TW201537324A - 壓力式流量控制裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明係提供在壓力式流量控制裝置之流體流量控制下，可謀求大幅度縮短流量切換時之下降響應時間，並且提高下降響應特性之壓力式流量控制裝置。
本發明係由下述構件構成壓力式流量控制裝置：本體，其設置有連通流體入口和流體出口間的流體通路及連通流體通路和排氣出口間的排氣通路；壓力控制用控制閥，其被固定在上述本體之流體入口側而開關上述流體通路之上游側；壓力感測器，其係檢測出其下游側之流體通路內壓；孔口，其設置在較上述排氣通路之分歧處下游的流體通路內；及排氣控制用控制閥，其係開關上述排氣通路，並且於藉由該壓力式流量控制裝置進行流體流量之變更時，藉由使壓力控制用控制閥和排氣控制用控制閥作動，並使壓力控制用控制閥和孔口間之流體通路空間內強制排氣，提高流量變更時之下降響應速度。
Description
本發明係關於壓力式流量控制裝置之改良，關於藉由提高響應性，大幅度地提高半導體製造裝置用等之原料氣體供給裝置之作動性能的壓力式流量控制裝置。
自以往，於半導體製造裝置用等之原料氣體供給裝置，供給氣體之流量控制廣泛利用熱式流量控制裝置或壓力式流量控制裝置。尤其，後者之壓力式流量控制裝置FCS如圖6所示般，由下述構件所構成：控制閥CV或溫度檢測器T、壓力檢測器P、孔口OL、由溫度補正．流量運算電路CDa和比較電路CDb和輸入輸出電路CDc和輸出電路CDd等所構成之運算控制部CD等所構成，具備有即使一次側供給壓變動大亦可以執行穩定之流量控制之優良的流量特性。
即是，在圖6之壓力式流量控制裝置FCS中，來自壓力檢測器P及溫度檢測器T之檢測值被輸入至溫度補正．流量運算電路CDa，在此進行檢測壓力之溫度補正和流量運算，流量運算值Qt被輸入至比較電路
CDb。再者，與設定流量對應之輸入訊號Qs從端子In被輸入，經輸入輸出電路CDc被輸入至比較電路CDb，在此與來自上述溫度補正．流量運算電路CDa之流量運算值Qt作比較。比較之結果，於設定流量輸入訊號Qs小於流量運算值Qt時，控制訊號Pd被輸出至控制閥CV之驅動部。依此，控制閥CV被驅動至閉鎖方向，直至設定流量輸入訊號Qs和運算流量值Qt之差(Qs-Qt)成為零為止朝關閥方向驅動。
在該壓力式流量控制裝置FCS中，當在孔口OL之下游側壓力P2和上游側壓力P1之間保持P1/P2≧約2之所謂臨界膨脹條件時，流通孔口OL之氣體流量Q成為Q=KP1(但是，K為常數)，再者當不滿足臨界膨脹條件時，流通孔口OL之氣體流量Q成為Q=KP2 m(P1-P2)n(但是，K、m、n為常數)。
因此，藉由控制壓力P1可以高精度控制流量Q，而且，可以發揮即使控制閥CV之上游側氣體Go之壓力變化大，控制流量值也幾乎不會變化之優良特性。
以Q=KP1(但是K為常數)之方式運算上述氣體流量Q之方式的壓力式流量控制裝置一般被稱為FCS-N型，再者以Q=KP2 m(P1-P2)n(但是，K、m、n為常數)之方式運算氣體流量Q之方式的壓力式流量控制裝置一般被稱為FCS-WR型。
並且，在該種之壓力式流量控制裝置中，其它存在將設成並聯狀地連結複數孔口OL，並藉由切換閥
使氣體流通於至少一個孔口之孔口機構，例如設成並聯狀地連接兩個孔口，並在一個孔口之入口側設置切換閥，藉由使此開或關而可以變更流量控制範圍之孔口機構，當作上述FCS-N型之孔口使用的被稱為FCS-SN型，或將相同孔口機構當作上述FCS-WR型之孔口使用的被稱為FCS-SWR型。
並且，因上述FCS-N型、FCS-SN型、FCS-WR型及FCS-SWR型之各壓力式流量控制裝置之構成或作動原理等已眾知，故在此省略其詳細說明(日本特開平8-338546號、日本特開2003-195948號等)。
再者，上述壓力式流量控制裝置FCS如圖7所示般，存在以如(a)構成之臨界條件下的氣體流體為對象之壓力式流量控制裝置FCS(以下，稱為FCS-N型，日本特開平8-338546號等)，或以(b)之臨界條件下和非臨界條件下之兩氣體流體為對象之FCS-WR型(日本特開2003-195948號等)，以(c)之臨界條件下之氣體流體為對象之流量切換型之FCS-S型(日本特開2006-330851號等)，及以(d)之臨界條件下和非臨界條件之兩氣體為對象之流量切換型之FCS-SWR型(日本特願2010-512916號等)。
並且，在圖7中，P1、P2為壓力感測器，CV為控制閥，OL為孔口，OL1為小口徑孔口，OL2為大口徑孔口，ORV為孔口切換閥。
但是，在該種壓力式流量控制裝置FCS中，因使用微小之孔徑之孔口OL，故氣體之置換性差，閉鎖
壓力式流量控制裝置FCS之控制閥CV而開放輸出側之時，要排出控制閥CV和孔口OL間之空間部之氣體需花費較多時間有所謂的氣體之下降響應性極差之問題。
圖8表示以往之壓力式流量控制裝置FCS-N型之連續步驟時之下降響應性之一例，於開放孔口OL之下游側之空氣作動閥(省略圖示)而經壓力式流量控制裝置供給一定流量之氣體的期間中，階段狀地使氣體供給量下降之情況，比起大流量用之壓力式流量控制裝置之時(折線A)，小流量用之壓力式流量控制裝置之時(折線B)，下降至特定流量，需要1.5秒以上之時間為現狀。
更具體而言，於FCS-N型及FCS-WR型之時，孔口OL1之下游側壓力在100Torr，要使流量從100%下降至1%及從100%下降至4%，分別需要約1秒以上，半導體製造裝置(例如蝕刻器)被要求在1秒以下之時間內流量從100%下降至1%。
再者，於FCS-S型及FCS-SWR型之時，孔口OL之下游側壓力在100Torr，要使流量從100%下降至10%及從100%下降至0.16%，分別需要約1.2秒以上，半導體製造裝置(例如蝕刻器)被要求在1.2秒以下之時間內流量從100%下降至10%。
另外，為了提高上述壓力式流量控制裝置之下降響應特性，施予盡可能縮小控制閥CV和孔口OL間之氣體通路之內容積的加工。
圖9表示其一例，為使用內容積極小型之本體2的壓
力式流量控制裝置，其構成使控制閥CV之流體的流向與通常之控制閥CV逆向，並使氣體通過隔板閥體20之外周緣部和閥座2a之間隙而流入，藉由設成從閥座2a之中央流出氣體之構造而使氣體流路之內容積減少。
但是，即使在使用圖9之內容積極小型之本體2的壓力式流量控制裝置中，難以藉由氣體流路之內容減少，大幅度地提升下降響應特性，如圖10所示般，在額定流量為10SCCM比較少之情況下，於N2氣體之時，從100%下降至0%需要大約1秒間之時間，於氣體種為C4F8(流量係數=0.352260)之時，需要約3秒程度之時間為現狀。
並且，在圖10中表示C為流量10SCCM，D為流量20SCCM，E為流量160SCCM之時的下降特性。
再者，在以往之壓力式流量控制裝置中，在以例如以切換閥等暫時性地閉鎖被連接於孔口下游側之氣體供給管之期間，在閉鎖控制閥CV而中斷流量控制之時，由於來自控制閥CV之原料氣體之微小洩漏，使得流體通路內壓變高，其結果，當再次開始流量控制時，藉由流體通路內壓變高，有上升時之流量控制由於所謂的過衝而使得響應性下降之虞。
如上述般，即使在使用內容積極小型之本體的壓力式流量控制裝置中，亦難以充分提高壓力式流量控制裝置之下降響應特性，以往之壓力式流量控制裝置依然殘留額定流量小之時的下降響應特性差等之問題。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平8-338546號
[專利文獻2]日本特開平10-55218號
[專利文獻3]日本特開平2003-195948號
[專利文獻4]日本特開平2006-330851號
[專利文獻5]日本特願2010-512916號
本發明為了解決以往之壓力式流量控制裝置中之上述問題，即是a.在流量控制的下降響應性低，b.由於本體之容積極小化使得要提升響應性有一定限度，無法謀求提升足夠響應性，c.按C4F8等之氣體種不同，僅以本體之內容積極小化，難以解決下降響應性提升困難等之問題，以提供一種壓力式流量控制裝置為發明之主要目的，該壓力式流量控制裝置係藉由於控制流量下降時，強制排氣控制閥CV和孔口OL間之流體通路空間內之殘留氣體，使不會導致流量控制精度或流量控制範圍之變化，而能急速地提升壓力式流量控制裝置之響應特性。
首先，本發明者等為了研究藉由強制排氣控
制閥CV和孔口OL間之流體通路之殘留氣體改善下降特性，使用圖11所示之藉由真空排氣的壓力式流量控制裝置之響應特性測定裝置，進行各種下降特性之測定。
並且，在圖11中，RG為壓力調整器、P0為供給壓力感測器，CVa、CVb為控制閥，P1a、P1b為壓力感測器，UPC1、UPC2為壓力控制器，VL2,、VL3為抽真空管，藉由上述UPC1和孔口OL構成壓力式流量控制裝置(FCS-N型)。再者，壓力調整器UPC1和孔口OL間之空間部VL1之容積被設定在6.0CC。
即是，藉由由壓力控制器UPC1和孔口OL所構成之壓力式流量控制裝置(FCS-N型)進行供給氣體之流量控制，並且藉由壓力調整器UPC2調整排氣機能(控制壓力之下降時間)。然後，同時對兩壓力調整器UPC1、UPC2輸入特定之設定壓力，並藉由壓力感測器P1a、P1b，測定兩壓力控制器UPC1、UPC2之控制壓之階段響應特性。
圖12表示藉由上述圖11之響應特性試驗裝置進行的下降特性之測定結果，(a)表示僅藉由壓力調整器UPC1之控制閥CVa，進行從100%流量以80%流量、60%流量、40%流量、20%流量之順序減少流量之壓力控制(流量控制)之情況，線F1為朝向壓力調整器UPC1之控制壓力輸入訊號之電壓波形，線F2為朝向壓力調整器UPC1之控制壓力輸入訊號之電壓波形。
從圖12之(a)明顯可知，控制壓力輸出訊號之
電壓波形之下降需要1秒以上之時間。
對此，圖12(b)為表示藉由同時使壓力調整器UPC2作動，使內部空間VL1內真空排氣之情況，發現下降響應時間可短縮至0.5秒以下。並且，對壓力調整器UPC1的氣體(N2)供給壓為300kPa abs，孔口OL為額定流量260SCCM。再者，真空排氣壓為10-5Torr。
圖13表示藉由上述圖12之響應特性測定裝置進行的上升特性之測定結果，(a)表示僅藉由壓力調整器UPC1之控制閥CVa，進行從0%流量以20%流量、40%流量、60%流量、80%流量、100%流量之順序增加流量之壓力控制(流量控制)之情況，線F1為朝向壓力調整器UPC1之控制壓力輸入訊號之電壓波形，線F2為朝向壓力調整器UPC1之控制壓力輸入訊號之電壓波形。
對此，圖13(b)表示使壓力調整器UPC2同時作動之時之上升之情況的上升響應特性。從與圖13(a)之對比明顯確認出由於上升響應時無需從壓力調整器UPC2真空排氣，故圖13(b)之上升時之響應時間與圖13(a)之情形略相同，上升響應時間為0.5秒以下。並且，對壓力調整器UPC1的氣體(N2)供給壓為300kPa abs，孔口OL為額定流量260SCCM用。再者，真空排氣壓為10-5Torr。
圖14表示藉由上述圖11之響應特性測定裝置進行下降特性測定時之各控制閥CVa．CVb之驅動用壓電元件(省略圖示)之輸入電壓之變動狀態，(a)表示設成僅藉由壓力調整器UPC1之控制閥CVa從100%流量以80%
流量、60%流量之順序減少流量之壓力控制(流量控制)之時的壓電元件驅動電壓。並且，線F1為對壓力調整器UPC1之控制壓力輸入訊號之電壓波形，線F2為對壓力調整器UPC1之控制壓力輸出訊號之電壓波形。
再者，(b)表示對氣體供給用之控制閥CVa之壓電驅動元件的輸入電壓波形F10，(c)表示對排氣用之控制閥CVb之壓電驅動元件的輸入電壓波形F20。
並且，對各壓電驅動元件之輸入電壓波形F10、F20以實際的1/30倍表示。
與本發明有關之壓力式流量控制裝置係根據使用上述響應特性試驗裝置之各試驗結果而創作出。其特徵在於具備：本體，其設置有連通流體入口和流體出口之間的流體通路及從該流體通路分歧而連通該流體流路和排氣出口之間的排氣通路；壓力控制用控制閥，其被固定在該本體之流體入口側而開關上述流體通路之上游側；壓力感測器，其係檢測出該壓力控制用控制閥之下游側之流體通路內壓；孔口，其設置在較上述排氣通路之分歧處下游的流體通路內；及排氣控制用控制閥，其係開關上述排氣通路。
上述壓力式流量控制裝置即使為具備有檢測出孔口下游側之流體通路內壓之壓力感測器之構成的FCS-WR型壓力式流量控制裝置亦可。
上述壓力式流量控制裝置即使為並聯狀連結複數孔口，且藉由切換閥使流體流通於至使一個孔口之構
成的FCS-SN型壓力式流量控制裝置亦可。
上述壓力式流量控制裝置即使為並聯狀連結複數孔口，且藉由切換閥使流體流通於至少一個孔口，同時具備檢測出孔口下游側之流體通路內壓的壓力感測器之構成的FCS-SWS型壓力式流量控制裝置亦可。
即使將上述壓力控制用控制閥及排氣控制用控制閥設為壓電元件驅動型之金屬隔板式控制閥亦可。
即使設為藉由對上述排氣控制用控制閥之壓電驅動元件的輸入電壓之調整，控制下降響應時間之構成亦可。
即使將上述排氣控制用控制閥設為空氣壓驅動閥或電磁驅動閥亦可，再者即使設為藉由連接於排氣出口之真空泵而使排氣通路內強制排氣之構成亦可。
在與本發明有關之壓力式流量控制裝置中，藉由具備設置有流體通路及排氣通路之本體，和開關固定於本體之流體通路之上游側的壓力控制用控制閥，和檢測出其下游側之流體通路內壓之壓力感測器，和設置在較排氣通路之分歧處下游之流體通路內之孔口，和開關排氣通路之排氣控制用控制閥，於藉由該壓力式流量控制裝置變更流體流量時，藉由使壓力控制用控制閥和排氣控制用控制閥作動，並使壓力控制用控制閥和孔口間之流體通路空間內強制排氣，提升控制流量變動時之控制響應性，不僅
可以大幅度地縮短流量控制之下降時間，亦可容易進行其下降時間之調整，再者，能夠提升壓力式流量控制裝置之所謂氣體置換性和藉由此提升設備運轉率和提升半導體製品之品質等。
再者，可任意選定壓力式流量控制裝置之本體之橫寬尺寸，例如配合以往之壓力式流量控制裝置之橫寬尺寸92mm，其結果，以往設備之修改亦可容易適用該壓力式流量控制裝置。
並且，可以藉由封閉真空排氣管(去除而加以閉塞)，當作通常之壓力式流量控制裝置使用。
1‧‧‧壓力式流量控制裝置
2‧‧‧本體
2a‧‧‧閥座
3‧‧‧入口側塊體
4‧‧‧本體塊體
5‧‧‧出口側塊體
6‧‧‧壓力控制用控制閥
6a‧‧‧壓電驅動元件
7‧‧‧排氣控制用控制閥
7a‧‧‧壓電驅動元件
9‧‧‧流體入口
10a‧‧‧流體通路
10b‧‧‧排氣通路
10c‧‧‧洩漏檢查用通路
11‧‧‧流體出口
12‧‧‧排氣出口
13‧‧‧密封墊
14‧‧‧面板控制板
15‧‧‧殼體
16‧‧‧連接用連接器
17‧‧‧圓筒體
18‧‧‧彈性體
19‧‧‧閥體壓件
20‧‧‧閥體
21‧‧‧氣體供給口
22‧‧‧供給側切換閥
23‧‧‧出口側開關閥
24‧‧‧出口側開關閥
26‧‧‧混合氣體供給管
27‧‧‧真空排氣管
28‧‧‧真空泵
29‧‧‧製程腔室
P1‧‧‧壓力感測器
P2‧‧‧壓力感測器
OL‧‧‧孔口
G1~G3‧‧‧實際氣體
圖1為表示與本發明有關的壓力式流量控制裝置之基本構成的縱剖面圖。
圖2為表示適用與本發明有關之壓力式流量控制裝置之氣體供給箱之構成的系統圖。
圖3為表示與本實施型態有關之壓力式流量控制裝置之連續階段時之下降響應特性之曲線圖。
圖4為表示增加設定流量之時的對壓力控制用控制閥6和排氣控制用控制閥7之壓電驅動元件之輸入電壓之變動狀態，及壓力感測器P1之輸出(壓力)的曲線圖。
圖5為表示增加流量設定之時的對壓力控制用控制閥6和排氣控制用控制閥7之壓電驅動元件之輸入電壓之變
動狀態，及壓力感測器P1之輸出(壓力)的曲線圖。
圖6為以往之壓力式流量控制裝置(FCS-N型)之基本構成圖。
圖7為以往之各種形式之壓力式流量控制裝置之概略構成圖，(a)表示FCS-N型，(b)表示壓力式流量控制裝置(FCCS-WR型)，(c)表示FCS-SN型，(d)為FCS-SWR型。
圖8為表示以往之壓力式流量控制裝置(FCS-N型)之連續階段時之下降響應特性之一例的曲線圖。
圖9為使用內容積極小型之本體的壓力式流量控制裝置(FCS-N型、FCS-WR型)之閥機構部之概要部。
圖10為表示從圖9之壓力式流量控制裝置(FCS-N型)之100%至0%間之流量下降特性曲線的曲線圖。
圖11為設置有真空排氣管之壓力式流量控制裝置之響應特性測定裝置之系統構成圖。
圖12為表示藉由圖11之響應特性測定裝置所測定之下降響應特性之測定結果的曲線圖，表示(a)僅藉由供給側之控制閥而下降之情況，(b)藉由供給側和真空排氣側之兩控制閥而下降之情況的曲線圖。
圖13為表示藉由圖11之響應特性測定裝置所測定之上升響應特性之測定結果的曲線圖，表示(a)僅藉由供給側之控制閥而上升之情況，(b)藉由供給側和真空排氣側之兩控制閥而上升之情況的曲線圖。
圖14為表示藉由圖11之響應特性試驗裝置測定下降特性時之各控制閥CVa、CVb之驅動用壓電元件(省略圖
示)之輸入電壓之變動狀態的曲線圖，(a)表示不使真空排氣管作動時之壓力控制器UPC1之控制壓力輸入及輸出訊號之電壓的曲線圖，(b)表示使真空排氣管作動之時的壓力調整器UPC1之控制閥CVa之壓電元件驅動電壓的曲線圖，(c)表示使真空排氣管作動時之壓力調整器UPC2之控制閥CVb之壓電元件驅動電壓的曲線圖。
以下，根據圖面說明本發明之實施型態。
圖1為表示本發明之壓力式流量控制裝置1之基本構成的縱剖面圖，圖2為表示適用與本發明有關之壓力式流量控制裝置之氣體供給箱之構成的系統圖。
壓力式流量控制裝置1係由本體2、壓力控制用控制閥6、排氣控制用控制閥7、壓力感測器P1、P2、孔口OL等所構成，在圖2之實施型態中，設為使用1個孔口OL之FCS-WR型之壓力式流量控制裝置。
並且，在圖1中，2a為閥座，3為入口側塊體，4為本體塊體，5為出口側塊體，9為流體入口，10a為流體通路，10b為排氣通路，10c為洩漏檢測用通路，11為流體出口，12為排氣出口，13為密封墊，14為控制用之面板控制板，15為殼體，16為連接用連接器。
上述本體2係藉由固定螺栓(省略圖示)相互組裝入口側塊體3、本體塊體4及出口側塊體5互相組裝使成一體化，壓力控制用控制閥6、排氣控制用控制閥7及
壓力感測器P1、P2等分別被螺裝固定在閥本體2。再者，壓力感測器P2避開與排氣通路10b之交叉而連通至流體通路10a。
上述壓力控制用控制閥6為使用將眾知之金屬製隔板當作閥體20之壓電驅動元件6a之開關閥，藉由對壓電驅動元件6a通電，此伸長，藉由使圓筒體17反抗彈性體18之彈力而推壓至上方，藉由金屬隔板閥體20之彈性力，閥體壓件19移動至上方，閥體20從閥座2a離座而開放閥。再者，閥開度藉由變動對壓電驅動元件6a的施加電壓而被調節。
並且，即使針對排氣控制用控制閥7之作動，也與壓力控制用控制閥6之作動相同，藉由壓電驅動元件7a之伸長量調節，進行閥開度控制。
再者，作為排氣控制用控制閥7，亦可使用眾知之空氣壓驅動式或電磁驅動式之開關閥，以取代上述壓電驅動式金屬隔板型開關閥。
圖2表示適用與本發明有關之壓力式流量控制裝置之氣體供給箱之構成的系統圖，將3種實際氣體G1~G3及N2氣體各自單獨，或者以特定比例混合適當之氣體種類，供給至製程腔室29。並且，FCS-N之內部空間氣體經排氣控制用控制閥7(省略圖示)通過排氣管27之出口側開關閥24而藉由真空泵28被強制排氣(真空排氣)之情形如同上述。
並且，在圖2中，21為氣體供給口，22為供給側切
換閥，23為出口側切換閥，26為混合氣體供給管。
參照圖1，在通常之連續流量控制中，從流體入口9流入之氣體藉由壓力控制用控制閥6被壓力控制，通過孔口OL而從流體出口11被供給至特定處。再者，於減少控制流量，例如從100%流量下降至50%流量之時，從控制板14分別對壓力控制用控制閥6輸入朝50%流量的切換控制訊號，再者對排氣控制用控制閥7輸入閥開放訊號，開放排氣控制用控制閥7。依此，通過排氣控制用控制閥7，強制排氣壓力控制用控制閥6和孔口OL間之氣體被強制排氣，縮短下降響應時間。
並且，當然藉由調整排氣控制用控制閥7之閥開度，可進行下降時間之控制。
圖3表示與本實施型態有關之壓力式流量控制裝置1之連續階段時之下降響應特性，在與上述圖8之情形相同之條件下進行測定。
若針對上述圖8和圖3比對線A及線B時，顯然在與本實施型態有關之壓力式流量控制裝置1中，可以將下降時間縮短至0.5秒以下。
再者，藉由排氣控制用控制閥7之閥開度調整，不僅可以容易控制下降時間本身，即使在不同之流量範圍作動中之壓力式流量控制裝置，亦可同步進行該些複數壓力式流量控制裝置之下降。
並且，圖4表示使流量設定增加之時的對壓力控制用控制閥6和排氣控制用控制閥7之壓電驅動元件
的輸入電壓之變動狀態，及壓力感測器P1之輸出(壓力)，即使在任何情況下，上升時間成為0.5秒以下，相對於從20%至50%及從50%至80%之流量增加，可以0.5秒以下之下降時間對應。
再者，圖5與圖4之情形相反，表示從80%至50%及從50%至20%之流量減少(下降)時的對壓力控制用控制閥6和排氣控制用控制閥7之壓電驅動元件的輸入電壓之變動狀態，及壓力感測器P1之輸出(壓力)，無論在任何之情況下，下降時間成為0.5秒以下。
並且，在上述圖1之實施型態中，雖然根據圖7(b)所示之FCS-N型之壓力式流量控制裝置進行說明，作為壓力式流量控制裝置，即使為FCS-N型、FCS-S型、FCS-SWR型當然亦可，圖7所示之以往之各型式之壓力式流量控制裝置任一者皆可使用於本發明之實施。
再者，壓力式流量控制裝置之作動原理或構成已眾知，在此省略其詳細說明。
即是，與本發明有關之壓力式流量控制裝置1中，藉由設置具備有排氣控制用控制閥7之真空排氣管27，可以大幅度地縮短流量控制之下降時間，並且可以容易進行下述時間之調整，提升壓力式流量控制裝置的所謂氣體置換性。
再者，可任意選定壓力式流量控制裝置1之本體2之橫寬尺寸，例如配合以往之壓力式流量控制裝置之橫寬尺寸92mm，其結果，以往設備之修改亦可容易適
用該壓力式流量控制裝置1。
並且，亦可以藉由封閉真空排氣管，當作通常之壓力式流量控制裝置使用。但是，會殘留需要真空排氣管27，或由於強制排氣增加實際氣體排氣、無法容易適用於已設置之氣體供給箱等之問題點。
[產業上之利用可能性]
本發明不僅半導體製造裝置用之氣體供給設備或氣體供給裝置，亦可以適用於化學產業或食品產業等的所謂氣體供給設備之流量控制裝置。
1‧‧‧壓力式流量控制裝置
2‧‧‧本體
2a‧‧‧閥座
3‧‧‧入口側塊體
4‧‧‧本體塊體
5‧‧‧出口側塊體
6‧‧‧壓力控制用控制閥
6a‧‧‧壓電驅動元件
7‧‧‧排氣控制用控制閥
7a‧‧‧壓電驅動元件
9‧‧‧流體入口
10a‧‧‧流體通路
10b‧‧‧排氣通路
10c‧‧‧洩漏檢查用通路
11‧‧‧流體出口
12‧‧‧排氣出口
13‧‧‧密封墊
14‧‧‧面板控制板
15‧‧‧殼體
16‧‧‧連接用連接器
17‧‧‧圓筒體
18‧‧‧彈性體
19‧‧‧閥體壓件
20‧‧‧閥體
P1‧‧‧壓力感測器
P2‧‧‧壓力感測器
OL‧‧‧孔口
Claims (8)
- 一種壓力式流量控制裝置，具備：本體，其設置有連通流體入口和流體出口之間的流體流路，和從該流體流路分歧而連通該流體通路和上述排氣出口之排氣通路；壓力控制用控制閥，其被固定在上述本體之流體入口側而開關上述流體通路之上游側；壓力感測器，其係檢測出上述壓力控制用控制閥之下游側之流體通路內壓；孔口，其設置在較上述排氣通路之分歧處下游的流體通路內；及排氣控制用控制閥，其係開關上述排氣通路。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中上述壓力式流量控制裝置更具備檢測出孔口下游側之流體通路內壓之壓力感測器。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中上述壓力式流量控制裝置為並聯狀連結複數孔口，且藉由切換閥使流體流通於至少一個孔口的構成。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中上述壓力式流量控制裝置並聯狀連結複數孔口，且藉由切換閥使流體流通於至少一個孔口，同時具備檢測出孔口下游側之流體通路內壓的壓力感測器。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中上述壓力控制用控制閥及上述排氣控制用控制閥為壓 電元件驅動型之金屬隔板式控制閥。
- 如請求項5所記載之壓力式流量控制裝置，其中設為藉由調整對上述排氣控制用控制閥之壓電驅動元件輸入的電壓，控制下降響應時間的構成。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中上述排氣控制用控制閥為空氣壓驅動閥或電磁驅動閥。
- 如請求項1所記載之壓力式流量控制裝置，其中設為藉由連接於排氣出口之真空泵使排氣通路內強制排氣之構成。
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