TW201713888A - 流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置 - Google Patents

流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置 Download PDF

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Abstract

各通路構件3,4,9係具有所需寬度、高度及長度，且於寬度的中央部設有流體通路13,14,17,18。在連結手段方面，使用2根螺栓15,16。陰螺紋36A,36B,42,48及與面對其之螺栓插通孔34,35,40,47是在各通路構件3,4,9的寬度的中央部的兩端部分別各設置1個。上側的螺栓15***通於一方的通路構件3,4而螺合於另一方的通路構件9的陰螺紋36A,36B。下側的螺栓16***通於另一方的通路構件9而螺合於一方的通路構件3,4的陰螺紋42,44。利用上下2根螺栓15,16使通路構件彼此連結，藉以固定密封構件6,7。

Description

流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置
本發明係有關一種流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置，特別是有關適合於使用在被期待寬度窄化的流體控制裝置之密封構件的固定構造、具備此密封構件的固定構造之接頭及具備此密封構件的固定構造之流體控制裝置。
在半導體製造裝置所使用的流體控制裝置中，將複數個流體控制機器的通路構件彼此隔著密封構件對接並藉由螺栓連結之積體化係與時俱進(例如專利文獻1)。
在這樣的流體控制裝置中，為了將一對通路構件彼此連結，通常，透過以避開流體通路的方式分別配置於通路構件的4個角落之4根螺栓，將通路構件彼此連結而使密封構件被固定。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2005-149075號公報
關於積體化的流體控制裝置，有縮小設置面積的期望，為了加以因應，構成流體控制裝置之通路構件的寬度窄化係成為課題。
將4根螺栓配置於通路構件的4個角落，會阻礙流體控制機器之寬度窄化，有將螺栓配置於寬度方向的中央，以2根螺栓將通路構件彼此連結的期望。然而，要以2根螺栓將通路構件彼此連結，需要相對於密封部位對稱設置的2個螺栓插通孔，亦即2個貫通孔，由於通路構件設有流體通路，故而有難以避開此流體通路來設置2個貫通孔的問題。
本發明之目的在於提供一種作成可使用2根螺栓連結通路構件彼此的流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置。
第1發明(請求項1的發明)的流體控制裝置中之密封構件的固定構造，係固定流體控制裝置中之密封構件的構造，該流體控制裝置具備：具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件；存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件；及將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段，前述各通路構件係具有所需寬度、高度及長度，且於寬度的中央部設有流體通路，在前述連結手段方面使用2根螺栓，而且陰螺紋及與面對其之螺栓插通孔是在前述第1通路構件 及前述第2通路構件的寬度的中央部的兩端部分別各設置1個，利用插通於前述第1通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第2通路構件的前述陰螺紋之第1螺栓，及插通於前述第2通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第1通路構件的前述陰螺紋之第2螺栓，連結前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此，藉以固定前述密封構件。
第2發明(請求項8的發明)的流體控制裝置中之密封構件的固定構造，係固定流體控制裝置中之密封構件的構造，該流體控制裝置具備：具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件；存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件；及將前述第1通路構件及第2通路構件彼此連結的連結手段，前述各通路構件係具有所需寬度、高度及長度，且於寬度的中央部設有流體通路，在前述連結手段方面使用2根螺栓，而且前述密封構件被設成墊片型過濾器(gasket type filter)，前述墊片型過濾器的直徑係與前述第1通路構件及前述第2通路構件的寬度相同程度，前述第1通路構件及前述第2通路構件中之過濾器收納凹處係以在寬度方向露出於外部的方式形成。
流體控制裝置為，例如，具備：於形成有流體通路的閥體(相當於一方的通路構件)設有流量控制、開閉等之所需控制部分的流體控制機器；及形成流體通路並連結於流體控制機器的閥體之入口側及出口側的通路塊(相當於另一方的通路構件)。
流體控制裝置有時作成壓力式流量控制裝置，其具備流量控制用的墊片型節流孔、設於墊片型節流孔的上游側之控制閥、及設在墊片型節流孔與控制閥之間以檢測墊片型節流孔的上游側壓力之上游側壓力感測器，係使用上游側壓力、或上游側壓力及下游側壓力並透過控制閥的開閉而對節流孔通過流量進行回饋控制。
流體控制裝置亦有時作成塊狀的接頭構件(相當於通路構件)，其使具有形成有流體通路的閥體(相當於通路構件)之複數個流體控制機器及此等的流體控制機器連通。
第1及第2通路構件亦可為均和控制部(具有流量控制、開閉等之所需控制功能的部分)一體設置的閥體，又，亦可為任一方和控制部一體設置，另一方為單獨的構件(例如塊狀的接頭構件)。
流體控制裝置的通路構件彼此係隔著密封構件被連結，密封構件係藉由通路構件彼此被螺栓連結而固定。
藉由螺栓將通路構件彼此連結，通常，是在一方的通路構件設置複數個螺栓插通孔，並在另一方的通路構件設置與各螺栓插通孔對應之陰螺紋，從一方的通路構件側螺入螺栓而進行。
此時，螺栓插通孔係有必要避開通路構件的流體通路作設置，在以往是於通路構件的4角落形成螺栓插通孔，藉以避開螺栓插通孔與流體通路相互干擾的情況。
本發明之密封構件的固定構造係為可使流體控制裝置的寬度窄化者，在具有所需寬度、高度及長度且於寬度的中央部設有流體通路之流體控制裝置中，取代以往使用4根螺栓將通路構件彼此連結，改為利用2根螺栓將通路構件彼此連結。2根螺栓係設成2根螺栓相互逆向，在對接部分中之長度方向的兩端部的寬度方向的中央分別各配置1個。
藉由將2根螺栓作成相互逆向，與2根螺栓從相同方向緊固的情況相比，螺栓變得不易鬆弛，密封構件的固定構造耐振動者。
有時依流體通路的形狀，會有在避開設在各通路構件的流體通路後無法在其長度方向的兩端部的寬度方向中央設置2個螺栓插通孔的情形，但依據本發明之密封構件的固定構造，藉由將2個螺栓插通孔各設置1個於第1通路構件及第2通路構件，容易避開流體通路，藉此，使用2根螺栓可將通路構件彼此連結。亦即，針對以往是需要將2根螺栓排列於寬度方向作配置用的寬度之通路構件，這次，可將通路構件的寬度設為比螺栓的直徑的2倍還窄，可將流體控制裝置的寬度窄化。
設置於通路構件的流體通路係因應其用途，設成I字狀、L字狀、V字狀、U字狀等各種形狀，於通路構件，考慮其流體通路的形狀而設有螺栓插通孔及陰螺紋。
至少一方的通路構件有時具有彎曲的(例如L字狀的)流體通路。在寬度的中央部具有L字狀的流體通 路之情況，雖然使用2根螺栓且避開流體通路是困難的，但如上述，藉由設成2根螺栓相互逆向，即使是L字狀的流體通路，亦可防止螺栓與流體通路相互干擾。
彎曲的流體通路，係由在對接面開口且相對於對接面正交或傾斜之第1通路及和第1通路正交或傾斜並在與對接面正交的面開口之第2通路所構成。
密封構件係例如設成墊片，但有被設成係兼具過濾器功能的墊片型過濾器之情形，又，亦有被設成係兼具節流孔功能的墊片型節流孔。
墊片型節流孔為，例如設為由相互嵌合的第1及第2節流孔基座(相當於墊片的部分)及被挾持於此等節流孔基座的嵌合面間之節流孔板所構成，藉由兩節流孔基座的兩端面抵接於各通路構件而形成密封面。
墊片型過濾器係設成由過濾器基座(相當於墊片的部分)及安裝於過濾器基座的過濾器元件所構成，藉由過濾器基座的兩端面抵接於各通路構件而形成密封面。
為使流體控制裝置的寬度窄化，將通路構件寬度設窄，密封構件的寬度亦隨之變窄。然而，當隨著通路構件的寬度窄化而將墊片型過濾器的直徑設小時，則有無法確保必要流量之虞。於是，較佳為，針對墊片型過濾器，其直徑設成與第1通路構件及第2通路構件的寬度相同程度(或比第1及第2通路構件的寬度還大的直徑)，第1及第2通路構件中之過濾器收納凹處係以在寬度方向露出於外部的方式形成。如此，可防止流量降低。
較佳為，在第2發明的流體控制裝置中之密封構件的固定構造中，陰螺紋及與面對其之螺栓插通孔是在第1通路構件及第2通路構件的寬度的中央部的兩端部分別各設置1個，利用插通於第1通路構件而螺合於第2通路構件的陰螺紋的第1螺栓，及插通於第2通路構件而螺合於第1通路構件的陰螺紋的第2螺栓，連結第1及第2通路構件彼此，藉以固定密封構件。
本發明的接頭，係為具備具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件、存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件、和將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段、及密封構件的固定構造之接頭，且前述密封構件的固定構造是上述任一記載之流體控制裝置中之密封構件的固定構造。
又，本發明的流體控制裝置，係為具備具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件、存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件、和將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段、及密封構件的固定構造之流體控制裝置，且前述密封構件的固定構造是上述任一記載之密封構件的固定構造。
依據本發明的流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置，可使用2根螺栓將通路構件彼此連結，可使流體控制裝置寬度窄化。又，藉由設成2根螺栓相互逆向，螺栓變得不易鬆弛。
1‧‧‧流體控制裝置
2‧‧‧控制閥
3‧‧‧入口側通路塊(通路構件)
4‧‧‧出口側通路塊(通路構件)
6‧‧‧墊片型節流孔(密封構件)
7‧‧‧墊片型過濾器(密封構件)
9‧‧‧閥體(通路構件)
11‧‧‧密封構件的固定構造
13‧‧‧入口通路
14‧‧‧出口通路
15、16‧‧‧螺栓(連結手段)
17‧‧‧入口通路
18‧‧‧出口通路
34‧‧‧第1螺栓插通孔(螺栓插通孔)
35‧‧‧第2螺栓插通孔(螺栓插通孔)
36A、36B‧‧‧陰螺紋
40、46‧‧‧第1螺栓插通孔(螺栓插通孔)
42、48‧‧‧陰螺紋
圖1為本發明的流體控制裝置中之密封構件的固定構造、接頭及流體控制裝置的第1及第2實施形態之前視剖面圖。
圖2為控制閥的閥體之右側視圖。
圖3為出口側通路塊之左側視圖。
圖4為控制閥的閥體之左側視圖。
圖5為入口側通路塊之右側視圖。
圖6A為墊片型節流孔的第1節流孔基座之放大圖。
圖6B為墊片型節流孔的第2節流孔基座之放大圖。
圖7為墊片型過濾器之放大圖。
圖8為第2實施形態之前視圖。
本發明的實施形態參照以下圖面作說明。在以下的說明中，圖1設為前視圖，上下是指圖面的上下。
圖1係表示以本發明的流體控制裝置中之密封構件的固定構造(11)為對象的流體控制裝置的一例，流體控制裝置(1)具備：控制閥(2)；設於控制閥(2)的入口側之入口側通路塊(通路構件)(3)；設於控制閥(2)的出口側之出口側通路塊(通路構件)(4)；設於控制閥(2)的閥體(通路構件)(9)的上游側壓力感測器(5)；設於控制閥(2)的閥體(9)與出口側通路塊(4)的對接部分之流量控制用的墊片型節流孔(orifice)(6)；設於入口側通路塊(3)與控制閥(2)的閥體(9)的對接部分之墊片型過濾器(7)；及設 於出口側通路塊(4)的下游側壓力感測器(8)。
流體控制裝置(1)係所稱壓力式流量控制裝置者，作成使用墊片型節流孔(6)的上游側壓力，或上游側壓力及下游側壓力而藉由控制閥(2)的開閉對節流孔通過流量進行回饋控制。
控制閥(2)係常閉型的金屬隔膜閥，由閥體(9)及收容於外罩(10)內進行流體通路的開閉之致動器(圖示略)所構成。
閥體(9)係具備：藉由不鏽鋼形成塊狀，一端在左側面(與入口側通路塊(3)對接的面)開口，另一端連通於閥室(12)的入口通路(13)；及一端連通於閥室(12)，另一端隔著墊片型節流孔(6)在右側面(與出口側通路塊(4)對接的面)開口的出口通路(14)。
入口側通路塊(3)及出口側通路塊(4)分別配置在控制閥(2)的閥體(9)的左側及右側，透過作為連結手段的2根螺栓(15)(16)固定於控制閥(2)的閥體(9)。
入口側通路塊(3)係具備：藉由不鏽鋼形成塊狀，一端在下端開口，另一端在右側面(與控制閥(2)的閥體(9)對接的面)開口並連通於控制閥(2)的閥體(9)的入口通路(13)的L字狀的入口通路(17)。
入口通路(17)係由在右側面(對接面)開口並與右側面正交之第1通路(17a)及與第1通路(17a)正交並在下面(與對接面正交的面)開口之第2通路(17b)所構成。
出口側通路塊(4)係具備：藉由不鏽鋼形成塊狀，一端在左側面(與控制閥(2)的閥體(9)對接的面)開口 並連通於控制閥(2)的閥體(9)之出口通路(14)，另一端在下面(與對接面正交的面)開口之L字狀的出口通路(18)。
出口通路(18)係由從對接面往右斜下方延伸的第1通路(18a)及與第1通路(18a)形成鈍角並在下面(與對接面正交的面)開口的第2通路(18b)所構成。
在閥體(9)的左側面(與入口側通路塊(3)對接的面)及入口側通路塊(3)的右側面(與閥體(9)對接的面)，分別以凹處彼此呈對稱的方式形成，藉由此等的凹處而形成收納墊片型過濾器(7)之過濾器收納凹處(19)。
在閥體(9)的右側面(與出口側通路塊(4)對接的面)，形成有在出口側通路塊(4)側開口以收納墊片型節流孔(6)之節流孔收納凹處(20)。
上游側壓力感測器(5)係檢測墊片型節流孔(6)的上游側壓力，下游側壓力感測器(8)係檢測墊片型節流孔(6)的下游側壓力。
墊片型節流孔(6)係為在短圓筒狀的第1節流孔基座(21)與長圓筒狀的第2節流孔基座(22)的嵌合面間挾持有圓板狀的節流孔板(23)者。
如在圖6A放大顯示般，第1節流孔基座(21)具有：連通於控制閥(2)的閥體(9)的出口通路(14)並延伸到第1節流孔基座(21)的左右的中央部之入口側通路(21a)；及與入口側通路(21a)的右端相連設置之帶有高低差的凹處(21b)。
如在圖6B放大顯示般，第2節流孔基座(22)具有帶有高低差的左端部(22a)，透過此帶有高低差的左 端部(22a)被嵌入第1節流孔基座(21)的凹處(21b)，使第1節流孔基座(21)與第2節流孔基座(22)一體化而挾持節流孔板(23)。第2節流孔基座(22)具有：連通於第1節流孔基座(21)的入口側通路(21a)之第1通路(22b)；及連通於第1通路(22b)且直徑比第1通路(22b)還大的第2通路(22c)。
節流孔板(23)係藉由沖壓加工不鏽鋼製的極薄板材而形成，於其中心部形成由位在流體的高壓側(上游側)的錐部及與錐部連接而位在流體的低壓側(下游側)的直線部所構成的節流孔(圖示略)。
墊片型過濾器(7)係配置在控制閥(2)的閥體(9)的入口通路(13)與入口側通路塊(3)的入口通路(17)之對接部分以確保密封性，同時發揮過濾器功能者。
如在圖7放大顯示般，墊片型過濾器(7)係由連通於閥體(9)的出口通路(14)之環狀的SUS316L-P(複熔(double melt))製的過濾器基座(24)及安裝於過濾器基座(24)之圓板狀的燒結過濾器元件(25)所構成，由保持器(26)所保持並收納於過濾器收納凹處(19)。
此外，墊片型過濾器(7)不受上述者所限定，例如，在過濾器元件方面，使用藉由在除了不鏽鋼製的極薄圓板的外周緣部以外的部分上蝕刻開設多個小孔所形成者來取代燒結過濾器元件(25)。
控制閥(2)的閥體(9)由以下所構成：形成有上述的入口通路(13)及出口通路(14)之左右較長的直方體狀的通路形成部(31)；於通路形成部(31)的下面的左端部設置成朝下方突出狀的直方體狀的第1螺栓插通孔形成 部(32)；及通路形成部(31)的下面的右端部設置成朝下方突出狀的直方體狀的第2螺栓插通孔形成部(33)。
於第1螺栓插通孔形成部(32)，設有將其貫通於左右方向之第1螺栓插通孔(34)，於第2螺栓插通孔形成部(33)，設有將其貫通於左右方向之第2螺栓插通孔(35)。於通路形成部(31)的左側面，在相對於通路形成部(31)的左側面上的過濾器收納凹處(19)的中心之與第1螺栓插通孔(34)的中心呈該點對稱的位置上，設有往右方延伸的陰螺紋(36A)，於通路形成部(31)的右側面，在相對於通路形成部(31)的右側面上的節流孔收納凹處(20)的中心之與第2螺栓插通孔(35)的中心呈該點對稱的位置上，設有往左方延伸之陰螺紋(36B)。
入口側通路塊(3)由以下所構成：形成有上述的L字狀的入口通路(17)之上下較長的直方體狀的通路形成部(37)；設於通路形成部(37)的上面右部之第1螺栓插通孔形成部(38)；及設於通路形成部(38)的左面下端部之第2螺栓插通孔形成部(39)。於第1螺栓插通孔形成部(38)，設有將其貫通於左右方向之第1螺栓插通孔(40)，於第2螺栓插通孔形成部(39)，設有將其貫通於上下方向之第2螺栓插通孔(41)。於通路形成部(37)的右側面中段，通路形成部(37)的相對於右側面上的過濾器收納凹處(19)的中心之與第1螺栓插通孔(40)的中心呈該點對稱的位置上，設有往左方延伸之陰螺紋(42)。
出口側通路塊(4)，係由形成有上述的L字狀的出口通路(18)之直方體狀的通路形成部(43)、設置在通 路形成部(43)的上面左端部之第1螺栓插通孔形成部(44)、及設置在通路形成部(43)的右面下端部之第2螺栓插通孔形成部(45)所構成。於第1螺栓插通孔形成部(44)，設有將其貫通於左右方向之第1螺栓插通孔(46)，於第2螺栓插通孔形成部(45)，設有將其貫通於上下方向之第2螺栓插通孔(47)。於通路形成部(43)的左側面中段，通路形成部(43)左側面上的相對於節流孔收納凹處(20)的中心之與第1螺栓插通孔(46)的中心呈該點對稱的位置上，設有往右方延伸之陰螺紋(48)。
圖2係將控制閥(2)的閥體(9)從出口側通路塊(4)側觀看的圖，如同一圖所示，在與閥體(9)的出口側通路塊(4)對接的對接面(9a)，使節流孔收納凹處(20)、位在節流孔收納凹處(20)上方的陰螺紋(36B)、及位在節流孔收納凹處(20)下方的第2螺栓插通孔(35)露出。較佳為，從節流孔收納凹處(20)的中心到陰螺紋(36B)的中心為止的距離，與從節流孔收納凹處(20)的中心到第2螺栓插通孔(35)的中心為止的距離相等。
圖3係將出口側通路塊(4)從控制閥(2)的閥體(9)側觀看的圖，如同一圖所示，在出口側通路塊(4)的右側面(與閥體(9)對接的對接面)，使節流孔收納凹處(20)、位在節流孔收納凹處(20)上方的第1螺栓插通孔(46)、及位在節流孔收納凹處(20)下方的陰螺紋(48)露出。以從節流孔收納凹處(20)的中心到第1螺栓插通孔(46)中心為止的距離，與從節流孔收納凹處(20)的中心到陰螺紋(48)的中心為止的距離相等者為宜。
密封構件的固定構造(11)的第1實施形態為，密封構件是墊片型節流孔(6)，作為連結手段的上下2根螺栓(15)(16)及2個通路構件(4)(9)，亦即藉由在控制閥(2)的閥體(9)及出口側通路塊(4)分別形成的陰螺紋(36B)(48)及螺栓插通孔(35)(46)所形成。
上側的螺栓(15)係從右側插通於設在出口側通路塊(4)的第1螺栓插通孔(46)，被螺入設於控制閥(2)的閥體(9)之陰螺紋(36B)。下側的螺栓(16)係從左側插通於設在控制閥(2)的閥體(9)的第2螺栓插通孔(35)，被螺入設於出口側通路塊(4)之陰螺紋(48)。
如此，利用2根螺栓(15)(16)使控制閥(2)的閥體(第1通路構件)(9)及出口側通路塊(第2通路構件)(4)被連結，藉以固定屬密封構件的墊片型節流孔(6)。
從圖1、圖2及圖3可知，針對此密封構件的固定構造(11)的通路構件(4)(9)的尺寸，寬度被作成最小，於寬度的中央部設有流體通路(出口通路(14)及出口通路(18))。而且，藉由2根螺栓(15)(16)設成2根螺栓相互逆向，在任一螺栓(15)(16)都不與流體通路(出口通路(14)及出口通路(18))相互干擾下，可對屬密封構件的墊片型節流孔(6)施加均等力的鎖固。
圖4係將控制閥(2)的閥體(9)從入口側通路塊(3)側觀看的圖，如同一圖所示，在與閥體(9)的入口側通路塊(3)對接的對接面(9b)，使過濾器收納凹處(19)、位在過濾器收納凹處(19)上方的陰螺紋(36A)、及位在過濾器收納凹處(19)下方的第1螺栓插通孔(34)露出。以從過 濾器收納凹處(19)的中心到陰螺紋(36A)的中心為止的距離，與從過濾器收納凹處(19)的中心到第1螺栓插通孔(34)的中心為止的距離相等者為宜。
圖5係將入口側通路塊(3)從控制閥(2)的閥體(9)側觀看的圖，如同一圖所示，在與入口側通路塊(3)的閥體(9)對接的對接面，使過濾器收納凹處(19)、位在過濾器收納凹處(19)上方的第1螺栓插通孔(40)、及位在過濾器收納凹處(19)下方的陰螺紋(42)露出。以從過濾器收納凹處(19)的中心到第1螺栓插通孔(40)的中心為止的距離，與從節流孔收納凹處(20)的中心到陰螺紋(42)的中心為止的距離相等者為宜。
密封構件的固定構造(11)的第2實施形態為，密封構件是墊片型過濾器(7)，作為連結手段的上下2根螺栓(15)(16)及2個通路構件，亦即，藉由在控制閥(2)的閥體(9)及入口側通路塊(3)分別形成的陰螺紋(36A)(42)及螺栓插通孔(34)(40)所形成。
上側的螺栓(15)係從左側插通於設在入口側通路塊(3)的第1螺栓插通孔(40)，被螺入設於控制閥(2)的閥體(9)之陰螺紋(36A)。下側的螺栓(16)係從右側插通於設在控制閥(2)的閥體(9)的第1螺栓插通孔(34)，被螺入設於入口側通路塊(3)之陰螺紋(42)。
如此，利用2根螺栓(15)(16)使控制閥(2)的閥體(第1通路構件)(9)及入口側通路塊(第2通路構件)(3)被連結，藉以固定屬密封構件的墊片型過濾器(7)。
如此，此實施形態中亦是藉由2根螺栓 (15)(16)設成2根螺栓相互逆向，在任一螺栓(15)(16)都不與流體通路(入口通路(13)及入口通路(17))相互干擾下，可對屬密封構件的墊片型過濾器(7)施加均等力的鎖固。
在密封構件是墊片型過濾器(7)之密封構件的固定構造(11)的第2實施形態中，墊片型過濾器(7)的直徑並非設成對應於寬度被設窄的控制閥(2)的閥體(9)及入口側通路塊(3)而收在控制閥(2)的閥體(9)及入口側通路塊(3)的寬度內之直徑，有時設成比此等的寬度還大的直徑。隨之，過濾器收納凹處(19)係以在寬度方向露出於外部的方式形成。因此，如圖8所示，在將此密封構件的固定構造(11)從外側觀看時，在控制閥(2)的閥體(9)與入口側通路塊(3)的對接部分設有窗(50)，作成由此窗(50)使墊片型過濾器(7)的過濾器基座(24)的一部分及保持器(26)的一部分露出。
依據此實施形態，針對當因應於控制閥(2)的閥體(9)及入口側通路塊(3)的寬度窄化而縮小墊片型過濾器(7)的直徑時無法確保必要流量之虞的問題，可加大墊片型過濾器(7)的直徑，藉此，可防止流量降低。
此外，上述密封構件的固定構造(11)係可在將設成各種形狀的第1通路構件與第2通路構件連結的接頭使用。亦即，在具備存在於兩通路構件的對接部分之密封構件、和連結第1及第2通路構件彼此的連結手段、及密封構件的固定構造的接頭中，可將密封構件的固定構造作成上述者。
[產業上之可利用性]
依據本發明之固定密封構件的構造，因為可使用2根螺栓連結通路構件彼此，故而可將使用此構造的接頭或流體控制裝置的寬度窄化，可有助於提升使用此接頭、流體控制裝置之半導體製造裝置等的性能。
1‧‧‧流體控制裝置
2‧‧‧控制閥
3‧‧‧入口側通路塊
4‧‧‧出口側通路塊
5‧‧‧上游側壓力感測器
6‧‧‧墊片型節流孔
7‧‧‧墊片型過濾器
8‧‧‧下游側壓力感測器
9‧‧‧閥體
10‧‧‧外罩
11‧‧‧密封構件的固定構造
12‧‧‧閥室
13‧‧‧入口通路
14‧‧‧出口通路
15、16‧‧‧螺栓
17‧‧‧入口通路
17a‧‧‧第1通路
17b‧‧‧第2通路
18‧‧‧出口通路
18a‧‧‧第1通路
18b‧‧‧第2通路
19‧‧‧過濾器收納凹處
20‧‧‧節流孔收納凹處
21‧‧‧第1節流孔基座
22‧‧‧第2節流孔基座
23‧‧‧節流孔板
31‧‧‧通路形成部
32‧‧‧第1螺栓插通孔形成部
33‧‧‧第2螺栓插通孔形成部
34‧‧‧第1螺栓插通孔
35‧‧‧第2螺栓插通孔
36A、36B‧‧‧陰螺紋
37‧‧‧通路形成部
38‧‧‧第1螺栓插通孔形成部
39‧‧‧第2螺栓插通孔形成部
40‧‧‧第1螺栓插通孔
41‧‧‧第2螺栓插通孔
42‧‧‧陰螺紋
43‧‧‧通路形成部
44‧‧‧第1螺栓插通孔形成部
45‧‧‧第2螺栓插通孔形成部
46‧‧‧第1螺栓插通孔
47‧‧‧螺栓插通孔
48‧‧‧陰螺紋

Claims (11)

  1. 一種流體控制裝置中之密封構件的固定構造，係固定流體控制裝置中之密封構件的構造，該流體控制裝置具備：具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件；存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件；及將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段，前述各通路構件係具有所需寬度、高度及長度，且於寬度的中央部設有流體通路，在前述連結手段方面使用2根螺栓，而且陰螺紋及與面對其之螺栓插通孔是在前述第1通路構件及前述第2通路構件的寬度的中央部的兩端部分別各設置1個，利用插通於前述第1通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第2通路構件的前述陰螺紋之第1螺栓，及插通於前述第2通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第1通路構件的前述陰螺紋之第2螺栓，連結前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此，藉以固定前述密封構件。
  2. 如請求項1之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述兩通路構件的至少一方具有彎曲的流體通路。
  3. 如請求項1之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述密封構件係作成兼具節流孔功能的墊片型節流孔。
  4. 如請求項3之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述流體控制裝置係壓力式流量控制裝置，前 述第1通路構件係控制閥的閥體，前述第2通路構件為設置於閥體的出口側之出口側通路塊。
  5. 如請求項1之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述密封構件係作成兼具節流孔功能的墊片型過濾器。
  6. 如請求項5之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述墊片型過濾器的直徑係與前述第1通路構件及第2通路構件的寬度相同程度，前述第1通路構件及前述第2通路構件中之過濾器收納凹處係以在寬度方向露出於外部的方式形成。
  7. 如請求項5之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中前述流體控制裝置係壓力式流量控制裝置，前述第1通路構件係控制閥的閥體，前述第2通路構件係設於前述閥體的入口側之入口側通路塊。
  8. 一種流體控制裝置中之密封構件的固定構造，係固定流體控制裝置中之密封構件的構造，該流體控制裝置具備：具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件；存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件；及將前述第1通路構件及第2通路構件彼此連結的連結手段，前述各通路構件係具有所需寬度、高度及長度，且於寬度的中央部設有流體通路，在前述連結手段方面使用2根螺栓，而且前述密封構件被設成墊片型過濾器，前述墊片型過濾器的直徑係與前述第1通路構件及前述第2通路構件的寬度相同程度，前述第1通路構件 及前述第2通路構件中之過濾器收納凹處係以在寬度方向露出於外部的方式形成。
  9. 如請求項8之流體控制裝置中之密封構件的固定構造，其中陰螺紋及與面對其之螺栓插通孔是在前述第1通路構件及前述第2通路構件的寬度的中央部的兩端部分別各設置1個，利用插通於前述第1通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第2通路構件的前述陰螺紋之第1螺栓，及插通於前述第2通路構件的前述螺栓插通孔而螺合於前述第1通路構件的前述陰螺紋之第2螺栓，連結前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此，藉以固定前述密封構件。
  10. 一種接頭，係為具備具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件、存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件、和將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段、及密封構件的固定構造之接頭，且前述密封構件的固定構造是如請求項1至9中任一項之流體控制裝置中之密封構件的固定構造。
  11. 一種流體控制裝置，係為具備具相互連通的流體通路之塊狀的第1通路構件及第2通路構件、存在於前述兩通路構件的對接部分之密封構件、和將前述第1通路構件及前述第2通路構件彼此連結的連結手段、及密封構件的固定構造之流體控制裝置，且前述密封構件的固定構造是如請求項1至9中任一項之流體控制裝置中之密封構件的固定構造。
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