JP3275631B2 - 検査基準データ設定支援装置および方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板に実装された部品
の各検査項目毎の検査データから各検査項目の良否を判
定し、この良否判定結果に基づいて前記部品の実装状態
の良否を判定する基板検査装置、あるいは前記部品の撮
像画像に画像処理を施し、この処理画像に基づいて前記
部品の実装状態の良否を判定する基板検査装置におい
て、各検査項目の良否判定のしきい値、あるいは画像処
理のしきい値として用いられる検査基準データの設定を
支援する検査基準データ設定支援装置および方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】予め複数の検査項目を設定しておき、部
品実装基板に光を照射し、この反射光を受光して得た受
光データ等に基づいて、各検査項目の検査データを算出
し、この検査データを各検査項目毎のしきい値とそれぞ
れ比較することによって、各検査項目の良否を判定し、
この良否判定結果に基づいて部品実装基板の良否を判定
するタイプの基板検査装置や、光を照射した部品実装基
板を撮像することによって得られた部品実装基板の撮像
画像に、二値化処理等の画像処理を施し、この処理画像
に基づいて部品実装基板の良否を判定するタイプの基板
検査装置においては、検査の実施に先立って、上記の各
検査項目毎の良否を判定する際に用いるしきい値や、画
像処理を施す際に用いる二値化しきい値等のしきい値
（以下、単に検査基準データと称する）を、最適値に設
定しておく必要がある。

【０００３】上記の検査基準データの設定は、新規に基
板検査装置を導入する際や、部品実装工程において実装
プロセスの変更があった際には、必ず必要となる。

【０００４】従来検査基準データの設定作業は次のよう
にして行われていた。

【０００５】検査基準データの初期値を設定し、この検
査基準データを用いて、良品と判定されるべきサンプル
基板、および不良品と判定されるべきのサンプル基板を
基板検査装置によって検査する。

【０００６】ユーザーは基板検査装置の表示部に表示さ
れた各サンプル基板の良否判定結果を見て、この判定結
果が正しくなければ、検査基準データの該当箇所を修正
し、修正した検査基準データを用いて検査を再び行い、
基板検査装置による良否判定結果が正しくなるまで、上
記の検査基準データの修正を繰り返すというものであっ
た。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の検査基準データ設定作業においては、基板検査装置に
よるサンプル基板の判定結果が正しくない場合は、検査
基準データのどの設定値をどの程度修正すればよいのか
は、ユーザがその経験により判断しなければならないた
め、思うように検査基準データの設定を行うことができ
ず、設定完了までにかなりの時間を要するという問題点
があった。

【０００８】本発明はこのような問題点を解決するもの
であり、検査基準データの設定作業を容易に行うことが
できる検査基準データ設定支援装置および検査基準デー
タ設定支援方法を提供することを目的とするものであ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る第１の検査基準データ設定支援装置
は、基板に実装された部品の検査データを各検査項目毎
に算出し、この検査データをしきい値と比較することに
よって各検査項目毎に良否を判定し、この良否判定結果
から前記部品の実装状態の良否を判定する基板検査装置
における前記各検査項目の良否判定のしきい値として用
いられる検査基準データの設定を支援するものであっ
て、前記検査データと前記検査基準データとを各検査項
目毎に対応させて表示する表示手段と、前記検査基準デ
ータを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されて
いる検査基準データを修正する修正手段と、を具備する
ことを特徴とするものである。

【００１０】そして、本発明に係る第１の検査基準デー
タ設定支援装置の前記表示手段は、前記検査データと前
記検査基準データとを各検査項目毎に対応させて表示す
るとともに、各検査項目の良否判定結果を表示するも
の、或いは前記検査データと前記検査基準データとを各
検査項目毎に対応させてグラフ表示するものが考えられ
る。

【００１１】また本発明に係る第２の検査基準データ設
定支援装置は、基板に実装された部品の撮像画像に画像
処理を施し、この処理画像に基づいて、前記部品の実装
状態の良否を判定する基板検査装置における前記画像処
理のしきい値として用いられる検査基準データの設定を
支援するものであって、前記撮像画像および検査基準デ
ータを記憶する記憶手段と、前記記憶手段の検査基準デ
ータをしきい値として用いた画像処理を前記記憶手段の
撮像画像に画像処理する画像処理手段と、前記記憶手段
の撮像画像、検査基準データ、および前記画像処理手段
による処理画像を表示する表示手段と、前記記憶手段の
検査基準データを修正する修正手段とを具備することを
特徴とするものである。

【００１２】また上記の目的を達成するために、本発明
に係る第１の検査基準データ設定支援方法は、基板に実
装された部品の検査データを各検査項目毎に算出し、こ
の検査データをしきい値と比較することによって各検査
項目毎に良否を判定し、この良否判定結果から前記部品
の実装状態の良否を判定する基板検査方法における前記
各検査項目の良否判定のしきい値として用いられる検査
基準データの設定を支援する検査基準データ設定支援方
法であって、前記検査基準データを記憶手段に記憶する
手順と、前記検査データと前記検査基準データとを各検
査項目毎に対応させて表示手段に表示する表示手順と、
前記記憶手段に記憶されている前記検査基準データを修
正手段によって修正する修正手順とを実施することを特
徴とする方法である。

【００１３】そして、本発明に係る第１の検査基準デー
タ設定支援方法の前記表示手順は、表示手段によって前
記検査データと前記検査基準データとを各検査項目毎に
対応させて表示するとともに、各検査項目の良否判定結
果を表示するもの、或いは、表示手段によって前記検査
データと前記検査基準データとを各検査項目毎に対応さ
せてグラフ表示するものが考えられる。

【００１４】また本発明に係る第２の検査基準データ設
定支援方法は、基板に実装された部品の撮像画像に画像
処理を施し、この処理画像に基づいて、前記部品の実装
状態の良否を判定する基板検査方法における前記画像処
理のしきい値として用いられる検査基準データの設定を
支援する方法であって、記憶手段によって前記撮像画像
および検査基準データを記憶する記憶手順と、画像処理
手段によって前記記憶手段の検査基準データをしきい値
として用いた画像処理を前記記憶手段の撮像画像に施す
画像処理手順と、表示手段によって前記記憶手段の撮像
画像、検査基準データ、および前記画像処理手段による
処理画像を表示する表示手順と、修正手段によって前記
記憶手段の検査基準データを修正する修正手順とを実施
することを特徴とする方法である。

【００１５】

【作用】従って本発明に係る上記第１の検査基準データ
設定支援装置および第１の検査基準データ設定支援方法
によれば、表示手段によって、各検査項目毎に、算出さ
れた検査データと、各検査項目の良否判定のしきい値と
して用いられた検査基準データとを対応させて表示する
ことによって、部品の実装状態の良否判定結果に不具合
があったときに、修正すべき検査基準データがすぐに判
るので、検査基準データの設定作業を容易に行うことが
できる。

【００１６】また本発明に係る上記第２の検査基準デー
タ設定支援装置および第２の検査基準データ設定支援方
法によれば、撮像画像および検査基準データを記憶手段
に記憶し、画像処理手段によって前記記憶手段の検査基
準データをしきい値として用いた画像処理を前記記憶手
段の撮像画像に施し、表示手段によって前記記憶手段の
撮像画像、検査基準データ、および前記画像処理手段に
よる処理画像を表示し、表示された処理画像を見ながら
修正手段によって前記記憶手段の検査基準データを修正
することによって、修正すべき検査基準データがすぐに
判り、検査基準データの最適値を短時間で設定すること
ができので、検査基準データの設定作業を容易に行うこ
とができる。

【００１７】

【実施例】図１は本発明の第一実施例の構成を示すブロ
ック図であり、本発明の検査基準データ設定支援装置の
構成、および本発明の検査基準データ設定支援装置を用
いた基板検査装置の構成を示すものである。

【００１８】図１において、基板検査装置は、検査実行
部１、判定部２、記憶部３、入力部４、表示部５、設定
支援画面作成部６、および制御部７によって構成され、
被検査基板上の各実装部品を順次検査して各実装部品の
実装状態の良否を判定するものである。

【００１９】記憶部３は、ＲＡＭ等を有し、基板に実装
された部品の位置データと実装方向データおよびその部
品が属する部品種名から成る部品データ、並びに各部品
種の検査アルゴリズム、検査項目、形状データ、色デー
タ、および検査基準データから成る部品種データ等を記
憶する。またテスト検査モードおよび検査実行モードに
おいて、検査実行部１によって算出された各検査項目の
検査データ、判定部２による部品の各検査項目の良否判
定結果および各部品の実装状態の良否判定結果を記憶す
る。

【００２０】ここで部品種とは、形状的に同種であるた
めに同一の検査内容を有する各部品グループに対して付
される名称である。

【００２１】上記の部品データは基板タイプ毎に異なる
データであり、上記の部品種データは各基板タイプに共
通のデータである。

【００２２】検査アルゴリズムは検査実行部１によって
実装部品の各検査項目の検査データを算出し、判定部２
によってこの検査データに基づいて実装部品の各検査項
目の良否を判定し、この良否判定結果からその部品の実
装状態の良否を判定するための検査実行手順を示すプロ
グラムである。

【００２３】また検査基準データは、この検査アルゴリ
ズム中に用いられる各種のしきい値から成るデータであ
る。

【００２４】また検査項目は、その部品種に属する部品
の検査において、検査する項目を示すデータである。

【００２５】図２は上記の検査項目の一例を示す説明図
である。同図において、「○」はその部品種において設
定されている検査項目、「×」はその部品種において設
定されていない検査項目を示す。従って、例えば「Ｒ1
」という部品種に属する部品の検査においては、「電
極幅」および「電極長さ」以外の検査項目について検査
を行う。

【００２６】図３は検査項目中の検査データの一例とし
てハンダ幅、ハンダ長さ、銅箔面積を示す説明図であ
る。同図は基板に実装された部品１１を上方から見た図
であり、１２はハンダ部分を示す。また１３は基板の銅
箔のランド部分を示し、ランド部分１３の斜線部は銅箔
の露出部分を示す。

【００２７】図３において、１４はハンダ幅、１５はハ
ンダ長さであり、斜線部の面積が銅箔面積である。

【００２８】検査実行部１は、基板ステージ（図示せ
ず）等を有し、制御部７の命令に従って、上記の検査ア
ルゴリズムに基づいて、基板の各実装部品において、そ
の実装部品の各検査項目の検査データを算出する。

【００２９】判定部２は、制御部７の命令に従って、上
記の検査アルゴリズムに基づいて、検査実行部１によっ
て算出された部品の各検査項目の検査データを、しきい
値となる上記の検査基準データと比較することによっ
て、各検査項目の良否を判定し、この判定結果からその
部品の実装状態の良否を判定するものである。

【００３０】設定支援画面作成部６は、各検査項目の良
否判定のしきい値として用いられる検査基準データと、
検査実行部１による検査データとを検査項目毎に対応さ
せて表示するとともに、各検査項目の良否判定結果を表
示し、検査基準データの設定を支援するための設定支援
画面を作成する。

【００３１】入力部４は、キーボード、マウス等（図示
せず）を有しており、ユーザーはこの入力部４を操作す
ることによって、検査基準データの設定作業を行い、ま
た基板検査を実行するための各種の命令やデータを入力
する。

【００３２】表示部５は、モニタ（図示せず）を有し、
制御部７からの命令に従って、設定支援画面作成部６に
よって作成される検査基準データの設定支援画面、各種
のメッセージ、基板の検査結果等を表示する。

【００３３】制御部７は、マイクロプロセッサ等を有
し、検査実行部１、判定部２、記憶部３、表示部５、お
よび設定支援画面作成部６の動作を制御し、ユーザーに
よって入力部４から入力される各種の命令やデータに従
って、以下に示す手順で、テスト検査モードにおいてサ
ンプル基板の検査を実施し、検査基準データ設定モード
において検査基準データの設定を支援するとともに、設
定された検査基準データに基づいて、検査実行モードに
おいて部品実装基板の基板検査を実行する。

【００３４】図４は検査基準データの設定手順を示すフ
ローチャートである。

【００３５】図５は、図４のＳＴ１のサブルーチンであ
り、検査基準データの初期値入力手順を示すフローチャ
ートである。また同図は、従来の検査基準データの初期
値入力手順および修正値入力手順を示すものである。

【００３６】図６は、図４のＳＴ２のサブルーチンであ
り、基板検査装置のおけるテスト検査実行手順を示すフ
ローチャートである。

【００３７】図７は、図４のＳＴ４のサブルーチンであ
り、検査基準データ設定支援画面の表示手順および検査
基準データの修正手順を示すフローチャートである。

【００３８】図８は、表示部５のモニタ画面に表示され
る初期画面の一例を示すものである。

【００３９】図８において、「１．検査基準データ設定
Ａ」は主に検査基準データの初期値を入力する際に用い
られるモードであり、「２．検査基準データ設定Ｂ」は
主に検査基準データを修正する際に用いられるモードで
ある。また「３．テスト検査」はサンプル基板によるテ
スト検査を実行するモードであり、「４．検査実行」は
検査基準データの設定作業が完了した後、工場の基板実
装工程の検査ラインにおいて基板検査装置が稼働すると
きのモードであり、製造された部品実装基板の検査を実
行するモードである。

【００４０】図４のＳＴ１において、検査基準データの
初期値を入力する。

【００４１】すなわち図５のＳＴ１１において、ユーザ
ーは、図１に示す入力部４のキーボードあるいはマウス
を操作して、図８に示す「１．検査基準データ設定Ａ」
を選択すると、表示部５のモニタ画面には、部品種一覧
が表示される。

【００４２】ユーザーは、ＳＴ１２において、入力部４
を操作して、上記の部品種一覧から検査基準データの初
期値を入力したい部品種を選択する。

【００４３】次に表示部５のモニタ画面に選択された部
品種の検査基準データの設定画面が表示されるので、Ｓ
Ｔ１３において、入力部４のキーボードあるいはマウス
を操作して、検査基準データの初期値を入力する。尚、
実装プロセスの変更等に伴う基準データの変更の際な
ど、選択した部品種の検査基準データがすでに設定され
ている場合は、その値をそのまま初期値として用いても
よい。

【００４４】次にＳＴ１４において、入力した検査基準
データを記憶部３に記憶させ、ＳＴ１５において、他に
検査基準データの初期値を入力したい部品種があるとき
は、「ＮＯ」を入力してＳＴ１２に戻り、ＳＴ１２〜Ｓ
Ｔ１４を繰り返し、初期値を入力したい全て部品種につ
いて入力作業が終わったら、ＳＴ１５で「ＹＥＳ」を入
力し、検査基準データの初期値入力フローを終了する。

【００４５】図４に戻り、ＳＴ２において、サンプル基
板のテスト検査を実行する。

【００４６】すなわち図６のＳＴ２１において、ユーザ
ーは、入力部４のキーボードあるいはマウスを操作し
て、図８に示す「３．テスト検査」を選択すると、表示
部５のモニタ画面には、テスト検査に用いるサンプル基
板の基板タイプ名の入力画面が表示される。

【００４７】ＳＴ２２においてユーザーは、サンプル基
板の基板タイプ名を入力すると、制御部７は、記憶部３
に記憶されている、部品種データと、入力された基板タ
イプの部品データとを対応させることによって、サンプ
ル基板の基板タイプの実装部品レイアウト図を作成し、
これを表示部５のモニタ画面に表示するので、サンプル
基板に実装された部品の中で、ユーザーは、テスト検査
を行いたい部品を入力部４のマウスでクリックして指定
する。この検査部品の指定は、基板に実装された全部品
を指定しても良いし、一つだけあるいは複数でも良い。

【００４８】次にＳＴ２３においてユーザーは、図１に
示す検査実行部１の基板ステージにサンプル基板をセッ
トし、そのサンプル基板の基板ＩＤ番号を入力した後、
テスト検査の実行命令を入力すると、ＳＴ２４において
制御部７は、検査実行部１を動作させ、記憶部３に記憶
されている、部品種データと、入力された基板タイプの
部品データに基づいて、指定された部品の検査を以下の
要領で実行する。

【００４９】検査実行部１を動作させて、指定された部
品の各検査項目の検査データを算出し、判定部２を動作
させて、この検査データを、各検査項目のしきい値とし
て用いられる検査基準データと比較して、各検査項目の
良否判定を行い、この良否判定に基づいて、指定された
部品の実装状態の良否判定を行う。指定部品が複数ある
場合は、上記の要領で順次各指定部品の検査を行う。

【００５０】全ての指定部品の検査が終了したら、各検
査項目の検査データとその良否判定結果、および部品の
実装状態の良否判定結果を記憶部３に記憶するととも
に、部品の実装状態の良否判定結果を表示部５のモニタ
画面に表示させる。

【００５１】次にＳＴ２５においてユーザーは、検査実
行部１の基板ステージにセットされているサンプル基板
を搬出し、ＳＴ２６において、他にテスト検査を行いた
いサンプル基板があれば、「ＮＯ」を入力して、ＳＴ２
２に戻り、上記のＳＴ２３〜ＳＴ２５を繰り返し、全て
のサンプル基板についてテスト検査を終了したら、「Ｙ
ＥＳ」を入力して、テスト検査フローを終了する。

【００５２】図４に戻りＳＴ３において、上記のテスト
検査で、良品と判定されるべき部品が不良と判定された
り、不良と判定されるべき部品が良品と判定されたた
め、検査基準データ設定支援画面を参照して検査基準デ
ータの修正をしたい場合、あるいは部品の実装状態の良
否判定結果は所望のものであったが、検査基準データの
設定余裕度等を知るために検査基準データ設定支援画面
を見たい場合はＳＴ４に進む。

【００５３】ＳＴ４において、各検査項目のしきい値
（判定基準値）として用いられる検査基準データと、テ
スト検査によって算出された検査データとを、検査項目
毎に対応させて表示するとともに、各検査項目の良否判
定結果を表示した検査基準データ設定支援画面を表示部
５のモニタ画面に表示させ、必要があれば検査基準デー
タの設定値を修正する。

【００５４】すなわち図７のＳＴ３１においてユーザー
は、入力部４のキーボードあるいはマウスを操作して、
図８に示す「２．検査基準データ設定Ｂ」を選択する
と、表示部５のモニタ画面には、基板タイプ名、部品番
号、および基板ＩＤ番号の入力画面が表示される。ここ
で部品番号は基板に複数実装されている同一部品を識別
するために、各実装部品に付されるものであり、また基
板ＩＤ番号は同じ基板タイプの基板を識別するために各
基板に付されるものである。

【００５５】次にＳＴ３２においてユーザーは、入力部
４のキーボードあるいはマウスを操作して、検査基準デ
ータの設定値とテスト検査における検査データを比較し
たい部品に関する情報、すなわち基板タイプ名、部品番
号、および基板ＩＤ番号を入力する。

【００５６】例えば、上記のテスト検査において、基板
タイプ名「Ｂ００１」という基板タイプの、基板ＩＤ番
号が「Ｔ０００１」であるサンプル基板の、部品番号
「Ｒ０３」という、良品と判定されるべき部品が、実装
不良と判定されたため、この部品に関する検査基準デー
タの設定値と、検査データを対比させて見たい場合に
は、上記の基板タイプ名、部品番号、および基板ＩＤ番
号を入力する。

【００５７】するとＳＴ３３において制御部７は、設定
支援画面作成部６を動作させ、上記のＳＴ３２で入力さ
れた基板タイプ名および部品番号に該当する部品種の検
査基準データを記憶部３より読み出し、上記のＳＴ３２
で入力された基板タイプ名、部品番号、および基板ＩＤ
番号に該当する部品における各検査項目の検査データと
良否判定結果を記憶部３より読み出し、読み出した検査
基準データと検査データを検査項目毎に対応させて表示
するとともに、読み出した各検査項目の良否判定結果を
表示した検査基準データ設定支援画面を作成して表示部
５のモニタ画面に表示する。

【００５８】図９は、上記の検査基準データ設定支援画
面の一例を示すものである。同図に示される検査基準デ
ータは、基板タイプ「Ｂ００１」の部品「Ｒ０３」が属
する部品種「Ｒ1 」の検査基準データであり、同図に示
される検査データは、基板タイプ「Ｂ００１」および基
板ＩＤ番号「Ｔ０００１」に該当するサンプル基板の部
品「Ｒ０３」の検査データである。

【００５９】図９においては、部品「Ｒ０３」は検査項
目「ハンダ幅」において不良判定されているが、不良判
定された検査項目については、その検査項目の検査デー
タの表示欄を他のデータ表示欄と区別して表示する。例
えば「ハンダ幅」の検査データの表示欄を赤色で彩色す
る。また表示部５のモニタがモノクロである場合は白黒
反転させて表示する。

【００６０】さらに検査項目「部品横ずれ量」のよう
に、良品判定されてはいるが、検査基準データの上限値
あるいは下限値と、検査データの値が接近している場合
は、その検査項目の検査データの表示欄を他のデータ表
示欄と区別して表示する。例えば「部品横ずれ量」の検
査データの表示欄を黄色で彩色する。検査データの値が
接近しているかどうかの判定基準は、例えば検査基準デ
ータの上限値と下限値との中間値対し、８０パーセント
の範囲内に入っていれば接近していないとし、この範囲
外であれば接近しているとする。

【００６１】また図１０は、検査基準データと検査デー
タをグラフ表示した検査基準データ設定支援画面の一例
を示すものである。図９と同様に検査基準データの判定
基準値より外れている場合は、その検査項目の部分を他
の項目と区別して表示する。例えばハンダ幅の項目の欄
を赤色で彩色するあるいは斜線で示す。

【００６２】図１０において、「▽」は検査基準データ
の上限値および下限値を示し、「△」は検査データを示
している。

【００６３】尚、図９に示すような数値による表示と、
図１０に示すようなグラフによる表示とを同時に行って
も良い。

【００６４】図７に戻りＳＴ３５において、ユーザー
は、図９あるいは図１０に示すような検査基準データ設
定支援画面を見て、修正すべき検査基準データがないと
きは「ＮＯ」を入力してＳＴ３７に進み、修正すべき検
査基準データがあるときは「ＹＥＳ」を入力してＳＴ３
６に進む。

【００６５】ＳＴ３６においてユーザーは、入力部４の
キーボードあるいはマウスを操作して、検査基準データ
設定支援画面において検査基準データの設定値を修正
し、検査基準データの更新命令を入力する。この更新命
令によって制御部７は、記憶部３に記憶されている検査
基準データを修正されたものに書き換える。

【００６６】次にＳＴ３７において、他に検査基準デー
タ設定支援画面を見たい部品があれば、「ＮＯ」を入力
してＳＴ３２に戻り、ＳＴ３２〜ＳＴ３６を繰り返す。
そして検査基準データ設定支援画面を見たい全ての部品
について、設定支援画面を表示させ、必要に応じて検査
基準データを修正し終えたら、「ＹＥＳ」を入力してこ
のフローを終了する。

【００６７】尚、ＳＴ３２において、基板ＩＤ番号を入
力しなかった場合、あるいは複数入力した場合は、ＳＴ
３３において、制御部７は、設定支援画面作成部６を動
作させ、ＳＴ３２で入力された基板タイプおよび部品番
号に対応する全ての検査データ、あるいはＳＴ３２で入
力された基板タイプ、部品番号、および基板ＩＤ番号に
対応する複数の検査データを記憶部３より読み出し、読
み出した複数の検査データに対して統計処理を施し、こ
の統計処理結果を検査データとして検査基準データ設定
支援画面に表示する。

【００６８】図１１は複数の検査データを統計処理して
表示した検査基準データ設定支援画面の一例を示すもの
である。同図においては、複数の検査データの最小値、
最大値、平均値、およびサンプル数を表示し、最小値、
最大値、および平均値が不良判定されるものは、その表
示欄を他の表示欄と区別して表示してある。

【００６９】図１１に示すような検査基準データ設定支
援画面は、基板による検査データのばらつきに対する、
検査基準データの設定余裕度を知りたいときなどに活用
される。

【００７０】図４に戻りＳＴ５において、ＳＴ４で検査
基準データの修正を行った場合は、ＳＴ２に戻り、修正
された検査基準データを用いて再度テスト検査を行う。

【００７１】そしてＳＴ３あるいはＳＴ５において、検
査基準データの設定を完了したと判断したら、この検査
基準データの設定フローを終了する。

【００７２】このように本発明の第一実施例によれば、
設定支援画面作成部６によって各検査項目の良否判定の
しきい値として用いられる検査基準データと、検査実行
部１による検査データとを検査項目毎に対応させて表示
するとともに、各検査項目の良否判定結果を表示した、
検査基準データの設定を支援するための設定支援画面を
作成し、この検査基準データ設定支援画面を表示部５の
モニタ画面に表示し、入力部４のキーボードあるいはマ
ウスを操作することによって表示された検査基準データ
設定支援画面において検査基準データを修正できる構成
とすることによって、部品の実装状態の良否判定結果に
不具合があったときに、修正すべき検査基準データがす
ぐに判り、検査基準データの最適値を短時間で設定する
ことができるので、検査基準データの設定作業を容易に
行うことができる。

【００７３】次に本発明の第二実施例について説明す
る。

【００７４】図１２は本発明の第二実施例の構成を示す
ブロック図であり、本発明の検査基準データ設定支援装
置の構成、および本発明の検査基準データ設定支援装置
を用いた基板検査装置の構成を示すものである。

【００７５】図１２において、基板検査装置は、赤色、
緑色、青色の三色光を異なる仰角から基板の部品実装部
位に照射し、この部品実装部位を撮像することによって
得られたカラー画像に基づいて部品の実装状態の良否判
定を行うものであり、投光部２１、撮像部２２、ステー
ジ部２３、画像処理部２４、記憶部２５、入力部２６、
表示部２７、設定支援画面作成部２８、および制御部２
９によって構成される。また本発明の検査実行データ出
力装置は、記憶部２５、入力部２６、表示部２７、設定
支援画面作成部２８、および制御部２９によって構成さ
れる。

【００７６】投光部２１は、赤色光源、緑色光源、青色
光源の三個のリング状光源を有し、これら三色光を基板
の部品実装部位に異なる仰角から照射する。これら三色
光源は、基板面において混色されると完全な白色光が得
られる対波長発光エネルギー分布を有している。

【００７７】図１３は投光部２１の構成図である。同図
において、赤色光源３１、緑色光源３２、青色光源３３
の各リング状光源は、その中心が撮像部２２の撮像中心
軸３４と一致するように同心円上に設置され、かつリン
グ半径ｒ1 、ｒ2 、ｒ3 を違え、基板面３５からの高さ
ｈ1 、ｈ2 、ｈ3 を違えることによって、撮像中心軸３
４と基板面３５が交わる点Ａからの仰角が、異なる角度
θ1 、θ2 、θ3 となるように設置されている。ここで
θ1 ＞θ2 ＞θ3 である。

【００７８】撮像部２２はＣＣＤカメラ等のカラーテレ
ビカメラであり、制御部２９からの命令に従って、基板
の部品実装部位からの反射光像を撮像し、このカラー画
像信号を画像処理部２４に送る。

【００７９】テーブル部２３は、制御部２９からの命令
に従って、取り付けられた投光部１および撮像部２をＸ
方向に移動させるＸ軸テーブル（図示せず）と、被検査
基板がセットされる基板ステージ（図示せず）を有し、
制御部２９からの命令に従って、この被検査基板をＹ方
向に移動させるＹ軸テーブル（図示せず）によって構成
される。

【００８０】画像処理部２４は、制御部２９からの命令
に従って、撮像部２２より入力されるアナログカラー画
像信号をディジタルカラー画像データにＡ／Ｄ変換し、
このディジタルカラー画像に対して、二値化処理等の画
像処理を施し、この処理画像から各部品の検査データを
算出する。

【００８１】記憶部２５は、ＲＡＭ等から成る画像メモ
リおよびデータメモリを有し、実装部品の位置データと
実装方向データおよびその部品が属する部品種名から成
る部品データ、並びに各部品種の検査アルゴリズム、検
査項目、形状データ、色データ、および検査基準データ
から成る部品種データ等を記憶する。また画像処理部２
４によるディジタル画像データ、処理画像データ、検査
データ等を記憶する。また各部品の実装状態の良否判定
結果等を記憶する。

【００８２】検査アルゴリズムは、部品実装部位の撮像
画像に二値化処理等の画像処理を施すことによって各検
査項目の検査データを算出し、この検査データから各検
査項目の良否を判定し、この良否判定結果から部品の実
装状態の良否を判定するための検査実行手順を示すプロ
グラムである。

【００８３】また検査基準データは、この検査アルゴリ
ズム中において画像処理や各検査項目の良否判定を行う
際に用いられる各種のしきい値から成るデータである。

【００８４】表示部２７は、モニタ（図示せず）を有
し、制御部２９からの命令に従って、設定支援画面作成
部２８によって作成される検査基準データ設定支援画
面、各種のメッセージ、基板の検査結果等を表示する。

【００８５】設定支援画面作成部２８は、撮像部２２に
よるディジタル撮像画像と画像処理部２４による二値化
処理画像とを対応させて表示するとともに、二値化しき
い値として用いられた検査基準データを表示した検査基
準データ設定支援画面を作成する。

【００８６】制御部２９は、マイクロプロセッサ等を有
し、投光部２１、撮像部２２、テーブル部２３、画像処
理部２４、記憶部２５、表示部２７、および設定支援画
面作成部２８の動作を制御し、ユーザーによって入力部
２６から入力される各種の命令やデータに従って、以下
に示す手順で、検査基準データ設定モードにおいて検査
基準データの設定支援を行い、また検査実行モードにお
いて設定された検査基準データに基づいて部品実装基板
の基板検査を実行する。

【００８７】本基板検査装置には、「検査基準データ設
定Ａ」、「検査基準データ設定Ｃ」および「検査実行」
の各動作モードが用意されている。「検査基準データ設
定Ａ」は主に検査基準データの初期値を入力する際に用
いられるモードであり、「検査基準データ設定Ｃ」は主
に撮像画像の二値化処理における二値化しきい値として
用いられる検査基準データを修正する際に用いられるモ
ードである。また「検査実行」は検査基準データの設定
作業が完了した後、工場の基板実装工程の検査ラインに
おいて基板検査装置が稼働するときのモードであり、製
造された部品実装基板の検査を実行するモードである。

【００８８】最初に本基板検査装置の検査実行手順につ
いて説明する。

【００８９】図１４は本基板検査装置の検査実行手順を
示すフローチャートである。

【００９０】図１４のＳＴ４１においてユーザーは、入
力部２６のキーボードあるいはマウスを操作して、表示
部２７のモニタ画面に表示されている初期画面におい
て、検査実行モードを選択すると、表示部２７のモニタ
画面には、被検査基板の基板タイプ名の入力画面が表示
される。

【００９１】ＳＴ４２において、基板タイプ名を入力
し、ＳＴ４３において、テーブル部２３の基板ステージ
に被検査基板をセットし、その被検査基板の基板ＩＤ番
号を入力した後、テスト検査の実行命令を入力する。

【００９２】するとサンプルＳＴ４４において、制御部
２９は、投光部２１、撮像部２２、テーブル部２３、画
像処理部２４を動作させて、セットされた基板の検査を
以下の要領で実行する。

【００９３】テーブル部２３によって基板の部品実装部
位を撮像部２２の撮像位置に移動させ、投光部２１によ
って三色光を照射し、この部品実装部位からの反射光像
を撮像部２２によって撮像し、このアナログカラー画像
信号を画像処理部２４に送る。

【００９４】部品実装部位のハンダ表面は鏡面反射特性
を有し、また三次元曲面形状を有するので、基板面に対
して傾斜を有する各曲面要素は、斜め方向より入射した
各有色光を、入射角に応じた方向に反射させ、この反射
方向が撮像部２２の撮像中心軸の方向（基板に対して垂
直方向）と一致する曲面要素は、反射光像の撮像画像に
おいて、対応する有色光源色に彩色されるので、前記撮
像画像において、ハンダ面の、平坦部に近い傾斜を有す
る曲面要素は赤色に彩色され、傾斜が急な曲面要素は青
色に彩色され、これらの中間の傾斜を有する曲面要素は
緑色に彩色される。すなわちハンダ面は三次元曲面形状
に応じて各有色光源色に分離彩色される。

【００９５】また実装部品、銅箔のランド部分、基板の
レジスト部等の乱反射特性を有する部分はそれぞれの有
する色に彩色される。

【００９６】図１５は撮像部２２による部品実装部位の
カラー画像の一例を示すものである。

【００９７】図１５の断面図および上面図において、４
１および４２はハンダ面、４３は実装部品、４４は実装
部品４３の電極、４５は基板のレジスト部、４６は銅箔
のランド部である。

【００９８】カラー画像において、４７、４８、４９は
ハンダ面４１の彩色部分を示し、４７は赤色に彩色され
たほぼ平坦な部分、４８は緑色に彩色された部分、４９
は青色に彩色された傾斜が急な部分である。また５０は
部品色に彩色された部分、５１はレジスト色に彩色され
た部分である。尚実装部品および基板レジスト部の各図
においては、ハンダ面４２の彩色は省略してある。

【００９９】画像処理部２４において、撮像部２２より
入力されたアナログカラー画像信号をディジタルカラー
画像データにＡ／Ｄ変換し、このディジタルカラー画像
に二値化処理等の画像処理を施し、この処理画像に基づ
いて検査データを算出する。

【０１００】例えば、銅箔面積の検査データを算出する
場合は、検査基準データ中の銅箔色すなわち赤茶色の二
値化しきい値を用いて、前記ディジタルカラー画像に対
して、赤茶色のデータレベルが前記しきい値以上の画素
にビットを立てる二値化処理を施し、この銅箔色領域の
二値化処理画像データにおいて立ったビット数を数える
ことによって銅箔面積の検査データを算出する。

【０１０１】またハンダに関する検査データを算出する
場合は、検査基準データ中の赤色、緑色、あるいは青色
の二値化しきい値を用いて、前記ディジタルカラー画像
に対して、赤色、緑色、あるいは青色のデータレベルが
前記しきい値以上の画素にビットを立てる二値化処理を
施し、この赤色、緑色、あるいは青色領域の二値化画像
データに基づいて、ハンダに関する検査データを算出す
る。

【０１０２】画像処理部２４によって算出された検査デ
ータは制御部２９に送られ、制御部２９はこの検査デー
タから部品の実装状態の良否を判定する。そして基板上
の全ての実装部品について良否判定が終了したら、この
良否判定結果を記憶部２５に記憶するとともに、表示部
２７のモニタ画面に表示する。

【０１０３】図１４に戻りＳＴ４５において、ユーザー
は、テーブル部２３の基板ステージにセットされている
基板を搬出し、ＳＴ４６において、他に検査を行いたい
基板があるときは、「ＮＯ」を入力して、ＳＴ４３に戻
り、上記のＳＴ４３、ＳＴ４４を繰り返して検査を行
い、全ての被検査基板について検査を終了したら、「Ｙ
ＥＳ」を入力して検査実行フローを終了する。

【０１０４】次に画像処理部２４において撮像画像の二
値化処理を行う際に、二値化しきい値として用いられる
検査基準データの設定手順について説明する。

【０１０５】図１６は上記の検査基準データの設定手順
を示すフローチャートである。

【０１０６】図１７は、図１６のＳＴ２のサブルーチン
であり、検査基準データ設定支援画面の表示手順および
検査基準データの修正手順を示すフローチャートであ
る。

【０１０７】図１６のＳＴ５１において、ユーザーは、
図５に示す手順にしたがって二値化しきい値として用い
られる検査基準データの初期値を入力する。

【０１０８】次にＳＴ５２において、サンプル基板の所
望の領域の撮像画像を取り込み、この撮像画像に二値化
処理を施し、この撮像画像と二値化処理画像とを対応さ
せて表示するとともに、二値化しきい値として用いられ
た検査基準データを表示した検査基準データ設定支援画
面を表示部２７のモニタ画面に表示させ、必要があれば
検査基準データの設定値を修正する。

【０１０９】すなわち図１７のＳＴ６１においてユーザ
ーは、入力部２６のキーボードあるいはマウスを操作し
て、表示部２７のモニタ画面に表示されている初期画面
において、検査基準データ設定モードＣを選択すると、
表示部２７のモニタ画面には、サンプル基板の基板タイ
プ名の入力画面が表示される。ＳＴ６２においてユーザ
ーは、サンプル基板の基板タイプ名を入力して、サンプ
ル基板をテーブル部２３の基板ステージにセットし、Ｓ
Ｔ６３において、撮像命令を入力して撮像部２２による
サンプル基板の撮像画像が表示部２７のモニタ画面に映
し出されるようにし、このモニタ画面を見ながら、入力
部２６のキーボードあるいはマウスを操作して、テーブ
ル部２３を移動させ、撮像部２２の撮像倍率を変化させ
て、二値化処理画像を見たい部品を含む領域の画像が表
示部２７のモニタ画面に表示されるようにして、撮像画
像の記憶命令を入力する。

【０１１０】すると制御部２９は、表示部２７のモニタ
画面に映し出されている撮像画像を取り込む。すなわち
撮像部２２より入力される画像信号を画像処理部２４で
Ａ／Ｄ変換し、このディジタル撮像画像データを記憶部
２５に記憶する。

【０１１１】次にＳＴ６４においてユーザーは、入力部
２６のキーボードあるいはマウスを操作して、二値化処
理画像を見たい部品の部品種名を入力する。

【０１１２】するとＳＴ６５において、指定された部品
種の検査において実施される二値化処理の一覧が表示部
２７のモニタ画面に表示されるので、ユーザーはその処
理画像を見たい二値化処理を選択する。例えば赤色領域
の二値化処理と青色領域の二値化処理を選択する。

【０１１３】尚、上記のＳＴ６４およびＳＴ６５におい
ては、二値化処理画像を見たい部品の部品名をユーザー
が入力すると、この部品名とＳＴ６２で入力された基板
タイプ名に該当する部品種の二値化処理の一覧が表示さ
れるようにしても良い。

【０１１４】次にＳＴ６６において制御部２９は、撮像
部２２および画像処理部２４を動作させて、ＳＴ６３で
撮像部２２によって取り込んだ撮像画像に、ＳＴ６５で
選択された二値化処理を施し、この二値化処理画像デー
タのビットの立った領域をその二値化処理に対応した色
で彩色した、モニタ表示用の二値化処理画像を作成し、
複数の二値化処理が選択されている場合は各二値化処理
画像を合成する。この撮像画像と二値化処理画像は設定
支援画面作成部２８に送られる。

【０１１５】続いて制御部２９は、設定支援画面作成部
２８を動作させ、撮像部２２より入力された撮像画像と
二値化処理画像とを対応させて表示するとともに、二値
化しきい値として用いられた検査基準データを表示した
検査基準データ設定支援画面を作成し、これを表示部２
７のモニタ画面に表示する。

【０１１６】図１８は、上記の検査基準データ設定支援
画面の一例を示すものである。

【０１１７】図１８において、６１は基板に実装された
部品、６２は実装部品６１の電極、６３はハンダ部であ
り、６４は撮像領域すなわち記憶部２５に取り込まれる
画像領域である。

【０１１８】また６５は検査基準データ設定支援画面、
６６は撮像画像、６７は二値化画像を示し、６８はハン
ダ部６３の赤色に彩色された領域、６９は緑色に彩色さ
れた領域、７０は青色に彩色された領域を示す。この撮
像画像６６、二値化画像６７は入力部２６のマウスを操
作することによって、拡大あるいは縮小する等の操作を
行うことができる。

【０１１９】設定支援画面６５においては、赤色、緑
色、および青色の二値化処理が選択されている。

【０１２０】従って、基準データ設定値表示領域７１に
は赤色、緑色、および青色の二値化しきい値として使用
される各検査基準データの設定値が「▽」マークによっ
て表示されている。

【０１２１】また二値化画像６７において、７２は赤色
領域の二値化処理でビットが立った赤色二値化領域、７
３は緑色領域の二値化処理でビットが立った緑色二値化
領域、７４は青色領域の二値化処理でビットが立った青
色二値化領域をそれぞれ示し、赤色二値化領域７２は赤
色に、緑色二値化領域７３は緑色に、青色二値化領域７
４は青色にそれぞれ彩色されている。

【０１２２】尚、画面領域７５には、この検査基準デー
タの部品種、制御部２９からのメッセージ、および各種
コマンドキーが表示されている。ユーザーはこのコマン
ドキーによって、撮像画像６６、二値化画像６７の拡
大、縮小等の操作を行うことができる。

【０１２３】図１７に戻りＳＴ６７においてユーザー
は、図１８に示すような検査基準データ設定支援画面を
見て検査基準データの修正が必要か否かを判断し、修正
すべき検査基準データがあるときは「ＹＥＳ」を入力し
てＳＴ６８に進む。

【０１２４】ＳＴ６８においてユーザーは、入力部４の
キーボードあるいはマウスを用いて、検査基準データ設
定支援画面において検査基準データの設定値を修正し、
検査基準データの更新命令を入力する。この更新命令に
よって、制御部２９は、記憶部３に記憶されている検査
基準データを修正されたものに書き換える。

【０１２５】例えば図１８においては、検査基準データ
の設定値を示すマーク「▽」をマウスでクリックして移
動することによって設定値を修正する。

【０１２６】そしてＳＴ６６に戻り、ＳＴ６６において
制御部２９は、修正された検査基準データによって新た
に作成された検査基準データ設定支援画面を表示させ
る。

【０１２７】ＳＴ６６〜ＳＴ６８を繰り返し、ＳＴ６７
においてユーザーは、修正すべき検査基準データがない
と判断したら、「ＮＯ」を入力してＳＴ６９に進む。

【０１２８】ＳＴ６９において、他に検査基準データ設
定支援画面を見たい部品があれば、「ＮＯ」を入力して
ＳＴ２２に戻り、ＳＴ６２〜ＳＴ６８を繰り返す。

【０１２９】現在記憶部２７に取り込まれている撮像画
像の別の色領域の二値化処理画像を見たい場合は、ＳＴ
６１、ＳＴ６２を行わず、ＳＴ６３からスタートする。
また現在セットされているサンプル基板上の、上記の撮
像画像に撮像されていない領域の二値化処理画像を見た
い場合は、ＳＴ６１を行わず、ＳＴ６２からスタートす
る。また別のサンプル基板の二値化処理画像を見たい場
合は、ＳＴ６１からスタートする。

【０１３０】そして検査基準データ設定支援画面を見た
い全ての部品種あるいは部品について、設定支援画面を
表示させ、必要に応じて検査基準データを修正し終えた
ら、「ＹＥＳ」を入力してこのフローを終了する。

【０１３１】尚、表示部のモニタがモノクロである場合
は、図１８の赤色二値化領域７２、緑色二値化領域７
３、青色二値化領域７４のような各二値化領域は、それ
ぞれその輝度を変えることによって他の領域と区別して
表示される。

【０１３２】また撮像画像がモノクロ画像である基板検
査装置においては、画像の輝度レベルによる二値化処理
が行われ、検査基準データ設定支援画面にはモノクロ撮
像画像と、前記二値化処理によってビットの立った領域
を示した二値化処理画像とが表示され、輝度レベルの二
値化しきい値として用いられた検査基準データの設定値
が表示される。

【０１３３】このように上記の第二実施例によれば、撮
像部２２によるディジタル撮像画像、および二値化しき
い値として用いられる検査基準データを記憶部２５に記
憶し、画像処理部２４によって前記検査基準データをし
きい値として用いた二値化処理を前記ディジタル撮像画
像に施し、設定支援画面作成部２８によって、前記ディ
ジタル撮像画像と画像処理部２４による二値化処理画像
とを対応させて表示するとともに、二値化しきい値とし
て用いられた検査基準データを表示した検査基準データ
設定支援画面を作成し、この検査基準データ設定支援画
面を表示部２７のモニタ画面に表示し、表示された検査
基準データ設定支援画面を見ながら、入力部２６のキー
ボードあるいはマウスを操作して検査基準データを修正
することができる構成とすることによって、修正すべき
検査基準データがすぐに判り、検査基準データの最適値
を短時間で設定することができので、検査基準データの
設定作業を容易に行うことができる。

【０１３４】尚、第一実施例での検査基準データの設定
および修正を、第二実施例での装置に行わせることも勿
論可能である

【０１３５】

【発明の効果】本発明は上記の実施例から明らかなよう
に、各検査項目毎の検査データから各検査項目の良否を
判定し、この良否判定結果に基づいて前記部品の実装状
態の良否を判定して基板検査を行うものについては、表
示手段によって各検査項目毎に、算出された検査データ
と、各検査項目の良否判定のしきい値として用いられた
検査基準データとを対応させて表示することによって、
部品の実装状態の良否判定結果に不具合があったとき
に、修正すべき検査基準データがすぐに判るので、検査
基準データの設定作業を容易に行うことができる。

【０１３６】また撮像画像に画像処理を施し、この処理
画像に基づいて前記部品の実装状態の良否を判定して基
板検査を行うものについては、表示手段によって記憶手
段に記憶された撮像画像、検査基準データ、および画像
処理手段による処理画像を表示し、表示された処理画像
を見ながら修正手段によって前記検査基準データを修正
することによって、修正すべき検査基準データがすぐに
判り、検査基準データの最適値を短時間で設定すること
ができるので、検査基準データの設定作業を容易に行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施例の構成を示すブロック図であり、本
発明の検査基準データ設定支援装置の構成、および本発
明の検査基準データ設定支援装置を用いた基板検査装置
の構成を示すものである。

【図２】検査項目の一例を示す説明図である。

【図３】検査項目中のハンダ幅、ハンダ長さ、銅箔面積
を示す説明図である。

【図４】第一実施例における検査基準データの設定手順
を示すフローチャートである。

【図５】図４のＳＴ１のサブルーチンであり、検査基準
データの初期値入力手順を示すフローチャートである。

【図６】図４のＳＴ２のサブルーチンであり、基板検査
装置によるテスト検査実行手順を示すフローチャートで
ある。

【図７】図４のＳＴ４のサブルーチンであり、検査基準
データ設定支援画面の表示手順および検査基準データの
修正手順を示すフローチャートである。

【図８】第一実施例における基板検査装置の初期画面の
一例を示すものである。

【図９】第一実施例における検査基準データ設定支援画
面の一例を示すものである。

【図１０】第一実施例における検査基準データ設定支援
画面の一例を示すものであり、検査基準データと検査デ
ータをグラフ表示した例を示すものである。

【図１１】第一実施例における検査基準データ設定支援
画面の一例を示すものであり、複数の検査データを統計
処理して表示した例を示すものである。

【図１２】第二実施例の構成を示すブロック図であり、
本発明の検査基準データ設定支援装置の構成、および本
発明の検査基準データ設定支援装置を用いた基板検査装
置の構成を示すものである。

【図１３】第二実施例における基板検査装置の投光部の
構成図である。

【図１４】第二実施例における基板検査装置の検査実行
手順を示すフローチャートである。

【図１５】第二実施例における基板検査装置の撮像部に
よる部品実装部位のカラー画像の一例を示すものであ
る。

【図１６】第二実施例における検査基準データの設定手
順を示すフローチャートである。

【図１７】図１６のＳＴ２のサブルーチンであり、検査
基準データ設定支援画面の表示手順および検査基準デー
タの修正手順を示すフローチャートである。

【図１８】第二実施例における検査基準データ設定支援
画面の一例を示すものである。

【符号の説明】

１ 検査実行部 ２ 判定部 ３、２５ 記憶部 ４、２６ 入力部 ５、２７ 表示部 ６、２８ 設定支援画面作成部 ７、２９ 制御部

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に実装された部品の検査データを各
   検査項目毎に算出し、この検査データをしきい値と比較
   することによって各検査項目毎に良否を判定し、この良
   否判定結果から前記部品の実装状態の良否を判定する基
   板検査装置における前記各検査項目の良否判定のしきい
   値として用いられる検査基準データの設定を支援する検
   査基準データ設定支援装置であって、 前記検査データと前記検査基準データとを各検査項目毎
   に対応させて表示する表示手段と、 前記検査基準データを記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されている検査基準データを修正す
   る修正手段と、 を具備することを特徴とする検査基準データ設定支援装
   置。
2. 【請求項２】 前記表示手段は、前記検査データと前記
   検査基準データとを各検査項目毎に対応させて表示する
   とともに、各検査項目の良否判定結果を表示するもので
   あることを特徴とする請求項１記載の検査基準データ設
   定支援装置。
3. 【請求項３】 前記表示手段は、前記検査データと前記
   検査基準データとを各検査項目毎に対応させてグラフ表
   示するものであることを特徴とする請求項１記載の検査
   基準データ設定支援装置。
4. 【請求項４】 基板に実装された部品の撮像画像に画像
   処理を施し、この処理画像に基づいて、前記部品の実装
   状態の良否を判定する基板検査装置における前記画像処
   理のしきい値として用いられる検査基準データの設定を
   支援する検査基準データ設定支援装置であって、 前記撮像画像および検査基準データを記憶する記憶手段
   と、 前記記憶手段の検査基準データをしきい値として用いた
   画像処理を前記記憶手段の撮像画像に施す画像処理手段
   と、 前記記憶手段の撮像画像、検査基準データ、および前記
   画像処理手段による処理画像を表示する表示手段と、 前記記憶手段の検査基準データを修正する修正手段とを
   具備することを特徴とする検査基準データ設定支援装
   置。
5. 【請求項５】 基板に実装された部品の検査データを各
   検査項目毎に算出し、この検査データをしきい値と比較
   することによって各検査項目毎に良否を判定し、この良
   否判定結果から前記部品の実装状態の良否を判定する基
   板検査方法における前記各検査項目の良否判定のしきい
   値として用いられる検査基準データの設定を支援する検
   査基準データ設定支援方法であって、 前記検査基準データを記憶手段に記憶する手順と、 前記検査データと前記検査基準データとを各検査項目毎
   に対応させて表示手段に表示する表示手順と、 前記記憶手段に記憶されている前記検査基準データを修
   正手段によって修正する修正手順と、 を実施することを特徴とする検査基準データ設定支援方
   法。
6. 【請求項６】 前記表示手順は、表示手段によって前記
   検査データと前記検査基準データとを各検査項目毎に対
   応させて表示するとともに、各検査項目の良否判定結果
   を表示するものであることを特徴とする請求項５記載の
   検査基準データ設定支援方法。
7. 【請求項７】 前記表示手順は、表示手段によって前記
   検査データと前記検査基準データとを各検査項目毎に対
   応させてグラフ表示するものであることを特徴とする請
   求項５記載の検査基準データ設定支援方法。
8. 【請求項８】 基板に実装された部品の撮像画像に画像
   処理を施し、この処理画像に基づいて、前記部品の実装
   状態の良否を判定する基板検査方法における前記画像処
   理のしきい値として用いられる検査基準データの設定を
   支援する検査基準データ設定支援方法であって、 記憶手段によって前記撮像画像および検査基準データを
   記憶する記憶手順と、 画像処理手段によって前記記憶手段の検査基準データを
   しきい値として用いた画像処理を前記記憶手段の撮像画
   像に施す画像処理手順と、 表示手段によって前記記憶手段の撮像画像、検査基準デ
   ータ、および前記画像処理手段による処理画像を表示す
   る表示手順と、 修正手段によって前記記憶手段の検査基準データを修正
   する修正手順とを実施することを特徴とする検査基準デ
   ータ設定支援方法。