Изобретет1е касаетс вакуумной техники а именно адсорбционных вакуумных насосов. Известны адсорбционные насосы, содержащие сосуд с хладагентом, на поверхности которого размешен адсорбент, защищен : ный от теплового излучени желюзийным экраном. Однако установка защитных экранов во входном патрубке снижает его пропускную способность. Дл сохранени пропускной способности приходитс увеличивать диаметр патрубка и соответственно площадь экрана, что приводит к увеличению количества поглощенного экраном тепла и к повышенному расходу хладагента. Целью изобретени вл етс повышение экономичности насоса. Дл этого адсорбент расположен в теневой дл излучени зоне полости насоса, а на входе в насос установлена диафрагма, проводимость которой соответствует скорости откачки насоса, полированна снаружи и черненна внутри. На фиг-. 1 изображен откачивающий эле ч1ент насоса, поперечный разрез; на фиг, 2 откачиваюший элемент насоса, корпус котоporo охлаждаетс при помощи змеевика, прикрепленного к корпусу с хорошим тепловым контактом. Откачивающий элемент насоса выполнен в виде охлаждаемого хладагентом корпуса 1, на поверхности которого размещен сорбент 2 с входным патрубком 3. Внутренн поверхность корпуса 1, патрубка 3, а также поверхность диафрагмы 4 играющей роль экрана, обращенна к полости насоса 5, почернены . Адсорбент расположен в части полости насоса, ограниченной плоскостью, проход щей через торец 6 патрубка 3.Сорбент 2 охлаждаетс хладагенгом 7, заливаемым в корпус или циркулирующим в змеевике 8, прикрепленном к корпусу откачивающего элемента насоса. Пред-мет изобретенуг 1. Адсорбционный насос, содержащий охлаждаемый корпус с размещенным на его 1 внутренней поверхности адсорбентом и натрубок дл подвода газа, о т л и ч а ю ш и и с тем, что, с целью повыщевш ,The invention relates to vacuum technology, namely, adsorption vacuum pumps. Adsorption pumps are known that contain a vessel with a refrigerant, on the surface of which an adsorbent is placed, protected from heat radiation by a cold screen. However, the installation of protective shields in the inlet port reduces its throughput. In order to preserve the throughput, it is necessary to increase the diameter of the nozzle and, accordingly, the screen area, which leads to an increase in the amount of heat absorbed by the screen and to increased refrigerant consumption. The aim of the invention is to increase the efficiency of the pump. For this, the adsorbent is located in the shadow zone to emit the cavity of the pump, and at the pump inlet there is a diaphragm, the conductivity of which corresponds to the pump’s pumping speed, polished on the outside and blackened on the inside. In fig-. 1 shows the pumping out pump element, cross section; Fig. 2 shows the pumping element of the pump, the housing of which is cooled by means of a coil attached to the housing with good thermal contact. Pumping element of the pump is made in the form of a housing 1 cooled by coolant, on the surface of which is placed sorbent 2 with inlet 3. The inner surface of housing 1, nozzle 3, as well as the surface of diaphragm 4 playing the role of the screen facing the cavity of pump 5, are blackened. The adsorbent is located in a part of the pump cavity bounded by a plane passing through the end 6 of the pipe 3. The sorbent 2 is cooled with refrigerant 7 poured into the casing or circulating in the coil 8 attached to the casing of the pump element. The pre-invented method 1. An adsorption pump containing a cooled body with an adsorbent placed on its 1 inner surface and a pipe for supplying gas, has been added so that, with the aim of increasing
экономичнсюти, адсорбент расположен в те-i невой дл теплового излучени зоне полости корпуса, ограниченной плоскоЬтью, проход 1вей через торец патрубка, а все поверхности , открытые дл излучени , почер- йены.economical, the adsorbent is located in the non-thermal zone of the body cavity, bounded by the plane, the passageway 1 through the end of the nozzle, and all surfaces exposed to radiation are blackened.
2. Насос по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с, тем, что в патрубке установлена кольцева диафрагма, имеюща с ним тепловой контакт и со стороны входа газа выполнен5 наа полированной, а со стороны вн треннеГ1 , части корпуса - почерненной.2. A pump according to claim 1, of which there is an annular diaphragm, a thermal contact with it and the gas inlet 5 is made polished from the gas inlet side, and hull - blackened.
1 г 1 g