TW201114082A - Process for forming an electroactive layer - Google Patents

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TW201114082A
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TW
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layer
range
condenser
temperature
solvent
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TW099106806A
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Reid John Chesterfield
Justin Butler
Paul Anthony Sant
Original Assignee
Du Pont
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Description

201114082 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本揭路一般係關於一種形成一電活性層之方法。本揭露 進一步係、關於具有#此方法所製成之至少一電活性層之電 子裝置。 [相關申請案] 本專利申請案依據35 U.S.C. § 119⑷主張於觸年3月9 日所提出之臨時專射請案第61/，158,422號之優先權，其 以引用方式全文併入本說明書中。 【先前技術】 電子裝置可包括液晶顯示器(.「LCDj)、有機發光二極 體（OLED)顯示器、薄膜電晶體（tft)陣列、太陽能電池或 類似者。電子裝置的製造可使用溶液沈積技術予以實施。 製造電子裝置之-種方法係藉由印刷（例#，喷墨 連續印刷等冰基板沈積有機層。於—印刷方法中，欲印 刷之液體組成物以—有機溶劑、水性溶劑或組合溶劑，而 包含-有機材料於一溶液、分散液、乳化液或懸浮液卜 :刷後，該(些)溶劑係經蒸發且該有機材料殘留以形成一 用於該電子裝置之有機層。 々成 求對於產生具有改良效能之裳置的沈積方法仍有持續之需 【發明内容】 本發明提供一種用於真空乾燥 將包括一膜形成材料與至少一 之方法。該方法包括： 溶劑之液體組成物沈積至 146963.doc 201114082 一工作件上’以形成一濕層； 將該工作件上的濕層置入一包括一冷凝器之真空室中； 以及 在一調控溫度於_25°C至8(TC的範圍下以及一施加真空 於10 Tori^ 1,000 Torr的範圍中，處理該濕層歷時一卜 100分鐘的期間； /、中·»亥冷凝器係維持在一溫度下，而使該溶劑在該所施 加之真空中會冷凝為一液體。 亦提供一種用於形成一電活性層之方法。該方法包括： 提供一具有至少一活性區域之工作件； 將包括一電活性材料與至少一溶劑之液體組成物沈積至 δ亥工作件之活性區域，以形成一濕層； 將該工作件上的濕層置入一包括一冷凝器之真空室中； 在一調控溫度於_25°c至8(rc的範圍下以及一施加真空 於10 1'〇1'1'至1，00〇 Torr的範圍中，處理該工作件上的濕層 歷時一1-100分鐘的期間，以形成一部分乾燥層，其中該 、-凝器係維持在—溫度下，而使該溶劑在所施加之真*中 會冷凝為一液體； 一 將忒部分乾燥層加熱至一超過loot的溫度並歷時_卜 5〇为知的第二期間，以形成一乾燥層， =中该乾燥層於該活性區域具有一實質平坦的輪廓。 、月〗述般性描述及以下詳細描述僅為例示性及說明性 的^對隨时請專利範s所^義之本發明*具限制性。 【實施方式】 146963.doc 201114082 上述所描述的各種態樣與實施例僅為例示性且非限制 性。在閱讀本說明書後，熟習此項技術者瞭解在不偏離本 發明之範疇下，亦可能有其他態樣與實施例。 根據下述之詳細說明與申請專利範圍，將使任何一個或 多個實施例的其他特徵及益處更加彰顯。詳細說明中首先 提出術語之定義與闡明，接著說明真空乾燥、形成一電活 性層、該電子裝置以及最後說明實例。 1 ·術語的定義和闡明 在提出下述實施例之細節前，先對某些術語加以定義或 闡明。 — ， ，7Λ y\J ig- /)¾ Ά+ 之面積與該像素之總面積的比例。 〜田、 術語「電荷傳輸」，當用於指稱—層、材料、構件或姓 構時^指該層、材料、構件或結構，以相對有效性與小 的電何彳貝失而有助於該電荷移 社禮之屋”…* 夕動通過忒層、材料、構件或 ::之：度電洞傳輸」意指正電荷之電荷傳輸。「電子 傳輸」思指負電荷之電荷傳輸。雖然發 某些電荷傳輸特性，伸是彳丨「 ，可以具有 ,術"電荷傳輸層、材料、槎# 或結構」並不意欲包括一㈣構件 構件或結I 之的層、材料、 當術語「電活性」指稱—層或 有助於一裝置操作之層或材料。活 係'“—電性地 限於傳導、注人、傳輸或 ’之貫例包括但不 可為一電子或電洞，P接^電何之材料’其中該電荷 戈…麵射時會發射輕射或顯現電 146963.doc 201114082 子-電洞對之濃度變化 但不限於…化材：枓。非活性材料之實例包括， —材料。材科、絕緣材料與環境障壁丨 術5吾電子裝置|择立社 人之隼入〜 系“-電路、電子組件或其任何組 〇疋粟合，當加以谪去φ 性地實雜 H w電’f連'-且供應合適電壓時，集體 Γ主地貫施一功能。—雷 邮八 · 電子裝置可為包括一系統或為系統之 一部分。一電子裝置 只⑺巴枯但不限於一顯示器、 器陣列、電腦系統、航空電子系 、& "
飢工電子糸統、汽車、行動電話、JL 他消費性或工業性電子產品、或其任何組合。 - 術語「客體材料」係意指—㈣包含—主體材料之層内 的材料，與不存有此種材料之層的電子特性妹射發射、 接收或濾波之波長相比，該材料改變該層之電子特性或輻 射發射、接收或濾波的目標波長。 術語「電洞注人」當用於指稱—層、材料、構件或結構 時，意指-緊鄰於一陽極i有助於電極功能之電傳導性或 半導性的材料、層、構件或結構。 術語「主體材料」意指一通常為一層之形式的材料其 可添加或不添加一客體材料。該主體材料可具有或不具有 電子特性’或發射、接收或濾波輻射的能力。 術語「層」及術語「膜」可替換地使用，且係指—被覆 於所欲區域之塗層《該術語不受尺寸限制。該區域可與一 完整裝置一樣大或與一特定功能區域如實際視覺顯示一樣 小，或者與一單一之次像素一樣小。 術語「液體組成物」係意指一材料，其溶解於一液體介 146963.doc •6· 201114082 處中以形成-溶液、分散於-液體介質中以形成一分散 液、或懸浮於1體介質中以形成-懸浮液或乳化液。 術語.「液體介質」係意指一於一溶液、分散液、懸浮液 或乳化液中之液體術語「液體介質」係使用於不論是否存 在一或多種溶劑，巾因此液體介質係使用作為該術語之單 數形或複數形（亦即液體介質）。 術 像素」係意指—陣列之最小完整的重複單元。術 語「次像素」意指一像素之一部分，其僅構成一像素之— 部分但非—像素之全部。於一全彩顯示器巾，一全彩像素 可包括具=主要顏色在紅色、綠色與藍色光譜區之三個次 像素。一早色顯示器可包含像素但無次像素。一感應器陣 列可包含像素，其可包含或不包含次像素。 術：「工作件」意指一於一製程序列之任何特定點的基 主思該基板於一製程序列中可不顯著改變，然而該 工作件於該製程順序中卻會顯著改變。例>，於—譽程序 始，該基板與工作件係為相同。於一層形成：該基 L 基板並未改變，但此時該工作件包含該基板與 5哀盾。 ’ 如本文所用之術語「包含」、「包括且 盆他變细音妒1 μ „ '、有」或其任何 ”他艾i意钬涵盍一非排他性的包括。例如，_ 數元件清單的製程、方法、製品 ? 上所列出的料元件而已，不―疋僅限於清單 兀1干向匕 而疋可以句；去. 0兮制加 匕括未明確列出但卻 方法、製品或裝置所固有的其他元件。 除非另有明確之相反陳❿’否則「或」係指包含性的 146963.doc 201114082 或」’而不是指排他性的「或」。例如，以下任一者即滿 足條件AstB的情況：A是真（或存在的）且B是偽（或不存在 白J) A疋偽（或不存在的）且B是真（或存在的），以及八和6 都是真（或存在的）。 再者’使用「-」或「一個」來描述本文所述的元件和 組件。k樣做僅僅是為了方便，並且對本發明範b壽提供— 般性的意義。除非明顯地另指他意，這種描述應被理解為 包括一個或至少一個，並且該單數也同時包括複數。 對應於7L素週期表中之行的族編號使用如c/?(： 〇/C/zeww吟aw p/^心第81版（2〇〇〇 2〇〇1)中記載之「新符 號」慣用語。 除非另有定義，本文所用之所有技術與科學術語均與本 發明所屬技術領域具有一般知識者所通常理解的意義相 同。儘管類似或同等於本文所述内容之方法或材料可用於 本發明之貫施例的實施或測試，但合適的方法與材料仍如 下所述。除非引用特定段落，否則本文所述之所有公開 案 '專利申請案、專利以及其他參考文獻均以引用方式全 文併入本文中。在發生衝突的情況下，以包括定義在内之 本說明書為準《此外，該等材料、方法及實例僅係說明性 質’而不意欲為限制拘束。 在本文未描述之範圍内’許多關於特定材料、加工行為 (processing act)及電路的細節係習知的，且可在有機發光 二極體顯示器、光偵測器、光伏打及半導性構件技術領域 的教科書及其他來源中找到。 146963.doc 201114082 2.真空乾燥 在將材料乾燥以形成膜之步驟中，重要為該真空室不為 冷诏所飽#力為溶劑飽和的情況下則不會再有進一步的 乾燥發生。對於具有低滞點與高蒸氣壓的溶劑而言，於此 步驟中該溶劑可輕县孩Au > 裎易猎由機械真空幫浦來移除。然而，在 某些貫施例_，琴、，交添丨
' Μ之至少一種成分具有100°C或更高 的彿點以及小於〗f).2 T ' Torr的室溫蒸氣壓。典型的機械真空 幫浦無法連續移除此類溶劑。 對於低蒸氣壓溶劑的一個 方案為使用大型、加熱壁面之 真空室，且使用惰性齑驊 札體人洗以移除該溶劑以及預防溶劑
累積於真空室内。兮玄 W '亥至相對於欲乾燥部分必須夠大，以使 所有溶劑釋出至該室容穑 積與壁面中。於部件之間，施用一 惰性氣體吹洗如用氮氣 „ , 礼以由3亥室中吹出該溶劑且將該溶 劑吹入一位於該室之外 南木态中。然而，此方案對於較 大部件並不實用，例如商平竿又 例如商業型G4與其以上者。G4尺 隨製造者而有所變彳卜，γ 仁—般為950 mm乘720 mm的範圍 中。所需尺寸之加埶室目前韭 目則非為市售可得且於設計與建造 上將非$叩貝。再去，兮合€ μ氮沖出步驟會導致_不可接受 長TACT時間。 J妖又心 至 在-實施例中用於真空乾燥 將一含有一膜形成材料與至少— 一工作件以形成—濕層； 之方法包括： 溶劑之液體組成物沈 積 將該工作件上的濕層置 在一調控溫度於-25。(： 入一包括一冷凝器之真空室中； 至8〇°C的範圍下以及一施加真空 146963.doc 201114082 於10 Ton^l，〇〇〇 Torr的範圍中，處理該濕層歷時一卜 100分鐘的期間； 其中該冷凝器係維持在-溫度下，而使該溶劑在該所施 加之真空中會冷凝為一液體。 該膜形成材料之性質將取決於所形成層之所欲應用。該 材料可為—小分子材料或—聚合性材料。該材料可為活性 的或惰性的。該材料可如所需要，藉由此步驟予以部分或 完全乾燥。該溶劑為膜形成材料可溶解或分散於其中者， 且可沈積以形成一m。該溶劑的選擇取決於該所使用的膜 形成材料。 術浯「冷/疑1§」意、指一使用於將蒸氣冷凝為液體之裝置 或單元。冷凝器之實例為該技術領域中所熟知，且包含實 驗室玻璃器皿、表面冷凝器、空氣線圈及類似者的範圍。 在某些實施射，該冷凝器為一包括一線圈或模板之表 面冷凝器。在某些實施例中，該冷凝器為—模板。可使用 亥表面冷綾态之材料實例包括但不限於拋光鋁、拋光石 英、熱解石墨與不鏽鋼。 在某些實施例中’該冷凝器係維持於一低於2〇β。的溫度 下。在某些實施例+ ’該冷凝器係維持於一15。(：至15t 的溫度範圍下；在某些實施例中，為一―阶至抓的溫 度範圍。 在某歧實施例中，該亩六> $、社 —貝 』丁遺具空至進一步包括由該室中移除 冷减之溶劑的手段。該箅年辟夕者△丨& , 寻于奴之只例包括使用一可移除 冷凝元件，其可加以®拖形士 尺換以死/成一可重新使用的冷凝器 146963.doc 201114082 然後該經使用之冷凝單元可於一外部真空烘箱中烘烤，以 將其準備為可再度使用。或者，該溶劑可藉由加熱該冷凝 态兀件以及使用惰性氣體吹拂該室而予以移除。此可於必 要時即予以實施。在某些實施财，該液體冷凝物可收集 於該冷凝器單元中’且此液體可於真空下使其排出至一收 集容器中。 3 電活性層 當藉由液相沈積製程形成層時，該經乾燥之膜於整個膜 區域通常不具有均勾的厚度。此可為基板之表面不均句 性:邊緣效應、整個濕膜之蒸發速率差異等利起。在某 二只轭例中’電活性材料係藉由液相沈積製程施用至具有 物理圍阻（Physical containment)結構之工作件，常指稱為 井結構。該經乾燥之膜可具有不均句的厚度，如圖1所 可八有頜外層之基板丨〇，具有—如2〇所示之圍阻結構 :定義開口 3〇。該經乾燥之電活性膜係如⑽所示。該膜之 厚度係於一垂直該基板平面的方向測量。彳見在E處的厚 度係顯者大於在C處的厚度。該電活性層之厚度不均勻性 對於裝置效能可具有不良影響。於咖〜中，光發射層之 不均句厚度可引起不理想之效果例如顏色變異、低效率與 低哥命。 於形成一電活性材料層之方法。該 本文進一步揭露—用 方法包含： 提供一具有至少—活性區域之工作件； 將—包含該電㈣材料與至少—溶劑之液體組成物沈積 146963.doc 201114082 至該工作件之活性區域，以形成一濕層； 將a玄工作件上的濕層置入一包括一冷凝器之真空室中； 在一調控溫度於—251至80°C的範圍下以及一施加真空 於10下01^至1，〇〇〇 T0rr的範圍中，處理該工作件上的濕層 歷時一 1-100分释的期間，以形成一部分乾燥層其中該 冷凝益係維持在一溫度下，而使該溶劑在該所施加之真空 中會冷凝為一液體； 將該部分乾燥層加熱至一超過1〇〇它的溫度下並歷時一 1-50分鐘的第二期間，以形成一乾燥層。 其中該乾燥層於該活性區域具有一實質平坦的輪廓。 術s吾「實質平坦」意指該層於9〇%之該層區域中，具有 不大於+/_ 15%的厚度變異。在某些實施例中該厚度變 異於9〇〇/°之該層區域中係不大於+/- 10%。一具有實質平坦 輪廓之電活性層示於圖2。如圖【所示，基板1〇具有如2〇; 不之圍阻結構而定義開口 30。該沈積之電活性膜在乾燥後 係如40所示。該膜具有一實質平坦輪廓，而在E，處之厚度 僅稍微大於在c，處之厚度。 该工作件包括基板與任何所欲之中介層。在某些實施例 中°亥工作件為一 TFT基板而具有一圖案化陽極層於其 上。在某些實施例中，該工作件額外具有一液體圍阻結 構。在某些實施例中，該工作件額外具有一第—電活性 層’以及根據本文所述方法沈積於該第一電活性層上之第 二電活性層。 該工作件具有至少一活性區域。該活性區域為該裝置之 146963.doc -12- 201114082 功能區域。在某些實施例中， . μ 作件具有複數個活性區 域。在某些貫施例中，該法Ε β活性區域對應至像素或次像素單 元0 該電活性材料係由一液體組成物沈積至該工作件上以形 成一濕層。可使用任何液體介f，只要該電活性材料可分 散於其中以形成一實質均質之溶液、分散液、乳化液或懸 洋液。可❹水性、半水性與非水性之㈣介質。所使用 之實際液體介質取決於所使用之電活性材料。 在某些實施例中，該電活性材料為—電洞注入材料。在 某些實施例中’該電活性材料為—電洞傳輸材料。在某些 實施例中’該電活性材料為-主體材料與光活性客體材二 之組合。 可使用任何液相沈積技術，包括連續與不連續之技術。 連續沈積技術包括但不限於旋轉塗布、凹版塗布、簾式塗 布、浸潰塗布、狹縫模具式塗布、喷式塗布與連續喷嘴塗 布。不連續沈積技術包括但不限於喷墨印刷、凹印印刷及 網版印刷。。在某些實施例中，該沈積技術係選自由喷墨 印刷與連續喷嘴塗布所組成之群組。 該液體组成物係至少沈積於該工作件之活性區域的第一 部分。在某些實施例中，該電活性材料為—電洞注入材料 或電洞傳輸材料，且係沈積於該工作件之所有活性區域。 在某些實施例中，該液體組成物包括一相關於—第—顏色 之光活性材料，且係沈積於一活性區域之第一組別。— 二液體組成物包括一相關於一第二顏色之第二光活性材 146963.doc -13· 201114082 二組別。一第三液體組 三光活性材料，然後係 料，然後係沈積於一活性區域之第 成物包括一相關於一第三顏色之第 沈積於一活性區域之第三組別。 然後將該濕層予以部分齡焯。山，^ 钇知由此其意指移除該液體介 質之一實質部分而非全部。在某此督 二貫知例中，移除以重量 計大於75%之液體介質；在苹此餘 呆二只轭例中，移除以重量計 大於85%。在某些實施例中，移 夕1重里计小於99%之液 體介質；在某些實施例中，移吟 砂味以重1計小於95%。此部 分乾燥步驟係於經調控之溫度、直办 反具空壓力與時間的條件下 實施。 該溫度、壓力與時間之實際條件取決於液體介質之組成 以及液體與基板及井材料之交互作用。合適的溫度與壓力 條件係基於平衡㈣速率（經自蒸氣壓與移除料）與基板， 液體交互作用的考慮下而加以選擇。該液體介質之表面張 力與黏度調控該基板上的濕性，且於選擇用於乾燥之合適 溫度與壓力時必須予以考慮。 在某些實施例中，該液體介質包括至少二種液體成分， 且至少一成分之沸點大於100。(：。在某些實施例中，該部 分乾燥步驟係發生於一 2CTC至8(TC的溫度範圍下、一 1〇·2 T〇rr至10 Tom·的壓力範圍中並歷時一 5_25分鐘的時間。在 某些實施例中，該部分乾燥步驟係發生於一 3〇t：至6〇。〇的 溫度範圍下、一 1〇·2 Torr至！ T〇rr &壓力範圍中並歷時一 5_15 分鐘的時間。 在某些貫施例中，該液體介質包括一或多種液體成分， 146963.doc • 14· 201114082 各成分之沸點小於15〇〇c ;在某些實施例中，小於l2(rc。 在某些實施例中，該部分乾燥步驟係發生於一 _25C至 10 C的溫度範圊下、一 1 Torri 1000 Torr的壓力範圍中並 歷時一 5-25分鐘的時間。在某些實施例中，該部分乾燥步 驟係發生於一 1(TC至〇。〇的溫度範圍下、一 1〇 丁〇"至1〇〇 Τοιτ的壓力範圍並歷時_5_15分鐘的時間。 然後將該工作件加熱至一超過1 〇(rc的溫度並歷時一 1 _ 50分鐘之第二期間。在某些實施例中，該溫度係於！ 1〇艽_ 150C的範圍且加熱時間係於1〇_3〇分鐘的範圍。 在某些實施例中，該液體組成物包括一光活性材料，以 及相關於第一、第二與第 二顏色之三種不同組成物，其係
4·電子裝置 一活性區域，包括一陽
一所提供之電子裝置具有至少一 極、一陰極以及至少一介於兑ψ ♦ a
146963.doc •15- 201114082 :但：！於：⑴一轉換電能為輕射之裝置(例如發光二極 用一 ^ ~極體顯示器 '二極體雷射或照明板），⑺-利 一.子程序❹】訊號之裝置（例如—光偵檢器、光導電 ⑽先敏電阻器、光控開關、光電晶體、光管、紅外線 … 或生物感測器）’ (3)-轉換輻射為電能之裝置 :二先伏裝置或太陽能電池)與⑷一包含一或多個電子組 ”包含-個或多個有機半導體層)之裝置(例如電 二極體）。 圖3所不，一裝置1〇〇之一個實施例具有一陽極層 γ〇、一光活性層140與一陽極層160。術語「光活性」意 才日顯現電致發光或光敏性之任何材料。亦顯示三種可選擇 之層·電洞注入層120 ;電洞傳輸層13〇 ;與電子注入/傳 輸層150。該陽極與陰極之至少一者為具光穿透性以使光 可通過該電極。 裝置可支架或基板（未顯示），其可緊鄰於該陽 T層110或該陰極層160。最常見的是’該支架係緊鄰於該 陽極層110。支持體可為撓性或剛性，有機或無機。支架 材料之實例包括但不限於玻璃、陶瓷、金屬與塑膠膜。 該陽極層110相較於該陰極層160，係為—對於注入電洞 為更有效之電極。因此，該陽極相較於該陰極具有一較高 之功函數。該陽極可包括含有一金屬、混合金屬、合金、 金屬氧化物或混合氧化物之材料。合適材料包括第2族元 素（亦即Be、Mg、Ca、Sr、Ba、Ra)、第U族元素、第4、 5與6族元素以及第8_10族過渡元素之混合氧化物。若該陽 «46963.doc 201114082 極層110需為具光穿透性，可使用第12 ' 13與14族元素之 混合氧化物，例如銦錫氧化物。如使用於本文，詞語「混 合氧化物」意指具有兩或多種不同陽離子之氧化物，該陽 離子係選自第2族元素或第12、13或14族元素。某些用於 陽極層110之材料特例(非限定性)包括但不限於10錫氧化物 (「ιτο」）、銦辞氧化物（「IZ〇」）、紹錫氧化物 (「ΑΤΟ」）、金、銀、銅與鎳。 在某些貫施例中，於陽極上有一液體圍阻圖帛，未顯示 於圖式。術語「液體圍阻圖案」意指主要功能作為當一液 體流經該工作件時將其侷限或導引至一範圍或區域内之圖 案。該液體圍阻圖案可為一物理圍阻結構或一化學圍阻 層。物理圍阻結構可包括陰極隔件或—井結構。術語「化 學圍阻層」意指-圖案化層，其藉由表面能量效應而非物 理障壁結構’來圍阻或限制一液體材料之散布。當術語 「受圍阻」#㈣H意指該層無顯著散布於其所沈 積，域之外。術語「表面能量」意指由—材料產生一表面 :單元區域所需之能量。表面能量之—特性為，一具有特 疋表面能量之液體材料不會沾濕具有較低表面能量之表 面。 電洞庄入層120可用聚合性材料如聚苯胺（pANi)或聚 伸乙二氧基輕（ρ_τ)形成，其通f摻雜以質子酸。該質 子酉文可以疋例如聚苯乙烯磺酸（p〇ly(styrenuu丨f()nic acid))、 聚（2-丙婦醯胺 丙續酸）(p〇iy(2_acryiamid〇 2_ methyM_propanesulf〇nic化句）與類似者。該電洞注入層 146963.doc 201114082 120可包括電荷傳输化合物與類似物，例如例如，酞青銅 (copper phthalocyanine)與四硫富瓦烯-四氰對S昆二曱烧系 、统(tetrathiafulvalene-tetracyanoquinodimethane system, TTF-TCNQ)。在某些實施例中，該電洞注入層120係由一傳導 聚合物與一成膠聚合酸之分散液所製成。該等材料已經揭 示於例如公開之美國專利申請案第2004-0102577、2004-0127637與2005-205860號。 在某些實施例中，可選擇之電洞傳輸層130係存在於陽 極層110與光活性層140之間。在某些實施例中，可選擇之 電洞傳輸層係存在於一緩衝層120與光活性層140之間》電 洞傳輸材料之實例已總結於例如Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, Fourth Edition, Vol. 18, p. 837-860, 1996, by Y. Wang。可使用電洞傳輸分子及聚合物兩者。通 常使用之電洞傳輸分子包括但不限於：4,4’,4-參（N，N-二苯 基-胺基）_三苯基胺（TDATA) ; 4,4·，4-參（N-3-甲基苯基-N-苯基-胺基）-三苯基胺（MTDATA) ; Ν，Ν·-二苯基-NW-雙（3-甲基苯基）-[1，1·-聯苯基]-4,4’-二胺（TPD) ; 1，1-雙[(二-4-曱 苯基胺基）苯基]環己烷（TAPC) ; Ν，Ν·-雙（4-曱基苯基）-队：^’-雙（4-乙基苯基）-[1，1|-(3,3'-二曱基）聯苯基]-4,4’-二胺 (ETPD);肆-(3-曱基苯基）-NW’N'dJ—amPDA); α-苯基-4-Ν,Ν-二苯基胺基苯乙烯（TPS);對-(二乙基胺基） 苯曱醛二苯基腙（DEH);三苯基胺（TPA);雙[4-(N,N-二乙 基胺基）-2-曱基苯基](4-曱基苯基）曱烷（MPMP) ; 1-苯基-3-[對-(二乙基胺基）苯乙烯基]-5-[對-(二乙基胺基）苯基]η比唑 146963.doc •18· 201114082 琳（PPR或DEASP) ’ 1，2-反-雙（9H- σ卡。坐_9_基）環丁烧 (DCZB) ; N，N，N'，N’-肆（4-曱基苯基聯苯基）4,4，_二 胺（ΤΤΒ)，Ν，Ν’-雙（萘-1-基）_ν，ν，-雙-(苯基）聯苯胺（α_ΝΡΒ); 以及紫質（porphyrinic)化合物，例如酞青銅（c〇pper phthalocyanine；^ —般使用的電洞傳輸聚合物包括但不限於 聚乙烯°卡唾（p〇lyvinylcarbaz〇le)、（苯基甲基）聚矽烷 ((phenylmethyDpolysilane)、聚（二氧噻吩）（p〇ly(di〇xythi〇phen⑼ 聚苯胺（polyanilines)以及聚吡咯（p〇lypyrr〇les)。亦可藉由 摻雜如上所述之電洞傳輸分子至聚合物如聚苯乙烯及聚碳 酸酯之中以獲得電洞傳輸聚合物。 取決於該裝置的應用，該光活性層i4〇可藉由一外加電 壓激發而為一發光層（例如在一發光二極體或發光電化學 電池中），一在有或無外加偏壓的情況下，響應輻射能量 且產生彳§號之材料層（例如作為光偵測器）^在一實施例 中，該光活性材料為一有機電致發光（「E]L」）材料。任何 EL材料皆可使用於該裝置中，包括但不限於小分子有機螢 光化合物、螢光與磷光金屬錯合物' 共軛聚合物與其混合 物。螢光化合物之實例包含但不限於芘、茈、紅螢烯、香 丑素、蒽、噻二唑、其衍生物與其混合物。金屬錯合物之 範例包括但不限於金屬螯合類噁辛化合物（metal cheiated oxinoid compounds)，如參（8-羥基喹啉配位基）鋁扣叫8_ hydroxyqUln〇lato)aluminum，Aiq3);環金屬化銥與鉑電致 發光化合物，如petrov et al之美國專利第6,67〇,645號和 PCT申请案公開第WO03/063555及W02004/016710號所揭 146963.doc -19- 201114082
露之銀與苯》比咬（phenylpyridine)、苯基啥琳（phenylquinoline) 或苯基°密。定配位基（phenylpyrimidineligands)之錯合物，以 及如在PCT申請案公開第W003/008424、W003/091688及 WO03/040257號所述之有機金屬錯合物以及上述物質之混 合物。電致發光發射材料包含一電荷攜帶主體材料與一金 屬錯合物，此已經於Thompson et al.之美國專利第ό，3 0 3，2 3 8 號與Burrows與Thompson之已公開PCT申請案第WO 00/7〇655與WO 01/415 I2號中述及。共軛聚合物之實例包 含但不限於聚（苯乙烯）、聚苐、聚（螺二第）、聚噻吩、聚 (對-伸苯）、其共聚物與其混合物。 可選擇之層150可作用為有助於電子注入/傳輸兩者，且 亦可作為一於層界面預防中止反應之圍阻層。更具體地， 層150可促進電子移動率與降低一中止反應的可能性，如 果層1 40與1 60直接接觸則中止反應可能發生。可選擇之層 150的材料實例包括但不限於金屬螯合類噁辛化合物 (oxinoid)化合物，包括金屬喹啉配位基衍生物例如參羥 基喹啉配位基）鋁（A1Q)、雙（2-甲基_8_喹喏啉配位基）（對_ 苯基酚配位基）鋁（BAlq) '肆-(8-羥基喹啉配位基）铪（HfQ) 與肆-(8-羥基喹啉配位基）錯ZrQ);肆（8_羥基喹喏啉配位 基）锆（ZrQ);唑化合物例如2_(心聯苯基）_5_(4_三級丁基苯 基）-1，3’4-噁二唑（PBD)、3_(4_聯苯基）·4_苯基 _5_(4_三級丁 基苯基）-1，2,4-***（了八2)與1，3,5_三（苯基_2_苯并咪唑）苯 (ΤΡΒΙ) ’·喹喔啉衍生物例如2,3_雙（4_氟苯基）喹喔啉·啡啉 衍生物例如9，1〇-二苯基啡琳（DpA)與2,9_二甲基μ，？二苯 146963.doc •20- 201114082 基-u〇♦林_ΡΑ);與其之任何一者或多者組合。或 者’可選擇之層15〇可為無機的且包括 CSF及類似者。在某些實施例中，存在兩種電子傳輸/注入 層。一第-有機電子傳輸層係存在緊鄰於該光活性層，以 及一第二無機電子注人層係存在緊鄰於該陰極。 該陰極層1 6 0為一特別右碎於、+ ㈣有效於注入電子或負電荷載體之 電極。該陰極層160可為呈有鲂兮 〇 —有杈忒陽極層110為低之功函數 之任何金屬或非金屬。 用於該陰極層之材料可選自笛 、目第1族鹼金屬（例如Li、Na、
K、Rb、Cs)、第2族金屬（例如M U j如Mg、Ca、Ba或類似者）、第 12族金屬、鑭系（例如ce、s ύΙη Eu或類似者）、以及婀系 (例如Th、1；類似者）。可使 ^ 用材科例如鋁、銦、釔以及盆 組合。用於該陰極層16〇 '、 个層〇之特疋非限制性材料實例包括但 不限於鋇、鋰、鈽、铯、鈦 其組合物。 销，、紀、鎂、彭與其合金與 該2中之其他層在考慮該等層所能發揮之功能的情況 下，可用任何已知有用於該等層之任何材料製成。 在某些實施例中，封梦馬f 土 _ 、B (未頌示）係沈積於該接觸層 160上，以預防不欲夕占 刀（例如水與氧氣）進入該粟詈 ^該等成分對於有機層14G可造成有害之影響= :二，該封裝層為-障壁層或膜。在-實施例中，該： 裝層為一玻璃蓋。 雖未描繪出，但庫了組咕壯 ^ 了解該裝置1GG可包括額外層。可使 用為此項技術領域所習知 知之其他層或不同層。此外，上述 146963.doc •21- 201114082 :，陽：思可包括兩或多種次層或可形成一層合結構。或 層110、、缓衝層120、電洞傳輸層13〇、電子 層150、陰極層160與盆他声A 别 …、他層了為經處理的，特別是經表面 ’以增加電荷載體傳輸效能或該裝置之其他物理性 :二成分層之材料選擇’較佳地係藉由平衡下述目標而 :之即在考量裝置可操作壽命下提供高裝置效能、生產 ’間與複雜度因素以及為此項技術領域具有通常知識者所 理解之考量應理解的是對於此項技術領域中 識者而言，法宙县、山t、 币 、 適，、且成、成分組態與組成性質係為常規 工作。 於某些情況中，該陽極110與陰極160可藉由—化學或物 理氣相沈積方法而形成。在某些實施例中，該陽極層將予 以圖案化且該陰極將為一整體連續層。 在某些實施例中，該電子傳輸/注入層亦可藉由一化學 或物理氣相沈積方法而形成。 在某些實施例中，至少該光活性層係藉由本文所述之液 相沈積方法所形成。 在某些實施例中，該電洞注入與電洞傳輸層係藉由本文 所述之液相沈積方法所形成。 在一實施例中’不同之層具有下述厚度範圍：陽極11〇 為500-5000 A，在一實施例中為1000_2000 A ;可選擇之緩 衝層120為50-2000 A，在一實施例中為200-1000人；可選 擇之電洞傳輸層130為50-2000 A，在一實施例中為100_ 1000 A ;光活性層140為10-2000 A，在一實施例中為1〇〇_ I46963.doc •22· 201114082 ’可選擇之電子傳輸層150為50-2000 1000 A ; 50-2000 A，在一實施
裝置之發射光譜，可受到各層之相關厚度所影 曰。U此，該電子傳輸層之厚度應選擇為使該電子-電洞 重組帶係在該發光層中。所欲之層厚比率係取決於所使用 之材料的確切性質。 在操作中，來自一合適之電力供應器（未顯示）係外加電 [至裝置100。電流因而通過裝置100之層。電子進入該光 活性層而釋放光子。在某些稱為主動基質〇LED顯示器之 QLEDs中，個別像素可獨立地藉由電流通過而激發。在某 些稱為被動基質OLED顯示器之OLEDs中，個別像素可於 電接觸層之列與攔的交界處激發。 雖然在本發明之實施或測試中可使用相似或等同於在此 所述者之方法及材料，但是合適方法及材料係描述於後。 本文中所述之所有出版物、專利申請案、專利以及其他參 考文獻之皆以引用方式全文併入本文中。在發生衝突的情 況下’以本說明書為準’包括定義在内。此外，材料、方 法與範例僅係說明性質，其意旨不在限制拘束。 應理解，揭示上述與下述之不同實施例内容（為清楚說 明起見）的本發明某些特徵，也可組合而提供於單一實施 例中。相反地，揭示於單一實施例内容中（為簡潔起見）之本 發明種特徵，亦可分別提供或提供於任何次組合中。此外， 範圍内描述的相關數值包括所述範圍内的各個及每個值。 146963.doc -23- 201114082 實例 在下面實例中進一步描述在此所述之概念，該等實例沒 有限制在申請專利範圍中所述之本發明的範圍。 實例1 此實施例說明使用一冷凝乾燥技術，生產一用於OLED 應用且具有實質平坦輪廓之電活性膜。使用下述材料： 銦錫氧化物（ITO) : 180 nm 緩衝層=緩衝液1 (2〇 nm)，其為電傳導性聚合物與聚合 性氟化項酸之水性分散液。該等材料已描述於例如公開之 美國專利申請案第 US 2004/0102577、US 2004/0127637與 US 2005/0205860號。 電洞傳輸層=HT-1 (20 nm) ’其為一含芳基胺之聚合物 光活性層=13:1主體H1 :摻雜物E1 (40 nm)。主體H1為 一芳基-蒽衍生物。E1為一芳基胺化合物。 該等材料已揭示於例如美國公開專利申請案第 US2006/0033421 號。 電子傳輸層=MQ (10 nm)，其為金屬喹啉配位基衍生物 陰極=LiF/Al (0.5/100 nm) OLED裝置係藉由組合溶液加工與熱蒸發技術而製造。 使用來自Thin Film Devices公司之經圖案化銦錫氧化物 (ιτο)塗布的玻璃基板。該IT0基板係以塗布有IT〇之
Corning 1737玻璃為基礎’該【το具有一 50 〇hms/square片 電阻值與80%光穿透性。使用標準光微影製程於該IT〇基板 上製造一井圖案。該井係藉由一32微米寬度而予以定義。 146963.doc -24- 201114082 於裝置即將開始製造前，將該經清潔、圖案化之基板使 用UV臭氧處理1〇分鐘。冷卻後立即將一緩衝液丨之水性分 散液旋轉塗布於該IT0表面且加熱以移除溶劑。冷卻後， 該基板係以-電洞傳輸材料溶液予以旋轉塗布，然後加熱 以移除溶劑。一化學圍阻層係如描述於已公開美國專利申 請案第2GG7/G2G54G9號之方法予以形成。該圖案^義一表 面能量井’以圍阻喷嘴印刷光活性油墨。該表面能量井為 52微米寬。 一發射層溶液係藉由將如上述之主體與換雜物溶解於一 有機溶劑介質中而形成，如公開之pCT申請案第觸 2007/145979號所述者。 該基板以發射層溶液予以噴嘴印刷，錢用-真空冷凝 态系統予以真空乾燥。印刷之後立即將該板置入一真空室 中並置於一基板上’該真空室係持溫於抓且抽氣至· 一1*。於真空施加期間且在5〇〇 mTorr下，該板係距離一 T凝板約1 cm歷時5分鐘，該冷凝板係經冷卻至一 i〇t的 溫度。該冷凝板係由多孔性不鏽鋼製成。然後將該板在-熱板上於140C烘烤3〇分鐘。 膜厚度與輪廓量測係於一偵測板（未製造至一 〇咖裝置 中)上進行’但係以—相同方式透過該發光層而製造。一 八有低力里測$頭之KLA_Tenc〇r p_i5探針式輪廊儀（邮us profilometer)使用於厚度/輪廓測量。經印刷之光活性層厚 度與輪廓係藉由以下方式量測，即將一經印刷的線減去一 位置極為接近之未印刷的線。此技術使底層 之輪廓差異不 146963.doc •25- 201114082 影響該發射層。圖4顯示具有開口率=〇 92之印刷光活性層 的輪廓。
比較例A OLED裝置係使用與實例i相同的材料製造。該裝置係使 用與實心相同步驟製造，& 了印刷後之乾燥步驟。在該 基板以發射層溶液予以喷嘴印刷後’纟即將該板置於一熱 板在140°C下歷時30分鐘。 膜厚度與輪廓測量係如同實m之方式進行。圖5顯示具 有開口率=0_41之印刷光活性層的輪廓。 應留意的是，並非上文一般性描述或實例中所述之動作 都是必要的’特定動作之一部分可能並非需要的，並且除 了所描述之動作外，可進一步執行一或多個其他動作。此 外’所列動作之次序不必然是執行該等步驟之次序。 在上述說明中，已描述關於特定實施例之概念。秋而， 該項技藝之-般技術人士中之—理解在*脫離下面申請專 利範圍所述之本發明的料下可進行各種修訂和變更。因 此：應將本說明書與圖示視為說明性而非限制性之觀念， 且思奴將所有這類修改涵括於本發明之範疇中。 則文已針對特定實施例之效益、其他優點及問題解決 案加以闡述。然、而’不可將效益、優點、問題解決方案以 及任何可使這些效益、優點或問題解決方案更為 =讀為是任何或所有專”請·之關鍵、必需或厶 應當理解，為了軎柱# + 马了 β楚說明起見而在本文分開之實施例内 I46963.doc -26 - 201114082 合中所述的某些特徵’亦可以組合之方式於單獨實施例中 力X提i、^目反地為了簡潔而在單__實施例中描述的各 種特徵，亦可以個別或以任何次組合方式提供。再者，關 於在範圍内所述之數值包括在那個範圍内之每—數值。 【圖式簡單說明】 以增進本文中所呈現之概 實施例係說明於所附圖式中 念的理解。 圖1包括一 的膜厚度； 經乾燥電活性膜 之圖解’該膜具有一不均 勻 該膜具有一實質平 圖2包括一經乾燥電活性臈之圖解 坦之輪廓； 圖3包括一示範性電子裝置之圖解； 圖4包括一實例1之層厚度圖；及 圖5包括一比較例a之層厚度圖。 熟習此項技術者應瞭解圖式中之物㈣為達成簡單及清 ^目的㈣示’纟必按比例㈣。例如，該等圖式令之 ^物件的尺寸相對於其他物件可能有《大，以有㈣ 對貫施例的暸解。 、 【主要元件符號說明】 10 基板 20 圍阻結構 30 開口 40 經乾燥之電活性膜 100 裝置 146963.doc -27- 201114082 110 120 130 140 150 160 C C' E E' 陽極層 緩衝層（電洞注入層） 電洞傳輸層 光活性層 電子注入/傳輸層 陰極層 厚度 厚度 厚度 厚度 146963.doc •28-

Claims (1)

  1. 201114082 七、申請專利範圍： l -種用於真空乾燥之方法，其包括： 將包含有一膜形成材料與至少—溶劑之液體組成物 沈積至-卫作件上，以形成—濕層； 將忒工作件上的濕層置入一包括—冷凝器之真空室 中；以及 在周控溫度於_25〇C至8(rc的範圍下以及一施加真空 於10 T〇m，_ T〇rr的範圍中，處理該濕層歷時—1_ 100分鐘的期間； /、中β亥冷凝益係維持在一溫度下，而使該溶劑在該所 施加之真空中會冷凝為一液體。 士申專利範圍第i項所述之方法，其中該冷凝器為— 表面冷凝器。 如申 '專利範圍第2項所述之方法，其中該表面冷凝器 係選自由一、線圈與一模板所組成之群組。 (如申請專利範圍第！項所述之方法，其中該冷凝器係維 持於一低於201的溫度。 5. 如中請專利範圍第！項所述之方法，其中該冷凝器係維 持一溫度於-15至15t：的範圍。 6. 如申明專利範圍第丨項所述之方法，其中該真空室進— 步包括由該室移除已冷凝溶劑之手段。 7. 如申凊專利範圍第丨項所述之方法，其中該溶劑具有— 低於1〇·2 Torr的蒸氣壓。 8· -種用於形成一電活性材料層的方法，其包括： 146963.doc 201114082 提供一具有至少一活性區域之工作件； 將一包括該電活性材料與至少一溶劑之液體組成物沈 積至該工作件之活性區域，以形成一濕層； 將該工作件上的濕層置入一包括一冷凝器之真空室 中； 在一調控溫度於-2 51至8 0。(：的範圍下以及一施加真空 於ΙΟ·6 Ton·至1，000 Ton^範圍中，處理該濕層歷時一卜 1〇〇分鐘的第一期間，以形成一部分乾燥層，其中該冷 凝器係維持在一溫度下，而使該溶劑在該所施加之真空 中會冷凝為一液體； > 將該部分乾燥層加熱至一超過1〇(rc的溫度並歷時一卜 5〇分鐘的第二期間’以形成-乾燥層，其中該乾燥層於 该活性區域具有一實質平坦的輪廓。 9. 10. 11. 12. 如申請專利範圍第8項所述之方法，纟中該乾燥層在9〇% 之該活性區域上，具有小於+/_ 10%的厚度變異。 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中該液體組成物 係藉由-技術而予以沈積’該技術係選自由喷墨印刷愈 連續喷嘴塗布所組成之群組。 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中紅作件 複數的活性區域。 ^ 如申請專利範圍第U項所述之方法，纟中該電活性材米 包括-主體材料與一對應於—第一顏色之光活性客體未 料’且該液體組成物係沈積於—該活性區域之第一舍 分0 146963.doc 201114082 13. 14. 15. 16. 17. 18. 19. 20. 21. 1°申請專利範圍第12項所述之方法，其卜第二液體組 成物包括-第二主體材料與—對應於一第二顏色之第二 光活性客體材料，且該第二液體組成物係沈積於-該活 性區域之第二部分。 ，如申請專利範圍第13項之方法，其中-第三液體組成物 包括-第三主體材料與一對應於一第三顏色之第三光活 性客體材料，且該第三液體組成物係沈積於-該活性區 域之第三部分。 .如申請專利範圍第8項所述之方法 表面冷凝器。 ，如申請專利範圍第8項所述之方法 持於一低於201的溫度。 如申請專利範圍第8項所述之方法 持一溫度於-15。至15t的範圍。 如申請專利範圍第8項所述之方法 步包括由該室移除已冷凝溶劑之手段 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中該卫作件上的 濕層係在—溫度於的範圍下、在-壓力於1〇·2至 10Τ㈣的範圍中’予以處理歷時_5_25分鐘的時間。 如申請.專利範圍第8項所述之方法，其中該玉作件上的 濕層係在-溫度於30哉的範圍下、在一厂堅力於10_2至 1W的範圍中’予以處理歷時一5七分鐘的時間。 如申請專利範圍第8項所述之方法，其中係在-溫度於_25 至10C的範圍下、在一麼力於…㈣τ⑽的範圍令， 其中該冷凝器為 其中該冷凝器係維 其中該冷凝器係維 其中該真空室進 146963.doc 201114082 予以處理歷時一5_S5分鐘的時間。 其中該工作件上之 、在一壓力於10至 ’15分鐘的時間。 22.如申請專利範圍第8項所述之方法， 濕層係在一溫度於·1〇至〇它的範圍下 100 Torr的範圍中，予以處理歷時一 5 146963.doc 4-
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WO (1) WO2010104852A2 (zh)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11975546B2 (en) 2008-06-13 2024-05-07 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US12018857B2 (en) 2008-06-13 2024-06-25 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US10434804B2 (en) 2008-06-13 2019-10-08 Kateeva, Inc. Low particle gas enclosure systems and methods
CN102318040B (zh) * 2009-03-06 2014-09-17 E.I.内穆尔杜邦公司 形成电活性层的方法
WO2010104857A2 (en) * 2009-03-09 2010-09-16 E. I. Du Pont De Nemours And Company Process for forming an electroactive layer
TWI444602B (zh) * 2011-04-15 2014-07-11 Univ Chang Gung A fluorescent powder coating apparatus and a method for detecting white light color temperature in a process immediately
KR101878084B1 (ko) 2013-12-26 2018-07-12 카티바, 인크. 전자 장치의 열 처리를 위한 장치 및 기술
KR102458181B1 (ko) 2014-01-21 2022-10-21 카티바, 인크. 전자 장치 인캡슐레이션을 위한 기기 및 기술
EP3138123B1 (en) 2014-04-30 2021-06-02 Kateeva, Inc. Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating
US10115900B2 (en) 2015-11-16 2018-10-30 Kateeva, Inc. Systems and methods for thermal processing of a substrate
CN107940904B (zh) * 2017-11-14 2019-12-03 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种真空干燥腔室及真空干燥装置
KR102645467B1 (ko) * 2018-10-18 2024-03-11 삼성디스플레이 주식회사 표시장치의 제조방법
CN111509144B (zh) * 2020-04-24 2022-09-30 合肥京东方卓印科技有限公司 Oled器件的制备方法及显示面板的制备方法

Family Cites Families (71)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3630660A (en) * 1968-10-31 1971-12-28 Burlington Industries Inc Process for removal of moisture and/or solvents from textile materials
US4421781A (en) * 1982-03-29 1983-12-20 Tri/Valley Growers Continuous vacuum curing and solvent recovery coating process
US5199187A (en) * 1991-07-31 1993-04-06 Sp Industries Freeze dryer apparatus having an interim condensing system and use thereof
US5744009A (en) * 1995-07-07 1998-04-28 The M. W. Kellogg Company Method and apparatus for recovering condensables in vapor from a urea vacuum evaporator
US5694701A (en) 1996-09-04 1997-12-09 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated substrate drying system
JP3874799B2 (ja) 1995-09-18 2007-01-31 スリーエム カンパニー 被覆基材乾燥システム
US5813133A (en) 1996-09-04 1998-09-29 Minnesota Mining And Manufacturing Company Coated substrate drying system with magnetic particle orientation
JP3899566B2 (ja) 1996-11-25 2007-03-28 セイコーエプソン株式会社 有機ｅｌ表示装置の製造方法
US6303238B1 (en) 1997-12-01 2001-10-16 The Trustees Of Princeton University OLEDs doped with phosphorescent compounds
EP1027723B1 (en) 1997-10-14 2009-06-17 Patterning Technologies Limited Method of forming an electric capacitor
JP3417464B2 (ja) 1998-06-24 2003-06-16 東京応化工業株式会社 平坦化膜形成用塗布液
JP2000056474A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Tokyo Electron Ltd 基板処理方法
JP2000173771A (ja) * 1998-12-10 2000-06-23 Sharp Corp ライン光源及びその製造方法
US6630274B1 (en) 1998-12-21 2003-10-07 Seiko Epson Corporation Color filter and manufacturing method therefor
EP1729327B2 (en) 1999-05-13 2022-08-10 The Trustees Of Princeton University Use of a phosphorescent iridium compound as emissive molecule in an organic light emitting device
EP3379591A1 (en) 1999-12-01 2018-09-26 The Trustees of Princeton University Complexes of form l2mx
US6670645B2 (en) 2000-06-30 2003-12-30 E. I. Du Pont De Nemours And Company Electroluminescent iridium compounds with fluorinated phenylpyridines, phenylpyrimidines, and phenylquinolines and devices made with such compounds
JP3628997B2 (ja) 2000-11-27 2005-03-16 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
JP4021177B2 (ja) 2000-11-28 2007-12-12 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス装置並びに電子機器
JP4285264B2 (ja) 2000-11-28 2009-06-24 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
TW533446B (en) 2000-12-22 2003-05-21 Koninkl Philips Electronics Nv Electroluminescent device and a method of manufacturing thereof
US6875523B2 (en) 2001-07-05 2005-04-05 E. I. Du Pont De Nemours And Company Photoactive lanthanide complexes with phosphine oxides, phosphine oxide-sulfides, pyridine N-oxides, and phosphine oxide-pyridine N-oxides, and devices made with such complexes
IL158865A0 (en) 2001-07-18 2004-05-12 Du Pont Luminescent lanthanide complexes with imine ligands and devices made with such complexes
JP2003133691A (ja) 2001-10-22 2003-05-09 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、並びに非接触型カード媒体
US7166368B2 (en) 2001-11-07 2007-01-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Electroluminescent platinum compounds and devices made with such compounds
JP4164256B2 (ja) * 2001-11-27 2008-10-15 東京エレクトロン株式会社 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法
EP2306788A1 (en) 2001-12-26 2011-04-06 E. I. du Pont de Nemours and Company Iridium compounds and devices made therewith
US6858464B2 (en) 2002-06-19 2005-02-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing light emitting device
US6713339B2 (en) 2002-06-21 2004-03-30 Micron Technology, Inc. Methods of forming switchable circuit devices
JP4260744B2 (ja) 2002-07-19 2009-04-30 出光興産株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子及び有機発光媒体
JP4239560B2 (ja) 2002-08-02 2009-03-18 セイコーエプソン株式会社 組成物とこれを用いた有機導電性膜の製造方法
US6963005B2 (en) 2002-08-15 2005-11-08 E. I. Du Pont De Nemours And Company Compounds comprising phosphorus-containing metal complexes
CN1681869B (zh) 2002-09-24 2010-05-26 E.I.内穆尔杜邦公司 用于电子器件用聚合物酸胶体制成的可水分散的聚苯胺
EP1546237B2 (en) 2002-09-24 2019-04-24 E. I. du Pont de Nemours and Company Water dispersible polythiophenes made with polymeric acid colloids
JP2004223354A (ja) 2003-01-21 2004-08-12 Seiko Epson Corp 液状組成物の塗布方法、ｅｌ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置、電子機器
JP2004351272A (ja) 2003-05-27 2004-12-16 Seiko Epson Corp 薄膜パターンの形成方法及びデバイスの製造方法、電気光学装置及び電子機器
US6867081B2 (en) * 2003-07-31 2005-03-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Solution-processed thin film transistor formation method
TW201219350A (en) 2003-11-17 2012-05-16 Sumitomo Chemical Co Crosslinkable arylamine compounds
JP2005158824A (ja) * 2003-11-20 2005-06-16 Seiko Epson Corp 成膜方法、膜、電子デバイスおよび電子機器
JP2005172316A (ja) 2003-12-09 2005-06-30 Seiko Epson Corp 減圧乾燥装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
US20050129843A1 (en) 2003-12-11 2005-06-16 Xerox Corporation Nanoparticle deposition process
JP2005235852A (ja) 2004-02-17 2005-09-02 Seiko Epson Corp 多層膜の形成方法及びデバイスの製造方法
US7351358B2 (en) 2004-03-17 2008-04-01 E.I. Du Pont De Nemours And Company Water dispersible polypyrroles made with polymeric acid colloids for electronics applications
JP4055171B2 (ja) 2004-05-19 2008-03-05 セイコーエプソン株式会社 カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器
US7023013B2 (en) 2004-06-16 2006-04-04 Eastman Kodak Company Array of light-emitting OLED microcavity pixels
JP4707658B2 (ja) 2004-06-17 2011-06-22 シャープ株式会社 塗液、膜の製造方法、機能素子の製造方法、有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法、有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法、カラーフィルター基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び、配線基板の製造方法
US8158517B2 (en) 2004-06-28 2012-04-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing wiring substrate, thin film transistor, display device and television device
GB2416428A (en) * 2004-07-19 2006-01-25 Seiko Epson Corp Method for fabricating a semiconductor element from a dispersion of semiconductor particles
JP4148933B2 (ja) 2004-08-31 2008-09-10 シャープ株式会社 機能膜の製造方法、機能膜形成用塗液、機能素子、電子デバイス及び表示装置
US7217583B2 (en) * 2004-09-21 2007-05-15 Cree, Inc. Methods of coating semiconductor light emitting elements by evaporating solvent from a suspension
TWI247111B (en) 2004-09-22 2006-01-11 Chunghwa Picture Tubes Ltd Method of detecting foreign objects in display manufacture processes
US7268006B2 (en) * 2004-12-30 2007-09-11 E.I. Du Pont De Nemours And Company Electronic device including a guest material within a layer and a process for forming the same
JP5082189B2 (ja) 2005-01-14 2012-11-28 大日本印刷株式会社 コーティング液、金属酸化物膜およびその形成方法
JP4876415B2 (ja) * 2005-03-29 2012-02-15 セイコーエプソン株式会社 有機ｅｌ装置の製造方法、デバイスの製造方法
KR100663076B1 (ko) * 2005-08-31 2007-01-02 한국과학기술원 반도체 기판 상의 소정 영역에 탄소나노튜브를 형성시키는 방법, 이를 이용한 반도체 도선 형성방법 및 이를 이용하여 인덕터 소자 제조 방법
JP2007123257A (ja) 2005-09-27 2007-05-17 Mitsubishi Chemicals Corp 有機電界発光素子の製造方法
JP4396607B2 (ja) 2005-09-28 2010-01-13 セイコーエプソン株式会社 膜形成方法、有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法、有機エレクトロルミネセンス装置及び電子機器
KR101211836B1 (ko) 2005-10-24 2012-12-12 삼성코닝정밀소재 주식회사 다공성 칼코게나이드 박막, 그 제조방법 및 이를 채용한전자소자
KR100643376B1 (ko) 2005-10-24 2006-11-10 삼성전자주식회사 표시장치와 표시장치의 제조방법
US8124172B2 (en) 2006-03-02 2012-02-28 E.I. Du Pont De Nemours And Company Process for making contained layers and devices made with same
US20070278936A1 (en) 2006-06-02 2007-12-06 Norman Herron Red emitter complexes of IR(III) and devices made with such compounds
US20080067473A1 (en) 2006-06-05 2008-03-20 Walker Dennis D Liquid composition for deposition of organic active materials
US7491646B2 (en) 2006-07-20 2009-02-17 Xerox Corporation Electrically conductive feature fabrication process
EP2069419A2 (en) 2006-08-24 2009-06-17 E.I. Du Pont De Nemours And Company Hole transport polymers
JP4940857B2 (ja) * 2006-09-26 2012-05-30 凸版印刷株式会社 有機機能性素子の製造方法
CN101490760B (zh) 2006-10-18 2012-11-14 松下电器产业株式会社 多层信息记录介质的制造方法及多层信息记录介质
DE102006054481A1 (de) * 2006-11-18 2008-05-21 Eppendorf Ag Vakuumkonzentrator und Verfahren zur Vakuumkonzentration
JP5087927B2 (ja) * 2007-01-09 2012-12-05 大日本印刷株式会社 有機発光素子、有機発光トランジスタ及び発光表示装置
US20080289676A1 (en) 2007-05-25 2008-11-27 Guidotti Ronald Armand Electrode for a thermal battery and method of making the same
CN101275282B (zh) * 2007-12-26 2011-06-08 中国核动力研究设计院 超晶格热电材料的制备方法
GB0803950D0 (en) * 2008-03-03 2008-04-09 Cambridge Display Technology O Solvent for printing composition

Also Published As

Publication number Publication date
US9209398B2 (en) 2015-12-08
WO2010104852A3 (en) 2011-01-27
KR20110139253A (ko) 2011-12-28
CN102349132A (zh) 2012-02-08
CN102349132B (zh) 2014-09-17
US20110305824A1 (en) 2011-12-15
EP2406813A4 (en) 2012-07-25
JP2012519950A (ja) 2012-08-30
EP2406813A2 (en) 2012-01-18
WO2010104852A2 (en) 2010-09-16

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