TW201346251A - 焊料檢查用之檢查基準登錄方法及使用該方法的基板檢查裝置 - Google Patents

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Ryuichiro Konda
Masaomi Yoshida
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Abstract

[課題]作成根據焊料填角(tillet)之具體的形狀進行檢查,而且可簡單地設定該檢查的基準。[解決手段]為了對安裝於基板之元件的焊料填角,設定根據藉運算求得表示其3維形狀之數值參數後判定其是否適當的方法之檢查的基準,顯示包含表示設定對象之元件的影像之影像顯示區域51與檢查基準列表513的設定畫面,並受理使用者的操作。在檢查基準列表513,顯示將複數種檢查項目之項目名稱與在各個檢查項目所測量之數值參數的基準值之輸入欄賦予對應列表513。使用者係除了顯示於影像顯示區域51的影像以外,適當地還叫出表示數值參數之概念的參考圖K1,判別並輸入適合基準值的數值。

Description

焊料檢查用之檢查基準登錄方法及使用該方法的基板檢查裝置
本發明係有關於一種基板檢查裝置,該裝置係以已焊接元件之基板(以下稱為「元件安裝基板」)為對象,測量基板上之焊料填角(tillet)的3維形狀,執行根據該測量結果判定焊料填角之好壞的焊料檢查。尤其,本發明係與登錄焊料檢查用之檢查基準的技術相關。此外,在以下,亦有將焊料填角僅稱為「填角」的情況。
作為焊料檢查用之檢查裝置,自從前,已知實施被稱為彩色高亮度方式之方式之檢查的檢查裝置(參照專利文獻1)。在彩色高亮度方式的檢查裝置,包括:照明裝置,係從分別相異的方向照射紅、綠及藍之各顏色光;及彩色相機,係用以拍攝對各顏色光的正反射光。又,根據對各顏色光所設定之臨限值,抽出與影像中之各顏色光對應的顏色區域,再根據該顏色區域之面積或位置等的特徵量是否適合所預設之判定基準,判定焊料填角之傾斜狀態的好壞(參照專利文獻2之段落0066、0090)。
進而,亦開發一種檢查裝置,該裝置係具有應用上述之檢查裝置之光學系統的原理,測量填角之3維形狀的功能(參照專利文獻3、4)。
在專利文獻3,記載在檢查對象之填角的影像,沿著對應於各顏色光的顏色區域按照各自之傾斜角度範圍之大小順序所連接的方向設定測量線,並對在測量線上之各顏色區域的邊界位置套用藉各顏色光所檢測出之傾斜 角度範圍的邊界值,特定表示填角之傾斜狀態的近似曲線,並對該近似曲線積分,藉此,求得焊料之沾黏***高度。
又,在專利文獻4,記載一種測量裝置,該裝置係具有圓頂型之照明裝置或立體相機,並在各相機,測量與影像中的焊料對應於之像素的法線方向,藉由根據該法線方向將在相機間的像素賦予對應,測量焊料之高度。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特公平6-1173號公報
[專利文獻2]日本專利第4389801號公報
[專利文獻3]日本特開2010-71844號公報
[專利文獻4]日本特開2010-71782號公報
如在專利文獻2的記載所示,在以往之彩色高亮度方式的檢查裝置,根據處理影像中之顏色區域之分布圖案或特徵量的方法檢查,但是對不習慣這種檢查的使用者,難掌握填角之形狀與影像中之顏色之分布的關係,而難設定檢查基準。又,在將檢查合格之基板送至市場的情況,亦有要求以明確之數值表示在檢查所承認之品質的使用者。
本發明係著眼於上述的問題點或使用者的要求,將作成根據焊料填角之具體的形狀檢查,而且可簡單地設定該檢查之基準作為課題。
應用本發明之基板檢查裝置係在藉來自複數個方向之光的照明下拍攝已焊接複數個元件之元件安裝基板,並使用所產生之影像測量各元件之焊料填角的3維形狀,實施根據該測量結果判定焊料填角之好壞的焊料檢查。在本發明之檢查基準登錄方法係一面變更對象之元件,一面重複執行如下的步驟,該步驟係將檢查對象之基板上的一元件或包含複數個同種類之元件的元件群組作為對象,為了設定用以判定表示焊料填角之3維形狀的數值參數之是否適當的檢查基準,顯示包含列表與設定對象之元件之影像的設定畫面,受理對輸入欄之數值輸入操作的步驟,該列表係將複數種檢查項目之項目名稱與用以判定在各個檢查項目所測量之數值參數的好壞之基準值的輸入欄賦予對應。而且,將在每次之設定畫面被輸入基準值的檢查項目設定成在與該設定畫面對應之元件的檢查所實施之項目,而且將對該檢查項目所輸入之數值設定成好壞判定的基準值,並製作由檢查項目與基準值所組合之檢查基準資料,將所製作之檢查基準資料的集合登錄於基板檢查裝置。
若依據上述的方法,使用者係根據設定畫面中的影像確認設定檢查基準之對象的部位,並在該對象元件之焊料檢查所需的各檢查項目,輸入在該項目所測量之數值參數之好壞判定的基準值。若依據本方法,因為可根據實際之填角的形狀,進行直覺式的設定,所以設定作業變得容易。
在上述之方法的一實施形態,在顯示設定畫面之狀態下,在為了參照設定畫面中之任一個檢查項目而進行選擇操作時,將藉表示對處理對象的元件之焊料的形狀的影像表示在所選擇的檢查項目所測量之參數之概念的參考圖顯示於不會與選擇中之檢查項目的顯示重疊的位置。
若依據上述的實施形態,為了參照而選擇選擇畫面中的檢查項目之一時,顯示在視覺上表達在該檢查項目所測量之參數之概念的參考圖。因此,作業員係可根據所選擇之檢查項目識別所測量者是哪一種類的資料、或其測量對象部位的形狀或大小,並輸入適當的設定值。
本發明之基板檢查裝置係包括:顯示部,係顯示用以設定焊料檢查用之檢查基準的設定畫面;操作部,係用以對設定畫面進行操作;操作受理手段,係一面變更對象之元件,一面重複執行如下的步驟,該步驟係將檢查對象之基板上的一元件或包含複數個同種類之元件的元件群組作為對象,將包含列表與設定對象之元件之影像的設定畫面顯示於該顯示部後,受理對輸入欄之數值輸入操作的步驟,該列表係將與用以判定表示焊料填角之3維形狀的數值參數之是否適當的檢查相關之複數種檢查項目之項目名稱與用以判定在各個檢查項目所測量之數值參數的好壞之基準值的輸入欄賦予對應;檢查基準資料製作手段,係將在每次之設定畫面被輸入該基準值的檢查項目設定成在與該設定畫面對應之元件的檢查所實施之項目,而且將對該檢查項目所輸入之數值設定 成好壞判定的基準值,並製作由檢查項目與基準值所組合之檢查基準資料;及登錄手段,係登錄藉檢查基準資料製作手段所製作之檢查基準資料的集合。若依據該構成,可在實施上述之檢查基準登錄方法後,開始檢查。
若依據本發明,因為登錄表示實際之焊料填角的形狀之具體的數值,作為用以判定好壞的基準值,所以登錄檢查基準之作業變得容易。又,可藉在檢查基準所使用之數值,明確表示所保證之品質。
[實施發明之形態]
第1圖表示應用本發明之基板檢查裝置的構成。
該基板檢查裝置100包括控制處理部1、相機2、照明裝置3及基板工作台4等。基板工作台4係一面以水平姿勢支撐檢查對象之基板S,一面使該基板S在沿著各邊的方向(X軸方向及Y軸方向)移動,相機2係產生彩色影像,並將光軸以大致朝向鉛垂方向之姿勢(正面觀察基板工作台4上之基板S的姿勢)固定於基板工作台4的上方。
照明裝置3配備於相機2與基板工作台4之間。在本實施例的照明裝置3,包含分別發出紅色光、綠色光及藍色光的環狀光源3R、3G、3B。各光源3R、3G、3B係直徑分別相異,並在使中心部的位置對準相機2之光軸的狀態所配置。直徑最小的紅色光源3R配置於最上面,直徑最大的藍色光源3B配置於最下面,綠色光源3G配置於這些光源之間。藉這種配置,對基板S之入射角度範圍係因各 顏色而異,而可對基板上之焊料之傾斜面的傾斜狀態產生藉對應於各照明之顏色之分布圖案所表示的影像。
具體而言,藉在3種彩色光中入射角度範圍最小的紅色光所產生之紅色區域係表示緩和的傾斜角度,藉入射角度的範圍最大的藍色光所產生之藍色區域係表示很陡的傾斜角度。又,藉綠色光所產生之綠色區域係表示在藉紅色區域所表示的傾斜角度範圍與藉藍色區域所表示的傾斜角度範圍之間的傾斜角度範圍。
照明裝置3係未限定為藉環狀光源者,亦可使用在圓頂型之筐體內將3種點光源(LED等)排列成實現與上述一樣之檢測原理之構成的照明裝置。又,亦可作成替代使基板工作台4在X、Y之各軸向移動的構成,將基板工作台4的移動方向設為僅一軸,並使相機2沿著另一軸移動。
在控制處理部1,包含藉電腦之控制部110、影像輸入部111、攝像控制部112、照明控制部113、工作台控制部114、記憶體115、硬碟裝置116、通信用介面117、操作部118及顯示部119。控制部110係經由攝像控制部112、照明控制部113及工作台控制部114,控制相機2、照明裝置3及基板工作台4的動作。藉相機2所產生之影像係在影像輸入部111經數位轉換後,輸入控制部110。
在記憶體115,除了保存關於上述之控制的程式以外,還暫時保存處理對象之影像資料或運轉結果。在硬碟裝置116,保存後述之檢查程式群、藉檢查所得之測量資料與檢查結果、以及檢查所使用之影像等。
通信用介面117係經由未圖示之LAN線路等與其他的裝置進行通訊。操作部118係由滑鼠、鍵盤等所構成,係在進行檢查前之各種設定的情況等所使用。顯示部119係在檢查前顯示設定用的畫面,而檢查開始時,顯示每次之檢查結果或檢查所使用之影像。
在本實施例的基板檢查裝置100,著眼於基板S上的元件,檢查元件之有無、位置偏差、及方向(極性)之適當否等。又,對焊料填角,藉以下的方法執行檢查,利用藉上述之照明所產生之顏色區域的分布,測量填角上之複數個點的高度後,藉使用各測量值的運算,取得表示填角之3維形狀的數值參數,並判別是否該參數值是適當值。
在此,參照第2圖、第3圖,說明求得填角之高度資料的原理。
第2圖係以晶片元件為例,表示該測量的原理,在第2圖的左側,將表示連接晶片元件200之電極201與連接盤203之填角202的模式圖、與拍攝該填角202所得之影像的模式圖在上下賦予對應。在影像的模式圖,分別將各顏色區域取代成塗布圖案後表示。
如第2圖所示,在藉本實施例之光學系統所產生的影像,沿著從接近影像中之連接盤203之外側端邊的位置往電極201的方向,各顏色光之正反射光像的顏色區域按照各自所示之傾斜角度範圍之大小的順序排列(即按照紅、綠及藍的順序)並出現。又,在接近晶片元件200的位置有超過對應於藍色區域的傾斜角度範圍之陡峭之傾斜 面的情況,該傾斜面係作為無正反射光像的暗區域,出現於影像中。
利用該影像的特徵,在本實施例,對各連接盤設定檢查區域F,而且在該檢查區域F內找出紅、綠及藍之各顏色區域所排列的方向,並沿著該方向設定測量線L。然後,在測量線L,抽出紅色區域之外側端邊的點A1、與位於各顏色區域間之邊界的點A2、A3、A4。進而,抽出測量線L與電極201之端邊的交點A5。
在所抽出之點中點A5以外的各點,套用對應於該點的傾斜角度。
在紅、綠及藍之各顏色區域所出現之位置的傾斜角度具有某程度之範圍,但是認為相鄰之顏色區域間的邊界位置係表示各個顏色區域所表示之傾斜角度範圍之邊界值附近的角度。因此,在顏色區域間的邊界位置,可應用各個顏色區域所表示之傾斜角度範圍之邊界的角度。
在第2圖的例子,以將紅色區域所表示的傾斜角度範圍設為8~15度、將綠色區域所表示的傾斜角度範圍設為15~25度、將藍色區域所表示的傾斜角度範圍設為25~38度為前提,並分別將8度套用於點A1、將15度套用於點A2、將25度套用於點A3、將38度套用於點A4。而且,如第2圖中之右手的圖形所示,根據套用於點A1~A4之角度與在影像之各點A1~A4之座標的關係,導出表示沿著測量線L之傾斜角度之變化的近似曲線M。
依序著眼於該近似曲線M之以點A1為起點至點A5之 範圍的各點,藉由對從點A至著眼點之傾斜角度的變化曲線積分,算出在著眼點之焊料的高度。藉此,可求得在沿著填角202之傾斜的一條線之高度的變化。以下,將表示該高度之變化的線稱為「傾斜線」。
進而,在本實施例,如第3圖(1)、(2)所示,在檢查區域F內設定複數條測量線L,藉由對各測量線L執行一樣的處理,求得複數條傾斜線。測量線L係亦可藉(1)、(2)之任一種方法設定,但是設定比所圖示者更多的測量線。然後,使用在這些傾斜線所含之各點的高度資料及X、Y座標,測量填角202之長度、寬度、對電極201之焊料的沾黏***高度、對連接盤203或電極201的沾黏角度等。焊料檢查係藉算出這些參數的處理、及將所算出之參數與所預先登錄之基準值比較的處理所進行。
為了上述的檢查,將對每一種基板所製作之檢查程式登錄於基板檢查裝置100的硬碟裝置116。
在檢查程式,包含基板上之各元件的元件種類、型號、位置資訊及檢查基準資料等。在檢查基準資料,除了檢查區域的設定資料以外,還包含在各檢查區域所實施之檢查項目、或用以與檢查中藉測量所得之參數比對的基準值。
第4圖表示在登錄於新的檢查對象之基板的檢查程式時所實施之教導處理的步驟。此處理係主要由第1圖所示之控制部110一面受理使用者之設定操作一面執行。
在最初的步驟ST1,控制部110係將所預先登錄之基板名稱的列表顯示於顯示部119,並受理選擇教導對象之 基板的操作。選擇基板後,接著,設定檢查程式。檢查程式名稱使用教導對象之基板的名稱,但是該名稱係可藉使用者的操作變更。
在步驟ST2,拍攝實物之基板的模型。在本實施例,以對教導對象之基板準備2種模型為前提。一個的模型係經由焊料印刷步驟、藉安裝機之元件安裝步驟及回焊步驟之各步驟所完成之元件安裝基板的模型,另一個的模型係實施該3步驟之前的印刷配線基板(以下稱為「裸基板」)。在步驟ST2,拍攝這2種基板,並取入所產生之影像。此外,攝像係未限定為在本階段,亦可採用預先將藉事先之攝像所產生的影像保存於硬碟裝置116等後,叫出該影像的方法。
在步驟ST3,輸入在元件安裝步驟所使用之安裝資料(包含安裝元件之元件種類、型號、元件固有之識別資訊及位置資訊等)。在步驟ST4,藉由使該安裝資料與在步驟ST2所取入之各影像一致,而識別在影像中之各元件的安裝範圍。然後,根據該識別結果,對各元件設定處理對象區域。
在步驟ST5,依序著眼於處理對象區域,抽出連接盤、元件本體及焊料後,對所抽出之各部位設定檢查區域。
在該抽出處理,首先,藉由從裸基板的影像劃分連接盤的顏色與其他的顏色(基板之底色),而抽出連接盤。接著,比對對裸基板之影像的抽出結果與元件安裝基板的影像,在後者的影像抽出變成與連接盤相異之顏色 的位置,當作焊料。又,將在藉連接盤所包圍的範圍所產生之顏色的變化當作對應於元件者,而抽出元件。
在步驟ST6,將上述之抽出結束的元件及抽出結果依各型號分組。使用者可將該分組的結果依各型號叫出至顯示部119並確認。
在步驟ST7,根據該分組的結果,登錄各型號的模型影像。具體而言,依序著眼於各型號,顯示屬於該型號之各元件的影像,並讓使用者從其中選擇一個以上的影像,登錄這些影像,作為模型影像。
在步驟ST8,使用所登錄之模型影像,對各型號製作並登錄元件本體之顏色或尺寸等表示元件之特徵的模型資料。
在步驟ST9,一面顯示在該模型影像所採用之元件的影像,一面受理使用者之設定操作,對各檢查區域設定檢查基準資料。此外,在本階段檢查區域的設定資料亦被編入檢查基準資料。在步驟ST10,製作對檢查基準資料與根據安裝資料之元件的各資訊附加條件的檢查程式,並將檢查程式登錄於硬碟裝置116。
然後,因應於使用者之測試檢查的開始操作,將在步驟ST2所取入之元件安裝基板的影像作為對象,使用所設定之檢查基準資料,執行測試檢查,並顯示其檢查結果(步驟ST11、12)。在根據該顯示,使用者判斷需要修正檢查基準資料而變更了設定的情況(在步驟S13是「是」),因應於該變更,修正檢查程式(步驟ST14)。
以後,亦重複進行測試檢查或顯示至使用者判定所 顯示之檢查結果是適當。判定檢查結果是適當時(在步驟S13是「否」),確定檢查程式。
第5圖表示該教導處理中之模型影像的登錄處理(步驟ST6)之設定畫面的例子,第6圖至第11圖表示在檢查基準的設定處理(步驟ST9)之設定畫面的例子。又,第12圖係顯示測試檢查之結果之畫面的例子。這些畫面係隨著處理的進行,由使用者操作切換或自動切換。
說明在各例共同的畫面構成。本例之畫面係被分割成左右,在左側的區域51顯示元件安裝基板的影像(在步驟ST2所取入之影像的一部分)。以下,將該區域51稱為「影像顯示區域51」。
在右側的區域52,被附加「檢查登錄」、「設定基準(型號)」、「設定基準(個別元件)」、「確認結果」之名稱的4張標記52a、52b、52c、52d重疊。在各標記52a~52d,設定因應於設定內容之列表或按鈕類,並因應於作業的進行,切換顯示對象的標記。以下,將顯示這些標記52a~52d的區域52稱為「標記區域52」。
顯示「檢查登錄」標記52a的畫面(參照第5圖)係用於第4圖之從步驟ST3至步驟ST7的處理。第5圖係在步驟ST7,顯示為了選擇用作模型影像之影像而顯示,在標記52a,被安裝於基板上之元件的型號列表501與列舉屬於在該列表501所選擇之型號之元件的元件列表502上下地排列。又,橫向長之小視窗50與影像顯示區域51的下部重疊,在小視窗50的內部,以橫向4行配置並顯示元件列表502所含之各元件的影像。
在小視窗50,可藉右端的捲動條500顯示後續之元件的影像。又,藉將小視窗50之上端邊50U向上拉的拖曳操作,亦可擴大視窗50。又,在元件列表502或小視窗50,藉亮度高的顏色識別性地顯示顯示於影像顯示區域51的中央部之元件的資訊。
在本實施例的元件,設定2種識別碼(元件編號及電路記號)。在元件列表502或小視窗50內的各格子,與這些識別碼一起設置檢查盒(無符號)。使用者在元件列表502及小視窗50之任一者進行選擇檢查盒或排出選擇的操作時,另一對應的檢查盒亦成為相同之狀態。使用者係藉對該檢查盒的操作,選擇在模型資料之製作所使用的影像。在模型的基板,亦因為如從小視窗50內之右開始第2個例子所示,有欠缺元件之位置、或安裝狀態不佳的元件,所以使用者係一面確認影像之顯示,一面選擇一個以上之安裝狀態良好的元件。
元件之選擇結束,並操作設置於元件列表502之下方的確定按鈕503時,登錄所選擇之元件的影像,作為在以後之設定所使用的模型影像。又,使用這些模型影像,藉前面之步驟ST8的處理,製作元件或元件之電極尺寸等與元件本體相關之檢查所需的模型資料。
對各型號之模型影像的登錄結束時,如第6圖所示,標記區域52的顯示係被切換成表示「設定基準(型號)」之標記52b的狀態。藉該切換,成為按照型號單位設定檢查基準的畫面顯示,在標記區域52,除了型號列表511以外,還顯示元件構成列表512及檢查基準列表513。
在元件構成列表512(「視窗構成」之欄),將在型號列表511對應於選擇中之型號的元件並成為檢查對象的部位與各個的關係一起表示。
在檢查基準列表513,將可對在元件構成列表512所選擇的部位實施之檢查項目的一覽與檢查盒(無符號)一起顯示。這些檢查項目係對應於使用上述之填角的高度資料所求得之參數的類別。此外,檢查項目之欄中「接合沾黏角度」係包含其下之「連接盤沾黏」與「電極沾黏」的項目。「填角接合寬度」亦一樣,係包含其下之「端部接合寬度」與「側接合寬度」的項目。
在檢查項目的一覽設置「設定值」之欄,顯示用以判定在檢查所求得之參數之好壞的數值範圍。在數值範圍之上限值及下限值,最初設定預設值,但是其中一個(圖中附加網點圖案的數值)係被設定成可變更之狀態。另一數值亦藉按下操作,一樣地成為可變更值之狀態。
檢查盒之選擇狀態亦成為預設值的設定。
在影像顯示區域51,顯示以對選擇中之元件模型作為模型影像所登錄的元件之一為中心的影像並以粗框表示與在元件構成列表512所選擇之部位對應的檢查區域F1、F2。
使用者係一面參照該影像或型號列表511之元件種類等,一面判斷檢查所需之檢查項目,並變更檢查盒的選擇狀態。又,判斷是否對所選擇之檢查項目的設定值是適當,並因應於需要變更數值。
使用者將滑鼠游標對準檢查項目的項目名稱之一並 進行按下操作時,如第7圖~第11圖所示,在標記區域52的左側(影像顯示區域51的下部)出現小視窗53,表示關於所操作之項目的參考圖。該參考圖係藉檢查對象之填角的模式圖K1~K4,表示在選擇顯示中之檢查項目所測量之參數的概念。
具體而言,在各模式圖K1~K4,分成綠色與紅色,表示與各自對應之參數可取得的數值對應之範圍的線規Z1~Z4(在圖示上,將綠色取代成斜線的圖案G,將紅色取代成沿著線規之寬度的線圖案R)。綠色之範圍意指藉在檢查基準列表513現在所設定之上限值及下限值所表示的數值範圍(被判定良之數值範圍),紅色意指超出良之數值範圍的範圍(被判定不良之數值範圍)。變更檢查基準列表513的數值時,因應於該變更,圖中之線規K內之綠或紅之範圍亦變動。
各模式圖K1~K4成為表示在易識別判定對象之參數的位置切斷焊料填角及元件之一部分之狀態的剖面圖。例如,在第7圖的模式圖K1,使用沿著元件本體之長邊(填角之長度方向)的剖面圖,表示對連接盤之焊料的沾黏角度(連接盤沾黏角度)。在第8圖的模式圖K2,藉沿著元件本體之短邊切斷填角之元件本體的附近位置之狀態的剖面圖,表示沾黏***高度。在第9圖的模式圖K3,藉沿著元件本體之短邊切斷接近填角之端邊的位置之狀態的剖面圖,表示填角之端邊附近之焊料的寬度(端部接合寬度)。在第10圖的模式圖K4,藉沿著長邊切斷接近元件本體之長邊的位置之狀態的剖面圖,表示與長邊側之面接 觸之焊料的寬度(側接合寬度)。
在這些模式圖K1~K4所表示的狀態,使用者變更對應於模式圖之選擇項目的設定值時,因應於該變更,在圖中之線規G1~G4之綠與紅的顏色區分亦變化。
依此方式,因為與藉測量所求得之參數的概念或良判定之範圍一起以模式表示在各檢查項目成為測量之對象的位置,所以即使不知道檢查項目之內容的使用者,亦可易於理解其內容。
使用者係藉檢查基準列表513內之檢查盒的選擇與設定值的輸入,指定所執行之檢查項目與在該檢查所使用之好壞判定的基準值。檢查盒成為選擇狀態的檢查項目成為有效,與所設定之基準值一起被編入檢查程式。仍然被維持預設值之設定的檢查項目,亦藉使用者認定該設定,並當作已選擇或輸入者。
第11圖表示設定元件檢查用之檢查基準的情況之畫面的例子。在此情況之檢查基準列表513,與用以選擇的檢查盒或設定值一起顯示元件檢查用之檢查項目。使用者係選擇要實施的檢查項目,而且因應於需要,變更「設定值」之欄的上限值或下限值。
雖省略圖示,在元件檢查之設定的情況,亦藉按下檢查項目之名稱的操作,將表示在該檢查項目所處理之參數之概念的參考圖顯示於影像顯示區域51內。
此外,在元件檢查,在「設定值」之欄所示的數值範圍係未限定為良判定之範圍,根據檢查項目有表示不良判定之範圍的情況。例如在最上面的「缺元件」,在 檢查區域測量與模型資料所表示之元件的顏色不一致之位置之面積的比例,在其測量值包含於「設定值」之欄的數值範圍的情況,判定是「缺元件」(無元件之狀態)。
在第6圖~第11圖,都表示選擇「設定基準(型號)」的標記52b,並按照型號之單位設定檢查基準的例子,但是亦可選擇「設定基準(個別元件)」的標記52c。對各個元件設定添加該元件之安裝狀態或周圍環境的檢查基準。又,雖未圖示,在將連接複數片同一構成之單片基板所構成的基板作為教導對象的情況,亦可對每一單片基板設定檢查基準。
在最後之第12圖的例子,在標記區域52選擇「確認結果」之標記52d。該標記52d係用以指定測試檢查之執行或顯示檢查結果,用以指示測試檢查之執行的按鈕520設置於上端部,在其下,2種列表521、522上下地排列。
在根據第6圖~第11圖所示的畫面設定檢查基準後操作按鈕520時,藉第4圖的步驟ST10製作檢查程式,接著,執行步驟ST11的測試檢查,並將檢查結果顯示於列表521、522內。
在上方的列表521,藉條形圖顯示各型號之不良的個數,在下方的列表522,關於在上面的列表521所選擇之型號,與具體之不良的內容一起顯示被判定不良之元件的資訊。此外,在該列表522,必要時可亦顯示被判定良之元件的資訊。
在左側之影像顯示區域51,顯示構成與第5圖之例子 相同的小視窗50,在其內部,顯示在列表522所顯示之元件的影像。
在列表522的下方,設置用以指定檢查基準之再設定的按鈕523。使用者係以目視比較列表522內之檢查結果與小視窗50內之影像,並判斷是否是對各元件之檢查結果是適當,在判斷不適當的情況,對按鈕523進行按下操作。藉此,標記區域52係回到用以設定檢查基準的顯示(參照第6圖~第11圖),受理檢查基準之變更操作。
如上述所示,在本實施例的基板檢查裝置100,採用藉求得具體表示填角的形狀之數值參數的方法進行焊料檢查,因為作成藉選擇測量之參數(檢查項目)的操作、與對所選擇之參數設定判定用之基準值(第6圖等之檢查基準列表513之「設定值」欄的數值)的操作,可設定檢查基準,所以使用者係可根據填角之具體的形狀,易於決定基準。又,可使用在所執行的檢查項目所得之參數的值,明確地表示基板的品質。
此外,在實施例的基板檢查裝置100,藉由以第2圖所示的方法處理藉彩色高亮度方式之光學系統所產生的彩色影像,產生焊料的高度資料,但是未限定如此,例如亦可藉在專利文獻4所記載之光學系統,更詳細地測量填角的3維形狀。在此情況之教導處理,作為參考圖,亦可測量在模型影像之登錄時所選擇的元件,並根其測量結果,製作並顯示與藉測量所求得之參數的值一起表示填角之剖面圖的參考圖。
100‧‧‧基板檢查裝置
1‧‧‧控制處理部
2‧‧‧相機
3‧‧‧照明裝置
4‧‧‧基板工作台
51‧‧‧影像顯示區域
52‧‧‧標記區域
110‧‧‧控制部
111‧‧‧影像輸入部
112‧‧‧攝像控制部
113‧‧‧照明控制部
114‧‧‧工作台控制部
115‧‧‧記憶體
116‧‧‧硬碟裝置
117‧‧‧通信用介面
118‧‧‧操作部
119‧‧‧顯示部
513‧‧‧檢查基準列表
S‧‧‧基板
K1~K4‧‧‧參考圖
第1圖係表示基板檢查裝置之構成例的方塊圖。
第2圖係說明用以測量焊料填角之高度之原理的圖。
第3圖係表示第2圖之測量線之設定例的圖。
第4圖係表示教導處理之步驟的流程圖。
第5圖係表示用以登錄模型影像之設定畫面之例子的圖。
第6圖係表示用以設定焊料檢查之檢查基準的設定畫面之例子的圖。
第7圖係表示將參考圖顯示於檢查基準之設定畫面之狀態的圖。
第8圖係表示將參考圖顯示於檢查基準之設定畫面之狀態的圖。
第9圖係表示將參考圖顯示於檢查基準之設定畫面之狀態的圖。
第10圖係表示將參考圖顯示於檢查基準之設定畫面之狀態的圖。
第11圖係表示用以設定元件檢查之檢查基準的設定畫面之例子的圖。
第12圖係顯示測試檢查之結果的畫面之例子的圖。
51‧‧‧影像顯示區域
52‧‧‧標記區域
52a‧‧‧檢查登錄
52b‧‧‧設定基準(型號)
52c‧‧‧設定基準(個別元件)
52d‧‧‧確認結果
53‧‧‧小視窗
511‧‧‧元件型號列表
512‧‧‧元件構成列表
513‧‧‧檢查基準列表
F1‧‧‧檢查區域
F2‧‧‧檢查區域
G‧‧‧斜線的圖案
K1‧‧‧參考圖
R‧‧‧線圖案
Z1‧‧‧線規

Claims (3)

  1. 一種焊料檢查用之檢查基準登錄方法,係將成為好壞判定之基準的檢查基準資料登錄於基板檢查裝置的方法,該基板檢查裝置係在藉來自複數個方向之光的照明下拍攝已焊接複數個元件之元件安裝基板,並使用所產生之影像測量各元件之焊料填角(fillet)的3維形狀,實施根據該測量結果判定焊料填角之好壞的焊料檢查,該方法的特徵為:一面變更對象之元件,一面重複執行如下的步驟,該步驟係將檢查對象之基板上的一元件或包含複數個同種類之元件的元件群組作為對象,為了設定判定表示焊料填角之3維形狀的數值參數之是否適當的檢查基準,顯示包含列表與設定對象之元件之影像的設定畫面,受理對輸入欄之數值輸入操作的步驟,該列表係將複數種檢查項目之項目名稱與用以判定在各個檢查項目所測量之數值參數的好壞之基準值的輸入欄賦予對應;將在每次之設定畫面被輸入該基準值的檢查項目設定成在與該設定畫面對應之元件的檢查所實施之項目,而且將對該檢查項目所輸入之數值設定成好壞判定的基準值,並製作由檢查項目與基準值所組合之檢查基準資料;將所製作之檢查基準資料的集合登錄於該基板檢查裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之焊料檢查用的檢查基準登錄 方法,其中在顯示該設定畫面之狀態下,在為了參照設定畫面中之任一個檢查項目而進行選擇操作時,將藉表示對處理對象的元件之焊料的形狀的影像表示在所選擇的檢查項目所測量之參數之概念的參考圖顯示於不會與選擇中之檢查項目的顯示重疊的位置。
  3. 一種基板檢查裝置,係在藉來自複數個方向之光的照明下拍攝已焊接複數個元件之元件安裝基板,並使用所產生之影像測量各元件之焊料填角的3維形狀,實施根據該測量結果判定焊料填角之好壞的焊料檢查,該裝置的特徵為包括:顯示部,係顯示用以設定焊料檢查用之檢查基準的設定畫面;操作部,係用以對該設定畫面進行操作;操作受理手段,係一面變更對象之元件,一面重複執行如下的步驟,該步驟係將檢查對象之基板上的一元件或包含複數個同種類之元件的元件群組作為對象,將包含列表與設定對象之元件之影像的設定畫面顯示於該顯示部,受理對輸入欄之數值輸入操作的步驟,該列表係將與判定表示焊料填角之3維形狀的數值參數之是否適當的檢查相關之複數種檢查項目之項目名稱與用以判定在各個檢查項目所測量之數值參數的好壞之基準值的輸入欄賦予對應;檢查基準資料製作手段,係將在每次之設定畫面被輸入該基準值的檢查項目設定成在與該設定畫面對應之元件的檢查所實施之項目,而且將對該檢查項目 所輸入之數值設定成好壞判定的基準值,並製作由檢查項目與基準值所組合之檢查基準資料;及登錄手段,係登錄藉該檢查基準資料製作手段所製作之檢查基準資料的集合。
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