TW201424067A - 壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計 - Google Patents

Abstract

〔課題〕提供一面更降低CI值一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動的壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計。〔解決手段〕為一種壓電振動片，具備：複數之振動腕部，其係被排列配置在寬度方向上；基部，其係連結該些振動腕部之長度方向基端；溝部，其係從上述基端側朝向上述振動腕部之前端側而形成在上述振動腕部之主面或背面之至少一方，該壓電振動片之特徵為：在將上述振動腕部之振動模式設為2次彎曲模式之時的上述振動腕部之上述基端側之振動節部，和上述振動腕部之上述前端側之振動節部之間，設置有抑制2次彎曲模式中之上述振動腕部之彎曲變形的變形抑制部。

Description

壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計

本發明係關於壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計。

行動電話或行動資訊終端機器使用利用水晶等之壓電振動子以當作時刻源或控制訊號等之時序源、基準訊號源等。該種壓電振動子被提供的有各式各樣，但就以其一而言，所知的有將所謂的音叉型之壓電振動片封入至封裝體之壓電振動子。

圖20為以往之壓電振動片的俯視圖。

如同圖所示般，音叉型之壓電振動片2001為具備有排列配置在寬度方向之一對振動腕部2010、2011，和連結該些一對振動腕部2010、2011之長度方向基端的基部2020的薄板狀之水晶片。然後，在一對振動腕部2010、2011之外表面之上，形成使一對振動腕部2010、2011振 動的勵振電極2030。

圖21、圖22為表示壓電振動片之舉動的說明圖。

如同圖所示般，壓電振動片2001係當形成於各振動腕部2010之勵振電極2030被施加電壓時，以特定之諧振頻率在特定方向振動，以使一對振動腕部2010、2011之前端接近或間隔開。將如圖示般各個振動腕部2010、2011彎曲，振動成一對振動腕部2010、2011之前端接近或間隔開之振動模式稱為彎曲振動模式。在該彎曲振動模式中，振動腕部之前端為自由端。並且，彎曲振動模式除了以基本波振動的「基本波模式」之外，也有以2次彎曲模式、3次彎曲模式等之高諧波振動之「高諧波模式」。例如，圖21所示之振動模式為「基本波模式」，圖22所示之振動模式為「高諧波模式(2次彎曲模式)」。「高諧波模式」中，在振動腕部2010、2011之基端各形成振動節部2010a、2011a，並且，也在前端側形成振動節部2010b、2011b，以該些振動節部之間的略中心之移位量成為最大之方式振幅。

即使在任一振動模式中，若為期待之諧振頻率(例如32.768kHz)且安定性地振動時，則可以當作各種時序源使用，但是一般而言，因在高諧波模式中以比通常所要求之頻率高的頻率振動，故難以當作各種時序源使用。另外，於以基本波模式振動之情況下，容易取得上述期待之諧振頻率。

在此，近年來，隨著搭載封裝體之機器的小型化，期待壓電振動片之更小型化。對於壓電振動片之小型化，當縮窄振動腕部之寬度時，勵振電極之形成寬度也變窄，CI值(Crystal Impedance)則上升。因此，提案有邊抑制CI值之上升邊謀求壓電振動片之小型化的各種技術。並且，因也能夠將CI值方便記載成R，故以R1說明基本波模式中之CI值，以R2說明2次波模式中之CI值。

為了效率佳且精度佳地使壓電振動片振動，R越低越能取得其效果為眾知。依此，自以往所知的有謀求降低R之構成。例如，以圖20所示般，所知的有在一對振動腕部2010、2011之表面部或背面部形成有溝部2040。若藉由該構成，因能縮窄異極之勵振電極2030之間隔，故能夠降低R。其結果，因即使使振動子成為小型化，亦可以抑制R之上升，故可提供小型化並且高性能之振動子(例如，參照專利文獻1)。

〔先行技術文獻〕 〔專利文獻〕

〔專利文獻1〕日本特開2002-261558號公報

然而，上述先前技術有下述之課題。

在振動腕部之表面部或背面部形成溝部的振動子，於又降低R之情況，可想像延伸對振動腕部之溝部的長邊方向之長度。例如，於比較溝部之長邊方向之長度對振動腕部之全長為55%和60%之情況，可知後者R下降。並且，以下單記載成「振動腕部之長度」、「溝部之長度」之情況，係指長邊方向之腕部之長度、溝部之長度。

但是，本發明者確認到當延長溝部之長邊方向之長度時，溝部之長度對振動腕部之長度超過某比例時，則為R1(基本波模式中之R)>R2(2次高諧波中之R)。此時因壓電振動子以2次高諧波振動，故即使R變得很低也無法取得期待之諧振頻率。

在此，當針對R1和R2之大小關係予以說明時，一般而言所知的有具有彎曲振動模式之壓電振動片以R比較低之一方的振動模式來振動。即是，R1和R2中，若R1之一方小較小時，其振動片以「基本波模式」振動，另外若R2比較小時，其振動片則以「高諧波模式」振動。因此，為了使振動片以「基本波模式」振動，必須為R1<R2。

即是，可知當為了降低R增長溝部之長度時，R1和R2降低，但是因為R2之下降率大於R1之下降率，故R1<R2之關係轉移成R1>R2。

針對該點，參照圖23而予以詳敘。圖23係將縱軸設為R1值及R2值，將橫軸設為TL100/L100之時的以往之R1值，及R2值之變化的曲線圖。並且，TL100 為溝部之長度，L100為振動腕部之長度(圖20)。

如同圖所示般，可確認出隨著TL100/L100之值變大，R2值之下降坡度大於R1值之下降坡度。其結果，如圖23所示般，當TL100/L100之值成為約0.58時，R2值小於R1值，有振動腕部2010以2次彎曲模式振動之課題。並且，在此高諧波模式舉出2次彎曲模式之情況，但是確認出除此之外之高諧波模式，即是即使為3次、4次等，R2也比R1小。

在此，該發明係鑒於上述情形而創作出，一面更降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動的壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計。

為了解決上述課題，與本發明有關之壓電振動片具備：複數之振動腕部，其係被排列配置在寬度方向上；基部，其係連結上述振動腕部之長度方向基端；溝部，其係從上述基端側朝向上述振動腕部之前端側而形成在上述振動腕部之主面或背面之至少一方，該壓電振動片之特徵為：在將上述振動腕部之振動模式設為2次彎曲模式之時的上述振動腕部之上述基端側之振動節部，和上述振動腕部之上述前端側之振動節部之間，設置有抑制2次彎曲模式中之上述振動腕部之彎曲變形的變形抑制部。

因如此在振動腕部中於2次彎曲模式移位的部分設置有變形抑制部，故抑制在振動腕部之2次彎曲模 式之變形(變形量)。即是，可以增高R2。然後，若可以提高R2時，因即使相對於振動腕部之長度增長溝部之長度，亦可一面有效果地降低R1，一面保持R1<R2之關係，故可以基本波模式使壓電振動片振動。並且，具體而言，將振動腕部之長度設為L，將溝部之長度設為TL1之時，若為TL1/L≒0.6時，則可維持R1<R2之關係。並且，確認出即使為TL1/L≒0.68，亦可以維持R1<R2之關係。

與本發明有關之壓電振動片係以上述變形抑制部被設置在將上述振動腕部之振動模式設為2次彎曲模式之時之上述振動腕部之最大振幅部之附近為特徵。

如此一來藉由在最大振幅部之附近(例如，藉由在彎曲變形之「腹」之部分)設置變形抑制部，可以有效果地抑制2次彎曲模式中之振動腕部之變形(變形量)，可以提高R2。依此，可以邊延長溝部之長度而降低R1，邊防止振動腕部以2次彎曲模式振動。並且，確認出即使為TL1/L≒0.68，亦可以維持R1<R2之關係。

再者，以上述變形抑制部為上述溝部在上述振動腕部之長邊方向被分斷的分斷部為特徵。

藉由如此之構成，當比起保持一定寬度且溝部在長邊方向不被分斷之情況，分斷部中之振動腕部之剛性變高。即是，在分斷部中，因成為「難以振動」，故可以抑制2次彎曲模式之變形(變形量)。即是，可以以簡易的構成來防止振動腕部以2次彎曲模式振動。

再者，以上述變形抑制部係上述溝部之寬度方向之尺寸變窄的窄幅部為特徵。

藉由如此之構成，當比起保持一定寬度且溝部在長邊方向連續之情況，窄幅部中之振動腕部之剛性變高。即是，在窄幅部中，因成為「難以振動」，故可以抑制2次彎曲模式之變形(變形量)。即是，可以以簡易的構成來防止振動腕部以2次彎曲模式振動。

再者，以在上述分斷部形成有凹部為特徵。

在此所指凹部係指小溝、窄幅溝、縫隙等。即使構成如此，可以在分斷部之凹部抑制2次彎曲模式之變形(變形量)，即是可以以簡易之構成防止振動腕部以2次彎曲模式振動。

再者，與本發明有關之壓電振動子係以具有上述壓電振動片為特徵。

藉由構成如此，可提供能一面降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動之壓電振動子。

再者，與本發明有關之振盪器係以上述壓電振動子作為振盪子而電性連接於積體電路為特徵。

藉由構成如此，可提供能一面降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動之振盪器。

再者，與本發明有關之電子機器係以上述壓電振動子被電性連接於計時部為特徵。

藉由構成如此，可提供能一面降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動之電子機器。

再者，與本發明有關之電波時計係以上述壓電振動子被電性連接於濾波器部為特徵。

藉由構成如此，可提供能一面降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動之電波時計。

若藉由本發明，可一面更降低R1一面防止振動腕部以2次彎曲模式振動的壓電振動片、壓電振動子、振盪器、電子機器及電波時計。

1‧‧‧壓電振動子

5、105、205、305、405、505、605、705、805、905‧‧‧壓電振動片

24、25、124、125、224、225、324、325、424、425、524、525、624、625、724、725、824、825、924、925‧‧‧振動腕部

24c、25c、124c、125c、524c、525c‧‧‧主面

26、726、826、926‧‧‧基部

41、441、641‧‧‧第1溝部

42、642‧‧‧第2溝部

43‧‧‧分斷部

51、53、54、55‧‧‧細溝部

52‧‧‧溝部

1100‧‧‧振盪器

1101‧‧‧積體電路

1110‧‧‧行動資訊機器(電子機器)

1113‧‧‧時計部

1130‧‧‧電波時計

1131‧‧‧濾波器部

2010a、2011a‧‧‧振動節部(基端側之振動節部)

2010b、2011b‧‧‧振動節部(前端側之振動節部)

P100‧‧‧最大振幅部

L‧‧‧全長

圖1為從頂蓋基板側觀看本實施形態中之壓電振動子之外觀斜視圖。

圖2為表示本發明之第1實施形態之壓電振動子之內部構造圖，在取下頂蓋基板之狀態下，由上方觀看壓電振動片之圖式。

圖3為沿著圖2之A-A線之剖面圖。

圖4為本發明之第1實施形態中之壓電振動子之分解斜視圖。

圖5為本發明之第1實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

圖6之(a)為沿著圖5之B-B線的剖面圖，(b)為沿著圖5之C-C線的剖面圖。

圖7為本發明之第2實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

圖8為表示本發明之第2實施形態中之R1值及R2值之變化的曲線圖，(a)為表示TL2/TL1=0.5之情況，(b)為表示TL2/TL1=0.6之情況，(c)為表示TL2/TL1=0.8之情況。

圖9為本發明之第3實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖10為本發明之第4實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖11為本發明之第5實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖12為本發明之第6實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖13為本發明之第7實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖14為本發明之第8實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖15為本發明之第9實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖16為本發明之第10實施形態中之壓電振動片的俯視圖。

圖17為表示本發明之振盪器之一實施形態的構成圖。

圖18為表示本發明之電子機器之一實施形態的構成圖。

圖19為表示本發明之電波時計之一實施形態的構成圖。

圖20為以往之壓電振動片的俯視圖。

圖21為表示以往之壓電振動片之舉動的說明圖

圖22為以往之壓電振動片以2次彎曲模式振動之時的舉動說明圖。

圖23為表示以往之R1值及R2值之變化的曲線圖。

(第1實施形態) (壓電振動子)

接著，根據圖1~圖6說明該發明之第1實施形態。

圖1為從頂蓋基板側觀看本實施形態中之壓電振動子的外觀斜視圖，圖2為壓電振動子之內部構成圖，在拆下頂蓋基板之狀態下從上方觀看壓電振動片的圖示，圖3為沿著圖2之A-A線之剖面圖，圖4為壓電振動子之分解斜視圖。

如從圖1至圖4所示般，本實施形態之壓電振動子1係表面安裝型之壓電振動子1，其具備有經無圖示之接合材而陽極接合基座基板2及頂蓋基板3之箱狀封裝體10，和被收納在封裝體10之空腔C之壓電振動片 5。被設置在壓電振動片5和基座基板2之第1面2a(圖3中之下面)的外部電極6、7藉由貫通基座基板2之一對貫通電極8、9而電性連接。

基座基板2係由玻璃材料例如鈉鈣玻璃所構成之透明絕緣基板形成板狀。在該基座基板2形成有一對貫通孔21、22，且該貫通孔21、22形成有一對貫通電極8、9。

頂蓋基板3係與基座基板2相同，由玻璃材料例如鈉鈣玻璃所構成之透明絕緣基板，形成能夠重疊於基座基板2之大小的板狀。在頂蓋基板3之第1面3b(圖3中之下面)側，形成有矩形狀之凹部3a，在使該凹部3a與基座基板2側相向之狀態下重疊基座基板2和頂蓋基板3，形成有收容壓電振動片5之空腔C。

在形成有該空腔C之狀態下，頂蓋基板3經接合材而對基座基板2陽極接合。即是，在頂蓋基板3之第1面3b側，於中央部設置凹部3a，並且在其周圍，設置有成為與基座基板2之接合面的框邊區域3c。並且，本實施形態之接合材係由Si膜所形成，但亦可以Al形成接合材。再者，亦可以藉由摻雜等而成低電阻化之Si塊材形成接合材。並且，在本實施形態中，雖然針對使用玻璃材的封裝體予以說明，但是封裝體之形態並不限定於此。例如，即使為使用陶瓷基板之陶瓷封裝體亦可。此時，在藉由陶瓷基板所構成之基座基板上疊層框狀之陶瓷基板或密封環，依此形成空腔。再者，可以使用金屬蓋板 或玻璃蓋板當作頂蓋。

(壓電振動片)

圖5為壓電振動片之俯視圖，圖6(a)為沿著圖5之B-B線的剖面圖，圖6(b)為沿著圖5之C-C線的剖面圖。

如圖5至圖6(b)所示般，壓電振動片5為由水晶、鉭酸鋰或鈮酸鋰等之壓電材料所形成之音叉型之振動片，於施加特定電壓時振動。該壓電振動片5構成由互相平行延伸之一對振動腕部24、25，和一體性連接固定沿著該些一對之振動腕部24、25之延伸方向的基端部彼此的基部26所構成之音叉型。

在基部26之寬度方向兩側，各以縮窄基部26之寬度之方式形成有凹部23。該凹部23為用以縮窄藉由一對振動腕部24、25而被激起之振動傳達至基部26側的路徑者。依此，可以將振動封閉於一對振動腕部24、25側而抑制洩漏至基部26側。

一對振動腕部24、25係由從基部26延伸之腕部本體24a、25a，和以從腕部本體24a、25a之前端沿著腕部本體24a、25a之長邊方向之方式被延伸形成，並且藉由階差寬度較腕部本體24a、25a被擴大之錘部24b、25b所構成。然後，錘部24b、25b係將基部26設為固定端，固定於在寬度方向振動的自由端。

在一對振動腕部24、25之外表面之上，形成 使該些一對振動腕部24、25振動的無圖示之勵振電極。再者，在基部26之外表面形成無圖示之安裝電極，藉由無圖示之引出電極與勵振電極電性連接。然後，當對該些電極施加特定電壓時，藉由一對振動腕部24、25之雙方的勵振電極彼此之相互作用，一對振動腕部24、25在互相接近或分離之方向(寬度方向)以特定之諧振頻率振動。

再者，在一對振動腕部24、25之兩主面24c、25c上，以從振動腕部之基端側朝向前端側延伸之方式形成有溝部。該些溝部係藉由分斷部43而在長邊方向被分斷，在此將被配置在被分斷之溝中之基端側的溝部設為第1溝部41，將與該第1溝部41隔著間隔而配置在前端側之溝部設為第2溝部42。該些，第1溝部41及第2溝部42係沿著一對振動腕部24、25之長邊方向而被形成。

在一對振動腕部24、25中，形成有分斷部43之處的剛性，比起形成有各溝部41、42之處的剛性高。

在此，當將各振動腕部24、25之全長設為L時，各振動腕部24、25之基端和第2溝部42之前端之間的距離TL1被設定成滿足TL1≒0.6L．．．(1)

再者，各振動腕部24、25之基端和分斷部43之中心之間的距離TL2被設定成滿足TL2≒L/2．．．(2)

並且，第1溝部41之寬度W1和第2溝部42之寬度W2係被設定成滿足W1≒W2．．．(3)

然後，第1溝部41之溝部深度H1和第2溝部42之溝部深度H2係被設定成滿足H1≒H2．．．(4)

返回圖2~圖4，如此所構成之壓電振動片5係利用金等之凸塊B(參照圖3)，凸塊接合於被形成在基座基板2之第2面2b(圖3中上面)的引繞電極27、28上。更具體而言，壓電振動片5之各勵振電極中之一方勵振電極係經被形成在基部26之表面上的一方之安裝電極及凸塊B而被凸塊接合於一方之引繞電極27上，另一方之勵振電極係經被形成在基部26之表面上的另一方之安裝電極及凸塊B而被凸塊接合於另一方之引繞電極28上。並且，於封裝體利用陶瓷封裝體之時，即使以例如導電性接著劑等將壓電振動片5固定支撐於陶瓷基板上亦可。

如此一來，壓電振動片5係藉由基部26之一部分(離各振動腕部24、25遠側之部分)被接合於封裝體10側之引繞電極27、28上，將其接合之部分(以下，稱為安裝部26a)當作支撐固定點，在從基座基板2之第2面2b浮起之狀態下被支撐。再者，在安裝部26a，成為各安裝電極和引繞電極27、28各被電性連接的狀態。

外部電極6、7係被設置在基座基板2之第1 面2a中之長邊方向之兩側，經各貫通電極8、9及各引繞電極27、28而被電性連接於壓電振動片5。更具體而言，一方之外部電極6係經一方之貫通電極8及一方之引繞電極27而被電性連接於壓電振動片5之一方之安裝電極。再者，另一方之外部電極7係經另一方之貫通電極9及另一方之引繞電極28而被電性連接於壓電振動片5之另一方之安裝電極。

貫通電極8、9為例如對貫通孔21、22一體被固定的導電性之芯材，被形成貫通方向兩端平坦，並且成為與基座基板2之厚度大略相同厚度。各貫通電極8、9係發揮完全塞住貫通孔21、22，維持空腔C內之氣密，並且使外部電極6、7和引繞電極27、28導通之任務。具體而言，一方之貫通電極8係在外部電極6和壓電振動片5之基部26之間位於引繞電極27之下方，另一方之貫通電極9係在外部電極7和壓電振動片5之振動腕部25之間位於引繞電極28之下方。

(壓電振動片之製造方法)

接著，針對壓電振動片之製造方法予以說明。

首先，藉由光微影技術在無圖示之晶圓兩面，形成具有一對振動腕部24、25及基部26之壓電振動片5之外形圖案。並且，此時，在晶圓上形成複數之外形圖案。

接著，將外形圖案當作遮罩，將晶圓之兩面各施予蝕刻加工。依此，可以選擇性地除去無被外形圖案遮罩之區 域，而製作出壓電振動片5之外形形狀。並且，在該狀態下，各壓電振動片5成為經無圖示之連結部而與晶圓連結之狀態。

在此，在壓電振動片5之各振動腕部24、25之兩主面24c、25c形成第1溝部41及第2溝部42。具體而言，藉由光微影技術，相對於上述外形圖案使相當於各溝部41、42之區域開口。然後，將形成如此之外形圖案當作光罩，對晶圓之兩面各施予蝕刻加工(半蝕刻)。依此，在各振動腕部24、25之兩主面24c、25c形成第1溝部41及第2溝部42。

之後，藉由眾知之方法，在壓電振動片5之外表面上圖案製作電極膜而形成勵振電極、引出電極及安裝電極。

然後，最後切斷連結晶圓和壓電振動片5之連結部，而執行自晶圓切離複數壓電振動片5使成為小片化之切斷工程。依此，可以從一片晶圓，一次製造複數音叉型之壓電振動片5。

(壓電振動子之動作)

接著，針對上述壓電振動子1之動作予以說明。

於使壓電振動子1動作之時，對形成在基座基板2之外部電極6、7，施加特定之驅動電壓。依此，可以使電流流通於壓電振動片5之各勵振電極，可以利用特定頻率在使一對振動腕部24、25接近或間隔開之方向(寬度方 向)振動。然後，利用該一對振動腕部24、25之振動，可以當作時刻源、控制訊號之時序源或基準訊號源等而予以利用。

依此，在各振動腕部24、25之兩主面24c、25c夾著分斷部43而各形成第1溝部41及第2溝部42。並且，各振動腕部24、25之基端和第2溝部42之前端之間的距離TL1係將各振動腕部24、25之全長設為L時，被設定成約0.6L(參照圖5)。參照圖23如上述般，當溝部之長度對振動腕部之全長超過約0.58時，因成為R1>R2，故壓電振動片容易以2次彎曲模式振動，但是在本實施形態中由於具有分斷部43，故即使溝部之長度成為約0.6L，亦可以成為R1<R2。

即使使溝部之長度成為約0.6L，亦可以設為R1<R2之理由如同下述。即是，在一對振動腕部24、25中，形成有分斷部43之處的剛性，比起形成有各溝部41、42之處的剛性高。並且，形成有該分斷部43之處，相當於2次彎曲振動中之振動之節和節之間。因此，分斷部43當作「妨礙2次彎曲模式中之振動的部分」，即是當作抑制一對振動腕部24、25之2次彎曲變形的「變形抑制部」而發揮功能之故。

除此之外，各振動腕部24、25之基端，和分斷部43之中心之間的距離TL2係被設定成滿足式(2)(參照圖5)。即是，分斷部43係被形成在一對振動腕部24、25之振動模式作為2次彎曲模式之時的最大移位 量之位置(參照以往之圖22中之最大振幅部P100)。換言之，各振動腕部24、25之基端和分斷部43之中心之間的距離TL2被設定成以往之圖22中之各振動腕部2010、2011之基端，和最大振幅部P100之間的距離SL2幾乎成為相同距離。因此，防止一對振動腕部24、25由於不需要之彎曲變形而以2次彎曲模式振動，即使使溝部之長度TL1延伸而降低R1，亦可以保持R1<R2，可以使一對振動腕部24、25以基本波模式振動。

(效果)

若藉由第1實施形態時，藉由在一對振動腕部24、25之兩主面24c、25c形成第1溝部41、第2溝部42及被配置在該些溝部41、42之間的分斷部43，即使將各振動腕部24、25之基端和第2溝部42之前端之間的距離TL1(溝部之長度)設定成滿足式(1)之時，即是將包含有分斷部43之第1溝部41，及第2溝部42之全長設定成各振動腕部24、25之全長之一半以上之時，可以將該些振動腕部24、25之振動模式設為基本波模式。因此，可以增長溝部之長度而更降低R1，並且防止一對振動腕部24、25以2次彎曲模式振定。

再者，使分斷部43以抑制一對振動腕部24、25之彎曲變形的變形抑制部而發揮功能。因此，在比起在第1溝部41和第2溝部42之間施予用以抑制一對振動腕部24、25之變形的加工之時，可以抑制壓電振動片5 之製造成本的增大。並且，變形抑制部之位置在本實施形態中設為TL2=約L/2，但是若為2次彎曲模式中之節和節之間時，可取得如「提高R2」之效果。若在節和節之略中央，即是移位量為最大之位置設置變形抑制部，則更具效果性。本實施形態之時，其位置成為TL2=約L/2。

並且，將形成在各振動腕部24、25之分斷部43之中心，和各振動腕部24、25之基端之間的距離TL2，設定成一對振動腕部24、25以2次彎曲模式振動之時的最大移位量之位置，和各振動腕部24、25之基端之間的距離成為略相同。因此，可以有效果地防止一對振動腕部24、25以2次彎曲模式振動。並且，在本實施形態中，雖然針對錘部24b、25b或在基部26設置凹部23之構成予以說明，但是可適用本發明之壓電振動片之形狀並不限定於此，即使採用錘部或凹部之構成亦可。再者，即使對振動腕部24、25，在主面、背面中之任一面設置溝部即可(以下說明之其他實施形態也相同)。

(第2實施形態)

接著，援用圖1、圖3，根據圖7、圖8說明該發明之第2實施形態。並且，對與第1實施形態相同之態樣，賦予相同符號而予以說明(針對以下之實施形態也相同)。

圖7為該第2實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

在該第2實施形態中，壓電振動子1係表面安裝型之 壓電振動子1，其具備有經無圖示之接合材而陽極接合基座基板2及頂蓋基板3之箱狀封裝體10，和被收納在封裝體10之空腔C之壓電振動片105之點(或是即使為陶瓷封裝體亦可之點)，被設置在壓電振動片105和基座基板2之第1面2a(圖3中之下面)的外部電極6、7藉由貫通基座基板2之一對貫通電極8、9而電性連接之點，壓電振動片105為水晶、鉭酸鋰或鈮酸鋰等之壓電材料所形成之音叉型的振動片，由互相平行延伸之一對振動腕部124、125，和一體性地連接固定沿著該些一對振動腕部124、125之延伸方向的基端部彼此的基部26所構成之點，一對振動腕部124、125係由從基部26延伸之腕部本體124a、125a，和被延伸形成從腕部本體124a、125a之前端沿著腕部本體124a、125s之長邊方向，並且寬度藉由階差較腕部本體124a、125a擴大的錘部24b、25b所構成，錘部24b、25b以基部26為固定端被設定在於寬方向振動之自由端之點等的基本構成，與上述第1實施形態相同(針對以下之實施形態也相同)。

在此，第2實施形態與第1實施形態之不同點係第1實施形態之一對振動腕部24、25在第1溝部41和第2溝部42之間形成有分斷部43，對此第2實施形態之一對振動腕部124、125在第1溝部41和第2溝部42之間的分斷部43形成有細溝部51(凹部)之點。

更詳細而言，如圖7所示般，在各振動腕部124、125之兩主面124c、125c上，於第1溝部41和第2 溝部42之間形成有細溝部51。該細溝部51之寬度W3被設定成較第1溝部41之寬度W1及第2溝部42之寬度W2窄。再者，細溝部51係以不與第1溝部41或第2溝部42連通之方式，兩者41、42隔著間隔而被形成。

即使為形成如此之時，因在細溝部51中振動腕部124、125之剛性提升(比起溝部長度相同寬度為一定之溝部之情況)，故可以達到與上述第1實施形態相同之效果。

根據圖8，更具體地針對第2實施形態之效果予以說明。

圖8係表示將縱軸設為R1值及R2值，將橫軸設為TL1/L之時的第2實施形態中之R1值及R2值之變化的曲線圖，(a)係將各振動腕部124、125之基端和分斷部43之中心之間的距離TL2，除以各振動腕部124、125之基端和第2溝部42之前端之間的距離TL1(以下稱為「TL2/TL1」)之值為0.5之情況，(b)係表示TL2/TL1之值為0.6之情況，(c)係表示TL2/TL1為0.8之情況。

如圖8(a)所示般，可以確認出當TL2/TL1為0.5之時，TL1/L之值成為約0.6，R2值較R1值小。

再者，如圖8(b)所示般，可以確認出當TL2/TL1為0.6之時，TL1/L之值成為約0.61，R2值較R1值小。

並且，如圖8(c)所示般，可以確認出當TL2/TL1為0.8之時，TL1/L之值成為約0.62，R2值較R1值小。

因此，若藉由上述第2實施形態時，比起以往(參照圖23)可以邊降低CI值，邊防止一對振動腕部124、125以2次彎曲模式振動。

再者，從圖8(a)~圖8(c)明顯可知，藉由將各振動腕部124、125之基端，和分斷部43之中心之間的距離TL2，及各振動腕部124、125之基端和第2溝部42之前端之間的距離TL1設定成滿足TL2/TL1≧0.5．．．(5)

可以有效果地防止一對振動腕部124、125以2次彎曲模式振動。並且，當設為TL2/TL1≒0.8時，即使於增長溝部之長度TL1之時，亦可維持R1<R2之關係。

(第3實施形態)

接著，根據圖9說明該發明之第3實施形態。

圖9為該第3實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第3實施形態之壓電振動片205和第2實施形態之壓電振動片105之不同點，在於第3實施形態中被形成在一對振動腕部224、225之分斷部43的溝部之形狀，與第2實施形態中被形成在一對振動腕部124、125之分斷部43的溝部之形狀不同之點。

更具體而言，如圖9所示般，在各振動腕部224、225之分斷部43，形成有厚度方向俯視觀看略圓形狀之溝部52。即使為形成如此之時，因在溝部52中振動腕部224、225之剛性提升(比起溝部長度相同寬度為一 定之溝部之情況)，故可以達到與上述第1實施形態相同之效果。

(第4實施形態)

接著，根據圖10說明該發明之第4實施形態。

圖10為該第4實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第4實施形態之壓電振動片305和第2實施形態之壓電振動片105之不同點，在於被形成在一對振動腕部324、325之分斷部43的溝部之形狀，與第2實施形態中被形成在一對振動腕部124、125之分斷部43的溝部之形狀不同之點。

更具體而言，如圖10所示般，一對振動腕部324、325之分斷部43係在寬度方向排列配置兩個細溝53。各細溝部53之寬度W4被設定成較第1溝部41之寬度W1及第2溝部42之寬度W2之約一半窄。因此，各細溝部53係與第1溝部41或第2溝部42隔著間隔而被配置。

如此一來，即使於在分斷部43形成兩個細溝部53之時，因在細溝部53中也提升振動腕部324、325之剛性(比起形成溝部長度為相同且寬度為一定之溝部之情況)，故可以達成與上述第1實施形態相同之效果。

並且，在上述第4實施形態中，針對在分斷部43形成兩個細溝部53之情況予以說明，但並不限定於此，即使在分斷部43形成3個以上之細溝部亦可。

(第5實施形態)

接著，根據圖11說明該發明之第5實施形態。

圖11為該第5實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第5實施形態之壓電振動片405和第2實施形態之壓電振動片105之不同點，在於第5實施形態中之一對振動腕部324、325之基端，形成細溝部54，對此在第2實施形態之壓電振動片105不形成細溝部54之點。

更具體而言，如圖11所示般，在一對振動腕部424、425之兩主面424c、425c，於基端形成有細溝部54。該細溝部54之寬度W5被設定成較第1溝部41之寬度W1及第2溝部42之寬度W2窄。再者，第1溝部441係以不與細溝部54連通之方式，與細溝部54隔著間隔而被形成。

即使為形成如此之時，因在細溝部51中振動腕部424、425之剛性提升(比起溝部長度相同寬度為一定之溝部之情況)，故可以達到與上述第1實施形態相同之效果。並且，藉由將基端側設為細溝部54，能夠提升振動腕部424、425之基端側的強度。

(第6實施形態)

接著，根據圖12說明該發明之第6實施形態。

圖12為該第6實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第6實施形態與第1實施形態之不同點係第1實施形態之一對振動腕部24、25在第1溝部41和第2溝部42之間形成有分斷部43，對此第6實施形態之一對振動腕部524、525在第1溝部41和第2溝部42之間的以窄寬之細溝部55(窄寬部)連結之點。

更詳細而言，如圖12所示般，在各振動腕部524、525之兩主面524c、525c上，於第1溝部41和第2溝部42之間形成有細溝部55。該細溝部55之寬度W6被設定成較第1溝部41之寬度W1及第2溝部42之寬度W2窄，即是可稱為窄寬部。再者，細溝部55係被形成跨過第1溝部41和第2溝部42，兩者41、42連通。

即使為形成如此之時，因在細溝部55中振動腕部524、525之剛性提升(比起溝部長度相同寬度為一定之溝部之情況)，故可以達到與上述第1實施形態相同之效果。

(第7實施形態)

接著，根據圖13說明該發明之第7實施形態。

圖13為該第7實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第7實施形態與第1實施形態之不同點係第1實施形態之一對振動腕部24、25在第1溝部41和第2溝部42之間形成有分斷部43，對此第7實施形態之一對振動腕部624、625在第1溝部641和第2溝部642連結，在連結該些第1溝部641和第2溝部642之連 結部56形成有肋部57之點。該肋部57係作為相對於2次彎曲振動的「變形抑制部」而發揮功能。

肋部57之寬度W7被設定成較第1溝部41之寬度W1及第2溝部42之寬度W2窄。藉由形成肋部57，即使連續形成第1溝部641之寬度W1及第2溝部642，亦可以提高2次彎曲模式中之變形區域之剛性。因此，肋部57作為抑制一對振動腕部624、625之彎曲變形的變形抑制部而發揮功能。

因此，若藉由上述第7實施形態時，因在肋部57，振動腕部624、625之剛性提升(比起不形成肋部之情形)，故可以達成與上述第1實施形態相同之效果。

(第8實施形態)

接著，根據圖14說明該發明之第8實施形態。

圖14為該第8實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示，第8實施形態和第2實施形態之不同點，在於構成第2實施形態之壓電振動片105之基部26，和構成第8實施形態之壓電振動片705之基部726之形狀不同之點。

更具體而言，如圖14所示般，第8實施形態之基部726隨著從與一對振動腕部724、725之連接部側，朝向與些該振動腕部724、725相反側(圖14中之下側)，多階段地擴大。即是，基部726具有一對振動腕部724、725之連接部側之第1基部727，和相對於第1基部 727接連設置於一對振動腕部724、725之相反側，寬度較第1基部727寬的第2基部728(所謂的二段基部型)。

再者，第1基部727之與各振動腕部724、725的連接部分，及各基部727、728間之連接部分，以隨著從各振動腕部724、725側朝向該些振動腕部724、725之相反側寬度逐漸擴大之方式，形成有傾斜面727a、728a。

因此，若藉由上述第8實施形態時，藉由形成窄幅之第1基部727，因以一對振動腕部724、725被激起的振動傳達至第2基部728側的路徑變窄，故振動被封閉在一對振動腕部724、725側，可以抑制洩漏至第2基部728側。依此，可以有效果地抑制振動洩漏，且可以抑制CI值上升，抑制輸出訊號之品質下降。

再者，不用增長基部726之長度LK，可以增加基部726之體積，並且因可以利用被形成寬幅之第2基部728而進行安裝，故即使針對安裝性也可以提升。

並且，在上述第1~第7實施形態中，針對在構成壓電振動片5、105、205、305、405、505、605之基部26之寬度方向兩側，以各縮窄基部26之寬度之方式形成有凹部23之情形予以說明。再者，在上述第8實施形態中，針對在壓電振動片705之基部726之寬度方向兩側各形成凹部23之情形予以說明。但是，並不限定於該些，即使在基部26、726形成凹部23亦可。

(第9實施形態)

接著，根據圖15說明該發明之第9實施形態。

圖15為該第9實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第9實施形態和第2實施形態之不同點在於在第9實施形態之壓電振動片，於基部826之寬度方向兩側，各一體成形側臂58、59(所謂的側臂型)，對此在第2實施形態中之壓電振動片105之基部26，不一體成形側臂58之點。

更具體而言，各側臂58、59係被形成從基部826之一對之振動腕部824、825之相反側端(圖15中之下端)朝向寬度方向兩側而延伸之後，沿著各振動腕部824、825之長邊方向，並且朝向各振動腕部824、825之前端彎曲延伸。再者，各側臂58、59之前端部58a、59a延伸至較第2溝部42之長邊方向略中央稍微靠各振動腕部824、825之前端側。

在如此之構成下，可以將各側臂58、59之接合部58a、59a當作安裝部而發揮功能，並能夠經該安裝部而安裝於例如封裝體。

因此，若藉由上述第9實施形態時，除了與上述第2實施形態相同之效果之外，在基部826中，可以確保各振動腕部824、825的連接部，和安裝部(側臂58、59之前端部58a、59a)之距離長。其結果，不會增大壓電振動片805之全長，抑制振動洩漏而控制CI值上升，並能夠抑 制輸出訊號之品質下降。

(第10實施形態)

接著，根據圖16說明該發明之第10實施形態。

圖16為該第10實施形態中之壓電振動片之俯視圖。

如同圖所示般，第10實施形態和第9實施形態之不同點，係第10實施形態之基部926在寬度方向兩側形成凹部923，對此第9實施形態之基部826係在寬度方向兩側不形成凹部923之點。

藉由構成如此，可以縮窄藉由一對振動腕部924、925而被激起之振動傳達至基部926側的路徑。

因此，若藉由上述第10實施形態時，除了與上述第9實施形態相同之效果外，因可以將振動封閉於一對振動腕部924、925側而抑制洩漏至基部926側，故可以更防止CI值上升。

(振盪器)

接著，針對與本發明有關之振盪器之一實施形態，根據圖17予以說明。

圖17為振盪器之一實施形態的構成圖。

如同圖所示般，本實施形態之振盪器1100係將壓電振動子1當作電性連接於積體電路1101之振盪子而予以構成者。該振盪器1100具備有安裝電容器等之電子零件1102之基板1103。在基板1103安裝有振盪器用之上述積 體電路1101，在該積體電路1101之附近，安裝有壓電振動子1。該些電子零件1102、積體電路1101及壓電振動子1係藉由無圖示之配線圖案分別被電性連接。並且，各構成零件係藉由無圖示之樹脂而被模製。

在如此構成之振盪器1100中，當對壓電振動子1施加電壓時，該壓電振動子1內之壓電振動片5(105、205、305、405、505、605、705、805、905)則振動。該振動係藉由壓電振動片5具有之壓電特性變換成電訊號，當作電訊號被輸入至積體電路1101。被輸入之電訊號藉由積體電路1101被施予各種處理，當作頻率訊號被輸出。依此，壓電振動子5當作振盪子而發揮功能。

再者，可以將積體電路1101之構成，藉由因應要求選擇性設定例如RTC(實時時鐘)模組等，附加除控制時鐘用單功能振盪器等之外，亦可以控制該機器或外部機器之動作日或時刻，或提供時刻或日曆等之功能。

如上述般，若藉由本實施形態之振盪器1100時，因具備擁有高強度且可以降低CI值之小型化及高性能化之壓電振動子1，故可以提供具有高可靠性及高性能之振盪器1100。

(電子機器)

接著，針對與本發明有關之電子機器之一實施形態，根據圖18予以說明。並且，作為電子機器，以具有上述壓電振動子1之行動資訊機器(電子機器)1110為例予 以說明。

首先，本實施形態之行動資訊機器1110代表的有例如行動電話，為發展、改良以往技術的手錶。外觀類似手錶，於相當於文字盤之部分配置液晶顯示器，在該畫面上可以顯示現在之時刻等。再者，於當作通訊機利用之時，從手腕拆下，藉由內藏在錶帶之內側部分的揚聲器及送話器，可執行與以往技術之行動電話相同的通訊。但是，比起以往之行動電話，格外小型化及輕量化。

接著，針對本實施形態之行動資訊機器1110之構成予以說明。

圖18為行動資訊機器之構成圖。

如同圖所示般，該行動資訊機器1110具備有壓電振動子1，和用以供給電力之電源部1111。電源部1111係由例如鋰二次電池所構成。在該電源部1111並列連接有執行各種控制之控制部1112、執行時刻等之計數的計時部1113、執行與外部通訊之通訊部1114、顯示各種資訊之顯示部1115，和檢測出各個的功能部之電壓的電壓檢測部1116。然後，成為藉由電源部1111對各功能部供給電力。

控制部1112控制各功能部而執行聲音資料之發送及接收、現在時刻之測量或顯示等之系統全體的動作控制。再者，控制部1112具備有事先寫入程式之ROM，和讀出被寫入該ROM之程式而加以實行之CPU，和當作該CPU之工作區域使用之RAM等。

計時部1113具備有內藏振盪電路、暫存器電路、計數器電路及介面電路等之積體電路，和壓電振動子1。當對壓電振動子1施加電壓時，壓電振動片5(105、205、305、405、505、605、705、805、905)振動，該振動藉由水晶具有之壓電特性變換成電訊號，當作電訊號被輸入至振盪電路。振盪電路之輸出被二值化，藉由暫存器電路和計數器電路而被計數。然後，經介面電路，而執行控制部1112和訊號之收發訊，在顯示部1115顯示現在時刻或現在日期或日曆資訊等。

通訊部1114具有與以往之行動電路相同之功能，具備有無線部1117、聲音處理部1118、切換部1119、放大部1120、聲音輸入輸出部1121、電話號碼輸入部1122、來電鈴產生部1123及呼叫控制記憶部1124。

無線部1117係將聲音資料等之各種資料，經天線1125執行基地局和收發訊的處理。聲音處理部1118係將自無線部1117或放大部1120所輸入之聲音訊號予以編碼化及解碼化。放大部1120係將聲音處理部1118或聲音輸入輸出部1121所輸入之訊號放大至規定準位。聲音輸入輸出部1121係由揚聲器或送話器等所構成，擴音來電鈴或通話聲音，或使聲音集中。

再者，來電鈴產生部1123係因應來自基地台之呼叫而產生來電鈴。切換部1119限於來電時，藉由將連接於聲音處理部1118之放大部1120切換成來電鈴產生部1123，在來電鈴產生部1123產生之來電鈴經放大部 1120而被輸出至聲音輸入輸出部1121。

並且，呼叫控制記憶部1124儲存與通訊之發送呼叫控制有關之程式。再者，電話號碼輸入部1122具備有例如從0至9之號碼按鍵及其他按鍵，藉由按下該些號碼鍵等，輸入連絡人之電話號碼等。

電壓檢測部1116係當藉由電源部1111對控制部1112等之各功能部施加之電壓低於特定值時，檢測出其電壓下降而通知至控制部1112。此時之規定電壓值係當作為了使通訊部1114安定動作所需之最低限的電壓而事先設定之值，例如3V左右。從電壓檢測部1116接收到電壓下降之通知的控制部1112係禁止無線部1117、聲音處理部1118、切換部1119及來電鈴產生部1123之動作。尤其，必須停止消耗電力大的無線部1117之動作。並且，在顯示部1115顯示由於電池殘量不足通訊部1114不能使用之訊息。

即是，藉由電壓檢測部1116和控制部1112，禁止通訊部1114之動作，可以將其訊息顯示於顯示部1115。該顯示即使為文字簡訊亦可，即使在顯示部1115之顯示面上部所顯示的電話圖示上劃上×(叉號)以作為更直覺性之顯示亦可。

並且，具備有電源阻斷部1126，該電源阻斷部1126係可以選擇性阻斷與通訊部1114之功能有關之部分的電源，依此可以更確實停止通訊部1114之功能。

如上述般，若藉由本實施形態之行動資訊機 器1110時，因具備擁有高強度且可以降低CI值之小型化及高性能化之壓電振動子1，故可以提供具有高可靠性及高性能之行動資訊機器1110。

(電波時計)

接著，針對與本發明有關之電波時計之一實施形態，根據圖19予以說明。

圖19為電波時計之一實施形態的構成圖。

如同圖所示般，本實施形態之電波時計1130具備有電性連接於濾波器部1131之壓電振動子1，接收含時鐘資訊之標準之電波，具有自動修正成正確時刻而予以顯示之功能的時鐘。

在日本國內在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有發送標準電波之發送所(發送局)，分別發送標準電波。因40kHz或60kHz般之長波合併傳播地表之性質，和一面反射電離層和地表一面予以傳播之性質，故傳播範圍變寬，以上述兩個發送所網羅全日本國內。

以下，針對電波時計1130之功能性構成予以詳細說明。

天線1132接收40kHz或60kHz之長波之標準電波。長波之標準電波係將被稱為時間碼之時刻資訊AM調制為40kHz或60kHz之載波。所接收到之長波的標準電波，藉由放大器1133被放大，並藉由具有複數壓電振動子1之濾波器部1131被濾波、調諧。

本實施形態中之壓電振動子1分別具備有具有與上述搬運頻率相同之40kHz及60kHz之共振頻率的水晶振動子部1138、1139。

並且，被濾波之特定頻率之訊號藉由檢波、整流電路1134被檢波解調。

接著，經波形整形電路1135取出時間碼，藉由CPU1136計數。在CPU1136中係讀取現在之年、積算日、星期、時刻等之資訊。讀取之資訊反映在RTC1137，顯示正確之時刻資訊。

載波由於為40kHz或60kHz，故水晶振動子部1138、1139以持有上述音叉型之構造的振動子為佳。

並且，上述說明係表示日本國內之例，長波之標準電波之頻率在海外則不同。例如，德國係使用77.5kHz之標準電波。因此，於將即使在海外亦可以對應之電波時計1130組裝於攜帶機器之時，則又需要與日本之情形不同之頻率的壓電振動子1。

如上述般，若藉由本實施形態之電波時計1130時，因具備擁有高強度且可以降低CI值之小型化及高性能化之壓電振動子1，故可以提供具有高靠性及高性能之電波時計1130。

並且，本發明之技術範圍並不限定於上述實施形態，只要在不脫離本發明之主旨的範圍內，也包含在上述實施形態加上各種變更。

例如，在上述實施形態中，表面安裝型之壓電振動子 1採用本發明之壓電振動片5、105、205、305、405、505、605、705、805、905，但並不限定於此，即使汽缸型之壓電振動子採用本發明之壓電振動片5、105、205、305、405、505、605、705、805、905亦可。

再者，在上述實施形態中，針對在一對振動腕部24~924、25~925各形成一處分斷部43之情形予以說明。但是，並不限定於此，即使在長邊方向形成複數之分斷部43亦可。此時，在形成有被形成在一對振動腕部24~924、25~925之第1溝部41、441、641及/或第2溝部42、642之處的一部分形成分斷部43。並且，該些分斷部至少必須形成在2次彎曲模式中之節和節之間。藉由在節和節之間，即是以2次彎曲模式變形之部分設置分斷部43，難以利用2次彎曲模式振動，R2上升。

再者，於形成複數分斷部43之時，即使在各分斷部43各形成細溝部51、53、54、55或溝部52亦可，即使在複數分斷部43中之一部分形成細溝部51、53、54、55或溝部52亦可。

並且，在上述實施形態中，針對將被形成在一對振動腕部24~924、25~925之分斷部43之中心，和各振動腕部24~924、25~925之基端之間的距離TL2(參照圖5)設定成滿足式(2)之情形予以說明。即是，針對將分斷部43形成在一對振動腕部24~924、25~925之振動模式為2次彎曲模式之時之一對振動腕部24~924、25~925之最大移位量之位置，換言之，形成在 以往之圖22中之最大振幅部P100之位置之情形予以說明。

但是，並不限定於此，若在將一對振動腕部24~924、25~925之振動模式設為2次彎曲模式之時之基端側之振動節部(例如，圖22中之2010a、2011a)，和前端側之振動節部(例如，圖22中之2010b、2011b)之間，形成分斷部43即可。更佳為以距離TL2對各振動腕部24~924，25~925之全長L滿足L/2TL≦TL2≦2L/3．．．(6)

之方式，設定分斷部43之位置即可。藉由形成分斷部43以滿足式(6)，可以達到與上述第1實施形態相同之效果。

藉由上述，若藉由本發明時，在假設振動腕部以高次彎曲模式振動之時的變形區域，設置抑制高次振動的「變形抑制部」。依此，當比較在振動腕部形成略相同寬度且延伸於長邊方向之溝部時，即使溝部之長度幾乎相同，設置有「變形抑制部」之一方亦可以增大R2。因此，即使為欲降低壓電振動片之R值(CI值)而增長溝部之長度時，因亦可以保持R1<R2之關係，故可以使壓電振動片以基本波模式振動。例如，相對於振動腕部之長度L，即使將溝部之長度TL1設為TL1/L≒0.6，亦可以達成R1<R2。並且，若在2次彎曲模式變形最多之位置(例如，腹部之位置)形成「變形抑制部」時，即使設為TL1/L≒0.68，亦可以維持R1<R2，即是本發明者確認出 可以以基本波模式振動。並且，於設置有溝部之分斷部以作為變形抑制部之時，雖然光設置分斷部之部分，就使溝部之長度變短，但對電解效率的影響微小，能維持R1<R2之關係的好處要大得多。

5‧‧‧壓電振動片

23‧‧‧凹部

24、25‧‧‧振動腕部

24c、25c‧‧‧主面

26‧‧‧基部

41‧‧‧第1溝部

42‧‧‧第2溝部

43‧‧‧分斷部

24a、25a‧‧‧腕部本體

24b、25b‧‧‧錘部

Claims (9)

1. 一種壓電振動片，具備：複數之振動腕部，其係被排列配置在寬度方向上；基部，其係連結上述振動腕部之長度方向的基端；及溝部，其係從上述基端側朝向上述振動腕部之前端側而形成在上述振動腕部之主面或背面之至少一方，該壓電振動片之特徵為：在將上述振動腕部之振動模式設為2次彎曲模式之時的上述振動腕部之上述基端側之振動節部，和上述振動腕部之上述前端側之振動節部之間，設置有抑制2次彎曲模式中之上述振動腕部之彎曲變形的變形抑制部。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之壓電振動片，其中上述變形抑制部係被設置在將上述振動腕部之振動模式設為2次彎曲模式之時的上述振動腕部之最大振幅部的附近。
3. 如申請專利範圍第1或2項所記載之壓電振動片，其中上述變形抑制部係指上述溝部在上述振動腕部之長邊方向被分斷之分斷部。
4. 如申請專利範圍第1或2項所記載之壓電振動片，其中上述變形抑制部係指 上述溝部之寬度方向之尺寸變窄的窄幅部。
5. 如申請專利範圍第3項所記載之壓電振動片，其中在上述分斷部形成有凹部。
6. 一種壓電振動子，其特徵為：具有如申請專利範圍第1或2項所記載之壓電振動片。
7. 一種振盪器，其特徵為：如申請專利範圍第6項所記載之上述壓電振動子，作為振盪子而電性連接於積體電路。
8. 一種電子機器，其特徵為：如申請專利範圍第6項所記載之上述壓電振動子電性連接於計時部。
9. 一種電波時計，其特徵為：如申請專利範圍第6項所記載之上述壓電振動子電性連接於濾波器部。