TW201430359A - 多連板檢測機台 - Google Patents

Abstract

一種多連板檢測機台，其主要包含有一機座、一位移檢測裝置、若干之Z軸調整裝置及一受測平台；該位移檢測裝置具有一位移軌道組及一檢測微調模組，該位移軌道組係設置於該機座上，該檢測微調模組係設置於該位移軌道組上，而於該位移軌道組上進行X軸向及Y軸向之位移，並進行取像對位、對位微調及接觸檢測者，該等Z軸調整裝置係設置於該機座上，以進行Z軸向之往復位移者，該受測平台係設置於該等Z軸調整裝置上，具有若干之受測凹槽供受測元件放置；藉以使檢測所需之程序及時間皆能大為縮短，更能達到較佳之檢測精準度。

Description

多連板檢測機台

本發明係與檢測機台有關，更詳而言之係指一種多連板檢測機台。

按，近年來隨著科技的發展，許多工件的微小化，使得各種產業的機械與量測儀器趨向高精度化，因此，不論是在精密機械產業或半導體產業皆朝微小與精密方向發展，因此，許多半導體產業需要高精密的定位技術與儀器進行製程，然而，一般用以檢測電子元件之檢測機台，其所需之時間及程序及較為冗長，且其準確性較為不佳。

本案發明人鑑於上述習用檢測機台所衍生的各項缺點，乃亟思加以改良創新，並經多年苦心孤詣潛心研究後，終於成功研發完成本件多連板檢測機台。

本發明之目的即在於提供一種多連板檢測機台，係能減少檢測時所需之時間及程序者。

本發明之次一目的係在於提供一種多連板檢測機台，係能提升檢測之準確性者

可達成上述發明目的之多連板檢測機台，包括 有：一機座；一位移檢測裝置，具有一位移軌道組及一檢測微調模組，該位移軌道組係設置於該機座上，該檢測微調模組具有一基座、若干之微調機構，一檢測平台、至少一取像單元及一檢測探針單元；該基座係設置於該位移軌道組上，並可進行往復之滑移，該等微調機構係依等間距地設置於該基座上，並可進行X軸向及Y軸向之微調位移，該檢測平台係設置於該等微調機構上，以受該等微調機構所帶動而進行X軸向及Y軸向之微調平移，該取像單元係設置於該檢測平台上，用以進行取像對位，該檢測探針單元係設置於該檢測平台上，具有多數可與外部電子元件進行接觸而探測其電性之探針藉此，該位移檢測裝置進行X軸向及Y軸向之位移，並進行取像對位、對位微調及接觸檢測者；若干之Z軸調整裝置，係設置於該機座上，以進行Z軸向之往復位移者；一受測平台，係設置於該等Z軸調整裝置上，具有若干之受測凹槽

1‧‧‧機座

2‧‧‧位移檢測裝置

21‧‧‧位移軌道組

211‧‧‧X軸軌道

212‧‧‧Y軸軌道

22‧‧‧檢測微調模組

221‧‧‧基座

222‧‧‧微調機構

223‧‧‧檢測平台

224‧‧‧取像單元

225‧‧‧檢測探針單元

226‧‧‧驅動單元

227‧‧‧微調單元

228‧‧‧微調連結座

229‧‧‧探針

3‧‧‧Z軸調整裝置

31‧‧‧立柱

32‧‧‧底座

321‧‧‧底板

322‧‧‧立板

33‧‧‧第一滑塊

331‧‧‧第一斜面

34‧‧‧第二滑塊

341‧‧‧第二斜面

35‧‧‧動力單元

36‧‧‧傳動單元

4‧‧‧受測平台

41‧‧‧受測凹槽

圖1為本發明多連板檢測機台之一較佳實施例之立體組合圖； 圖2為該多連板檢測機台之立體大部組合圖；圖3為該多連板檢測機台之作動示意圖；圖4為該多連板檢測機台之作動示意圖；圖5為該多連板檢測機台之局部構件立體組合圖；圖6為該多連板檢測機台之局部構件立體組合圖；圖7為該多連板檢測機台之局部構件立體組合圖；圖8為該多連板檢測機台之局部構件平面結構示意圖；圖9為該多連板檢測機台之作動示意圖。

請參閱圖1~圖2，本發明所提供之多連板檢測機台，主要包括有一機座1、一位移檢測裝置2、若干之Z軸調整裝置3及一受測平台4，其中；該機座1，係可穩固地置放於一平面上(如地面上)。

請參閱圖1~圖6，該位移檢測裝置2，係設置於該機座1之頂面上，而可進行X軸向及Y軸向之任意位移，並進行取像對位、對位微調及接觸檢測者。

該位移檢測裝置2具有一位移軌道組21及一檢測微調模組22；該位移軌道組21具有一設置於該機座1頂面上並沿X軸向設置之X軸軌道211及一設置於該X軸軌道211 上並沿Y軸向設置之Y軸軌道212，且該Y軸軌道212並可沿該X軸軌道211進行X軸向之往復滑移(如圖3所示)；該檢測微調模組22，如圖5與圖6所示，具有一基座221、四微調機構222，一檢測平台223、二取像單元224及一檢測探針單元225；該基座221係設置於該位移軌道組21之Y軸軌道212上，並可沿該Y軸軌道212進行Y軸向之往復滑移(如圖4所示)，該等微調機構222係依等間距地設置於該基座221上，並可進行X軸向及Y軸向之微調位移，該各微調機構222分別具有一驅動單元226、一微調單元227及一微調連結座228，該驅動單元226為一微型馬達，係設置於該基座221上，該微調單元227係設置於該基座221上，並與該驅動單元226連結，以受該驅動單元226之帶動而可進行X軸向及Y軸向之微調位移者，該微調連結座228，係設置於該微調單元227上，以受該微調單元227之帶動而位移者，該檢測平台223係設置於該等微調機構222之微調連結座228上，以受該等微調機構222所帶動而進行X軸向及Y軸向之微調平移，該等取像單元224係設置於該基座221上，分別為一含有CCD(電荷耦合元件)之取像模組(此為習知技藝，容不多加贅述)，該檢測探針單元225係設置於該檢測平台223上，具有多數可與外部電子元件進行接觸而探測其電性之探針229。

請參閱圖1~圖4及圖7~圖9，該等Z軸調整裝 置3，於本實施例中其數量為四個，該各Z軸調整裝置3分別具有一立柱31、一底座32、一第一滑塊33、一第二滑塊34、一動力單元35及一傳動單元36；該立柱31具預定之高度，係設位於該機座1頂面之角落位置處；該底座32，概呈為一L型板，係固定設置於該立柱31之頂面上，該底座32具有一底板321及一直立地連接於該底板321一側之立板322；該第一滑塊33，係滑接於該底座32之底板321上，並可沿該底板321進行往復之滑移，該第一滑塊33之頂面具有一第一斜面331；該第二滑塊34，係滑接於該底座32之立板322上，並可沿該立板322進行往復之滑移，該第二滑塊34之底面具有一第二斜面341，且該第二斜面341係與該第一滑塊33之第一斜面331進行滑接，以受該第一滑塊33之滑移作用，而使該第二滑塊34得以進行Z軸之往復滑移；該動力單元35，為一微型馬達，係置於該底座32之底板321上，用以產生一旋轉動力並加以輸出者；該傳動單元36，為一螺桿，一端係與該動力單元35連結，而另一端則與該第一滑塊33螺接，使當傳動單元36受該動力單元35之帶動而進行軸轉時，可帶動該第一滑塊33進行往復之滑移。

該受測平台4，係設置於該等Z軸調整裝置3之第二滑塊34頂面上，以受該等Z軸調整裝置3所帶動而進行Z軸之高底位置調整；該受測平台4具有若干依預定間距呈矩陣排列設置之受測凹槽41，以供若干欲進行檢測之受測 元件(圖中未示)加以容置。

是以，上述即為本發明所提供之一種多連板檢測機台之主要構件及其組裝方式之介紹，接著再將其使用特點介紹如下：首先，當欲檢測電子元件時，將多數之電子元件(如玻璃)各別放置於該受測平台4之受測凹槽41內，並使該電子元件抵靠於該受測凹槽41之同一側邊緣上，以由該受測凹槽41內之吸盤(圖中未示)加以固定。

接著，該位移檢測裝置2之檢測微調模組22便可藉由該位移軌道組21而進行X軸及Y軸向之位移至檢測之位置處(如圖3與圖4所示)，並由該取像單元224進行取像，並判定取像後之位置誤差值，以控制該微調機構222進行X軸向及Y軸向之微調位移對位，待對位完成後，便由該Z軸調整裝置3進行Z軸之下移，使電子元件(玻璃)與該檢測探針單元225之探針229進行接觸，進而將其電性加以檢測，以判定為良品、不良品或其他之分類，待與其一之電子元件進行接觸檢測後，再由該Z軸調整裝置3進行上移，並再由該位移軌道組21帶動該檢測微調模組22至另一各電子元件下方進行取像、對位、微調…等重覆以上程序，以將該受測平台4上之所有電子元件進行檢測。

是以，藉由本發明之構成，不僅可使檢測所需之程序及時間皆能大為縮短，更能達到較佳之檢測精準度。

上列詳細說明係針對本發明之一可行實施例之具體說明，惟該實施例並非用以限制本發明之專利範圍，凡未脫離本發明技藝精神所為之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍中。

綜上所述，本案不但在空間型態上確屬創新，並能較習用物品增進上述多項功效，應已充分符合新穎性及進步性之法定發明專利要件，爰依法提出申請，懇請 貴局核准本件發明專利申請案，以勵發明，至感德便。

1‧‧‧機座

2‧‧‧位移檢測裝置

3‧‧‧Z軸調整裝置

31‧‧‧立柱

4‧‧‧受測平台

41‧‧‧受測凹槽

Claims (6)

1. 一種多連板檢測機台，包括：一機座；一位移檢測裝置，具有一位移軌道組及一檢測微調模組，該位移軌道組係設置於該機座上，該檢測微調模組具有一基座、若干之微調機構，一檢測平台、至少一取像單元及一檢測探針單元；該基座係設置於該位移軌道組上，並可進行往復之滑移，該等微調機構係依等間距地設置於該基座上，並可進行X軸向及Y軸向之微調位移，該檢測平台係設置於該等微調機構上，以受該等微調機構所帶動而進行X軸向及Y軸向之微調平移，該取像單元係設置於該檢測平台上，用以進行取像對位，該檢測探針單元係設置於該檢測平台上，具有多數可與外部電子元件進行接觸而探測其電性之探針藉此，該位移檢測裝置進行X軸向及Y軸向之位移，並進行取像對位、對位微調及接觸檢測者；若干之Z軸調整裝置，係設置於該機座上，以進行Z軸向之往復位移者；一受測平台，係設置於該等Z軸調整裝置上，具有若干之受測凹槽。
2. 如申請專利範圍第1項所述之多連板檢測機台，其中該位移檢測裝置之位移軌道組具有一設置於該機座頂面上並 沿X軸向設置之X軸軌道及一設置於該X軸軌道上並沿Y軸向設置之Y軸軌道，且該Y軸軌道並可沿該X軸軌道進行X軸向之往復滑移，而該檢測微調模組則設置於該位移軌道組之Y軸軌道上，以沿該Y軸軌道進行Y軸向之往復滑移。
3. 如申請專利範圍第1項所述之多連板檢測機台，其中該檢測微調模組之各微調機構分別具有一驅動單元、一微調單元及一微調連結座，該驅動單元為一微型馬達，係設置於該基座上，該微調單元係設置於該基座上，並與該驅動單元連結，以受該驅動單元之帶動而可進行X軸向及Y軸向之微調位移者，該微調連結座，係設置於該微調單元上，以受該微調單元之帶動而位移者，並由該微調連結座供該檢測平台設置。
4. 如申請專利範圍第1項所述之多連板檢測機台，其中該各Z軸調整裝置分別具有一底座、一第一滑塊、一第二滑塊、一動力單元及一傳動單元；該底座係設置於該機座之頂面上，該底座具有一底板及一直立地連接於該底板一側之立板，該第一滑塊係滑接於該底座之底板上，並可沿該底板進行往復之滑移，該第一滑塊之頂面具有一第一斜面，該第二滑塊係滑接於該底座之立板上，並可沿該立板進行往復之滑移，該第二滑塊之底面具有一第二斜面，且該第二斜面係與該第一滑塊之第一斜面進行滑接，以受該 第一滑塊之滑移作用，而使該第二滑塊得以進行Z軸之往復滑移，該動力單元係置於該底座之底板上，用以產生一旋轉動力並加以輸出，該傳動單元一端係與該動力單元連結，而另一端則與該第一滑塊連結，使當傳動單元受該動力單元之帶動而進行軸轉時，可帶動該第一滑塊進行往復之滑移；該受測平台係設置於該第二滑塊上。
5. 如申請專利範圍第4項所述之多連板檢測機台，其中該Z軸調整裝置更具有一立柱，該立柱係設位於該機座頂面上，以供該底座設置於該立柱上。
6. 如申請專利範圍第1項所述之多連板檢測機台，其中該受測平台具有若干依預定間距呈矩陣排列設置之受測凹槽，以供若干欲進行檢測之受測元件加以容置。