TW201447970A - 紫外線燈 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種紫外線燈，其能夠將所需的波長的紫外線自放電容器內往外部射出，並且能夠防止在放電容器中在對應於光射出部的全區域因短波長的紫外線造成的玻璃的劣化。紫外線燈包含：放電容器1；一對電極2，於前述放電容器1的外表面上、對向夾置密閉空間13而形成；光射出部3，將於前述密閉空間13內藉由放電所產生的光往前述放電容器外射出；及放電容器保護膜5，其透射峰值波長λ以上的紫外線，並且反射或吸收小於峰值波長λ的紫外線，且至少形成於前述放電容器1的內表面中對應於前述光射出部3的區域。

Description

紫外線燈

本發明是有關於一種紫外線燈，其以將在玻璃製的放電容器內所產生的紫外線自光射出部往外部射出的方式構成。

例如，用來照射紫外線的紫外燈被使用於基板的清洗或墨水的硬化等這類的用途。作為此種紫外線燈100A的一例，如專利文獻1及圖6所示，其具備：具有內部封入了稀有氣體的密閉空間13A的概略扁平長方體形狀的放電容器1A、以及在放電容器1A的外表面11A以對向的方式而設置的網狀(mesh-shaped)的一對電極2A，且此紫外線燈100A以如下方式構成：在前述的放電容器1A中一方的網狀電極22A所設置的面作為光射出部3A，而將內部產生的紫外線取出至放電容器1A外。此外，前述在放電容器1A產生的紫外線僅自前述光射出部3A射出，且為了使其提高光取出效率，而在放電容器1A的內表面12A對應於光射出部3A以外的部分形成包含SiO₂粒子的紫外線反射膜4A。

可是，於放電容器1A內產生的紫外線，並不只是符合基板的清洗或墨水的硬化等這類目的所需的波長範圍的紫外線，且一併產生較其波長更短的紫外線。而且，由於該短波長的紫外線藉由在放電容器1A的內表面12A所形成的紫外線反射膜4A反 射，因而變成該短波長的紫外線僅照射於放電容器1A的內表面12A的對應於光射出部3A的部分。

若該短波長的紫外線照射在形成放電容器1A的玻璃上，則會逐漸地進行玻璃的劣化，且起初會使紫外線的透射率(transmittance)降低而使紫外線的取出效率下降。另外，若進一步進行玻璃的劣化，則會在放電容器1A產生破裂(crack)而造成無法點亮，而有更換的必要。

近年來，由於期望提升稼働率(availability)並降低在生產線全體中的成本，而要求有能藉由除去或延遲因該光射出部3A的短波長的紫外線所造成的玻璃劣化，而降低紫外線燈的更換頻率。

為了防止像這樣在光射出部3A中的形成放電容器1A的玻璃的劣化，在專利文獻2所示的具備有雙圓桶管構造的放電容器1A的紫外線燈100A中，使形成在放電容器1A的內表面12A上的紫外線反射膜4A以覆蓋至光射出部3A的一部分的方式來形成。

如圖7所示，具體而言，前述紫外線燈是在放電容器1A的內側管的內表面11A形成第一整體電極21A，且在放電容器1A的外側管的外表面11A中形成橫斷面為C字狀的第二整體電極22A，而將未形成有第二整體電極22A的開口部分作為光射出部3A。並且，紫外線反射膜4A形成在放電容器1A的外側管的內表面12A中與第二整體電極22A對應的部分、以及在放電容器1A的外側管的內表面12A中的第二整體電極22A的附近的前述光射 出部3A的一部分上。

即，在專利文獻2中，在光射出部3A中特別是因紫外線而容易產生玻璃的劣化，其能藉由在外側管的內表面12A的第二整體電極22A附近的一部分覆蓋紫外線反射膜4A來達成長壽命化。

然而，在如上述構成中，以使短波長的光無法到達射出部的方式，而有必要對於Xe氣體的密封壓力(sealing pressure)或燈的形狀、尺寸等仔細設計，且如專利文獻1中在一個設置有網狀電極22A的面作為光射出部3A的燈中，因短波長的光到達光射出部，故不能防止因紫外線所造成的玻璃的劣化。雖然如此，為了在光射出部3A的全部區域中防止短波長的紫外線造成的劣化，若在放電容器1A中將紫外線反射膜4A形成在與對應於光射出部3A的全部的部分的內表面12A上，則在放電容器1A的內部所產生的紫外線幾乎無法經由光射出部3A而取出至外部，使得紫外線燈100A不能發揮原來的機能。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第2012-243435號公報

[專利文獻2]日本專利第2010-218833號公報

有鑑於如上述的問題，本發明的目的在於提供一種紫外 線燈，其能夠防止因短波長紫外線所造成玻璃的劣化、避免或進一步延遲紫外線的取出效率降低或破裂產生等。

亦即，本發明的紫外線燈其特徵在於包括：放電容器，其包括透光性玻璃，且具有內部封入指定氣體的密閉空間；至少一對電極，其形成於前述放電容器的外表面；光射出部，其使在前述密閉空間內藉由放電所產生的光往前述放電容器外射出；以及放電容器保護膜，其透射峰值(peak)波長λ以上的紫外線，並且反射或吸收小於峰值波長λ的紫外線，前述放電容器保護膜形成在前述放電容器的內表面中至少對應於前述光射出部的區域。

在本發明中所謂的透光性指的是，至少能使經由放電所產生的紫外線光的波長範圍的光透射而能往外部導出的程度的光學透明性(optical transparency)，較佳為透明。並且，在本發明中所謂的峰值波長為對應於放射光的光譜分佈的峰值波長，詳細來說，其是在經由前述密閉空間內放電所產生的光往前述放電容器外射出時，在容器外被檢出的前述光譜分布的強度最高的波長。

依據上述，放電容器保護膜透射峰值波長λ以上的紫外線，並反射或吸收峰值波長小於λ的紫外線，且由於此放電容器保護膜是形成於前述放電容器的內表面中對應於前述光射出部的區域，故雖然將必要的峰值波長λ以上的紫外線往外部取出，可是在放電容器中對應於光射出部的部分並不會被小於峰值波長λ的紫外線直接照射。

亦即，對於在以往無法防止玻璃的劣化的進行的放電容器中的對應於光射出部的區域，亦能經由前述放電容器保護膜來防止小於峰值波長λ的短波長紫外線的照射。因此，能比以往經過長時間地來防止在放電容器中對應於光射出部的部分的紫外線透射率降低或是破裂產生。

具體而言，不需要如專利文獻2那樣，以使短波長的光無法到達射出部方式，而對於Xe氣體的密封壓力(sealing pressure)或燈的形狀、尺寸等仔細設計，且如專利文獻1中在一個設置有網狀電極的面作為光射出部的燈中，即使短波長的光到達光射出部，也能防止因紫外線所造成的玻璃的劣化。

依據這樣的本發明，紫外線燈能保有原來的機能，並防止形成放電容器的玻璃的劣化、實現長壽命化。因此，降低紫外線燈的更換頻率，且可以提高例如在生產線的稼働率。

欲往外取出在前述密閉空間內產生的峰值波長λ以上的紫外線，使其往前述光射出部集中而提高取出效率，並且在前述密閉空間中所產生的短波長的紫外線沒有到達放電容器，且以能防止有關在放電容器中的任意部分因為短波長紫外線而發生玻璃的劣化的方式，將前述放電容器保護膜形成於前述放電容器的內表面中對應於前述光射出部的區域，更進一步只要是具有能反射紫外線、且形成於前述放電容器的內表面中對應於前述光射出部以外的區域形成的紫外線反射膜即可。

作為例如為了以自前述光射出部射出適合用於基板的清 洗的波段的紫外線、並且能防止前述形成放電容器的玻璃的劣化的波長λ的具體例，前述峰值波長λ可列舉為165nm以上、175nm以下的範圍內的波長。

作為為了想要的所需的波段的紫外線以不使其透射而是反射的方式自前述紫外線反射膜中的光射出部射出、且也反射使形成放電容器的玻璃劣化的短波長的紫外線的具體的構成例，可列舉為：前述紫外線反射膜是以平均粒徑比前述峰值波長λ大的SiO₂粒子所形成。

再者，本發明所謂的平均粒徑表示：對以穿透式電子顯微鏡(TEM，transmission electron microscope)觀察到的粒子的投影面積換算為正圓時的圓等效粒徑來計算，以500個觀測粒子數的平均圓等效粒徑。

作為為了在前述放電容器保護膜中吸收或反射使玻璃劣化的短波長的紫外線，特別是對於比使劣化進行的波長更短的波長的紫外線，且同時僅透射作為具有比峰值波長λ還長的波長之所需的波段的紫外線的具體的構成例，前述放電容器保護膜只要是以平均粒徑比前述峰值波長λ小且160nm以上的SiO₂粒子來形成即可。

在前述放電容器保護膜中，就透射比峰值波長λ還長的波長的紫外線、且就吸收比峰值波長λ短的波長的紫外線的方式中，前述放電容器保護膜只要是藉由Al₂O₃所形成的紫外線透射膜即可。

作為前述放電容器保護膜的其他的態様，在前述放電容器保護膜中，就透射比峰值波長λ還長的波長的紫外線，並就反射比峰值波長λ還短的波長的紫外線的方式中，前述放電容器保護膜只要是藉由MgO、CaF₂或MgF₂的任一個所形成的單層反射膜即可。

依據這樣的本發明的紫外線燈，在前述放電容器的內表面中，因為形成前述放電容器保護膜，所述放電容器保護膜至少在對應於前述光射出部的區域透射峰值波長λ以上的紫外線，並且反射或吸收小於峰值波長λ的紫外線，所以能防止以往所不能保護的在光射出部中的形成放電容器的玻璃的劣化，而能實現長壽命化。

100‧‧‧紫外線燈

1‧‧‧放電容器

11‧‧‧外表面

12‧‧‧內表面

13‧‧‧密閉空間

2‧‧‧一對電極

21‧‧‧電極

22‧‧‧電極

3‧‧‧光射出部

4‧‧‧紫外線反射膜

5‧‧‧放電容器保護膜

100A‧‧‧紫外線燈

1A‧‧‧放電容器

11A‧‧‧外表面

12A‧‧‧內表面

13A‧‧‧密閉空間

2A‧‧‧一對電極

21A‧‧‧第一整體電極

22A‧‧‧網狀電極/第二整體電極

3A‧‧‧光射出部

4A‧‧‧紫外線反射膜

圖1為本發明的第1實施形態紫外線燈的使用狀態的示意的立體圖。

圖2為在同實施形態中紫外線燈的內部構造的示意的剖視圖。

圖3為本發明的第2實施形態紫外線燈的內部構造的示意的剖視圖。

圖4為本發明的第3實施形態紫外線燈的內部構造的示意的剖視圖。

圖5為本發明的第4實施形態紫外線燈的內部構造的示意的剖視圖。

圖6為以往的紫外線燈的內部構造的示意的剖視圖。

圖7為另一個以往的紫外線燈的內部構造示意的剖視圖。

参照圖1及圖2並對本發明的第1實施形態的紫外線燈(準分子燈，excimer lamp)加以說明。

第1實施形態的紫外線燈100是用於有機物的去除，其是在基板上照射藉由介電質放電(dielectric barrier discharge)所產生的紫外線。

亦即，如圖1的立體圖所示，從概略扁平長方體形狀的前述紫外線燈100下側照射紫外線而形成帶狀的紫外線照射區域。而且，藉由以橫切過該紫外線照射區域的方式來運送工件，而對工件照射紫外線。

接著，對該紫外線燈100的細節加以說明。

如圖2的橫剖視圖所示，前述紫外線燈100包含：放電容器1，其包含透光性玻璃，且在內部具有密閉空間13而形成概略中空長方體形狀；一對電極2，其分別形成在前述放電容器1相對向的寬廣的上表面和下表面的外表面11；以及光射出部3，其設置於前述放電容器1的下側面，且在前述密閉空間13中藉由放電而產生往前述放電容器1外射出的光。

此外，該紫外線燈100形成有兩個種類的膜：在放電容 器1的內表面12中對應於前述光射出部3以外的部分所形成的紫外線反射膜4、在前述放電容器1的內表面12中對應於前述光射出部3的部分所形成的放電容器保護膜5。而且，第1實施形態的紫外線反射膜4是以如下方式構成：使前述密閉空間13中產生的紫外線以無關於其波長而大致全部反射或吸收；前述放電容器保護膜5則是以如下方式構成：透射指定的波段的紫外線，並反射或吸收對於比指定波段短的波長的紫外線。亦即，在前述放電容器1的內表面12中，形成各自特性不同的紫外線反射膜4及放電容器保護膜5。

對於各部分的詳細說明。

前述放電容器1為藉由石英玻璃所形成的具有透光性的放電容器，且於密閉空間13內封入有作為稀有氣體的氙氣。

前述的一對電極2為對於前述放電容器1的寬廣面的上表面和下表面的表面11而形成的網狀電極，且經由在各電極21、22間施加指定的高頻率、高電壓的電壓，而在前述密閉空間13內使其產生介電質放電(Dielectric barrier discharge)。在前述密閉空間13內因為封裝有氙氣，而使其產生介電質放電，且以172nm作為峰值，而產生具有指定的寬度的波段的紫外線。並且，前述一對電極2分別形成網狀，故能使在前述密閉空間13中產生的紫外線通過電極22的空隙部分而導出到外部。

前述紫外線反射膜4為如圖2所示，形成於：相對於形成在上面的一個網狀的電極21而位於放電容器1的內表面12中 的對向面；以及在放電容器1的內表面12中的一對寬度窄的左右側面。亦即，在前述紫外線反射膜4是在內表面12中完全覆蓋對於在下面所形成的另一個網狀的電極22的對向面以外的部分的方式形成著。

並且，該紫外線反射膜4是以反射或吸收在前述密閉空間13中藉由介電質放電(Dielectric barrier discharge)產生的大致全部的波段的紫外線而作為指定的波段的光的方式來構成。更具體而言，前述紫外線反射膜4是以在前述指定的波段中較最長的波長更大的平均粒徑的SiO₂粒子形成。如這樣的紫外線反射膜4的構成，故在密閉空間13中產生的大致全部的紫外線會對構成紫外線反射膜4的SiO₂粒子碰撞，而被反射或吸收。因此，在紫外線反射膜4形成的放電容器1的內表面12中，幾乎沒有紫外線到達。

前述放電容器保護膜5是形成在內表面12中且相對於在放電容器1下面所形成的另一個網狀的電極22的對向面上，並以如下方式構成：透射峰值波長λ以上的紫外線、且反射或吸收波長小於峰值波長λ的紫外線。在第1實施形態中，在前述密閉空間13內所產生的紫外線中，僅讓作為照射用途的有效波長成分透射的方式，將前述峰值波長λ設定為170nm。換言之，因為前述峰值波長λ設定為170nm，所以該放電容器保護膜5是至少透射在密閉空間13產生的紫外線中的峰值波長為172nm及其附近的波長的紫外線。因此，在基板的清洗等中顯示優異效果的波段的光不會被遮住而會往外部射出。

另一方面，至少使形成放電容器1的玻璃的劣化進行的波段的紫外線，亦即對於小於160nm的峰值波長的短波長的紫外線被反射或吸收而不使其到達放電容器1的方式設置。亦即，藉由前述放電容器保護膜5的反射或吸收，因此具有小於160nm的波長的紫外線不會到達至放電容器1。

為了能獲得此種透射特性及反射、吸收特性，該放電容器保護膜5是藉由比前述紫外線反射膜4的平均粒徑更小的SiO₂粒子形成。更具體而言，本第1實施形態中的前述放電容器保護膜5是以平均粒徑較前述峰值波長λ 170nm小、160nm以上的SiO₂粒子形成。因此，波長比160nm長、小於170nm的紫外線不會與形成放電容器保護膜5的SiO₂粒子碰撞，而是到達放電容器1且往外部射出，一方面，波長比160nm短的紫外線與形成放電容器保護膜5的SiO₂粒子碰撞，其被反射或被吸收，而不能到達前述放電容器1。

在這樣的前述放電容器1的內表面12中，僅在形成有放電容器保護膜5的部分來透射在密閉空間13所產生的峰值波長及其附近的波段的紫外線，而形成往外部射出紫外線的光射出部3。反之，也可以說是在放電容器1中，於要作為光射出部的部分的內表面12中形成放電容器保護膜5，而於不要作為光射出部3的部分的內表面12中形成前述紫外線反射膜4。並且，也可以說是為了反射或吸收在密閉空間13中產生的大致全部的紫外線，而使形成前述紫外線反射膜4的SiO₂粒子的平均粒徑具有比前述波長 λ更大的平均粒徑。

依據這樣的構成的第1實施形態的紫外線燈100，在放電容器1全部的內表面12形成有前述紫外線反射膜4或前述放電容器保護膜5的任一個，故在密閉空間13內所產生至少比160nm短的波長且具有使形成前述放電容器1的玻璃劣化作用的紫外線，此紫外線在前述紫外線反射膜4或前述放電容器保護膜5中被反射或被吸收而不會到達至放電容器1。

因此，在經過長期間仍能防止形成放電容器1的玻璃劣化、對於欲往外部射出的所需的波段的紫外線的透射率降低、在劣化進行的放電容器1上產生破裂、不能保持密閉空間13而變得無法點亮。因此，能實現紫外線燈100的長壽命化、能降低對燈座101更換紫外線燈100的頻率、能提高在生產線的工件的處理效率。

此外，因為前述放電容器保護膜5是由比170nm小的平均粒徑形成，所以能夠透射對於作為所需的波段的172nm及其附近的波段的紫外線，故儘管在對應於光射出部3的放電容器1的內表面12的全區域形成前述放電容器保護膜5，亦能使需要的紫外線往外部射出。換言之，藉由形成前述放電容器保護膜5，不會降低對於工件應當照射波段的紫外線的取出效率，而不會損害作為光射出部3的機能。

由上述可知，依據第1實施形態的紫外線燈100，不會使基板的清洗或墨水的硬化等之類的工件的處理能力降低，能實現 長壽命化。

其次，對第2實施形態的紫外線燈100參照圖3並加以說明。再者，在第2實施形態中對於對應第1實施形態的構件附註相同的符号。

第2實施形態的紫外線燈100與第1實施形態相比較，在前述放電容器保護膜5有所差異，而對於其他的部分是共通的。

更具體而言，第2實施形態的前述放電容器保護膜5是以如下方式構成：藉由Al₂O₃所形成的紫外線透射膜透射波長λ以上的紫外線、並且吸收波長比波長λ短的紫外線。此處，因為Al₂O₃的紫外線的吸收限(absorption edge)在160nm附近，在使用該放電容器保護膜5的情況時，能使比在160nm附近更長波長的紫外線透射，並且使對於比在160nm附近更短波長的紫外線在該放電容器保護膜5中被吸收。

即使如此，亦能得到與第1實施形態同様的效果，而能實現紫外線燈100的長壽命化。

其次，對於第3實施形態的紫外線燈100參照圖4並加以說明。再者，在第3實施形態中，對於對應於第1實施形態的構件附註相同的符號。

第3實施形態的紫外線燈100與第1實施形態相較下，也是在前述放電容器保護膜5有所差異，而對於其他的部分是共通的。

更具體而言，第3實施形態的前述放電容器保護膜5是 以如下方式構成：藉由MgO、CaF₂或MgF₂中的任一個所形成的單層反射膜，而使波長λ以上的紫外線透射，並且使比波長λ短的波長的紫外線反射。

即使如此，亦能得到與第1實施形態同様的效果。

其次，對於第4實施形態的紫外線燈100參照圖5並加以說明。再者，在第4實施形態中對於對應第1實施形態的構件附註相同的符号。

第4實施形態的紫外線燈100與第1實施形態相較下，在放電容器1中的前述光射出部3設置的面有所差異，而構成為自放電容器1的寬度窄的側面射出紫外線。亦即，在放電容器1的內表面12形成的紫外線反射膜4及放電容器保護膜5的位置與第1實施形態有所差異。

更具體而言，如圖5所示的前述紫外線反射膜4以完全覆蓋於各電極21、22對向的內表面12的面、及對向於寬度窄的面的一方的內表面12來形成，並且，前述放電容器保護膜5以完全覆蓋於對向於對應於前述光射出部3的部分的另一個寬廣面的內表面12的方式來形成。

藉由適宜設置形成這樣的前述紫外線反射膜4及前述放電容器保護膜5的場所，而能將光射出部3設置於任意的位置，並且能實現放電容器1的長壽命化。亦即，光射出部3的位置不一定要藉由前述電極21、22而被界定，也能自由設置。

對於其他的實施形態加以說明。

於前述各實施形態中，雖是使用具有扁平長方體形狀的放電容器的放電容器的型態，但也能適用如本發明於圖7記載的具備有雙重圓筒管形狀的放電容器的紫外線燈。亦即，於圖7中，藉由形成在各實施形態中所記載的放電容器保護膜，而遍及對應於在電容器內表面中的光射出部的部分的全區域，而能夠謀求比以往紫外線燈更長的壽命化，並且能夠自光射出部射出所需的波段的紫外線。

於前述各實施形態中，雖然各電極使用的是網狀的電極，例如，在紫外線不需要通過電極射出的情況下，也可以使用整體電極。並且，在放電容器內封入的氣體，也可以是氙氣以外的氪氣等的稀有氣體。並且，也可以接受鹵化的稀有氣體等。此情況下，依照產生紫外線的波段而可以選擇前述紫外線反射膜及前述放電容器保護膜的特性。

於前述各實施形態中所記載的波長λ的一例，亦可依據對於工件上欲照射的紫外線的波段及不要到達前述放電容器的紫外線的波段來設定波長λ。並且，對於波長λ也可以是依據使用於放電容器的透光性玻璃的性質而定。依據前述實施形態，也可以是以反射小於160nm的波長的紫外線，並且透射160nm以上的波長的紫外線的方式來形成放電容器保護膜。

例如，在基板的清洗等中可以獲得較佳的清洗效果，且同時防止放電容器的劣化，而作為實現紫外線燈的長壽命化的具體例，可列舉前述波長λ在165nm以上、175nm以下的波長的例 子。

其他，在不違反本發明的趣旨的範圍下，也可以進行各種實施形態的變形或組合。

100‧‧‧紫外線燈

1‧‧‧放電容器

11‧‧‧外表面

12‧‧‧內表面

13‧‧‧密閉空間

2‧‧‧一對電極

21‧‧‧電極

22‧‧‧電極

3‧‧‧光射出部

4‧‧‧紫外線反射膜

5‧‧‧放電容器保護膜

Claims (11)

1. 一種紫外線燈，其特徵在於包括：放電容器，其包括透光性玻璃，且具有內部封入指定氣體的密閉空間；至少一對電極，其形成於前述放電容器的外表面；光射出部，其使在前述密閉空間內藉由放電所產生的光往前述放電容器外射出；以及放電容器保護膜，其透射峰值波長λ以上的紫外線，並反射或吸收小於峰值波長λ的紫外線，前述放電容器保護膜形成在前述放電容器的內表面中至少對應於前述光射出部的區域。
2. 如申請專利範圍第1項所述的紫外線燈，其中前述放電容器保護膜形成在前述放電容器的內表面中對應於前述光射出部的區域；更進一步地具有紫外線反射膜，其反射紫外線，並形成於前述放電容器的內表面中對應於前述光射出部以外的區域。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項中所述的紫外線燈，其中前述峰值波長λ為165nm以上、175nm以下的範圍內的波長。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項中所述的紫外線燈，其中前述紫外線反射膜是以平均粒徑比前述峰值波長λ大的SiO₂形成。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述放電容器保護膜是以平均粒徑比前述峰值波長λ小 且160nm以上的SiO₂粒子形成。
6. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述放電容器保護膜是以平均粒徑比175nm小且160nm以上的SiO₂粒子形成。
7. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述放電容器保護膜是藉由Al₂O₃粒子所形成的紫外線透射膜。
8. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述放電容器保護膜是藉由MgO、CaF₂或MgF₂的任一個所形成的單層反射膜。
9. 如申請專利範圍第1項至第8項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述電極為網狀電極且形成於前述光射出部。
10. 如申請專利範圍第1項至第9項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述放電容器為概略扁平長方體形狀。
11. 如申請專利範圍第1項至第10項中任一項中所述的紫外線燈，其中前述紫外線燈為準分子燈，且於前述放電容器內產生準分子放電。