JP5287928B2 - エキシマランプ - Google Patents
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Description
一方、前記光放射面に対向する光を取り出さない非光出射面の外表面に形成する外部電極としては、機能的には光透過性である必要はないが、多くの場合、製造工程の簡素化や、該放電容器内で発生する放電の安定性等の観点から、前記光放射面と同様に光透過性電極をそのまま用いることが行われている。
ところで、各種の紫外光照射装置におけるエキシマランプにおいては、紫外光の安定的な放射が求められていることから、その紫外光の光量をモニターすることが行われていて、そのために、反射膜の一部に採光口を形成して、該採光口から取出される紫外光をモニターしている。
このような技術は、例えば、特開2010−225343号公報などで知られている。
この反射膜24の一部には採光口25が形成されていて、その上方には光モニター26が配置されて、放電容器21から放射される紫外光をモニターしている。
なお、この従来例においては、前記外部電極22、23の端部にはベタ状電極27が形成されており、放電容器21内には始動補助電極としての導電体28が形成されている。
このため、外部電極22、23間での放電が不安定な状態となり、採光口25から取り出される紫外光の光量を光モニターで検知すると、検知した信号値にいくつものピークが発生してノイズとなり、安定した紫外光の監視ができないという問題があった。
また、反射膜24のエッジ部分24aで放電が集中することで採光口25の中央付近は放電が起こりにくくなってしまい、放電が起こったとしても著しく弱い放電となる。そのため、採光口25から取り出される紫外光の光束量が減り、光モニターで検知される光量が低く見積もられてしまうという不具合があった。
図において、エキシマランプ1の放電容器2の外表面には、例えば、金ペーストを格子状に塗布した、メッシュ状の光透過性電極3、4が設けられている。そして、該放電容器2の内表面には、光照射面2aを除いて反射膜5が形成されている。そして、該反射膜5の、前記光出射面2aとは反対側の非光出射面2bにおける一端には光モニター用の採光口6が形成されている。
この採光口6は図示のように、反射膜5の端部に開放された形状であってもよいし、開放されずに独立開口であってもよい。
そして、特に、図3で明らかなように、上記採光口6の輪郭線6aは、メッシュ状の光透過性電極4の素線4aとは直線的に連続して重なることのないようにずらされている。
<本発明ランプ>
本発明ランプとして、図1に示すような、発光長が1540mm、放電空間内にキセノンガスが0.05MPa封入され、採光口6は略矩形状であって、その輪郭線6aが外部電極4の素線4aと直線的に重ならないようにされたものを用いた。
<比較例ランプ>
比較例ランプとして、図7に示すように、採光口25の輪郭線25aが外部電極23の素線23aと直線的に重なる構造のものを用意した。
比較例ランプにおいては、光モニターでの測定値が低く、しかも、時間的にいくつものピーク値が発生していて、放電が不安定であり、これは反射膜のエッジ部に放電が集中したことによるものである。
これに対して本発明ランプでは、光量を示す信号値は低下することなく安定していることが分かる。
2 放電容器
2a 光出射面
2b 非光出射面
3 光透過性外部電極(光出射面側)
4 光透過性外部電極(非光出射面側)
4a 素線
5 反射膜
6 採光口
6a 輪郭線
Claims (1)
- 放電容器の外表面に一対のメッシュ状の光透過性外部電極が設けられ、前記放電容器の内表面には反射膜が形成されるとともに、該反射膜には光モニター用の採光口が形成されてなるエキシマランプにおいて、
前記採光口の輪郭線が、前記メッシュ状の外部電極の素線と直線的に重なることのないように形成されていることを特徴とするエキシマランプ。
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