物之工序。圖52所示之供給回收單元24具有3個輸送機243、244、245。輸送機243具有作為供給部之功能、及作為良品用回收部之功能。又，輸送機243之+X軸側作為供給部發揮功能，輸送機243之-X軸側作為良品用回收部發揮功能。輸送機244作為不良品用回收部發揮功能。又，輸送機244係以除-X軸方向以外亦可向+X軸方向搬送對象物之方式構成。該輸送機244係根據對象物之檢查後之後處理之內容而改變搬送方向。例如，輸送機244於分析或廢棄所載置之對象物之情形時，係以向-X軸方向搬送對象物之方式驅動。又，例如，輸送機244於使所載置之對象物恢復至前工段之情形時，係以向+X軸方向搬送對象物之方式驅動。又，輸送機245具有作為再檢查用回收部之功能。該輸送機245不具有作為供給部之功能，因此如圖52所示，較具有作為供給部之功能之輸送機243，搬送方向上之長度較短。如此，圖52所示之供給回收單元24具有：輸送機243，其具有作為供給部及良品用回收部之功能；輸送機244，其具有作為不良品用回收部之功能；及輸送機245，其具有作為再檢查用回收部之功能。藉此，可效率更良好地進行對象物之供給及回收與後處理。再者，於圖52中，輸送機243、輸送機244及輸送機245係自+Y軸側起依序沿著Y軸方向(水平方向)排列而設置，輸送機243、244、245之排列順序並不限定於此，而為任意。＜第5實施形態＞其次，對本發明之第5實施形態進行說明。圖53係本發明之第5實施形態之機器人系統之左側視圖。再者，於圖53中，省略了外罩構件之圖示。本實施形態之機器人系統除供給部及回收部之構成不同以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第5實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明，對於相同之事項則省略其說明。如圖53所示，供給單元2與回收單元4係沿著Z軸方向(鉛垂方向)排列。又，於本實施形態中，回收單元4位於供給單元2之下方。又，回收單元4所具有之良品用回收部41(回收部40)、不良品用回收部42(回收部40)及再檢查用回收部43(回收部40)係自+Z軸側起依序沿著Z軸方向排列而設置。藉由具備此種構成之供給單元2及回收單元4，可與供給部20及各回收部40係沿著X軸方向排列而設置之情形時相比縮小機器人系統100之X軸方向之長度。又，雖未圖示，但此種本實施形態中之供給單元2及回收單元4例如可設定為如下構成：具備具有於Z軸方向排列而配置之4個架板之架。可使位於最上側之架板作為供給部20發揮功能，使位於自上數第2個之架板作為良品用回收部41發揮功能，使位於自上數第3個之架板作為不良品用回收部42發揮功能，使位於最下側之架板作為再檢查用回收部43發揮功能。又，例如，供給單元2及回收單元4亦可分別包含將X軸方向作為搬送方向之輸送機。＜第6實施形態＞其次，對本發明之第6實施形態進行說明。圖54係本發明之第6實施形態之機器人系統之前視圖。再者，於圖54中，省略了外罩構件之圖示。如圖54所示，本實施形態之機器人系統100除供給部及回收部之構成不同以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第6實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明，對於相同之事項則省略其說明。如圖54所示，供給部20及3個回收部40分別包含所謂之托盤承載器(搬送裝置)。雖未圖示，但該托盤承載器係可沿著Z軸方向堆疊放置複數個能載置複數個對象物之載置構件即托盤的裝置，又，係可使所期望之托盤沿著Y軸方向移動而使其位於機器人1之可動範圍內的裝置。該托盤承載器例如係由周邊機器控制裝置72控制。藉由具備此種構成之供給部20及3個回收部40，可將複數個對象物載置於供給部及3個回收部40。因此，可將供給部20及3個回收部40作為保管對象物之保管部加以有效利用。又，藉由具備此種構成之供給部20及3個回收部40，可節省作業人員將對象物相對於機器人系統100而供給或回收之工序，從而可使所有作業均自動化。再者，供給部20及3個回收部40亦可包含1個托盤承載器，逐個托盤地分配供給部20及3個回收部40。＜第7實施形態＞其次，對本發明之第7實施形態進行說明。圖55係自上側觀察本發明之第7實施形態之機器人系統之概略圖。圖56係表示設置於圖55所示之機器人系統所具備之載置台的載置構件之一例之圖。本實施形態之機器人系統主要除具有空載置構件收集部、2個載置台、及2個機器人以外，其他與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第7實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明。如圖55所示，本實施形態之機器人系統100具有空載置構件收集部44、2個載置台74、75、第1實施形態中所述的圖12所示之構成之機器人1、及與機器人1不同之機器人1A。於供給單元2與回收單元4之間，設置有將未載置對象物之空的載置構件25回收之空載置構件收集部44。又，雖未圖示，但空載置構件收集部44及供給單元2與回收單元4相連結，構成為載置構件25能於其等之間自動移動。藉此，例如，於自供給部20之載置構件25卸下所有對象物時，可使供給部20之載置構件25移動至空載置構件收集部44。又，於回收部40之載置構件25被卸除後，可使空載置構件收集部44之載置構件25移動至回收部40。此外，於回收部40之載置構件25滿載時，可按照相對於該滿載之載置構件25而堆疊之方式使空載置構件收集部44之載置構件25移動至回收部40。機器人1A設置於機器人系統100之地板部。又，對機器人1A或機器人1A之對象物實施作業之部位(例如末端執行器)可沿著X軸、Y軸及Z軸移動。又，對機器人1A之對象物實施作業之部位可向供給部20、空載置構件收集部44、各回收部40、載置台74、75接近。對機器人1A之對象物實施作業之部位之可動範圍係圖55所示之區域S7內。另一方面，機器人1所具有之末端執行器5之可動範圍係假想面C5內。於本實施形態中，利用機器人1進行對象物相對於各檢查部300之搬送、握持及釋放，利用機器人1A進行對象物相對於供給部20及各回收部40之搬送、握持及釋放。如此，藉由以機器人1及機器人1A分擔以對象物為對象之作業，可縮短對機器人1之末端執行器5及機器人1A之對象物實施作業之部位之各移動距離。因此，可進一步縮短節拍時間。又，藉由將機器人1A設定為所謂之底置，將機器人1設定為所謂之懸吊，可減少機器人1A與機器人1於作業中相互干擾之情況。又，於供給單元2及回收單元4與檢查單元3之間，設置有載置台74、75。更具體而言，載置台74位於供給單元2與檢查單元3之間，載置台75位於回收單元4與檢查單元3之間。該等載置台74、75可作為於機器人1A與機器人1之間交接對象物之場所而使用。例如，機器人1A於供給部20保持對象物並將對象物搬送、載置於載置台74。另一方面，機器人1於載置台74保持對象物並將對象物搬送、載置於檢查部300。又，機器人1於檢查部300保持對象物並將對象物搬送、載置於載置台75。另一方面，機器人1A於載置台75保持對象物並將對象物搬送、載置於回收部40。如此，藉由利用載置台74、75，可效率良好地進行對象物於機器人1與機器人1A之間之交接，可利用機器人1及機器人1A分擔以對象物為對象之作業。又，例如，機器人1於在載置台74保持對象物並將對象物搬送、保持及釋放於檢查部300後，將對象物搬送、載置於載置台75。其後，機器人1可返回至載置台74，但機器人1亦可於在載置台75保持對象物並將對象物搬送、保持及釋放於檢查部300後，將對象物搬送、載置於載置台74。藉此，可進一步縮短節拍時間。又，載置於載置台74之載置構件25較佳為翹曲等較小且高精度地定位之狀態。藉此，即便省略於機器人1保持對象物後，藉由對準用攝像部9掌握對象物之保持狀態之步驟，亦可高精度地進行對象物向檢查部300之載置。再者，載置於載置台75之載置構件25係載置已完成檢查之對象物，故而定位精度亦可較於載置於載置台74之載置構件25。再者，於本實施形態中，具有載置台74、75，但「載置台」亦可為1個。於該情形時，較佳為如圖56所示於載置台設置有載置構件25A、及較載置構件25A更高精度地定位之載置構件25B。＜第8實施形態＞其次，對本發明之第8實施形態進行說明。圖57係自上側觀察本發明之第8實施形態之機器人系統之概略圖。本實施形態之機器人系統主要為分別具有供給單元、檢查單元、回收單元及機器人各2個，除此以外與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第8實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明。如圖57所示，本實施形態之機器人系統100具有2個供給單元2、2個檢查單元3、2個回收單元4及2個機器人1。即，機器人系統100具有2個單元群200，該單元群200具有1個供給單元2、1個檢查單元3、1個回收單元4及1個機器人1。藉由此種構成，例如，可實現能藉由於各單元群200中進行不同內容之檢查而進行多種檢查之機器人系統100。又，於2個機器人1之間準備有各種「末端執行器」，可配置能更換末端執行器之工具變換器76。藉此，各機器人1可利用工具變換器76安裝與檢查內容對應之末端執行器。＜第9實施形態＞其次，對本發明之第9實施形態進行說明。圖58係自上側觀察本發明之第9實施形態之機器人系統之概略圖。本實施形態之機器人系統主要為具備移動機構、以及分別設置有供給單元與回收單元各2個，除此以外與上述第8實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第9實施形態，以與上述第8實施形態不同之點為中心而進行說明。圖58所示之機器人系統100具有2個供給單元2、及2個回收單元4。藉此，例如可實現能藉由使向2個供給部20供給之對象物為不同種類而進行2種對象物之檢查之機器人系統100。又，機器人1設置於移動機構91。移動機構91具有可沿著X軸方向往返移動地支持機器人1之功能。雖未圖示，但移動機構91例如具備用以安裝基台110之安裝部、使安裝部沿著X軸方向往返移動之移行軸、及驅動移行軸之驅動源。該驅動源例如係由周邊機器控制裝置72所控制。藉由此種移動機構91，機器人1可沿著X軸方向移動，故而機器人1可於沿著水平方向跨及較大範圍而設置之複數個檢查部300、複數個供給部20及複數個回收部40中進行作業。又，可於殼體6內之外周部配置例如工具變換器76。藉此，機器人1可應對各種對象物。＜第10實施形態＞其次，對本發明之第10實施形態進行說明。圖59係自上側觀察本發明之第10實施形態之機器人系統之概略圖。再者，於圖59中，省略了外罩構件之圖示。本實施形態之機器人系統主要為具備後工序區域，除此以外與上述實施形態相同。再者，於以下之說明中，關於第10實施形態，以與上述實施形態不同之點為中心而進行說明。圖59所示之機器人系統100具有可進行已完成檢查之對象物之後工序之作業單元900。於作業單元900中，例如，作為後工序，可進行機器人1組裝對象物之作業(例如，包括向基板之安裝、焊接)、裝箱、捆包等。又，於機器人系統100中，分為配置有供給單元2之供給區域S25、配置有第1檢查部群31及第2檢查部群32之第1檢查區域S31、配置有第3檢查部群33及第4檢查部群34之第2檢查區域S32、及配置有作業單元900之作業區域S41。於此種機器人系統100中，機器人1自供給區域S25保持對象物，並將對象物搬送、載置於第1檢查區域S31。於第1檢查區域S31，例如進行對象物之導通檢查等。又，機器人1自第1檢查區域S31保持已完成檢查之對象物，並將已完成檢查之對象物搬送、載置於作業區域S41。於作業區域S41，例如進行被判斷為良品之對象物之捆包等。又，機器人1自作業區域S41保持已完成捆包等之對象物，並將已完成捆包等之對象物搬送、載置於第2檢查區域S32。於第2檢查區域S32，例如進行已完成捆包等之對象物之外觀檢查等。又，機器人1自第2檢查區域S32保持已完成捆包等之對象物，並將已完成捆包等之對象物搬送、載置於作業區域S41。然後，作業人員自作業區域S41回收已完成捆包等之對象物。因此，設置於作業區域S41之作業單元900亦作為回收單元發揮功能。如此，可於1個機器人系統100中進行檢查、檢查後之後工序、及後工序後之檢查。又，例如，亦可於第1檢查區域S31進行對象物(例如IC)之導通檢查等，於作業單元900將對象物(例如IC)安裝於基板並加以焊接，而製作模組基板，於第2檢查區域S32進行模組基板之導通檢查等。以上，基於圖示之實施形態對本發明之機器人系統進行了說明，但本發明並不限定於此，各部之構成可替換成具有相同功能之任意構成。又，亦可添加其他任意構成物。又，本發明亦可為上述各實施形態中之任意2個以上構成(特徵)組合而成者。又，於上述實施形態中，機器人所具有之機械臂之旋動軸之數量為6個，但於本發明中，並不限定於此，機械臂之旋動軸之數量例如亦可為2個、3個、4個、5個或7個以上。又，於上述實施形態中，機器人所具有之臂之數量為6個，但於本發明中，並不限定於此，機器人所具有之臂之數量例如亦可為2個、3個、4個、5個、或7個以上。又，於上述實施形態中，機器人所具有之機械臂之數量為1個，但於本發明中，並不限定於此，機器人所具有之機械臂之數量例如亦可為2個以上。即，機器人例如亦可為雙臂機器人等多臂機器人。

1‧‧‧機器人
1A‧‧‧機器人
2‧‧‧供給單元
3‧‧‧檢查單元
4‧‧‧回收單元
5‧‧‧末端執行器
5a‧‧‧末端執行器
5b‧‧‧末端執行器
5c‧‧‧末端執行器
5d‧‧‧末端執行器
6‧‧‧殼體
9‧‧‧對準用攝像部
10‧‧‧機械臂
11‧‧‧第1臂
12‧‧‧第2臂
13‧‧‧第3臂
14‧‧‧第4臂
15‧‧‧第5臂
16‧‧‧第6臂
18‧‧‧驅動部
19‧‧‧位置感測器
20‧‧‧供給部
24‧‧‧供給回收單元
25‧‧‧載置構件
25A‧‧‧載置構件
25B‧‧‧載置構件
30‧‧‧檢查部群
31‧‧‧第1檢查部群
32‧‧‧第2檢查部群
33‧‧‧第3檢查部群
34‧‧‧第4檢查部群
40‧‧‧回收部
41‧‧‧良品用回收部
42‧‧‧不良品用回收部
43‧‧‧再檢查用回收部
44‧‧‧空載置構件收集部
50‧‧‧配管
51‧‧‧連接構件
52‧‧‧旋動構件
53‧‧‧軸桿
54‧‧‧驅動部
55‧‧‧安裝構件
56‧‧‧限制構件
60‧‧‧顯示裝置
61‧‧‧框架
62‧‧‧外罩構件
63‧‧‧門
65‧‧‧報告部
71‧‧‧機器人控制裝置
72‧‧‧周邊機器控制裝置
73‧‧‧檢查控制裝置
74‧‧‧載置台
75‧‧‧載置台
76‧‧‧工具變換器
80‧‧‧對象物
81‧‧‧第1對象物
82‧‧‧第2對象物
83‧‧‧第3對象物
84‧‧‧第4對象物
85‧‧‧第5對象物
86‧‧‧第6對象物
87‧‧‧第7對象物
88‧‧‧第8對象物
89‧‧‧對象物
91‧‧‧移動機構
100‧‧‧機器人系統
110‧‧‧基台
111‧‧‧第1部分
112‧‧‧第2部分
113‧‧‧第3部分
120‧‧‧力檢測部
130‧‧‧負壓產生裝置
140‧‧‧攝像部
141‧‧‧支持部
142‧‧‧支持部
143‧‧‧照明部
144‧‧‧透鏡群
145‧‧‧稜鏡
146‧‧‧攝像元件
147‧‧‧配線
150‧‧‧檢測部
171‧‧‧關節
172‧‧‧關節
173‧‧‧關節
174‧‧‧關節
175‧‧‧關節
176‧‧‧關節
181‧‧‧線段
182‧‧‧直線
190‧‧‧突出部
191‧‧‧箭頭
192‧‧‧箭頭
193‧‧‧箭頭
200‧‧‧單元群
241‧‧‧輸送機
242‧‧‧輸送機
243‧‧‧輸送機
244‧‧‧輸送機
245‧‧‧輸送機
256‧‧‧凹部
257‧‧‧角部
300‧‧‧檢查部
301‧‧‧檢查台
302‧‧‧第1構件
303‧‧‧第2構件
304‧‧‧連結構件
305‧‧‧移動機構
306‧‧‧支持構件
307‧‧‧承座
308‧‧‧把手
309‧‧‧承座
310‧‧‧第1檢查部
310a‧‧‧第1檢查部
310b‧‧‧第1檢查部
310c‧‧‧第1檢查部
310d‧‧‧第1檢查部
320‧‧‧第2檢查部
330‧‧‧第3檢查部
340‧‧‧第4檢查部
500‧‧‧構造體
510‧‧‧構造體
520‧‧‧保持部
520a‧‧‧保持部
521‧‧‧第1保持部
522‧‧‧第2保持部
523‧‧‧第3保持部
524‧‧‧第4保持部
525‧‧‧第5保持部
530‧‧‧突出部
541‧‧‧箱體
620‧‧‧開口
711‧‧‧控制部
712‧‧‧輸入輸出部
713‧‧‧記憶部
721‧‧‧控制部
722‧‧‧輸入輸出部
723‧‧‧記憶部
731‧‧‧控制部
732‧‧‧輸入輸出部
733‧‧‧記憶部
891‧‧‧連接器
900‧‧‧作業單元
1000‧‧‧機器人系統單元
1101‧‧‧凸緣
1105‧‧‧軸承部
2421‧‧‧區域
2422‧‧‧區域
2423‧‧‧區域
3031‧‧‧鉸鏈
3071‧‧‧凹部
3072‧‧‧基準標記
3091‧‧‧凹部
5201‧‧‧貫通孔
a1‧‧‧箭頭
a2‧‧‧箭頭
a3‧‧‧箭頭
A11‧‧‧箭頭
A12‧‧‧箭頭
A13‧‧‧箭頭
A14‧‧‧箭頭
A15‧‧‧箭頭
A16‧‧‧箭頭
A17‧‧‧箭頭
C1‧‧‧假想面
C2‧‧‧假想面
C5‧‧‧假想面
C6‧‧‧假想面
C7‧‧‧假想面
C51‧‧‧假想面
C52‧‧‧假想面
C53‧‧‧假想面
C54‧‧‧假想面
C55‧‧‧假想面
C56‧‧‧假想面
d10‧‧‧距離
d20‧‧‧範圍
L1‧‧‧長度
L2‧‧‧長度
L3‧‧‧長度
L11‧‧‧設置高度
L12‧‧‧長度
L13‧‧‧長度
L31‧‧‧長度
L33‧‧‧距離
L51‧‧‧寬度
L52‧‧‧突出長度
L53‧‧‧高度
L510‧‧‧寬度
L510a‧‧‧寬度
L511‧‧‧寬度
L511a‧‧‧寬度
L512‧‧‧寬度
L512a‧‧‧寬度
O1‧‧‧第1旋動軸
O2‧‧‧第2旋動軸
O3‧‧‧第3旋動軸
O4‧‧‧第4旋動軸
O5‧‧‧第5旋動軸
O6‧‧‧第6旋動軸
O53‧‧‧旋動軸
O120‧‧‧中心軸
P‧‧‧交點
S1‧‧‧區域
S2‧‧‧區域
S3‧‧‧區域
S5‧‧‧空間
S7‧‧‧區域
S10‧‧‧空間
S11‧‧‧步驟
S12‧‧‧步驟
S13‧‧‧步驟
S14‧‧‧步驟
S15‧‧‧步驟
S16‧‧‧步驟
S21‧‧‧步驟
S22‧‧‧步驟
S23‧‧‧步驟
S25‧‧‧供給區域
S31‧‧‧第1檢查區域
S32‧‧‧第2檢查區域
S41‧‧‧作業區域
θ‧‧‧角度

圖1係自正面側觀察本發明之第1實施形態之機器人系統之立體圖。圖2係自背面側觀察圖1所示之機器人系統之立體圖。圖3係圖1所示之機器人系統之左側視圖。圖4係表示圖1所示之機器人系統之內部之立體圖。圖5係表示圖1所示之機器人系統之內部之俯視圖。圖6係圖1所示之機器人系統之方塊圖。圖7係表示圖1所示之供給部所具有之載置構件之俯視圖。圖8係表示圖1所示之檢查單元之立體圖。圖9係圖1所示之檢查部之側視圖。圖10係圖8所示之檢查台之俯視圖。圖11係表示將圖8所示之檢查台拉出至殼體外部之狀態之圖。圖12係圖1所示之機器人之前視圖。圖13係表示圖12所示之末端執行器之圖。圖14係表示圖12所示之末端執行器之圖。圖15係表示圖13所示之旋動構件及保持部之圖。圖16係表示圖13所示之末端執行器與圖8所示之檢查部的關係之模式圖。圖17係表示圖13所示之末端執行器與圖8所示之檢查部的關係之模式圖。圖18係表示圖12所示之機器人所具有的末端執行器之另一形態之圖。圖19係表示圖15所示之旋動構件及保持部之模式圖。圖20係表示圖19所示之旋動構件及保持部之變化例之模式圖。圖21係表示圖19所示之旋動構件及保持部之變化例之模式圖。圖22係表示圖19所示之旋動構件及保持部之變化例之模式圖。圖23係表示圖12所示之機器人之一部分之圖。圖24係表示圖12所示之機器人的第1臂、第2臂及第3臂不重疊之狀態之側視圖。圖25係表示圖12所示之機器人的第1臂、第2臂及第3臂重疊之狀態之側視圖。圖26係表示圖12所示之機器人之動作中的機械臂前端之移動路徑之圖。圖27係圖12所示之機器人之第1臂及第3臂交叉之狀態之概略側視圖。圖28係圖12所示之機器人之第1臂及第4臂重疊之狀態之概略側視圖。圖29係用以說明圖12所示之機器人所具有之機械臂的前端部之可動範圍之圖。圖30係用以說明圖12所示之機器人所具有之機械臂的前端部之可動範圍之圖。圖31係表示圖12所示之機器人所具有之末端執行器的前端之可動範圍之圖。圖32係表示圖12所示之機器人所具有之末端執行器的前端之可動範圍之圖。圖33係用以說明圖12所示之機器人的作業之一例之流程圖。圖34係用以說明圖12所示之機器人的作業之一例之圖。圖35係用以說明圖12所示之機器人所具有之末端執行器保持及釋放對象物之圖。圖36係用以說明圖12所示之機器人所具有之末端執行器保持及釋放對象物之圖。圖37係用以說明圖12所示之機器人所具有之末端執行器保持及釋放對象物之圖。圖38係用以說明圖12所示之機器人所具有之末端執行器保持及釋放對象物之圖。圖39係表示藉由圖12所示之機器人而搬送之對象物之數量與節拍時間之關係之曲線圖。圖40係用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的一例之流程圖。圖41係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的機器人之前端部之圖。圖42係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的檢查台之圖。圖43係表示設置於圖42所示之承座之基準標記之圖。圖44係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的機器人之前端部之圖。圖45係表示用以說明相對於圖12所示之機器人之承座自動示教的末端執行器之保持部與檢查台上之對象物之距離之圖。圖46係表示本發明之第2實施形態之機器人系統所具有的檢查部之側視圖。圖47係表示於圖46所示之檢查部進行檢查之對象物之一例之圖。圖48係自上側觀察本發明之第3實施形態的機器人系統之內部之模式圖。圖49係自上側觀察本發明之第4實施形態的機器人系統之內部之模式圖。圖50係表示具有複數個圖49所示之機器人系統之機器人系統單元之圖。圖51係表示圖49所示之供給回收單元之變化例之模式圖。圖52係表示圖49所示之供給回收單元之變化例之模式圖。圖53係本發明之第5實施形態之機器人系統之左側視圖。圖54係本發明之第6實施形態之機器人系統之前視圖。圖55係自上側觀察本發明之第7實施形態之機器人系統之概略圖。圖56係表示設置於圖55所示之機器人系統所具備之載置台的載置構件之一例之圖。圖57係自上側觀察本發明之第8實施形態之機器人系統之概略圖。圖58係自上側觀察本發明之第9實施形態之機器人系統之概略圖。圖59係自上側觀察本發明之第10實施形態之機器人系統之概略圖。

Claims (15)

1. 一種機器人系統，其特徵在於具備：供給部，其供給對象物；第1檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第1檢查部；第2檢查部群，其具有檢查所供給之上述對象物之複數個第2檢查部；回收部，其回收檢查後之上述對象物；及機器人，其具有機械臂，進行上述對象物之保持、搬送及釋放；且上述機器人可一次性搬送複數個上述對象物，於自上述對象物之供給至回收為止之期間，上述機器人搬送上述對象物耗費之搬送時間之合計短於上述機器人保持及釋放上述對象物耗費之處理時間之合計。
2. 如請求項1之機器人系統，其中上述機器人對上述對象物之保持及釋放之至少一者係於上述供給部、上述第1檢查部群、上述第2檢查部群及上述回收部各者中進行。
3. 如請求項1或2之機器人系統，其中上述機器人對上述對象物之搬送係於上述供給部與上述第1檢查部群之間、上述第1檢查部群與上述回收部之間、上述供給部與上述第2檢查部群之間、及上述第2檢查部群與上述回收部之間之各者中進行。
4. 如請求項1至3中任一項之機器人系統，其中上述機器人對上述對象物之作業具有：第1階段，其包含於上述供給部、上述第1檢查部群及上述回收部中之上述對象物之保持及釋放之至少一者、以及於上述供給部與上述第1檢查部群之間及上述第1檢查部群與上述回收部之間之上述對象物之搬送；及第2階段，其包含於上述供給部、上述第2檢查部群及上述回收部中之上述對象物之保持及釋放之至少一者、以及於上述供給部與上述第2檢查部群之間及上述第2檢查部群與上述回收部之間之上述對象物之搬送；且於上述第1階段中，上述機器人對上述對象物之搬送時間之合計短於上述機器人對上述對象物之處理時間之合計，於上述第2階段中，上述機器人對上述對象物之搬送時間之合計短於上述機器人對上述對象物之處理時間之合計。
5. 如請求項1至4中任一項之機器人系統，其中上述機器人進行：第1作業，其係利用上述機械臂自上述供給部保持複數個上述對象物；第2作業，其係於上述第1作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述供給部搬送至上述第1檢查部群；第3作業，其係於上述第2作業之後在上述第1檢查部群利用上述機械臂進行釋放複數個上述對象物之作業及保持複數個上述對象物之作業；第4作業，其係於上述第3作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述第1檢查部群搬送至上述回收部；第5作業，其係於上述第4作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物於上述回收部釋放；第6作業，其係於上述第5作業之後利用上述機械臂自上述供給部保持複數個上述對象物；第7作業，其係於上述第6作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述供給部搬送至上述第2檢查部群；第8作業，其係於上述第7作業之後在上述第2檢查部群利用上述機械臂進行釋放複數個上述對象物之作業及保持複數個上述對象物之作業；第9作業，其係於上述第8作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物自上述第2檢查部群搬送至上述回收部；及第10作業，其係於上述第9作業之後利用上述機械臂將複數個上述對象物於上述回收部釋放；且作為上述第2作業耗費之上述搬送時間之第2時間與作為上述第4作業耗費之上述搬送時間之第4時間之合計，短於作為上述第1作業耗費之上述處理時間之第1時間、作為上述第3作業耗費之上述處理時間之第3時間、及作為上述第5作業耗費之上述處理時間之第5時間的合計，作為上述第7作業耗費之上述搬送時間之第7時間與作為上述第9作業耗費之上述搬送時間之第9時間之合計，短於作為上述第6作業耗費之上述處理時間之第6時間、作為上述第8作業耗費之上述處理時間之第8時間、及作為上述第10作業耗費之上述處理時間之第10時間的合計。
6. 如請求項1至5中任一項之機器人系統，其中上述機器人具有連接於上述機械臂之末端執行器，且上述末端執行器具有：旋動構件，其可繞旋動軸旋動；及複數個保持部，其等設置於上述旋動構件，保持上述對象物。
7. 如請求項1至6中任一項之機器人系統，其中複數個上述第1檢查部及複數個上述第2檢查部分別自重力方向觀察，係配置於以上述機器人為中心之圓弧上。
8. 如請求項1至7中任一項之機器人系統，其中上述第1檢查部與上述第2檢查部自重力方向觀察為重疊配置。
9. 如請求項1至8中任一項之機器人系統，其中上述機器人及上述供給部自重力方向觀察，位於上述第1檢查部群及上述第2檢查部群之內側，且上述供給部之上部之高度為上述第1檢查部之上部之高度以下，且上述供給部之上部之高度為上述第2檢查部之上部之高度以下。
10. 如請求項1至9中任一項之機器人系統，其中設置面積為256 m² 以下。
11. 如請求項1至10中任一項之機器人系統，其具備收容上述供給部、上述第1檢查部、上述第2檢查部、上述回收部及上述機器人之殼體，且上述第1檢查部及上述第2檢查部分別具有載置上述對象物之檢查台、及可使上述檢查台移動至上述殼體外部之移動機構。
12. 如請求項11之機器人系統，其中上述第1檢查部及上述第2檢查部分別具有：第1構件，其連接於上述檢查台，在上述檢查台位於上述殼體之內部之狀態下設置於上述殼體；第2構件，其在上述檢查台位於上述殼體之內部之狀態下位於上述檢查台之上部；及連結構件，其將上述第1構件與上述第2構件連結；且上述檢查台係藉由將上述第1構件拉出至上述殼體之外側而位於上述殼體之外部，上述第2構件在上述檢查台位於上述殼體之外部之狀態下作為將上述殼體之內部與外部間隔開之間隔部發揮功能。
13. 如請求項1至12中任一項之機器人系統，其中上述機器人對上述第1檢查部群所具有之複數個上述第1檢查部中之被選擇之上述第1檢查部進行上述對象物之保持及釋放，且對上述第2檢查部群所具有之複數個上述第2檢查部中之被選擇之上述第2檢查部進行上述對象物之保持及釋放。
14. 如請求項1至13中任一項之機器人系統，其中上述機械臂具有已連結之至少2個臂，且上述機器人於自上述對象物之供給至回收為止之期間，在上述至少2個臂交叉之狀態下進行上述對象物之搬送。
15. 如請求項1至14中任一項之機器人系統，其中上述機器人具備：連接於上述機械臂，且具有藉由吸附而保持上述對象物之複數個吸附部之構件；流路部，其連接於上述吸附部，且具備供氣體流動之流路；檢測部，其檢測上述流路部中之上述氣體之壓力或每單位時間之流量；及攝像部，其具有攝像功能；且基於來自上述攝像部之檢測結果、及來自上述檢測部之檢測結果，求出上述機器人保持及釋放上述對象物時之教示點。