TW201530409A - 電容性感測元件及其製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種具有多個感測器陣列的電容性感測元件，例如該感測器陣列在觸控螢幕上的配置方式。該電容性感測元件包含至少一個由兩個結構化的導電層與一個位於其間的絕緣層所組成的多層體。本發明提供了一種具有冗餘的導電帶的配置作為一種交叉導電帶的配置，藉由該配置可降低對於該雙層疊層的電極層之定位準確度的要求，特別是關於導線與在一個模組邊緣區域的連接器之連接，其中該模組是一個相當於應用在感測元件的模組。

Description

電容性感測元件及其製造方法

本發明係關於一種具有多個感測器陣列的電容性感測元件，例如該感測器陣列在觸控螢幕上的配置方式。該電容性感測元件包含至少一個由兩個結構化的導電層與一個位於其間的絕緣層所組成的多層體。此外，本發明係關於一種用於製造這種感測元件的方法。

這類電容性感測元件在德國專利公報中(DE 102011115851 A1)是眾所周知的。在專利公報中所公開的該感測元件包含，例如根據條帶與條線的原則所配置而成的導電帶，並將其作為電極。在這個例子中，位於一個第一層，下部的導電層上，是較寬的導電帶，即條帶或條帶電極，其中它們是x軸走向的，而位於一個第二層，位於第一導電層上方的導電層上，則是較窄的導電帶，即條線或條線電極，其中它們則是y軸走向的。該兩個導電層係藉由一層絕緣層彼此互相電氣絕緣。在條帶與條線的交叉點上形成觸控感測區域，即所謂的觸控區域。

由於第一與第二導電層的導電帶之間的電場線分佈之故，條帶電極與條線電極幾何結構的不同，則是有利的。藉由以條線方式形成第二導電層，因而在感測元件上方的空間產生許多場線分佈，並藉由與輸入元件的接觸因而受到甘擾。場線分佈的干擾可對應於輸入，因此該甘擾可藉由更大量受甘擾的場線，因而更可靠地被擷取。

根據先前已知的一個電容性感測元件的導電層之配置，例如 在德國專利公報DE102011115851 A1已知的配置中，對於輸入信號的讀取必要的，即第一與第二導電層是要彼此互相準確地上下配置的。在條帶電極與條線電極上有預設連接線，該連接線藉由一個包含該感測元件的模組之邊緣區域上相對的連接器，將感測器陣列的訊號加以傳遞，使得輸入可以很明確地被配置並很可靠地被讀取。

上述模組在這裡是指例如一種智慧型手機，一種平板電腦或一種其它的觸控螢幕。該感測元件形成至少一個觸控螢幕的輸入區域的一部份，該感測元件優選的是透明的。

連接線被準確地裝配在連接器上，而該連接器被配置在感測元件的邊緣區域。為了確保連接線與連接線在組裝過程中有接觸，以及使得所有的輸入均能藉由連接線被讀取，對於感測元件的可靠性是有必要或至少是有利的，即導電層在感測元件組裝過程中必須彼此互相被精確地上下配置。特別有利的是，例如這兩個導電層的位置與理論指定的位置之偏離，即與連接器預設的接觸位置之偏離量，至少小於200μm，更優選的則是小於100μm。因此可以將先前已知的感測元件的裝配過程中之公差極限值，設定為200μm或更小。

此一製造方法的要求在成本上是難以實現的，而且組裝會因此變得非常昂貴。

因此，本發明的目的是提供一種包含位於導電層上的連接線與導電帶之配置方式的感測元件，將其兩個導電層的連接線與連接器接觸的組裝公差極限值，設定在一開始就提到的高附加價值之水準。本發明的目的特別是提供一種適合於大量生產，且製造成本低廉的感測元件。

本發明的主題與問題解決方案是一種電容性感測元件，其包含至少一個由兩個結構化的導電層與一個位於其間的絕緣層所組成的多層 該導電帶僅部份與連接線連結，其中第一與第二導電層的連接線位於同一個平面上，而該絕緣層並未將兩個結構化導電層的整個表面全面加以隔離。

有關此類發明的一般常識是，將連接線引導至位在邊緣區域連接器之連結，位在一個單一的導電層上，具有一個較大的個別階層之配置空間。

根據一個有利的實施例，其中設置了導電帶，特別是該條線電極(3a至3K)交替地與一個連接線(6)連接與未連接。

根據另一個有利的實施例得知，其中在兩個相鄰導電帶之間設置了一個間距，全面的或不全面的導電帶寬度，在一個導電層上，形成多層體堆疊時的一個個別階層的規定公差之定位準確度。

根據另一個感測元件有利的實施例得知，即條線電極的導電帶在一個規則圖案中週期性地被互相隔開。

在第一與/或第二導電層的厚度優選地介於20nm與1μm之間。

在此，例如第一與/或第二導電層優選地是以印製方式而製成，其中使用一層透明導電材料，優選的是一層很薄的透明薄膜，在其上面結構性地鍍覆銀或銅。該第一與/或第二導電層也可以由一種透明導電材料製成。

根據一個有利的實施例，連接線是位在具有較寬的導電帶的第一導電層上，其中該導電帶是所謂的條帶與條線圖案的條帶電極。在此特別有利的是，如果所有的連接線均位於該第一導電層上。

特別優選的實施例是，導電帶係位在同一個平面上，其中該導電帶與被鋪設到連接器的連接線並沒有互相連結，而是藉由導電墊片與連接線互相連接。作為“導電墊片”在這裡是指第一導電層的導電區域，該導電區域直接與第二導電層的電極互相導電連結。在此情況下，連接線位 於第一導電層上，該導電墊片是一個細小電極區段，其中該電極區段位於感測元件透明區域的內部與/或外部，並且沒有藉由絕緣層與第二導電層互相絕緣隔離。

根據一個有利的實施例，較窄的導電帶，即條線電極位於第二導電層上。

在此也可以是有利的，即使用連續條線的導電材料作為條線電極，而將該條線電極建置在一個連續帶上，其中優選地使用透明的連續帶。條線的建置例如可以藉由印刷，特別是應用一種連續滾印的方法來完成。

在藉由印刷方式來生產導電帶與/或連接線時，有利的是，如果使用一種由撓性塑膠材料所製成的帶狀載體，其中可以使用一種連續滾印的方法，將導電材料印製在該載體上。

在此可證實對降低成本是特別有利的，即至少有一個導電帶使用一種連續滾印的方法，被印製在載體捲帶的輸送前進方向上，以形成一個連續條帶。

根據另一個實施例，其中更寬的條帶電極導電帶是位在條帶的輸送前進方向上。

該絕緣層的厚度優選地介於1μm至200μm之間，更優選的是介於5μm至100μm之間。該絕緣層是一種介電質，其介電常數優選地介於2與4之間，更優選地是介於2.5與3.5之間。

作為載體材料特別優選的是使用一種透明的載體材料。在此，例如可以使用一種塑膠薄膜，例如一種PET薄膜。

該載體薄膜的厚度例如是介於18μm與450μm之間，特別是介於50與300μm之間，最優選的是介於100至200μm之間。

作為導電材料，優選地使用一種能夠藉由印刷方式來進行加

作為導電材料，優選地使用一種能夠藉由印刷方式來進行加工的材料，特別優選的是使用一種連續滾印的方法。例如，在此可以使用，特別是金屬導電膠，所有導電聚合物與/或眾所周知的導電透明金屬氧化物，例如銦錫氧化物(ITO)與銻錫氧化物(ATO)，以及特別優選的是如德國專利公報DE 10 2009 014 757.8與DE 10 2011 115 851所述的透明導電材料，例如金屬網格(metal mesh)。所謂金屬網格(metal mesh)，這裡是指一種包含由非透明材料所製成的薄導電軌之透明塑膠薄膜，而該塑膠薄膜以人類眼睛看起來是透明的。這些由撓性材料所製成的導電軌的特徵在於其寬度介於5μm至25μm之間，該導電軌在透明薄膜的面積覆蓋率介於1%與20%之間，優選的面積覆蓋率則介於1%至15%之間。該材料在上述兩個專利申請中有被詳加描述，在此，將其內容作為本發明的公開內容。

根據一個優選的發明實施例，該感測元件被設計成觸控螢幕感測元件，而該感測元件在輸入區，以人類眼睛看起來是透明的。

在這種情況下，介電質絕緣層是由一種在人類眼睛可見光的波長範圍內看起來是透明的材料所製成。

此外，第一與第二導電層以人類眼睛看起來是透明的，這可藉由採用適當的透明導電材料，使用於第一與/或第二導電層，與/或藉由適當地選擇位在透明載體上，形成導電帶的導電性的導電軌之寬度與厚度，例如根據如德國專利公報DE102009014 757.8與/或DE 102011115851所述的已知技術，即可加已實現。特別優選地，這些導電軌的寬度小於人類眼睛之解析度能力，即寬度小於50μm，優選的小於25μm。在一個導電帶之間，每單位面積的導電軌覆蓋率介於1%和20%之間，優選的介於1%和15%之間。以下係本發明根據圖形進一步加以詳細說明：

1‧‧‧薄膜載體

11‧‧‧縫隙

2‧‧‧條帶電極

2a~2d‧‧‧條帶電極

3‧‧‧條線電極

3a~3k‧‧‧條線電極

4‧‧‧絕緣膜

5,6‧‧‧連接線

7a~7e‧‧‧導電墊片

8‧‧‧連接器

9‧‧‧邊緣區域

a~e‧‧‧長度

S1~S5‧‧‧縫隙

R‧‧‧方向

圖1a與圖1b表示一個根據先前技術的導電帶排列之配置圖。

圖2a，2b與2c表示根據本發明的實施例與圖1類似的視圖。

圖2d表示一個橫截面視圖。

圖3a與3b表示如圖2所示的導電墊片之細部放大圖。

圖4a與圖4b表示根據本發明的另一個實施例中，一個類似的，但是旋轉90°的導電帶排列之配置圖。

圖5a表示如圖4所示的導電墊片之細部放大圖。

圖5b表示一個如圖4所示的導電墊片的替代實施例之細部放大圖。

圖1a表示在先前技術中兩個互相疊層的導電帶之條帶與條線排列，其中藉由一個透明介電質絕緣膜4，使得位在薄膜載體1的不同平面上的導電層2與導電層3彼此互相電氣絕緣。在此，該絕緣膜4涵蓋感測元件的整個透明輸入區，其中該輸入區是被邊緣區域9所環繞的。位於透明輸入區外部的邊緣區域9將導電帶2a至2d與3a至3e的連接線5與6引導至連接器8中，藉由該連接器可以與相應的模組互相接觸。為使連接線5與6能與連接器8確實互相接觸，這兩個導電層的位置必須在上下疊層時，精確地彼此互相配置。以上所述於圖1b中詳細說明。

圖1b表示一個在疊層時最小的定位準確度a，例如疊層時，兩個導電層的個別階層的定位準確度。條線電極3相對於條帶電極2之間產生一個長度為a的位移。如果條線電極層的連接線6在邊緣區末端並沒有同樣產生位移a時，這將是可允許的誤差。但當連接線6在邊緣區也是同樣產生位移a之後，在此也可能與連接器8無法接觸，因此定位準確度的尺寸a便不能被允許。a的長度至少為100μm至200μm或更大的長度。

圖2表示如何根據本發明的一個優選實施例，來解決此一問題。圖2a僅表示第一導電層與位於其上面的絕緣膜4。由圖中得知，相同 藉由連接線5與連接器8連接。該條帶電極是被絕緣膜4所覆蓋。在被絕緣膜4所覆蓋的外部可以看出，在第一導電層上另外具有導電墊片7a至7e，它們係藉由連接線6與另外的連接器8連接。連接線6在此與連接線5位在同一平面上，此與先前技術的圖1所示者不同。

連接線6在本實施例中，至少部份地被絕緣膜4覆蓋，以避免短路。

圖2b表示，與圖1a所示者類似，包含一個位於絕緣膜4上方的第二導電層的整體圖像。第二導電層包含多個條線電極3a至3k，其中不是每個電極皆與連接線6連接。基本上每兩個條帶其中之一的電極是冗餘的，即沒有連接，因此是冗餘的。但這種冗餘原理使得定位公差範圍可以變大，因為根據本包含冗餘電極的實施例，某些條線電極與條線電極層已經是準確地配置，因此也可以互相連接。

條線電極3a至3k至少有一部份位在第一導電層的導電墊片之上，因為該條線電極並沒有被絕緣膜4覆蓋。如圖2b所示的第二導電層，該條線電極3a，3c，3e，3g與3i是有導電接觸的。因此，該條線電極3在生產感測元件時，被配置在第一導電層上的導電墊片7a至7e的其中一個之上，而與被引導至連接器8的連接線6直接導電連接。

圖2c表示一個與圖1b類似的視圖。由於要將個別導電層準確地加以堆疊所產生的困難度很高，在此，第二導電層相對於第一導電層也有可能會產生一個長度為a的位移。但是乍看之下立刻便可加以辨認，這些位移對於與連接器8的連接完全不會產生影響，因為連接線5與6到連接器8全部位元在同一層面上，因此與連接器8可以對準。

如圖2c所示，只有條線電極3b，3d，3f，3h與3j經由導電墊片7a至7e與連接線6連接到連接器8，進而連接到該控制模組。

如圖2b所示，連接的條線電極3a，3c，3g，3i與3k位在第 一電極層上的導電墊片7a到7e之外側，因此就不會與連接線6連接。因此上述這些條線電極是冗餘的，並且對感測元件的功能沒有貢獻。然而，它們對於感測元件的量產適用性是非常重要的，因為該冗餘現有的電極在生產時，可提供一個必要的定位公差之空間。此外，冗餘的導電帶並不會產生干擾，反而它們對產生一個更均勻的視覺外觀，與標準化的透射會有貢獻。在一個特別優選的實施例中，冗餘的導電帶總是以相同的間距，即週期性地，被建置。

該導電層的導電條帶，特別是條帶電極2a至2d與條線電極3a至3k可以作成不同的尺寸，並經由感測元件的不同區域而延伸。例如，該條帶電極與條線電極至少經過感測元件的透明區域，但也可以經過該區任意遠遠地延伸，在某些情況下也可以經過感測元件的不透明區域，或也可以經過數個感測元件而延伸出去，可達連續生產的最長構造，其中上述電極在連續滾印的印製方法中，可高達整捲帶狀材料的長度，而形成無限長度的連續條帶。用於生產感測元件的兩個或多個列印捲帶相應地被切割，上下配置並結合成一個多層體，與/或互相疊層在一起。

根據本發明的一個優選實施例，條線電極3沿著印刷方向延伸。以上所述對於連續滾印的印刷方法是特別有利的，當在載體捲帶的整個長度上進行連續印刷時，條線電極可使用較低的成本來加以印製。在本發明的實施例中，不但可以預設冗餘條線電極，也可以在本發明的實施例中，不預設冗餘條線電極，來加以實施。在任何情況下，條線電極在印刷方向，延伸經過列印捲帶的整個長度。

圖2d表示根據一個如圖2所示的本發明之實施例，其中藉由一個感測元件的剪圖所擷取之一個剖面圖。藉由如圖2b所示，位在載體1上的導電墊片7a的一個剖面圖可得知，沿著條線電極3a經由條帶電極2a延伸。特別是也可看出絕緣膜4的位置，該絕緣膜將條線電極3a與條帶電 極2a彼此互相電氣絕緣，但並沒有將導電墊片7a與條線電極3a彼此互相電氣絕緣，而是使其彼此互相連結，其中導電墊片7a與條帶電極2a係位在同一平面上。

圖3a與圖3b表示不同程度的冗餘狀態。在圖3a中條線電極3之間的間距b等於導電墊片7a與7b之間的間距。另外，導電墊片7a與7b的寬度也相當於該長度b。以這種方式可以確保，總是有一個單獨的條線電極3與導電墊片7連接。因此如圖2b與圖3a所示的長度b，重現形成冗餘條線電極的週期性與縫隙S1至縫隙S5的寬度。長度e表示兩個導電墊片之間的間距。

圖3b表示另一個優選配置的示意圖。條線電極3之間的間距c比縫隙S1至縫隙S5的寬度小得多，並且比導電墊片的寬度與間距小得多。以這種方式例如，縫隙S1(圖2b)可藉由條線電極3a至3c共同形成。

導電墊片採用的寬度為b時，可以配置1至10條條線電極，優選的是1至7條條線電極。例如寬度b相當於根據先前技術(圖1a)一個條線電極的寬度。b例如可以介於0.5至3mm之間，例如是2mm。

長度c包含兩個相鄰的條線電極之間的間距，再加上一個條線電極的寬度，例如是介於0.1至5mm之間，優選的是介於0.2~3mm之間，特別優選的是介於0.4mm與1mm之間。長度c相當於冗餘配置的電極之週期性。

長度d只描述兩個相鄰條線電極之間的間距，例如是介於5μm與20μm之間，剛好適合確保在兩個相鄰導電帶之間的電氣絕緣。

相鄰兩個導電墊片之間的間距e是取決於感測區域的大小，它可以例如介於1至10mm之間，有利的是介於2至8mm之間，特別有利的是介於大約4至5mm之間。

圖4a與圖4b表示另一個實施例，其中該實施例是一個與高 級製程技術相關的連續滾印的印製製程。在該如圖2所示的實施例中，絕緣膜4實際上將條帶電極2a至2d與連接線6加以覆蓋，但並沒有覆蓋導電墊片7a至7e，其中該導電墊片位在輸入區4的外部，即位在不一定是透明的邊緣區域9上。

相應的在該如圖2所示的實施例中，該絕緣層4被結構化的建置在其上。相反地在該如圖4所示的實施例中，其中該絕緣膜4在連續製程中，並無結構化的建置在其上，因為導電墊片7a至7e位在可印製的載體捲帶前進的方向R上的絕緣膜4之外部。相應的在該實施例中，條帶電極2a至2d被建置在載體捲帶的前進方向上，例如被印製上去。

圖4b表示一個將條線電極3疊層在條帶電極上的完整感測元件，該條線電極位在如圖4a所示的連接線5與6之區域上，其中藉由連續不間斷的絕緣膜4加以電氣絕緣。該條線電極3在上述的實施例中，不但在條帶電極2a至2d的區域上，而且在連接線5與6的區域上皆是冗餘的，而被建置作為條線電極3。這可以使得製程技術的成本比結構化的建置更有效率，如上所述，對功能性不會產生干擾，然而在某些情況下甚至可改善視覺外觀。

若要接觸導電墊片7而同時又要使得連接線6絕緣，則一方面可藉由絕緣薄膜4的結構化來完成，但另一方面也可藉由在導電墊片7的位置上，使用絕緣材料4，並藉由一種透過通孔垂直互連導電接觸(Vertical Interconnect Access)，與/或使用一種導電膠。

特別也是可能的，即將包含條帶電極2a至2d的第一導電層與包含條線電極3a至3k的第二導電層經由一個作為黏合層所形成的絕緣層4互相連接，例如疊層，其中在導電墊片的區域同時建置一個所謂"各向異性導電膜"的導電膠。這種導電膠可以與絕緣膠共同形成絕緣膜4，製程技術上又可經由列印帶的整個寬度加以印製。

在導電墊片7與條線電極3之間的區域，取決於實施例的不同，分別的在條帶電極2上，分別沒有使用材料或是有使用導電材料。

圖5a與5b表示如圖4b所示的區域A之細部放大圖。由圖5a(如圖4b的俯視圖)得知，條線電極3是如何與位於底層，但卻藉由絕緣膜4(在此未表示出)所分隔的條帶電極2，彼此互相交叉，並與導電墊片7接觸。從導電墊片7引出一個連接線6(在此未表示出)到連接器8(同樣為了清楚起見，在此未表示出)。

該條帶電極2在圖5a中被設計為一個完整的矩形。圖5b表示一個另外的實施例，其中，該條帶電極2在與條線電極3的交叉區域細化了。如此一來便可獲得改善，因為場線分佈的空間較開闊，從而提高了輸入讀取的可靠性。這個細化形成至少一個縫隙11，該縫隙的寬度與導電墊片7的寬度精確地吻合，使得場線分佈得以優化，其中該導電墊片係位於同一平面上。

如圖5b所示的實施例在本發明中是特別優選的，因為在該實施例中只有在此首次展示的配置圖是可以有意義的被應用，其中該配置圖可確保增加定位準確性之公差，特別是當有建置冗餘電極時。

本發明提供了一種包含冗餘導電帶的配置圖，以作為交叉導電帶的配置之用，藉由該配置圖可以在雙層電極層的疊層製程中，降低對於定位準確性之要求，特別是關於連接線與連接器之連接，其中該連接器係位在一個相應的感測元件所使用的模組之邊緣。

3a~3k‧‧‧條線電極

8‧‧‧連接器

S1~S5‧‧‧縫隙

Claims (24)

1. 一種電容性感測元件(1)，該電容性感測元件包含至少一個由兩個結構化的導電層(2，3)與一個位於其間的絕緣層(4)所組成的多層體，其中，第一與第二導電層的結構各自設有彼此互相電氣絕緣的導電帶(2a，2b，2c，2d，3a至3k)，該導電帶僅部份與連接線(5，6)連結，其中第一與第二導電層的連接線(5，6)位於一個平面上，而該絕緣層(4)並未將兩個結構化導電層(2，3)的整個表面全部加以隔離。
2. 如申請專利範圍第1項所述之感測元件，其中，條線電極的導電帶(3a至3K)交替地與一個連接線(6)連接與未連接。
3. 如申請專利範圍第2項所述之感測元件，其中，在兩個相鄰條線電極的導電帶之間的間距b或c具有週期性，其中與連接線連接與未連接的導電帶，條線電極(3a至3k)，彼此相鄰地位在同一個導電層上。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項的其中一項所述之感測元件，其中，條線電極的導電帶(3a至3k)，在一個規則圖案中週期性地被互相隔開。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項的其中一項所述之感測元件，其中，第一與/或第二導電層的厚度介於20nm與1μm之間。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項的其中一項所述之感測元件，其中，連接線(6)是位在第一導電層(2)上，該導電層具有較寬的導電帶，即條帶電極。
7. 如申請專利範圍第1項至第6項的其中一項所述之感測元件，其中，該導電帶(2a，2b，2c，2d，3a至3k)，經由導電墊片(7a至7e)與連接線(5，6)互相連接，其中，該導電帶與被鋪設到連接器(8)的連接線(5，6)並沒有位在同一個平面上。
8. 如申請專利範圍第1項至第7項的其中一項所述之感測元件，該感測元件包含一個透明區域。
9. 如申請專利範圍第1項至第8項的其中一項所述之感測元件，其中，至少預設一個導電墊片，而該導電墊片位於感測元件的透明區域內。
10. 如申請專利範圍第1項至第9項的其中一項所述之感測元件，其中，預設一個導電墊片，而該導電墊片位於感測元件的透明區域外部。
11. 如申請專利範圍第1項至第10項的其中一項所述之感測元件，該感測元件包含至少一個階層，該階層可藉由一種載體捲帶(1)來加以印製。
12. 如申請專利範圍第1項至第11項的其中一項所述之感測元件，該感測元件包含至少一個階層，該階層可藉由一種連續方法來加以印製。
13. 如申請專利範圍第1項至第12項的其中一項所述之感測元件，該感測元件包含至少一個階層，該階層可藉由一種連續滾印的方法來印製。
14. 如申請專利範圍第1項至第13項的其中一項所述之感測元件，該感測元件可藉由疊層形成多個階層。
15. 如申請專利範圍第1項至第14項的其中一項所述之感測元件，該感測元件可將一個第二導電層(3)，藉由一個絕緣黏合層(4)，疊層在一個第一導電層(2)之上而形成。
16. 如申請專利範圍第1項至第15項的其中一項所述之感測元件，特別是如申請專利範圍第13項所述，該感測元件將一個第二導電層(3)，藉由一個結構性所建置的絕緣黏合層(4)，疊層在一個第一導電層(2)之上而形成。
17. 如申請專利範圍第1項至第16項的其中一項所述之感測元件，特別是如申請專利範圍第14項所述，該感測元件將一個第二導電層(3)，藉由一個在第一導電層(2)上的結構性電極(2a至2d)，與藉由將連接線(5，6)建置在其上的絕緣黏合層(4)，與藉由一個結構性經由導電墊片(7a至7e)所建置的導電膠層，疊層在一個第一導電層(2)之上而形成。
18. 如申請專利範圍第1項至第17項的其中一項所述之感測元件的製造方 法，其中，在第一導電帶(2a至2d)與第二導電帶(3a至3k)的交叉點區域，設有一個缝隙(11)，該缝隙是非導電區。
19. 如申請專利範圍第1項至第18項的其中一項所述之感測元件，其中，該缝隙(11)與導電墊片(7a至7e)在尺寸上是彼此互相匹配的。
20. 如申請專利範圍第1項至第18項的其中一項所述之感測元件的階層之製造，係藉由連續方法加以印製。
21. 如申請專利範圍第20項所述之方法，其中，藉由一個連續滾印的方法加以印製。
22. 如申請專利範圍第1項至第19項的其中一項所述之感測元件的製造方法，係藉由至少兩個導電層與一個位於其間的絕緣層所疊層而成。
23. 如申請專利範圍第22項所述之方法，其中該絕緣層是一種黏合層。
24. 如申請專利範圍第22項或第23項的其中一項所述之方法，其中沒有被絕緣黏合層所覆蓋的導電層，係藉由塗覆導電膠而互相連接。