SU989134A1 - Cryosorption pump operation method - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ РАБОТЫ КРИОСОРБЦИОНнего НАСОСА(54) METHOD OF WORK OF CRYOSORPTION PUMP

Изобретение относитс  к вакууг/шой технике.This invention relates to vacuums / equipment.

Известен способ работы криосорбционного насоса путем сорбции газов. на охлажденном сорбенте и последующей его регенерации ,1 .The known method of operation of the cryosorption pump by sorption of gases. on a cooled sorbent and its subsequent regeneration, 1.

Охлаждение сорбента по известному способу осуществл ют в камере, стенки которой охлаждаютс . Аналогичным образом сорбент нагревают в камере регенерации. Таким образом, в камерах происходит нагревание или охлаждение лишь прилегающих кстенкам камеры слоев сорбента, а внутренние его слои охлаждаютс  или нагреваютс  за счет теплопроводности. Однако теплопроводность .сорбирующих веществ невелика, поэтому в известном способе на охлаждение и нагревание тратитс  много времени,что ограничивает скорость откачки насоса в целом.The sorbent is cooled in a manner known per se in a chamber whose walls are cooled. Similarly, the sorbent is heated in the regeneration chamber. Thus, in the chambers, only the chamber layers adjacent to the chamber walls of the sorbent are heated or cooled, and its inner layers are cooled or heated due to heat conduction. However, the thermal conductivity of absorbing substances is low, so in the known method it takes a lot of time to cool and heat, which limits the pumping speed of the pump as a whole.

Целью Способа  вл етс  повышение производительности насоса за сч-етсокращени  времени регенерации сорбента .The purpose of the method is to increase the pump performance by shortening the sorbent regeneration time.

Указанна  цель достигаетс  тем, что согласно способу работы криосорбдионного насоса путем сорбции газов на охлажденном сорбенте и последук цей его регенерации, в качествеThis goal is achieved by the fact that, according to the method of operation of the cryosorbdione pump, by sorption of gases on the cooled sorbent and the subsequent generation of its regeneration, as

сорбента используют сорбирукичее вещество - парамагнетик, а его регенерацию провод т в магнитном поле.The sorbent is a sorbiruyushchy substance - paramagnet, and its regeneration is carried out in a magnetic field.

с На чертеже изображен криосорбционный насос, реализующий предлагаемый способ.c The drawing shows a cryosorption pump that implements the proposed method.

Насос содержит камеру 1 сорбции, . камеру 2 регенерации, привод 3 щени , на валу которого установлен ротор, например в виде диска 4. На плоскости диска 4 размещен сорбент 5 в виде сло  парамагнитного сорбирующего вещества. Насос снабжен источником б магнитного пол , в качестве The pump contains a sorption chamber 1,. regeneration chamber 2, drive 3 of the puppy, on the shaft of which a rotor is mounted, for example in the form of a disk 4. On the plane of the disk 4 a sorbent 5 is placed in the form of a layer of paramagnetic sorbent substance. The pump is supplied with a source of magnetic field b, as

15 которого может быть использован посто нный магнит или соленоид. Камера 2 регенерации посредством патрубка 7 под:ключена к форвакуумному насосу (на чертеже не показан), а камера 1 15 which a permanent magnet or solenoid can be used. Regeneration chamber 2 by means of a pipe 7 under: is connected to the foreline pump (not shown), and chamber 1

20 сорбции -посредством патрубка 8 - к откачиваемому объему. Дл  охлаждени  сорбирующего вещества ротор снабжен системой охлалсдени  (на чертеже не показана).20 sorption - by means of pipe 8 - to the pumped volume. To cool the sorbent, the rotor is equipped with a cooling system (not shown in the drawing).

2525

Криосорбционный насос работает следуюишм образом.The cryosorption pump works in the following way.

После предварительной откачки камеры 2 регенерации, камеры 1 сорбции и откачиваемого объема включает30 с  система охлгикдени  и ротор вместе с сорбентом 5 охлаждаетс до температуры , oпpeдeл e юй дл  парамагнитного сорбционного материала условием (//- электронный магнитный момен парамагнетика, Т - тегшература, Н магнитное поле). После этого ротор приводитс  во вращение и начйнаетс  процесс откачки. Наход ща с  в камере 1 сорбции часть сорбента насыщаетс  газом, переходит в каьтеру 2 регенерации и попадает в зону воздействи  источника 6 магнитного пол , нагреваетс , десорбируетс  поглощенный газ и вновь попадает в камеру 1 сорбции. , В охлаждаемых парамагнитных веществах энерги  теплового движени  ионов . При размещении парамагнетика в магнитное поле происходит ориентаци  определенной части ионов вдоль силовых линий пол  и энтропи  уменьшаетс . Это сопровождаетс  увеличением температуры парамагнитного сорбента. При выключении магнитного пол  происходит обратный процесс и система принимает исходную температуру, в качестве сорбирующего вещества парамагнетика может быть использован, например сульфат гадолини . Таким образом, реализаци  пред .агаемого способа позвол ет увеличить КПД насоса, поскольку нагреванию и охлаждению подвергаетс  только сорбент. Кроме того, увеличиваетс  скорость охлаждени  и регенерации сорбента ввиду незначительного времени релаксации сорбента парамагнетика. Формула, изобретени  Способ работы криосорбционного насоса путем сорбции газов на охлажденном сорбенте и последующей его регенерации, отличающийс   тем, что с целью повышени  производительности путем сокращени  времени регенерации, в качестве сорбента используют сорбирующее вещество - парамагнетик, а его регенерацию провод т в магнитном поле. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. За вка Франции № 2363714, кл. F 04 В 37/02, 1978.After pre-pumping of the regeneration chamber 2, the sorption chamber 1 and the pumped-out volume includes 30 s the cooling system and the rotor together with the sorbent 5 is cooled to a temperature that is determined by the condition for the paramagnetic sorption material (// electronic magnetic moment of the paramagnet, T is tegschertura, H magnetic field). Thereafter, the rotor is rotated and the pumping process begins. The part of the sorbent located in the sorption chamber 1 is saturated with gas, transferred to the regeneration chamber 2 and enters the zone of influence of the magnetic field source 6, heats up, the absorbed gas desorbs and re-enters the sorption chamber 1. , In cooled paramagnetic substances, the energy of thermal motion of ions. When a paramagnet is placed in a magnetic field, a certain part of the ions are oriented along the field lines and the entropy decreases. This is accompanied by an increase in the temperature of the paramagnetic sorbent. When the magnetic field is turned off, the reverse process takes place and the system takes the initial temperature, for example, gadolinium sulfate can be used as a sorbent substance of a paramagnetic. Thus, the implementation of the proposed method allows to increase the efficiency of the pump, since only the sorbent is subjected to heating and cooling. In addition, the rate of cooling and regeneration of the sorbent increases due to the insignificant relaxation time of the paramagnetic sorbent. Formula of the invention. Method of operation of a cryosorption pump by sorption of gases on a cooled sorbent and its subsequent regeneration, characterized in that in order to increase productivity by reducing the regeneration time, a sorbent is used as a sorbent and a regeneration is carried out in a magnetic field. Sources of information taken into account during the examination 1. Application of France No. 2363714, cl. F 04 B 37/02, 1978.

Claims (1)

Формула, изобретенияClaim Способ работы криосорбционного насоса путем сорбции газов на охлажденном сорбенте и последующей его регенерации, отличающийс я тем, что, с целью повышения производительности путем сокращения времени регенерации, в качестве сорбента используют сорбирующее вещество - парамагнетик, а его регенерацию проводят в магнитном поле.A method of operating a cryosorption pump by sorption of gases on a cooled sorbent and its subsequent regeneration, characterized in that, in order to increase productivity by reducing the regeneration time, a sorbent is used as a sorbent - paramagnet, and its regeneration is carried out in a magnetic field.