TH38624A - Instruments for cleaning with an ultrasonic - Google Patents

Abstract

DC60 (08/03/42) เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดด้วยคลื่นความถี่เหนือเสียงได้จัดเตรียมไว้เพื่อทำ การกำจัดอนุภาคที่ไม่พึงปรารถนาที่ยึดติดอยู่กับวัตถุที่จะทำให้สะอาดเช่น ผลึกของซิลิคอน เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดประกอบด้วยแผ่นสั่นสะเทือนกลุ่มหนึ่งซึ่งแต่ละแผ่นมีพื้นผิว ด้านบนเพื่อทำการรองรับวัตถุที่จะทำให้สะอาด แผ่นสั่นสะเทือนจะให้เว้นห่างจากกันและกัน ด้วยช่องว่างที่มีความกว้างที่แน่นอนขนาดหนึ่ง เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดยังประกอบ เพิ่มเติมด้วยเครื่องกำเนิดคลื่นความถี่เหนือเสียงกลุ่มหนึ่งซึ่งมีจำนวนเท่ากับแผ่นสั่นสะเทือน เครื่องกำเนิดคลื่นแต่ละเครื่องจะให้ยึดตรึงกับแผ่นสั่นสะเทือนแผ่นที่สอดคล้องกัน เครื่องมือ สำหรับทำความสะอาดยังประกอบด้วยกลไกจ่ายของเหลวสำหหรับทำความสะอาดเพื่อทำการ จัดส่งของเหลวสำหรับทำความสะอาดไปที่แผ่นสั่นสะเทือน เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดด้วยคลื่นความถี่เหนือเสียงได้จัดเตรียมไว้เพื่อทำการกำจัดอนุภาคที่ไม่พึงปรารถนาที่ยึดติดอยู่กับวัตถุที่จะทำให้สะอาดเช่น ผลึกของซิลิคอน เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดประกอบด้วยแผ่นสั่นสะเทือนกลุ่มหนึ่งซึ่งแต่ละแผ่นมีพื้นผิวด้านบนเพื่อทำการรองรับวัตถุที่จะทำให้สะอาด แผ่นสั่นสะเทือนจะให้เว้นห่างจากกันและกันด้วยช่องว่างที่มีความกว้างที่แน่นอนขนาดหนึ่ง เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดยังประกอบเพิ่มเติมด้วยเครื่องกำเนิดคลื่นความถี่เหนือเสียงกลุ่มหนึ่งซึ่งมีจำนวนเท่ากับแผ่นสั่นสะเทือนเครื่องกำเนิดคลื่นแต่ละเครื่องจะให้ยึดตรึงกับแผ่นสั่นสะเทือนแผ่นที่สอดคล้องกัน เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดยังประกอบด้วยกลไกจ่ายของเหลวสำหรับทำความสะอาดเพื่อทำการจัดส่งของเหลวสำหรับทำความสะอาดไปที่แผ่นสั่นสะเทือน DC60 (08/03/42) Ultrasonic cleaning tools are provided to perform Removal of undesirable particles attached to the object to be cleaned, such as Silicon crystals The cleaning tool consists of a group of vibration discs, each with a surface. Above to support the object to be cleaned. The vibration plates are kept apart from each other. With a gap of a certain width Tools for cleaning are also assembled. Further, with a group of supersonic wave generators, which are equal in number to vibration plates. Each wave generator is fixed to a corresponding vibration plate. The cleaning tool also includes a cleaning fluid supply mechanism to perform the Deliver cleaning fluid to the vibration plate. Ultrasonic cleaning equipment is provided to remove undesirable particles attached to the object to be cleaned, such as Silicon crystals The cleaning tool consists of a group of vibration pads, each with a top surface to support the object to be cleaned. The vibration plates are spaced from each other by a gap of a certain width. The cleaning tool is additionally equipped with a group of supersonic wave generators that are equal in number to vibration plates.Each wave generator is fixed to a corresponding plate vibration plate. The cleaning tool also includes a cleaning fluid supply mechanism to deliver cleaning fluid to the vibration plate.

Claims (1)

1.เครื่องมือสำหรับทำความสะอาดด้วยคลื่นความถี่เหนือเสียงเพื่อทำการกำจัดอนุภาคที่ยึดติดอยู่กับวัตถุที่จะทำให้สะอาดออกไป, เครื่องมือประกอบด้วย แผ่นสั่นสะเทือนจำนวนหนึ่งซึ่งแต่ละแผ่นมีพื้นผิวด้านบนสำหรับรองรับวัตถุดังกล่าว, แผ่นสั่นสะเทือนจะให้เว้นห่างจากกันและกันด้วยช่องว่างซึ่งมีความกว้างตามที่กำหนดไว้ก่อนแล้ว, กลไกสำหรับสั่นด้วยคลื่นความถี่เหนือเสียงเพื่อทำการสั่นแผ่นสั่นสะเทือน, และ กลไกจ่ายของเหลวสำหรับทำความสะอาดเพื่อทำการจัดส่งของเหลวสำหรับทำความสะอาดไปที่แผ่นสั่นสะเทือนแท็ก :1. An ultrasonic cleaning tool to remove particles attached to the object to be cleaned, instruments consisting of A number of vibration discs, each with a top surface to support the object, vibrate plates are spaced from each other by a predetermined width gap, a mechanism for ultrasonic oscillation To vibrate the vibration plate, and the cleaning fluid supply mechanism to deliver the cleaning fluid to the vibration plate.