TW201030237A - Rotary vacuum pump - Google Patents

Description

.201030237 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種利用旋轉軸來旋轉轉子以運送泵室 內的氣體，並進行抽吸作用的旋轉式真空栗。 【先前技術】 專利文獻1揭露一種屬旋轉式真空栗之一的多段式魯 式泵。該多段式魯式泵在外殼內平行地設置有兩個旋轉 0 軸’且分別藉由軸承可旋轉地支承各旋轉軸之兩端。具有 設於各旋轉軸的複數個轉子，分別被收容於在外殼內與該 旋轉軸呈直角方向並設的複數個栗室內的構成。 具體來說，設於一旋轉軸的複數個轉子與設於另一旋 轉軸的複數個轉子各自成對，並以嚙合狀態收容於該各泵 室中。各泵室具有吸入領域與排出領域，一個泵室的排出 領域透過連通路與鄰接之泵室的吸入領域相連。又，位於 一端側的泵室的吸入區域和與外部連通的吸入孔相連，位 ® 於另一端的泵室的排出區域和與外部連通的排出口相連。 該一旋轉軸的一端連結至驅動源，且設置於該旋轉軸 之齒輪係與設於該另一旋轉軸之齒輪嚙合，使得各旋轉軸 同步地朝相反方向旋轉。雖然專利文獻1並沒有明確記 載’但所實施之多段式魯式泵中，由於該一旋轉軸和另一 旋轉軸爲了限制該泵室內之轉子的位置，故構成爲藉由鎖 定螺帽、或者該旋轉軸一端側之徑向軸承與旋轉軸的壓入 等的手段以禁止其朝向旋轉軸線方向的移動。 -4- 201030237 以前述方式構成之多段式魯式泵，藉由驅動該一轉 軸，該另一旋轉軸亦會跟著被旋轉，使得收容於該各泵室 的一對轉子旋轉。透過該吸入口被吸入至該一端側泵室的 氣體，藉該一對轉子之旋轉一邊被壓縮，一邊依序被吸入 至鄰接之泵室內，依此方式被運送。從其他端泵室將被壓 縮之氣體經排出口排出到外部。 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕日本特開第2008-51116號公報 '0 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 以前述方式構成之多段式魯式泵於運轉中，特別是因 爲在該排出口側會產生高熱，所以該外殼、轉子以及旋轉 軸會產生熱膨脹。又，多段式魯式泵在停止時，因爲該外 殻、轉子以及旋轉軸會被空氣冷卻，故會產生熱收縮。但 是，於運轉中，該外殻會與空氣直接接觸而呈現容易受到 φ 冷卻效果的狀態，然而該轉子及旋轉軸係位於外殻內故不 會受到空氣冷卻效果。所以，該外殼與該轉子以及旋轉軸 之間會產生熱膨脹量差異，該轉子以及旋轉軸自該外殻大 幅位移。因此，在屬該外殼之一部分的泵室壁面與該轉子 壁面之間會產生推力方向的大間隙。 另一方面，由於被吸入泵室內的氣體中混合有粉麈 等，故容易於該推力方向的大間隙處產生因粉塵等的堆積 所形成的異物。在有堆積異物狀態停止多段式魯式泵，且 201030237 產生熱收縮的情況下，該轉子以及該旋轉軸會因異物的存 在而無法回復到初期設定位置，而成爲強力地壓抵於該異 物的狀態。因此，當多段式魯式泵重新啓動時，該轉子與 異物之間將產生很大的摩擦阻力，恐怕無法重新啓動。 本發明係提供一種旋轉式真空泵，其可減輕於重新啓 動時堆積在泵室內的異物所造成之摩擦阻力。 〔解決課題之手段〕 ©申請專利範圍第1項記載之本發明係將泵室設置於外 殻內，且將設置於該泵室內的轉子設於複數根旋轉軸上， 藉由該複數根旋轉軸的旋轉來運送該泵室內的氣體以產生 抽吸作用，該旋轉式真空泵的特徵在於，該旋轉軸係具備： 推力方向移動限制機構，係將因該旋轉式真空泵運轉時所 產生的該轉子與該旋轉軸之推力方向的熱膨脹所致之位移 限制於僅能朝一方向；以及第一彈性構件，係朝容許該熱 膨脹方向之相反方向對該旋轉軸賦予彈推力。根據申請專 φ 利範圍第1項記載之本發明，該旋轉式真空泵在運轉時， 即使在因該外殻與該轉子和該旋轉軸之間的熱膨脹量差異 而於該泵室內產生推力方向的間隙處堆積異物，亦可藉該 第一彈性構件的變形吸收該旋轉式真空栗於停止時的熱收 縮所伴隨產生之該外殼與該轉子間的摩擦力，可使該旋轉 式真空泵能夠沒有阻礙地重新啓動。

‘申請專利範圍第2項記載的本發明中，由於設置有第 二彈性構件，其對該旋轉軸賦予容許該熱膨脹方向的彈A 201030237 力，故可藉具有相反方向的兩個彈性構件定位該旋轉軸， 同時可減輕因熱膨脹而堆積在泵室內的異物所產生的摩擦 阻力。 申請專利範圍第3項記載的本發明中，由於該推力方 向移動限制機構係由形成於該旋轉軸之階差部與支持該旋 轉軸的軸承所組成，且藉由該階差部與該軸承的直接或間 接抵接，可限制推力方向的移動，故可利用簡易的手段達 ^ 成本發明之目的。 〇 申請專利範圍第4項記載的本發明中，由於該第一彈 性構件係設置於該階差部與該軸承之間，故可適當地對旋 轉軸賦予推壓力。 申請專利範圍第5項記載的本發明中，由於該旋轉式 真空係爲多段式魯式泵，故可適當地實施本發明。 申請專利範圍第6項記載的本發明中，由於該第一彈 性構件對該旋轉軸賦予彈推力的方向係與該多段式魯式泵 G 中氣體的運送出方向相同’且該推力方向移動限制機構係 設置於該多段式魯式泵的最末端側，故可限制多段式魯式 泵最末端側推力方向的移動’並且可有效地防止氣體自最 末端泵室1 4洩露。 〔發明的效果〕 本發明無論泵室內是否有堆積異物皆可滑順地重新啓 動旋轉式真空泵。 【實施方式】 .201030237 (第1實施形態） 以下，參照第1圖〜第6圖說明本發明之多段式魯式 泵所實施的第1實施形態。又，本發明說明書中，關於多 段式魯式泵的方向，係將第1圖〜第4圖的左方作爲前側、 右方作爲後側、上方作爲上方、下方作爲下方，將第5圖 以及第6圖的右方作爲正面、左方作爲背面來說明。 形成多段式魯式泵外形的外殻1係由前側依序接合有 A 前殼2、轉子殼3、後殼4以及齒輪殻5，且在將內部密封 〇 狀態下藉由例如螺絲（圖中未顯示）等形成一體。各外殼 2〜5係如第5圖和第6圖槪略外觀般，係構成爲將具有大 致呈橢圓形內部空間之筒狀體上下分割成兩部分。此種二 分割構成在可有效地組合成多段式魯式泵，例如將後述各 機構的構件安裝於下方側之分割筒狀體之後，再以上方側 之分割筒狀體加以覆蓋而形成密封狀態，進而組合成一 體。又，由於各外殼2〜5的二分割構成與本發明沒有密切 〇 關係，所以省略詳細說明。又，多段式魯式泵的各構成係 如各圖般，依組合後狀態作說明。 於轉子殻3內部，以成爲橢圓形的方式自前側依序以 狹窄間隔安裝有上下分割爲兩部分的分隔壁6〜9，且於分 隔壁6與前殼2之間、各分隔壁6〜9之間以及分隔壁9與 後殼4之間分別形成有泵室10〜14。因此，各分隔壁6〜9 係構成作爲用以形成泵室10〜14的轉子殼3的一部分。 又，各泵室10〜14具有自前側依序縮減的容積。 201030237 各分隔壁6〜9於內部具有連通空間15〜18。 空間1 5〜1 8係如第1圖所示，於下方具有朝前側開 出通道19〜22，於上方具有朝後側開口之吸入通發 26 » 第1圖中，各泵室10〜14係於上方空間形成秦 入領域，於下方空間形成氣體的排出領域。泵室1C 入領域連通至吸入口 27，使排出領域連通至分隔壁 出通道19，而該吸入口 27係設於轉子殼3上方且 〇 連接。於分隔壁6〜9之間形成的各泵室11〜13係 領域各自連通至各分隔壁6〜9之吸入通道23〜25 排出領域各自連通至各分隔壁6〜9之排出通道19 泵室14將吸入領域連通至分隔壁9之吸入通道26 將排出通道連通至設置在轉子殼3下方且與外部相 排出口 2 8。 在以上構成中，吸入口 27以及吸入通道23〜 〇 構成各泵室10〜14的氣體抽吸部，排出通道19〜 排出口 28各自構成各泵室10〜14的氣體排出部。 在外殼1內的約中央部處，平行設置有自前側 後側的兩根旋轉軸29、30，旋轉軸29、30各自具 個在周面上呈一體化之十字形（參考第5圖）轉子3 轉子31、36成對嚙合並且可旋轉地收容於栗室10 下同樣地，轉子32、39可旋轉地收容於栗室11中 33、38可旋轉地收容於泵室12中，轉子34、39 各連通 目口之排 ! 23〜 I體的吸 >係使吸 5 6的排 與外部 將吸入 ，並將 〜2 2。 ，並且 連結之 26各自 22以及 :貫通至 有複數 1 〜4 0。 中，以 ，轉子 丁旋轉地 .201030237 收容於泵室13中，轉子35、40可旋轉地收容於泵室14中。 旋轉軸29、30的前側端部係分別利用軸承41、42可 旋轉地支承於前殼2。軸承41、42可對前殼2朝推力方向 移動。於旋轉軸29、30周面固定有環構件43、44，且於 環構件43、44與前殻2之間介設有作爲第二彈性構件的盤 簧45、46。因此，旋轉軸29、30構成爲藉由盤簧45、46, 透過軸承41、42、環構件43、44,接承朝向前側的彈推力。 ▲ 又’構成爲在環構件43、44外周面與前殼2內周面之間安 〇 裝有密封構件47、48，使得泵室10內的氣體不會漏到外 部。又’符號65係用於覆蓋旋轉軸29、30之前側端部的 外蓋。 旋轉軸29、30的後側係藉由軸承51、52可旋轉地支 承，軸承51、52則藉由安裝在後殼4內周面的保持器49、 5 0來加以支撐。在比軸承5 1、5 2更靠後側位置處，設置 有藉由螺入而固定於旋轉軸29、30周面的彈簧承環53、 φ 54。彈簧承環53、54在調整安裝位置後，可利用適當的手 段固定於旋轉軸29、30,其中利用雙螺帽等即可，構成簡 單。 在軸承51、52的內座圏與彈簧承環53、54之間，安 裝有構成爲壓縮彈簧之作爲本發明之第一彈性構件的螺旋 彈簧55、56，並且對旋轉軸29、30賦予朝向後側的彈推 力。旋轉軸29、30係相對於軸承51、52容許朝向推力方 向移動之構成。較佳爲，相對於盤簧45、46，將螺旋彈簧 -10- .201030237 55、56的彈力設成較強，藉此旋轉軸29、30可成爲位於 最後側位置的狀態。 在位於軸承5 1、5 2前側之後殻4內的空間中，於旋轉 軸29、30上設置有曲徑機構57、58，以密封泵室14內與 軸承5 1、5 2側的空間之間。突出於齒輪殼5內部空間的旋 轉軸29、30之後側端部各自具備齒輪59、60，藉由兩齒 輪59、60的嚙合進行旋轉傳動。旋轉軸29係藉由接頭62 ^ 與固定於齒輪殻5後側外端面的馬達之馬達軸61連結，並 ❹ 接收馬達Μ的驅動力。 與作爲最末端之泵室14排出領域連通的排出口 28， 係連結至消音器63以及排出機構64，自泵室14排出的氣 體會透過排出機構64排出至圖中未顯示之排氣處理裝置。 具有以上構成的多段式魯式栗進行下述之動作。藉由 馬達Μ的驅動力使旋轉軸29旋轉，並經由齒輪59、60使 旋轉軸30旋轉。旋轉軸29之轉子31〜35以及旋轉軸30 〇 之轉子36〜40各自成對並以嚙合狀態於栗室10〜14中旋 轉。隨著旋轉軸29、30的旋轉，可自吸入口 27抽吸氣體。 自吸入口 27被抽吸至第1段栗室10之吸入領域的氣 體藉由轉子31、36被運送至排出領域，然後透過分隔壁6 之排出通道19、連通空間15和吸入通道23被抽吸至鄰接 的第二段泵室11的吸入區域。被抽吸至泵室11中的氣體， 藉由轉子32、37被運送至排出領域，然後藉由分隔壁7之 排出通道20、連通空間16以及吸入通道24被抽吸到第三 -11- .201030237 段泵室12。以下同樣地’泵室12內的氣體依序被運送至 第四段的泵室13以及最末端的泵室14。 自吸入口 27被吸入的氣體，在從泵室1〇送至泵室14 的期間，依序被壓縮，而成爲高溫、高壓的氣體，並朝排 出口 28排出。所以，含有分隔壁6〜9的轉子殻3以及含 有轉子31〜40的旋轉軸29、30會產生熱膨脹，並朝推力 方向以及徑向位移。旋轉軸29、30對於轉子殼3、後殼4 的安裝係構成爲可容許因該熱膨脹所產生朝推力方向之位 〇 移。在位於後殻4內之旋轉軸29、30，形成爲階差部之凸 緣部29a、3 0a的後側側面，係抵接於曲徑機構57、58的 前側端面。因此，旋轉軸29、30藉由屬一端側支持部的軸 承51、52而被限制朝向後側移動，且旋轉軸29、30之凸 緣部29a、30a、曲徑機構57、58、軸承51、52係構成推 力方向移動限制機構。旋轉軸29、30之凸緣部29a、30a 亦可由扣環（circlip)形成。又，將多段式魯式泵的外殻1 ❹ 透過防震橡膠（圖中未顯示）固定於圖中未顯示之安裝基 座，由於馬達Μ係以懸掛於外殼1之後側端面的狀態構 成，所以外殻1的熱膨脹會被防震橡膠吸收。 以上述方式構成之第1實施形態係如下所述般地作 動。 關於多段式魯式泵運轉時的各部位的狀態’參照顯示 有以旋轉軸30的轉子36〜40爲代表的第3圖和第4圖進 行說明。將透過多段式魯式泵的運轉被抽吸至第一段栗室 -12- 201030237 10的氣體依序壓縮並運送至最末端的泵室14。於栗室14 中將被高度壓縮而變成高溫的氣體排出。因此，含有分隔 壁6〜9的轉子殼3以及含有轉子36〜40的旋轉軸3〇會因 熱膨脹而朝徑向以及推力方向產生熱膨脹。 其中，由於推力方向之熱膨脹僅容許朝一方向位移， 所以會在前側的氣體抽吸部側產生位移（參考第3圖的箭頭 方向）。因熱膨脹所致之位移量，以泵室14的周圍爲最大。 但是，由於轉子殼3的外周圍部會暴露於外部空氣，因此 包含分隔壁6〜9在內會經常呈現受到冷卻效果的狀態。相 對地，與轉子殼3分離且包含收容於內部之轉子36〜40的 旋轉軸30’不會受到因外部空氣而所致之冷卻效果。因此， 如第3圖之箭頭長短所示，熱膨脹量會產生外殼側熱膨脹 «<旋轉軸側熱膨脹β的關係。 特別是在構成泵室14的後殼4的前側壁面與轉子40 的後側壁面之間，會產生了很大的間隙66。運送於泵室1 0 〇 〜14之氣体中所混入的粉麈，特別容易堆積於大的間隙66 中，並於此處產生異物67(參考第4圖）塊。由於多段式魯 式泵在運轉中間隙66較大，所以不會特別造成問題。但 是，當多段式魯式泵停止時，因高溫氣體所致之加熱源會 消失，故整體會急速地冷卻。 第4圖係顯示多段式魯式泵於停止時的狀態。含有分 隔壁6〜9的轉子殼3以及含有轉子36〜40的旋轉軸30, 會因熱收縮位移至後側而回到初期設定位置。含熱膨脹量 -13- 201030237 較大之轉子36〜40之旋轉軸30，其熱收縮量也較大，如 第4圖的箭頭的長短所示，會產生外殼側熱收縮γ<旋轉 軸側熱收縮δ的關係。但是，於泵室14的間隙66’存有 運轉時堆積之異物67。 當轉子40即將回到初期設定位置時，異物67會藉由 螺旋彈簧56的彈力而在泵室14內被夾在轉子40與後殼4 的前側壁面之間。雖然異物67對轉子40有很大的旋轉阻 力，但本實施形態中可藉由螺旋彈簧56的伸長使旋轉軸 〇 30維持稍微朝前側位移的狀態。因此，可避免因轉子40 的熱收縮而造成異物67被強力推壓在轉子40與後殼4的 前側壁面之間所致之卡住問題。又，即便異物67堆積在泵 室10〜14的任一間隙，均可防止異物67卡在轉子36〜40、 後殻4的前側壁面、分隔壁6〜9、前殼2的後側壁面之間。 多段式魯式泵於其後被命令重新啓動的情況下，由於 轉子4 0對異物6 7的推壓力較小，摩擦阻力較小，所以可 Q 滑順地啓動。又，期盼在多段式魯式泵重新運轉時，異物 67可藉由氣體的壓力與轉子40的旋轉而逐漸被除去。即 使在堆積有異物67的情況下，轉子40也不會因螺旋彈簧 56的伸長而強力地壓抵於異物67,所以不會妨礙多段式魯 式栗的運轉。 前述第1實施形態具有以下的作用效果。 (1)藉由透過螺旋彈簧55、56彈推，將旋轉軸29、30 設成可朝旋轉軸線方向位移的簡單構造，可抑制因異物67 -14- .201030237 的堆積所致之大摩擦阻力的發生。 (2) 藉由分別使盤簧45、46以及螺旋彈簧55、56介設 於外殼1的前側和後側，可易於進行泵室1 〇〜1 4中之轉子 36〜40的初期設定位置的定位。 (3) 螺旋彈簧55、56對旋轉軸29、30施加彈推力的方 向，係與多段式魯式泵中氣體的運送方向相同，旋轉軸29、 30的凸緣部29a、30a、曲徑機構57、58和軸承51、52, 可在多段式魯式栗的最末端側限制推力方向的移動，可有 〇 效地防止氣體自最末端泵室14洩露出。 本發明並不限定於前述實施形態的構成，於本發明之 旨趣的範圍內亦可進行各種變更，可如下地實施。 (1) 本發明的第一彈性構件不限於螺旋彈簧5 5、5 6，可 使用盤簧或是樹脂、橡膠等的彈性構件。 (2) 螺旋彈簧55、56等第一彈性構件並不限設置於後 側，亦可設置於前側或後側與前側的中間位置。 〇 (3)如第1實施形態所示，以螺旋彈簧55、56爲代表 的第一彈性構件，不限設置在旋轉軸29、30上，只要是可 將旋轉軸29、30朝旋轉軸線方向彈推的構成，則亦可設置 於其他位置。又，在以下各實施形態的說明中，以括號表 示之數字爲第2圖顯示之旋轉軸3 0側的組成構件。例如， 第7圖顯示之第2實施形態，係構成爲使軸承51(5 2)可與 旋轉軸29(3 0)—體地滑動，並且將軸承51(52)的外座圈抵 接於安裝在保持器49(5 0)之限制板68(69)上。因此，雖然 -15- .201030237 旋轉軸29(3 0)以及軸承51(5 2)會被限制往後側（第7圖的右 側）之移動，卻可被允許因熱膨脹而往前側（第7圖的左側） 之移動。作爲本發明之第一彈性構件的螺旋彈簧70(71)， 係設置在保持器49(50)前側所形成之突起部72(73)與軸承 51(52)的外座圈之間。螺旋彈簧70(71)係使旋轉軸29(3 0) 以及軸承51 (5 2)朝向與因熱膨脹而移動之方向相反的方向 (第7圖的右側）彈推。第2實施形態可期盼具有與第1實 施形態同樣的作用效果。 〇 (4) 第8圖所示之第3實施形態，係構成爲可使軸承 51(52)以及保持器49(50)與旋轉軸29(30)—體地滑動。藉 由第1圖和第2圖所示之旋轉軸29(30)之凸緣部29a、30a 與曲徑機構57、58相抵接，可限制軸承51(52)、保持器 49(50)以及旋轉軸29(3 0)朝向後側（第8圖的右側）的移 動’並可允許因熱膨脹而朝向前側（第8圖的左側）的移動。 本發明之第一彈性構件的螺旋彈簧74(75)係設置在保持器 〇 49(50)的後側突起部76(77)與後殼4的後側缺口部7 8(79) 之間。螺旋彈簧74(75)係將旋轉軸29(30)、軸承51(52)以 及保持器49(50)朝向因熱膨脹而移動之方向相反的方向 (第8圖的右側）彈推。第3實施形態可期盼具有與第1實 施形態相同的作用效果》 (5) 設置可限制因螺旋彈簧55、56而朝向旋轉軸29、 3 〇之後側移動之具剛性的限制構件來取代作爲第二彈性構 件的盤簧45、46 ’亦可獲得本發明之作用效果。 -16- .201030237 (6) 含分隔壁6〜9的轉子殼3以及含轉子31〜40的旋 轉軸29、30因熱膨脹而位移的方向，不限於如第1實施形 態的吸入部側，亦可構成爲僅朝排出部側位移》 (7) 外殻1並非一定是分割成兩部分的構成，亦可爲一 體成型或分割成三部分以上之分割構成。 (8) 本發明不限於多段式魯式泵，亦可實施於具有單一 泵室的魯式栗。 (9) 本發明不限於魯式泵，可爲在例如使用螺旋式泵或 ❹ 齒輪泵等之旋轉式真空泵中實施。 【圖式簡單說明】 第1圖係多段式魯式泵的前視剖面圖。 第2圖係多段式魯式栗的俯視剖面圖。 第3圖係顯示熱膨脹時的部分俯視剖面圖。 第4圖係顯示熱收縮時的部分俯視剖面圖。 第5圖係第2圖之A-A線剖面圖。 Q 第6圖係第2圖之B-B線剖面圖。 第7圖係顯示第2實施形態的部分剖面圖。 第8圖係顯示第3實施形態的部分剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 外殼 2 前殼 3 轉子殼 4 後殼 17- 201030237

5 6、7、7、9 10、 11、 12、 13、 15、 16、 17、 18 19、 20 、 21、 22 23 、 24 、 25 ' 26 27 28 29、30 31、 32 、 33 、 34 、 41 、 42 、 51、 52 45、46 53、54 55、 56、 70、 71、 64 66 67 72 、 73 、 76 、 77 78、79 Μ 齒輪殼 分隔壁 14 泵室 連通空間 排出通道 吸入通道 吸入口 排出口 旋轉軸 35 、 36 、 37 ' 38 、 39 、 軸承 盤簧 彈簧承環 74、75螺旋彈簧 排出機構 間隙 異物 突起部 缺口部 馬達 40 轉子 -18-

Claims (1)

1. .201030237 七、申請專利範圍： 1. 一種旋轉式真空泵，係將泵室設置於外殼內，且將設置 於該泵室內的轉子設於複數根旋轉軸上，藉由該複數根 旋轉軸的旋轉來運送該泵室內的氣體以產生抽吸作用， 該旋轉式真空泵的特徵在於， 該旋轉軸係具備：推力方向移動限制機構，係將因該 旋轉式真空泵運轉時所產生的該轉子與該旋轉軸之推力 方向的熱膨脹所致之位移限制於僅能朝一方向；以及第 ® 一彈性構件’係朝容許該熱膨脹方向之相反方向對該旋 轉軸賦予彈推力。 2. 如申請專利範圍第1項之旋轉式真空泵，其中設置有第 二彈性構件’其對該旋轉軸賦予容許該熱膨脹方向的彈 推力。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之旋轉式真空栗，其中 該推力方向移動限制機構係由形成於該旋轉軸之階差部 與支持該旋轉軸的軸承所組成，且藉由該階差部與該軸 G 承的直接或間接抵接，可限制推力方向的移動。 4. 如申請專利範圍第3項之旋轉式真空泵，其中該第一彈 性構件係設置於該階差部與該軸承之間。 5. 如申請專利範圍第1項之旋轉式真空泵，其中該旋轉式 真空泵係多段式魯式泵。 6. 如申請專利範圍第5項之旋轉式真空泵，其中該第一彈 性構件對該旋轉軸賦予彈推力的方向，係與該多段式魯 式泵中氣體的運送方向相同，且該推力方向移動限制機 構係設置於該多段式魯式泵的最末端側。 -19-