CN107940904B - 一种真空干燥腔室及真空干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种真空干燥腔室及真空干燥装置，涉及有机溶液成膜技术领域，能够解决现有的真空干燥装置中根据检测环境真空度来判断和调整基板膜层中有机溶剂的蒸发速率，导致干燥后的基板膜层的膜厚均一性较差的问题。包括真空腔室以及在真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，载台用于承载待干燥基板，冷凝板的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板的待干燥膜层表面朝向冷凝板，在真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。

Description

一种真空干燥腔室及真空干燥装置

技术领域

本发明涉及有机溶液成膜技术领域，尤其涉及一种真空干燥腔室及真空干燥装置。

背景技术

随着显示技术的发展与进步，对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)作为一种电流型发光器件，因其相对于TFT-LCD(hin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示装置)而言具有自发光、快速响应、宽视角，以及高亮度、色彩艳丽、体积轻薄等优点，越来越多地被应用于高性能显示领域当中。

对于大尺寸的OLED显示装置，使用白光OLED配合彩膜基板的方式实现OLED彩色显示的方式，对于材料的利用率较低，且功耗较大等问题，使得人们越来越倾向于使用喷墨打印(ink jet printing，IJP)薄膜制备技术制作OLED。在打印OLED的工艺制程，对于有机材料的湿膜进行真空干燥的工艺过程中，膜层真空干燥的效果是决定膜层厚度均匀性的重要环节。真空干燥，又名解析干燥，是将物料置于负压条件下，通过加热达到负压状态下的沸点或者通过降温使得物料凝固后通过溶点来干燥物料的一种干燥方式。

对于基板上湿膜中的有机溶剂的干燥，也需要在负压状态下进行，在负压状态下，膜层内的有机溶剂的熔点和沸点都会随着环境真空度的提高而降低，从而使得有机溶剂能够较快的由膜层中蒸发分离。要使得真空干燥后的有机膜层的膜厚均匀性较高，需要有机溶剂在蒸发分离过程蒸发速率较为均衡，对于环境的真空度的变化要求较高，需要能够根据有机溶剂的蒸发速率对真空干燥装置中的真空抽取速率进行调整。现有技术中是在真空干燥装置内设置真空度检测器，通过真空度检测器对真空干燥装置内的环境真空度进行检测，但是，由于真空度检测器是对环境真空度进行检测，而膜层中有机溶剂的蒸出速率还受到环境温度等因素的影响，仅通过环境真空度的检测，难以对有机溶剂的实时蒸出速率进行准确的预估和调整，从而导致干燥处理后的有机膜层的膜厚均匀性较差，进而影响整个OLED显示装置的显示效果。

发明内容

本发明实施例提供一种真空干燥腔室及真空干燥装置，能够解决现有的真空干燥装置中根据检测环境真空度来判断和调整基板膜层中有机溶剂的蒸发速率，导致干燥后的基板膜层的膜厚均一性较差的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种真空干燥腔室，包括真空腔室以及在真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，载台用于承载待干燥基板，冷凝板的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板的待干燥膜层表面朝向冷凝板，在真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。

优选的，有机溶剂浓度检测器设置在载台与冷凝板之间。

进一步的，有机溶剂浓度检测器设置有多个，多个有机溶剂浓度检测器均布设置在载台与冷凝板之间。

优选的，冷凝板的板面温度与载台的台面温度之间的温度差为10-20℃。

进一步的，在所述冷凝板表面设置有导流部件。

进一步的，本发明实施例的真空干燥腔室还包括设置在真空腔室内的支撑板，在支撑板上设置有可沿垂直于支撑板板面的方向伸缩的支撑杆，支撑杆与载台之间固定连接，用于对载台进行支撑和移动。

本发明实施例的另一方面，提供一种真空干燥装置，包括上述任一项的真空干燥腔室，还包括真空抽取装置，真空抽取装置的抽气口与真空腔室连通。

进一步的，本发明实施例的真空干燥装置，还包括控制器，控制器与有机溶剂浓度检测器电连接，并与真空抽取装置电连接，用于根据有机溶剂浓度检测器的检测结果控制真空抽取装置的真空抽取速率。

进一步的，本发明实施例的真空干燥装置还包括与载台连接的加热器，控制器与加热器电连接，以根据有机溶剂浓度检测器的检测结果控制加热器对载台的加热。和/或，真空干燥装置还包括与冷凝板连接的调温器，控制器与调温器电连接，以根据有机溶剂浓度检测器的检测结果控制调温器对冷凝板的温度调节。

优选的，真空抽取装置包括一级真空抽气泵和二级真空抽气泵。其中，一级真空抽气泵真空度为10^-3托，二级真空抽气泵真空度为10^-5托。

本发明实施例提供一种真空干燥腔室及真空干燥装置，包括真空腔室以及在真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，载台用于承载待干燥基板，冷凝板的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板的待干燥膜层表面朝向冷凝板，在真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。通过设置在真空腔室内的有机溶剂浓度检测器对由待干燥基板上的待干燥膜层中蒸发出的有机溶剂在真空腔室内的浓度进行检测，根据有机溶剂浓度的变化趋势，对应调节真空抽取装置的真空抽取速率以及冷凝板与载台之间的温度差，以调整有机溶剂的蒸发速率，从而提高待干燥基板上的待干燥膜层中有机溶剂的蒸发速率均匀性，进而提高待干燥基板上待干燥膜层的膜厚均一性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的真空干燥腔室的结构示意图之一；

图2为本发明实施例的真空干燥腔室的结构示意图之二；

图3为图2的A-A剖视图；

图4为冷凝板的结构示意图；

图5为本发明实施例的真空干燥腔室的结构示意图之三；

图6为本发明实施例的真空干燥装置的结构示意图之一；

图7为本发明实施例的真空干燥装置的结构示意图之二；

图8为本发明实施例的真空干燥装置的结构示意图之三。

附图标记：

10-真空腔室；20-载台；21-待干燥基板；22-待干燥膜层；23-加热器；30-冷凝板；31-调温器；40-有机溶剂浓度检测器；50-支撑板；60-真空干燥腔室；70-真空抽取装置；701-抽气口；80-控制器；32-导流部件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种真空干燥腔室，如图1所示，包括真空腔室10以及在真空腔室10内相对设置的载台20和冷凝板30，载台20用于承载待干燥基板21，冷凝板30的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板21的待干燥膜层22表面朝向冷凝板30，在真空腔室10内还设置有机溶剂浓度检测器40。

需要说明的是，第一，膜层中有机溶剂的真空蒸发，其蒸发速率与所处环境的真空度直接相关。随着真空环境的真空度提高，有机溶剂的熔点和沸点都会随之降低，从而提高有机溶剂的蒸发速率，有机溶剂由待干燥膜层22中蒸出，以气态的形式在真空腔室10内，使得真空腔室10内的有机溶剂浓度升高，由于冷凝板30的板面温度低于载台20的台面温度，气态的有机溶剂会在冷凝板30上凝结为液态，气态有机溶剂的凝结会使气态有机溶剂的浓度降低，同时，对真空腔室10抽取气体以降低真空腔室10内的气压的装置，在抽取气体的同时，也会抽走气体中包含的气态有机溶剂。因此，在蒸发干燥的过程中，真空腔室10内的气态有机溶剂的浓度是变化的数值。

第二，真空腔室10中气体抽取速率过快或过慢，都容易使得喷墨打印形成的湿膜在蒸发干燥成膜过程中由于膜面上各个位置处的蒸发速率不稳定而导致膜层的厚度不均匀，进而影响到膜层后续的工艺制程。通常情况下，对真空腔室10中的气体抽取需要保持在一个根据经验或其他方式确定的气体抽取速率范围内，在此气体抽取速率范围内，待干燥膜层22中的有机溶剂前期先以相对较慢的速度蒸发，真空腔室10内的有机溶剂的浓度逐渐升高，随着真空度的提高，有机溶剂的浓度逐渐升高并达到饱和蒸气压并维持一个时间段后，随着气态的有机溶剂在冷凝板30上的凝结以及气态的有机溶剂随真空腔室10内的气体的抽离，气态有机溶剂的浓度再逐渐下降，这样形成一个连贯的变化曲线。但是由于有机溶剂的蒸发速率还会受到其他因素的影响，因此，需要根据有机溶剂浓度检测器40对真空腔室10内有机溶剂浓度的检测数值，在蒸发干燥的过程中对真空抽取的速率进行反馈调节。

第三，如图1所示，载台20上承载待干燥基板21，载台20的台面温度传递至待干燥基板21上，因此，可以认为待干燥基板21的温度与载台20的温度相同或近似相同。待干燥基板21的待干燥膜层22表面朝向冷凝板30，冷凝板30的板面温度低于载台20的台面温度，这样一来，由待干燥膜层22上蒸出的有机溶剂在冷凝板30上遇到低温后会凝结为液态，从而通过其他方式导流后排出。

第四，本发明实施例的真空干燥腔室中，对于有机溶剂浓度检测器40的具体形状和结构不做限定，只要能够对对应的一种或多种有机溶剂在气体中的浓度进行检测即可。例如，基于光电离原理对挥发性气态有机物的浓度进行检测。首先通过紫外光将待检测气体轰击离解为离子态，气体中的有机溶剂分子离解为带正电的离子和带负电的电子，并在极化极板的电场作用下分别向两极板撞击形成离子电流，通过对该离子电流的大小的检测即可得到有机溶剂的浓度。而且，在检测后，离子会重新复合为气态的有机溶剂分子，不会对待干燥膜层22的真空干燥过程造成影响。

第五，本发明实施例的真空干燥腔室中，对于有机溶剂浓度检测器40在真空腔室10内的固定设置方式不做具体限定，在图1中也未示出有机溶剂浓度检测器40与真空腔室10侧壁之间的固定方式，本领域技术人员在不损坏有机溶剂浓度检测器40本身并且不影响有机溶剂浓度检测器40的检测数值的前提下，可以使用各种连接方式对有机溶剂浓度检测器40进行固定连接。

本发明实施例提供一种真空干燥腔室，包括真空腔室以及在真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，载台用于承载待干燥基板，冷凝板的板面温度低于载台的台面温度，待干燥基板的待干燥膜层表面朝向冷凝板，在真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。通过设置在真空腔室内的有机溶剂浓度检测器对由待干燥基板上的待干燥膜层中蒸发出的有机溶剂在真空腔室内的浓度进行检测，根据有机溶剂浓度的变化趋势，对应调节真空抽取装置的真空抽取速率以及冷凝板与载台之间的温度差，以调整有机溶剂的蒸发速率，从而提高待干燥基板上的待干燥膜层中有机溶剂的蒸发速率均匀性，进而提高待干燥基板上待干燥膜层的膜厚均一性。

优选的，如图1所示，有机溶剂浓度检测器40设置在载台20与冷凝板30之间。

这样一来，如图1所示，有机溶剂浓度检测器40能够直接对载台20与冷凝板30之间的有机溶剂的浓度进行检测。由于通常情况下，要对真空腔室10实现一定的真空度，需要对真空腔室10内的气体进行抽取，例如，使用抽气泵等装置，将抽气口设置在真空腔室10上对真空腔室10内的气体进行抽取，由于气体抽取时导致真空腔室10内的空气流动，在真空腔室10内就可能导致靠近抽气口位置处的有机溶剂的浓度值与其他位置处的有机溶剂的浓度值产生一定差异，因此，为了减少有机溶剂浓度检测器40检测到的浓度数值受到真空腔室10内其他因素的影响，使有机溶剂浓度检测器40检测到的浓度数值能够真实的反映有机溶剂由待干燥膜层22中的蒸出情况，将有机溶剂浓度检测器40设置在载台20与冷凝板30之间较为优选。

进一步的，如图2所示，有机溶剂浓度检测器40设置有多个，如图3所示，多个有机溶剂浓度检测器40均布设置在载台20与冷凝板30之间。

如图2所示，为了能够对待干燥基板21上待干燥膜层22的各个位置处的有机溶剂蒸出速率进行直接的反映，优选的，在真空腔室10内设置有多个有机溶剂浓度检测器40，且多个有机溶剂浓度检测器40在载台20与冷凝板30之间均布设置，示例的，如图3所示，在对应待干燥膜层22的中心位置以及周边分别设置有机溶剂浓度检测器40，每一个有机溶剂浓度检测器40分别对其所述位置处的有机溶剂的浓度进行单独检测，根据各个有机溶剂浓度检测器40检测的数值，就能够实现对待干燥膜层22上各个位置处的有机溶剂蒸出速率的检测。

需要说明的是，本发明实施例中，对于有机溶剂浓度检测器40的设置数量以及设置位置不做具体限定，如图3所示仅为一种示例的设置方式，本领域技术人员可以根据实际生产和设计需要，对有机溶剂浓度检测器40进行具体的设置。此外，图3中未示出位于待干燥膜层22中心位置处的有机溶剂浓度检测器40的固定方式，示例的，可以通过在真空腔室10侧壁上设置水平伸入载台20与冷凝板30之间的支杆，将有机溶剂浓度检测器40固定在支杆上的方式进行固定，这种方式能够尽可能的降低固定件对有机溶剂浓度检测器40的检测数值造成的影响。

优选的，冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间的温度差为10-20℃。

冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间的温度差的大小与蒸发出的气态有机溶剂的冷凝速率成正比，而蒸发出的气态有机溶剂的凝结速率又对真空腔室10中的气态有机溶剂浓度有影响。将冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间的温度差设置在10-20℃之间，能够使得气态的有机溶剂的冷凝速率维持在较佳的范围内。若冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间的温度差小于10℃，则气态的有机溶剂不易在冷凝板30上凝结，则加快了有机溶剂达到饱和蒸气压的时间；若冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间的温度差大于20℃，则气态的有机溶剂在冷凝板30上的凝结速率过快，冷凝板30上凝结的液态有机溶剂极易由于导流不及时而滴落至待干燥膜层22表面，导致待干燥膜层22表面的膜层厚度不均匀。

需要说明的是，要使得冷凝板30的板面温度与载台20的台面温度之间保持固定范围的温差，至少需要在冷凝板30上设置有能够调节温度的调温部件，和/或在载台20上设置加温部件。本发明实施例中对于冷凝板30的温度调节方式以及温度调节部件的具体表现形式不做具体限定，同样的，对载台20的升温方式以及升温部件的具体表现形式不做具体限定，只要能够加温或降温使得冷凝板30或载台20表面能够较为均匀的达到并保持所需的温度即可。示例的，冷凝板30可以通过在其表面流通冷却液的方式控制温度，通过对冷却液的加温和降温来调节冷凝板30的表面温度。

进一步的，如图4所示，在冷凝板30表面设置有导流部件32。

示例的，如图4所示，在冷凝板30表面设置导流槽，以使得凝结在冷凝板30表面的液态有机溶剂能够沿导流槽流向冷凝板30的侧边，并通过设置在冷凝板30侧边的收集部件(图4中未示出)将液态的有机溶剂进行收集和集中处理，从而避免凝结的液态有机溶剂滴落在待干燥膜层22的表面。

需要说明的是，本发明实施例中未限定导流部件32的具体结构，导流部件32还可以为除导流槽以外的其他能够将液态有机溶剂引导流出的结构或部件，此外，由于冷凝板30朝向载台20的下表面上凝结的液态有机溶剂在不进行处理的情况下极易直接滴落在待干燥膜层20表面，因此，本发明实施例的冷凝板30，至少在朝向载台20的下表面上设置导流部件32，或者，当冷凝板30上仅在其中一侧表面上设置有导流部件32时，本领域技术人员应当知晓，在对本发明实施例的真空干燥腔室进行安装时，需将设置有导流部件32的一面朝向载台20设置。

进一步的，如图5所示，本发明实施例的真空干燥腔室还包括设置在真空腔室10内的支撑板50，在支撑板50上设置有可沿垂直于支撑板50板面的方向伸缩的支撑杆51，支撑杆51与载台20之间固定连接，用于对载台20进行支撑和移动。

如图5所示，在真空腔室10内还设置有带有支撑杆51的支撑板50，其中，支撑杆51的一端设置在支撑板50上，且支撑杆51能够沿垂直于支撑板50板面的方向伸缩运动，支撑杆51的另一端与载台20的下表面固定连接，这样一来，通过控制支撑杆51相对于支撑板50的伸缩运动方向和移动距离，能够对载台20以及设置在载台20上的待干燥基板21在真空腔室10内的设置高度进行调整。由于冷凝板30在真空腔室10内的相对位置固定，从而也就使得能够通过调节支撑杆51，对载台以及设置在载台20上的待干燥基板21与冷凝板30之间的相对位置进行调节。

需要说明的是，在本发明实施例的真空干燥腔室中的其他特征条件不变的情况下，载台20上的待干燥基板21与冷凝板30之间的距离与由待干燥膜层22中蒸发出的气态有机溶剂在冷凝板30上的凝结速率反相关。因此，通过调节载台20与冷凝板30之间的距离，也能够对有机溶剂的蒸发速率进行相应的调节。

本发明实施例的另一方面，提供一种真空干燥装置，如图6所示，包括上述任意一项的真空干燥腔室60，还包括真空抽取装置70。真空抽取装置70的抽气口701与真空腔室10连通。

这样一来，如图6所示，启动真空抽取装置70，与真空腔室10相连通的抽气口701能够将真空腔室10内的气体向外抽取，以逐步降低真空腔室10内的气压，直至达到所需的真空度。真空腔室10中的气体抽取速率直接影响待干燥膜层22中的有机溶剂的蒸发速率。要使得待干燥膜层22上能够在干燥成膜后形成膜厚均一的膜层，需要使得真空腔室10中的真空度以一个较为稳定的速率逐渐增大(即使得真空腔室10内的气压以较为稳定的速率逐渐降低)，在这个过程中，待干燥膜层22中的有机溶剂前期先以相对较慢的速度蒸发，真空腔室10内的有机溶剂的浓度以稳定的升幅逐渐升高，随着真空度的提高，有机溶剂的浓度逐渐升高并达到饱和蒸气压后维持一个时间段，然后随着气态的有机溶剂在冷凝板30上的凝结以及气态的有机溶剂随真空腔室10内的气体的抽离，气态有机溶剂的浓度又会逐渐下降，形成一个连贯的变化曲线。而根据待干燥膜层22中的有机溶剂的成分不同，蒸发干燥过程中有机溶剂浓度在这个变化曲线的基础上还需要有不同程度的调节。

根据有机溶剂浓度检测器40对真空腔室10内有机溶剂浓度的实时检测数值与上述变化曲线之间的匹配程度，对真空抽取装置70的气体抽取速率的大小进行调节，就能够尽可能的使得本发明实施例的真空干燥装置对待干燥膜层22中有机溶剂的蒸发速率处于预设的速率范围内，从而提高对待干燥膜层22进行真空干燥后基板上的干燥膜层的膜厚均一性。

由于有机溶剂浓度检测器40是直接对真空腔室10内的有机溶剂的浓度值进行的检测，与现有技术中通过对真空腔室10内的真空度进行检测，然后根据真空腔室10内的真空度与有机溶剂蒸发速率之间的比例关系计算得到的有机溶剂浓度值相比，直接检测的浓度值更为准确直观，而且避免了真空干燥装置中其他因素(例如载台20的温度、冷凝板30的凝结速率、冷凝板30与载台20之间的距离等)对有机溶剂的浓度值的影响，进一步提高了干燥处理后的膜层均一性效果。

进一步的，如图7所示，本发明实施例的真空干燥装置还包括控制器80，控制器80与有机溶剂浓度检测器40电连接，并与真空抽取装置70电连接，用于根据有机溶剂浓度检测器40的检测结果控制真空抽取装置70的真空抽取速率。

需要说明的是，在图7中未示出控制器80与有机溶剂浓度检测器40之间的电连接以及与真空抽取装置70之间的电连接关系，本领域技术人员应当知晓，电连接可以包括导线连接等多种方式，本发明实施例中对于电连接方式不做限定，只要能够实现电连接并传输电信号即可。

示例的，如图7所示，在使用本发明实施例的真空干燥装置对待干燥膜层22进行干燥成膜的过程中，若控制器80获取到的有机溶剂浓度检测器40的检测数值高于预定的变化曲线中的对应的数值，即气态有机溶剂浓度高于预定数值，则控制器80向真空抽取装置70输出指令，控制真空抽取装置70相应的降低气体抽取速率，从而实现对待干燥膜层22上有机溶剂的蒸出速率的反馈调节。

优选的，如图8所示，真空干燥装置还包括与载台20连接的加热器23，控制器80与加热器23电连接，以根据有机溶剂浓度检测器40的检测结果控制加热器23对载台20的加热。和/或，真空干燥装置还包括与冷凝板30连接的调温器31，控制器80与调温器31电连接，以根据有机溶剂浓度检测器40的检测结果控制调温器31对冷凝板30的温度调节。

示例的，在载台20上连接设置加热器23，或者，在冷凝板30上连接设置调温器31，或者，如图8所示，在载台20上连接设置加热器23的同时还在冷凝板30上连接设置调温器31。这样一来，在根据有机溶剂浓度检测器40的检测结果对应调整真空抽取装置的气体抽取速率，以对有机溶剂的蒸发速率进行调整的基础上，还能够通过控制加热器23和/或控制调温器31，调节载台20上的待干燥膜层22与冷凝板30之间的温度差，以通过调整冷凝板30上的有机溶剂的凝结速率对有机溶剂的蒸发速率进行调整。

优选的，真空抽取装置70包括一级真空抽气泵和二级真空抽气泵。其中，一级真空抽气泵真空度为10^-3托，二级真空抽气泵真空度为10^-5托。

这样一来，在通过真空抽取装置70对真空腔室10内的气体进行抽取以实现所需的真空度的过程中，首先通过一级真空抽气泵对真空腔室10进行初级抽取，一级真空抽气泵的真空度为10^-3托，当真空腔室10内的真空度达到10^-3托后，再启动二级真空抽气泵对真空腔室10内的气体进一步抽取，直至真空腔室10内的真空度达到10^-5托。其中，通过对一级真空抽气泵和二级真空抽气泵的分别设置，能够初步设置一级真空抽气泵抽取真空腔室10内气体达到10^-3托的真空度的时间，以及二级真空抽气泵抽取真空腔室10内气体达到10^-5托的真空度的时间，并进一步根据有机溶剂浓度检测器40对真空腔室10内有机溶剂浓度的检测数值对一级真空抽气泵和二级真空抽气泵的气体抽取速率进行反馈调节。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种真空干燥腔室，其特征在于，包括真空腔室以及在所述真空腔室内相对设置的载台和冷凝板，所述载台用于承载待干燥基板，所述冷凝板的板面温度低于所述载台的台面温度，所述待干燥基板的待干燥膜层表面朝向所述冷凝板，在所述真空腔室内还设置有机溶剂浓度检测器。

2.根据权利要求1所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述有机溶剂浓度检测器设置在所述载台与所述冷凝板之间。

3.根据权利要求2所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述有机溶剂浓度检测器设置有多个，多个所述有机溶剂浓度检测器均布设置在所述载台与所述冷凝板之间。

4.根据权利要求1-3任一项所述的真空干燥腔室，其特征在于，所述冷凝板的板面温度与所述载台的台面温度之间的温度差为10-20℃。

5.根据权利要求1所述的真空干燥腔室，其特征在于，在所述冷凝板表面设置有导流部件。

6.根据权利要求4所述的真空干燥腔室，其特征在于，还包括设置在所述真空腔室内的支撑板，在所述支撑板上设置有可沿垂直于支撑板板面的方向伸缩的支撑杆，所述支撑杆与所述载台之间固定连接，用于对所述载台进行支撑和移动。

7.一种真空干燥装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的真空干燥腔室，还包括真空抽取装置，所述真空抽取装置的抽气口与真空腔室连通。

8.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与有机溶剂浓度检测器电连接，并与所述真空抽取装置电连接，用于根据所述有机溶剂浓度检测器的检测结果控制所述真空抽取装置的真空抽取速率。

9.根据权利要求8所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括与载台连接的加热器，所述控制器与所述加热器电连接，以根据所述有机溶剂浓度检测器的检测结果控制所述加热器对所述载台的加热；

和/或，所述真空干燥装置还包括与冷凝板连接的调温器，所述控制器与所述调温器电连接，以根据所述有机溶剂浓度检测器的检测结果控制所述调温器对所述冷凝板的温度调节。

10.根据权利要求7-9任一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空抽取装置包括一级真空抽气泵和二级真空抽气泵；

其中，所述一级真空抽气泵真空度为10^-3托，所述二级真空抽气泵真空度为10^-5托。