SU904513A3 - Способ получени кремниевого покрыти и устройство дл осуществлени способа - Google Patents

Способ получени кремниевого покрыти и устройство дл осуществлени способа Download PDF

Info

Publication number
SU904513A3
SU904513A3 SU752147450A SU2147450A SU904513A3 SU 904513 A3 SU904513 A3 SU 904513A3 SU 752147450 A SU752147450 A SU 752147450A SU 2147450 A SU2147450 A SU 2147450A SU 904513 A3 SU904513 A3 SU 904513A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
glass
gas
chamber
coating
channel
Prior art date
Application number
SU752147450A
Other languages
English (en)
Inventor
Джеймс Киркбрайд Бернард
Эндрю Дауни Роберт
Виктор Томассон Чарльз
Эрл Льюис Джозеф
Original Assignee
Пилкингтон Бразерз Лимитед (Инофирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Пилкингтон Бразерз Лимитед (Инофирма) filed Critical Пилкингтон Бразерз Лимитед (Инофирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU904513A3 publication Critical patent/SU904513A3/ru

Links

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
    • E06B7/28—Other arrangements on doors or windows, e.g. door-plates, windows adapted to carry plants, hooks for window cleaners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001—General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002—General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/06—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
    • C03C17/09—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/66—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together
    • E06B3/67—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together characterised by additional arrangements or devices for heat or sound insulation or for controlled passage of light
    • E06B3/6715—Units comprising two or more parallel glass or like panes permanently secured together characterised by additional arrangements or devices for heat or sound insulation or for controlled passage of light specially adapted for increased thermal insulation or for controlled passage of light
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/25—Metals
    • C03C2217/263—Metals other than noble metals, Cu or Hg
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/28—Other inorganic materials
    • C03C2217/282—Carbides, silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/10—Deposition methods
    • C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152—Deposition methods from the vapour phase by cvd
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00—Methods for coating glass
    • C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
    • C03C2218/365—Coating different sides of a glass substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Description

Изобретение относится к нанесению покрытия на листовое стекло, в частности к способу покрытия листового стекла кремнием с одной или обеих сторон листа для модификации свойств стекла в отношении пропускания радиации и отражения, а также для декоративных целей. Изобретение относится также к устройству для нанесения покрытия, разработанному для подачи покровного материала в газообразном состоянии.
Известен способ получения кремниевого покрытия на поверхности деталей из стекла при температуре 400-700 С путем пиролиза смеси, включающей силан, водород и инертный газ при граммолекулярном соотношении последнего К водороду до 1 [1].
Известено также устройство для нанесения покрытия на стекло, содержащее газораспределитель, установленный поперек ленты стекла, газопровод, продолговатую камеру, сообщающуюся с газопроводом с помощью средства ограничения потока газа [2].
Недостатком известных способа и устройства является неравномерность 5 получаемого покрытия.
Целью изобретения является получение равномерного покрытия.
Для достижения поставленной цели согласно способу получения крем10 ниевого покрытия на поверхности стекла с температурой 400-700 С путем пиролиза смеси, включающей силан и инертный газ, покрытие наносят на непрерывно движущуюся ленту стек··15 ла по всей ширине из смеси следующего состава, об.Я:
Силан ' 0,1-20
Инертный газ Остальное
Покрытие целесообразно наносить из смеси, содержащей дополнительно водород - 2-10 об.
Для достижения поставленной цели в известном устройстве для осущеетв .пения способа, включающем опору, газопровод для подачи материала покрытия, расположенный поперек Денты стекла, и открытую камеру, газопровод снабжен водяной рубашкой и соединен с открытой камерой распределителем потока газа.
В этом устройстве распределитель потока газа целесообразно выполнять в виде ряда вертикальных каналов, между газопроводом и камерой установить теплоизоляционные плиты, а камеру выполнять с фасонными стенками .
Предлагаемый способ может применяться для нанесения покрытий из кремния, а также из смеси кремния с другими материалами.
Предпочтительная температура поверхности стекла для нанесения покрытия 6ОО~67О°С.
Содержащийся в покровной смеси силан подвергается предварительному нагреву перед нанесением покрытия до температуры 400 С, при которой не.происходит значительного распада силана. Толщина наносимого покрытия о может составлять от 250 до 600 А, показатель преломления покрытия 3,0-4,0.
На фиг. 1 представлено устройство для изготволения листового стекла на поверхности расплавленного металла- с показом конструкции ванны для расплавленного металла и газораспределителя, который установлен поперек пути движения листового стекла вблизи выходного конца устройства, сечение по вертикали, на фиг. 2 - газораспределитель, разрез; на фиг. 3 - часть газораспределителя, увеличенный вид; на фиг. 4 - то же, боковые стенки выполнены фасонными, причем так, что они образуют уширяющуюся в направлении открытойстороны камеры полость; на фиг. 5 то же, боковые стенки, образующие открытую сторону камеры, имеют иную форму, на фиг. 6 - то же, камера имеет открытую сторону; на фиг. 7 вариант конструкции газораспределителя для нанесения покрытия на стекло в отжиговой печи для стекла, поперечное сечение.
Расплавленное стеклб 1 подается обычным способом вдоль канала 2, ведущего из стеклоплавильной печи. Канал 2 оканчивается в лотке, имеющем боковые откосы 3 и носок 4, при чем поток жидкого стекла, обычно известково-натриевое стекло, контролируется с помощью регулировочной заслонки 5. Лоток своим носком вы5 ходит за пределы торцовой стенки 6 -ванны, имеющей низ 7, выпускную торцовую стенку 8 и боковые стенки 9. В ванне содержится расплавленный металл 10, обычно жидкое олово или 10 сплав, причем жидкое стекло течет как это показано позицией 11, через носок 4 лотка на поверхность расплавленного металла 10 у впускной торцовой стенки ванны, где темпера15 тура поддерживается порядка 1000°С с помощью нагревателей 12, которые монтируются на верхней части 13 ванны, определяющей полость 14 ванны над поверхностью расплавленного 20'металла. Верхняя часть ванны имеет впускную торцовую стенку 15, которая идет вниз и своим нижним концом располагается вблизи поверхности расплавленного металла 10 у 25 впускного конца ванны, обеспечивая небольшой промежуток 16 по высоте.
Верхняя часть конструкции ванны, кроме того, имеет на выпускном конце идущую вниз торцовую часть 17. Между нижней поверхностью торцовой части верхней части ванны 13 и верхней поверхностью торцовой части 8 выпускного конца нижней части ванны образуется зазор 18 для выхода ленты' стекла. За пределами зазора 18 установлены ведомые тянущие ролики 19, верхняя поверхность которых располагается чуть выше верхней поверхности торцовой части 8 нижней части ванны. В полости 14 над поверхностью расплавленного металла с движущейся по нему лентой стекла содержится защитная атмосфера, состоящая, например, из 95%-ов азота и 57-ов водорода, которая подается по трубопроводам 20, проходящим вниз через верхнюю часть 13 ванны от общей напорной камеры 21. Защитная атмосфера прохо-. дат через впускной зазор 16 на заполнение полости, в которой помеща50 ется лоток. Температурный градиент по длине ванны поддерживается в пределах . примерно от 1000°С у впускного конца ванны до температуры 570. 650°С у выпускного конца ванны, где 55 лента стекла выходит из ванны. При этой б.олеа низкой температуре стекло имеет достаточную твердость, чтобы не испытвать каких-либо повреж дений при его контакте с тянущими роликами 19, но в то же время позволяет подъем его с поверхности расплавленного металла.
Кри работе устройства на поверхность ленты стекла подается содержащий силан газ, состоящий из силана в количестве от 0,1 до 20 об.%, во-’ дорода в количестве от 10 об.% и инертнсго газа, обычно азота, в количестве от 70 до 99,9 об.X, При температуре в пределах от 570 до 670°С находящийся в газовой смеси силан легко разлагается пиролизом при его соприкосновении с горячей поверхностью стекла, оставляя на поверхности ленты стекла кремний (Si). Предпочтительно, чтобы в качестве силана использовался моносилан
Газораспределитель 22 (фиг.1) более детально представлен на фиг. 2-3. Газораспределитель содержит полый трубопровод 23 прямоугольного сечения, который приваривается к верхней поверхности части 24 канала, который имеет П-образную форму и служит в качестве канала для охлаждающей текучей среды, обычно воды. От каждой боковой стенки канала по зсей ее длине внутрь отходят горизонтально расположенные поддоны 25, между внутренними концами которых образуется продолговатая прорезь или отверстия 26. На расположенных горизонтально деталях 25 установлен другой канал 27 П-образной формы, которая покрывает прорезь 26. Нижние кромки канала 27 приварены к деталям 25. Канал 27 служит для подачи покровного газа. Между каналами 27 и 24 образован еще один канал 28 П-образной формы, который служит для протока охлаждающей воды. Газораспределитель, кроме того, содержит продолговатую открытую с лицевой стороны камеру 29, которая своей открытой стороной располагается смежно верхней поверхности 30 движущейся ленты стекла и сообщается по всей своей длине с каналом 27 подачи газа. Открытая с лицевой стороны камера имеет расположенную горизонтально плитку 31 из прессованного теплоизоляционного волокнистого материала, причем внутренние кромки этих плиток образуют продолговатую прорезь или отверстие 32, которое располагается в линию с прорезью 26 в нижней части канала подачи газа. По концам камеры 29 установлены стенки из углерода 33, а каждая боковая стенка камеры 29 5 образована двумя плитками 34 из углерода, которые соединяются между собою с помощью центрально расположенного шарнира, который закреплен к боковой стенке канала 24.
Газораспределитель .установлен между продолговатыми прорезями 26 и 32 и включает опорные плиты 35, несущие на себе расположенную по центру слоистую гофрированную пли15 ту 36, изготовленную из гофрированных металлических листов. Опорные плиты 35 крепятся винтами к горизонтальным поддонам 25. Центрально расположенная гофрированная плита
36 (фиг.З) состоит из ряда гофрированных металлических полос, которые располагаются так, чтобы образовывать между ними ячейки, т.е. в положении вне совпадения гофр, в результате чего создаются каналы 37 небольшого поперечного сечения по сравнению с поперечным сечением канала подачи газа 27 так, что, когда содержащий силан газ подается под давлением в канал 27 по газопроводам, перепад давлений вдоль канала подачи газа является небольшим по сравнению с перепадом давлений в каналах 37, и гофрированная плита 36 эффективно работает, что обеспечивает поступление холодного содержащего силан газа в камеру 29 при постоянных давлении и температуре по всей длине указанной камеры. Желательно, однако, 40 чтобы камера 29 нагревалась за счет излучения тепла от верхней поверхности 30 ленты стекла, которая проходит ниже открытой стороны камеры, причем газораспределитель устанавливается таким образом, чтобы, нижняя кромка камеры располагалась вблизи верхней поверхности ленты стекла, на которую должно быть нанесено кремниевое покрытие (фиг.З).
Наличие теплоизоляционных плиток обеспечивает условие, при котором канал подачи газа 27 и гофрированная плита 36 поддерживаются при температуре ниже 400°С с тем, чтобы силан не разлагался преждевременно 55 и кремний не осаждался на внутренней поверхности канала подачи газа или на гофрированной плите. Углеродные стенки камеры 29 поддерживаются в основном при температуре окружающей среды, в результате чего полость внутри камеры образует зону нагрева, в которую поступает содержащий силан газ в основном при неизменной температуре и давлении по всей поверхности стекла. Охлаждающая вода подается к одному концу газораспределителя, расположенному вне ванны. Водоцроводная трубка сообщается с каналом 28, по которому вода течет к другому концу распределителя и затем через отверстие (не показано) к верхней части канала 24 П-образного сечения и прилегающей к ней нижней части трубопровода 23.
Подаваемая таким образом, охлаждающая вода охлаждает детали 23, 24 и 27, что обеспечивает жесткость конструкции газораспределителя, а поток содержащего силан газа через канал 27 поддерживается при температуре, равной примерно температуре охлаждающей воды, т.е. 40-50¾.
Камера 29 располагается в нижней части газораспределителя, в ее центральной части, и по длине соответствует самой широкой, подлежащей покрытию ленты стекла в процессе ее продвижения вдоль ванны. Продолговатая прорезь 26 поэтому пролегает только в центральной части канала подачи газа 27 и в направлении обоих концов этого канала, т.е. за пределами камеры 29 канал подачи газа 27 и канал подачи охлаждающей воды 24 имеют непрерывное основание, образованное одной плитой, которая приварена к боковым стенкам канала 24.
На фиг. 4 и 5 показаны два варианта конструкции камеры, где боковые стенки 38 изготовлены из углерода, имеют значительную толщину и крепятся винтами к опорным плитам 35. Кроме того, используются промежуточные теплоизоляционные плитки 31. Стенки 38 выполнены фасонными с расчетом обеспечения нужной формы полости в камере, которая имеет узкую прорезь 32 в верхней части и широкую открытую сторону в нижней части. Внутренняя поверхность боковых стенок может быть закругленной.
Более плавное' расширение газа и иной характер потока газа создаются при использовании другой конфигурации внутренних поверхностей стенок 38, где указанные поверхности вы
904513 8 полнены плоскими и наклонными (Фиг. 5) .
Иной вариант конструкции газораспределителя показан на фиг. 6, где 5 открытая с нижней стороны камера 29 выполнена для обеспечения ламинарного потока рабочего газа параллельно поверхности 30 ленты стекла.
ГазорасПределитель включает ка10 меру П-образного сечения с боковыми стенками 39 и 40 и верхом 41. Полость камеры- разделена на две части с помощью вертикально расположенной перегородки 42. Горизонтальные под15 доны 43 и 44 отходят внутрь от стенки 39 и перегородки 42 в нижней части последних, и между внутренними концами горизонтальных деталей образуется продолговатая прорезь
2о или отверстие 45. Вторая камера П-образного сечения располагается симметрично поверх отверстия 45. Две камеры П-образного сечения вместе с горизонтальными деталями 43 и 25 44 образуют канал П-образного сечения 46 для подачи охлаждающей текучей среды. Прямоугольного сечения канал 47 обратного потока охлаждающей текучей среды определяется бо~ 30 ковой стенкой 40, верхом 41, перегородкой 42 и горизонтальным поддоном 48. Внутренняя поверхность камеры 49 П-образного сечения вместе с горизонтальными деталями 43 и 44 35 определяет газопровод 50. Газораспределитель 51, представленный гофрированной плитой 36, установленной между опорными плитами 35, крепится винтами к горизонтальным деталям 43 и 40 44 так, что гофрированная плита располагается согласованно в линию с прорезью или'отверстием 45. Фасонные бугоки 52-55 из углерода определяют канал 55 11-образного сечения, откры.. тая сторона которого пролегает по45 _ _ перек верхней поверхности 30 ленты стекла, на которую наносится покрытие. Блок 52 из углерода состоит из верхней 56 и нижней 57 частей, между которыми располагается слой 58 из волокнистого изоляционного материала. Фасонный блок 53 из углерода также состоит из верхней и нижней частей, между которыми располагается слой из волокнистого изоляционного мате55 риала. При работе устройства теплоизоляционные слои контролируют степень теплопередачи между охлажденным каналом подачи газа и каналом 55.
позволяя нагрев фасонных стенок, определяющих указанную камеру.
Лицевые стороны углеродных блоков 52-55, которые определяют стенки канала 55 U -образной формы, являются гладкими и выполнены по форме, чтобы избежать турбулентности потока и обеспечить ламинарность потока газа по поверхности 30 ленты стекла. Вспомогательные углеродные блоки 59 и 60 закреплены к задней фасонной стороне углеродного блока 55 соответственно у верхнего и нижнего конца последнего и служат для повышения возможности контроля потока газа. Нижний вспомогательный блок располагается горизонтально вблизи поверхности газа и ограничивает поток газа в зазор между нижней поверхностью блока 55 и поверхностью листа стекла.
Пример 1 относится к'нанесению кремниевого покрытия на верхнюю поверхность ленты стекла, получаемого на поверхности расплавленного,металла, перед выходом ленты из установки для изготовления такой ленты стекла. Пример 2 относится к нанесению кремниевого покрытия на ленту прокатанного листового стекла при ее прохождении через печь для обжига стекла.
В показанных примерах приводятся оптические свойства полученного стекла. Величины толщины покрового слоя определены известным способом измерения оптической толщины. Степень пропускания белого света определяется с использованием для этой цели в качестве источника света осветительного средства С согласно положениям Международной комиссии по освещению .
Пример 1. Используют предлагаемое устройство, причем защитная атмосфера состоит из 94 об.% азота и 6 об.% водорода и поддерживается в полости верхней части ванны поверх расплавленного металла, поверх которого перемещается лента •стекла. Лента стекла подается со скоростью 295 м/ч с последующим прохождением через печь для отжига стекла. Газораспределитель устанавливают вблизи выходного конца ванны, где температура поверхности стекла составляет примерно 610°С, причем нижняя кромка камеры 29 располагает-. ся по возможности ближе к верхней поверхности 30 ленты стекла, но без контакта с последней. В распределитель через газопроводы подают содержащий силан газ, состоящий из
3,9 об.% моносилана (Sill^)^ 93,0 об.Х азота и 2,2 об.% водорода, со скоростью 90 л/мин на каждый метр длины распределителя. Скорость подачи регулируют до тех пор, пока не по10 лучат по существу равномерное кремниевое покрытие на поверхности стекла у выходного конца печи для отжига стекла. Пластины, отрезанные от ленты стекла, покрытого кремнием, ,5 имеют коричневый цвет при,проходя—щем свете и серебрянный при отраженном свете. Толщина, показатель преломления, оптические свойства снабженного покрытия, стекла были сле20 дующими: длина волны максимального отражения (λ™αχ) 5340 А, показатель преломления 3,73‘, оптическая толщина 1234 А, толщина 355 пропускание белого света 23%, прямое 25 пропускание солнечного тепла 34%, полное пропускание тепла 40%; отражение солнечной радиации 48%.
Пример 2. Процесс повторяют по примеру I с использованием 30 для этой цели модифицированного варианта устройства (фиг.6) при подаче содержащего силан газа через открытую сторону камеры параллельно поверхности стекла в условиях по существу ламинарного потока газа. Общий расход газа установлен из расчета обеспечения равномерного покрытия стекла, а концентрация сила га в газе варьируется для изменения толщины покрытия с целью получения заданной толщины слоя. Условия нанесения покрытия следующие: состав защитной атмосферы - 90 об.% азота, и 10 об.% водорода; скорость движения ленты стекла в печи для отжига стек45 ла - 365 м/ч; температура стекла 620°C', скорость подачи газовой смеси - 50,0 л/мин/м длины распределителя;· состав газовой смеси: | 5 об.% моносилана-(SiH^) и 95 об.% 50 азота', II - 10 об.% моносилана и 90 об.% азота”, lit - 7 об.% моносилана (S1H4), 3 об.% водорода и об.% азота.
Толщина,показатель преломления и оптические свойства стекла по примеру 2 представлены в таблице.
н 904513 ,2
-η Физические показатели ----- Составь I газовой смеси г ПТ
Длина волны максимального отражения СД-умах )» А 4800 7100 0000
Показатель преломления 3,45 4,00 3,80
О Оптическая толщина, А 1 190 1780 1 500
0 Толщина, А 348 444 395
Пропускание белого света, % 25 21 18
Прямое пропускание солнечной
теплоты, % 37 24 28
Полное пропускание тепла, % 43 31 34
Отражение солнечной радиации, % 43 54 52
Цвет стекла при проводящем свете
Коричневый
Зеленый
Коричневый
Цвет стекла при отраженном свете
Серебряный
Золотой
Серебряный
Снабженное покрытием листовое стекло может служить либо в качестве внутреннегоi либо наружного оконного стекла двойного глазурованного изделия. В многослойном глазурованном изделии, содержащем три или более оконных стекла, снабженное покрытием стекло может быть использовано в качестве промежуточного оконного стекла или же в качестве внутреннего оконного стекла.
В ряде случаев, где требуется стекло высокой прочности, желательно делать стекло более прочным путем обычного термического улучшения. Такое термическое улучшение было осуществлено в отношении снабженного кремниевым покрытием стекла согласно предлагаемому изобретению, причем какого-либо существенного ухудшения указанного покрытия не отмечено. Кроме того, снабженное таким покрытием стекло может быть слоистым.
Покрытое кремнием стекло имеет приятный внешний вид и может применяться там, где не требуется особых свойств в отношении контроля воздействия солнечного излучения, например, при внутреннем глазуровании или же в качестве декоративного и иногда строительного материала для мебели. Например, покрытое кремнием стекло можно использовать для крышки стола.
Кроме того, покрытое кремнием стекло можно применять в качестве зеркала путем создания темной обратной стороны для предупреждения пропускания света через стекло. Такие зеркала с кремниевым покрытием получают за счет нанесения черной краски либо поверх кремниевого покрытия, либо на обратную сторону стекла. При нанесении кремниевого покрытия в качестве составной части содержащего силан газа, можно использовать и другие силаны, например, дисилан или дихлорсилан (SiHgCLg) .
Способ согласно изобретению используется для нанесения покрытия на плоское стекло, причем толщина покрытия составляет величину в пределах от 200 до 1 000 А или более. Предпочтительно, чтобы толщина покрытия была в пределах от 250 до 600 К.
Более тонкие покрытия в указанных пределах при отраженном свете имеют серебряный цвет, а при проходящем свете - коричневый. По мере увеличения толщины покровного слоя происходит постепенное изменение его цвета, так, например, при толщине покрытия примерно в 400 X стекло выглядит желто-серебряным в отраженном свете и коричневым в проходящем свете.

Claims (2)

  1. 3 . 1СНИЯ способа, включающем опору, г зопровод дл  подачи материала покр ти , расположенный поперек ленты стекла, и открытую камеру, газопро вод снабжен вод ной рубашкой и сое нен с открытой камерой распределителем потока газа. В этом устройстве распределител потока газа целесообразно выполн т в виде р да вертикальных каналов, между газопроводом и камерой установить теплоизол ционные плиты, а камеру выполн ть с фасонными стенками , Предлагаемый способ может примен тьс  дл  нанесени  покрытий из кремни , а также из смеси кремни  с другими материалами. Предпочтительна  температура поверхности стекла дл  нанесени  покрыти  600-670°С. Содержащийс  в покровной смеси силан подвергаетс  предварительному нагреву перед нанесением покрыти  до температуры 400 С, при которой не.происходит значительного распада силана. Толщина наносимого покрыти  может составл ть от 250 до 600 А, показатель преломлени  покрыти  3,0-4,0. На фиг. 1 представлено устбройство дл  изготволени  листового стекла на поверхности расплавленного металла с. показом конструкции ванны дл  расплавленного металла и газораспределител , который установлен поперек пути движени  листового стекла вблизи выходного конца устро ства, сечение по вертикали, на фиг. 2 - газораспределитель, разре на фиг, 3 - часть газораспределител увеличенный вид; на фиг. 4 - то же боковые стенки выполнены фасонными причем так, что они образзлот уши,р ющуюс  в направлении открытойстороны камеры полость; на фиг. 5 то же, боковые стенки, образующие открытую сторону камеры, имеют иную форму, }га фиг. 6 - то же, камера имеет открытую сторону; на фиг. 7 вариант конструкции газораспределител  дл  нанесени  покрыти  на стекло в отжиговой печи дл  стекла поперечное сечение. Расплавленное стеклб подаетс  обычным способом вдоль канала 2, ведущего из стеклоплавильной печи. Канал 2 оканчиваетс  в лотке, иг-{еющем боковые откосы 3 и носок 4, при 4 чем поток жидкого стекла, обычно известково-натриевое стекло, контролируетс  с помощью регулировочной заслонки 5. .Лоток своим носком выходит за пределы торцовой стенки 6 ванны, имеющей низ 7, выпускную торцовую стенку 8 и боковые стенки 9. В ванне содержитс  расплавленш--1й металл 10, обычно жидкое олово или сплав, причем жидкое стшсло течет как это показано позицией 11, через носок 4 лотка на поверхность расплавленного металла 10 у впускной торцовой стенки ванны, где температура поддерживаетс  пор дка 1000 С с помощью нагревателей 12, которые монтируютс  на верхней части 13 ванны, определ ющей полость 14 ванны над поверхностью расплавленного металла. Верхн   часть ванны имеет впускную торцовую стенку 15, котора  идет вниз и своим нижним концом располагаетс  вблизи поверхности расплавленного металла 10 у впускного конца ванны, обеспечива  небольшой промежуток 16 по высоте. Верхн   часть конструкции ванны, кроме того, имеет на выпускном конце идущую вниз торцовую часть 17. Между нижней поверхностью торцовой части верхней части ванны 13 и верхней поверхностью торцовой части 8 выпускного конца нижней части ванны образуетс  зазор 18 дл  выхода ленты стекла. За пределами зазора 8 установлены ведомые т нущие ролики 19, верхн   поверхность которых располагаетс  чуть выще верхней поверхности торцовой части 8 нршней части ванны, В полости 14 над поверхностью расплавленного металла с движущейс  по нему лентой стекла содержитс  защитна  атмосфера, состо ща , например , из 95%-ов азота и 5%-ов водорода , котора  подаетс  по трубопроводам 20, проход щим вниз через верхШою часть 13 ванны от общей напорной камеры 21. Защитна  атмосфера прохо-, дат через впускной зазор 16 на заполнение полости, в которой помещаетс  лоток, Температурнь1й градиент по длине ванны поддерживаетс  в пределах .примерно от 000°С у ьпускного конца ванны до температуры 570бЗО С у выпускного конца ванны, где лента стекла выходит из . При этой болез низкой температуре стекло имеет достаточную твердость, чтобы не испытвать каких-либо повреж5 дений при его контакте с т нущими роликами 19, ко в то же врем  позвол ет подъем его с поверхности расплавленного металла. При работе устройства на поверхность ленты стекла подаетс  содержа щий силан газ, состо щий из силана в количестве от 0,1 до 20 об.%, водорода в количестье от 10 об.% и инертнсго газа, обычно азота, в количестве от 70 до 99,9 об.%. При температуре в пределах от 570 до 670 С наход щийс  в газовой смеси силан легко разлагаетс  пиролизом при его соприкосновении с гор чей поверхностью стекла, оставл   на поверхности ленты стекла кремний (Si). Предпочтительно, чтобы в качестве силана использовалс  моносилан (51Нл). Газораспределитель 22 (фиг.1) более детально представлен на фиг. 2-3. Газораспределитель содержит полый трубопровод 23 пр моуголь ного сечени , который привариваетс к верхней поверхности части 24 канала , который имеет П-образкую форму и служит в качестве канала дл  охлаждающей текучей среды, обычно воды. От каждой боковой стенки канала по всей ее длине внутрь отход т горизонтально расположенные поддоны 25, между внутренними конца ми которых образуетс  продолговата  прорезь или отверсти  26. На расположенных горизонтально детал х 25 установлен другой канал 27 П-образ ной формы, котора  покрьшает прорезь 26. Нижние кромки канала 27 приварены к детал м 25. Канал 27 служит дл  подачи покровного газа. Между каналами 27 и 24 образован еще один канал 28 П-образной формы который слу сит дл  протока охлаждаю щей Bopfj. Газораспределитель, кром того, содержит продолговатую открытую с лицевой стороны камеру 29 котора  своей открытой стороной располагаетс  смежна верхней поверхности 30 движущейс  ленты стекла и сообщаетс  по всей своей длине с каналом 27 подачи газа. Открыта  с лицевой стороны камера ш-1еет расположенную горизонтально плитку 31 из прессованного теплоизол ционного волокнистого материала, причем вну ренние кромки этих плиток образуют продолговатую прорезь или отверсти 32, которое располагаетс  в линию 36 С прорезью 26 в нижней части канала подачи газа. По концам камеры 29 установлены стенки из углерода 33, а кажда  бокова  стенка камеры 29 образована двум  плитками 34 из уг- лерода, которые соедин ютс  между собою с помощью центрально расположенного щарнира, который закреплен к боковой стенке канала 24, Газораспределитель установлен между продолговатыми прорез ми 26 и 32 и включает опорные плиты 35, несутоие на себе расположенную по центру слоистую гофрированную плиту 36, изготовленную из гофрированных металлических листов. Опорные плиты 35 креп тс  винтами к горизонталыгь м поддонам 25, Центрально расположенна  гофрированна  плита 36 Гфиг.З) состоит из р да гофрированных металлических полос, которые располагаютс  так, чтобы образовывать между ними  чейки, т.е. в положении вне совпадени  гофр, в результате чего создаютс  каналы 37 небольшого поперечного сечени  по сравнению с поперечным сечением канала подачи газа 27 так, что, когда содержащий силан газ подаетс  под давлением в канал 27 по газопроводам, перепад давлений вдоль канала подзчи газа  нл етс  небольшю по сравнению с перепадом давлений в каналах 37, и гофрированна  плита 36 эффективно работает, что обеспечивает поступление Холодного содержащего силан газа в камеру 29 при посто нных давлении и температуре по всей длине указанной камеры. Желательно, однако, чтобы камера 29 нагревалась за счет излучени  тепла от верхней поверхности 30 ленты стекла, котора  проходит ниже открытой стороны камеры, причем газораспределитель устанавливаетс  таким образом, чтобы, нижн   кромка камеры располагалась вблизи верхней поверхности ленты стекла, на которую должно быть нанесе: о кремниевое покрытие (фиг.З). . Наличие теплоизол ционных плиток 31 обеспечивает условие, при котором канал подачи газа 27 и гофрированна  плита 36 поддерживаютс  при температуре ниже 400 С с тем, чтобы силан не разлагалс  преждевременно и кремний не осаждалс  на внутренней поверхности канала подачи газа или на гофрированной плите. Углерод1ше стенки камеры 29 поддерживаютс  s / основном при температуре окружающей среды, 13 результате чего полост внутри камеры образует зону нагрева в которую поступает содержащий сила газ в основном при неизменной температуре и давлении по всей поверхности стекла. Охлаждающа  вода подаетс  к одному концу газораспределител , расположенному вне ванны. Водоцроводна  трубка сообщаетс  с каналом 28, по которому вода течет к другому концу распределител  и за тем через отверстие (не показано) к верхней части канала 24 П-образно го сечени  и прилегающей к ней нижней части трубопровода 23. Подаваема  таким образом, охлаждающа  вода ох.паждает детали 23, 24 и 27, что обеспечивает жесткость конструкции газораспределител , а поток содержащего силан газа через канал 27 поддерживаетс  при темпера туре, равной примерно температуре охлаждающей воды, т.е. 40-50 0. Камера 29 располагаетс  в нижней части газораспределител , в ее цент ральной части, и по длине соответствует самой широкой, подлежащей по крытию ленты стекла в процессе ее продвижени  вдоль ванны. Продолгова та  прорезь 26 поэтому пролегает только в центральной части канала подачи газа 27 и в направлении обои концов этого канала, т.е. за пределами камеры 29 канал подачи газа 27 и канал подачи охлаждающей воды 24 имеют непрерьюное основание, образоватюе одной плитой, котора  приварена к боковым стенкам канала 24. На фиг. 4 и 5 показаны два варианта конструкции камеры, где боковые етенки 38 изготовлены из углеро да, имеют значительную толщину и креп тс  винтами к опорным плитам 35. Кроме того, используютс  промежуточные теллоизол ционные плитки 31. Стенки 38 выполнены фасонными с расчетом обеспечени  нужной формы полости в камере, котора  име ет узкую прорезь 32 в верхней части и широкую открытую сторону в нижней части. Внутренн   поверхность боковых стенок может быть закругленной. Более плавное расширение газа и иной характер потока газа создаютс  при использовании другой конфигурации внутренних поверхностей стенок 38, где указанные поверхности вы138 полнены плоскими и наклонньми (фиг.5). Иной вариант конструкции газораспределител  показан на фиг. 6, где открыта  с нижней стороны камера 29 вьшолнена дл  обеспечени  ламинарного потока рабочего газа параллельно поверхности 30 ленты стекла. Газораспределитель включает камеру Л-образного сечени  с боковыми стенками 39 и 40 и верхом 41. Полость камеры- разделена на две части с помощью вертикально расположенной перегородки 42. Горизонтальные поддоны 43 и 44 отход т внутрь от стенкп 39 и перегородки 42 в нижней части последних, и между внутренними концами горизонтальных деталей образуетс  продолговата  прорезь или отверстие 45. Втора  камера П-образного сечени  располагаетс  симметрично поверх отверсти  45. Две камеры П-образного сечени  вместе с горизонтальными детал ми 43 и 44 образуют канал П-образного сечени  46 дл  подачи охлаждающей текучей среды. Пр моугольного сечени  канал 47 обратного потока охлаждающей текучей среды определ етс  боковой стенкой 40, верхом 41, перегородкой 42 и горизонтальньм поддоном 48. Внутренн   поверхность камеры 49 П-образного сечени  вместе с горизонтальными детал ми 43 и 44 определ ет газопровод 50. Газораспределитель 51, представленный гофрированной плитой 36, установленной между опорными плитами 35, крепитс  винтами к горизонтальным детал м 43 и 44 так, что гофрированна  плита располагаетс  согласованно в линию с прорезью ИЛИотверстием 45. Фасонные 52-55 из углерода определ ют канал 55 и-образного сечени , открыта  сторона которого пролегает поперек верхней поверхности 30 ленты стекла, на которую наноситс  покрытие . Блок 52 из углерода состоит из верхней 56 и нижней 57 частей, между которыми располагаетс  слой 58 из волокнистого изол ционного материала, Фасонный блок 53 из углерода также состоит из верхней и нижней частей, между которыми располагаетс  слой из волокнистого изол ционного материала . При работе устройства теплоизол ционные слои контролируют степень теплопередачи между охлажденным каналом подачи газа и каналом 55. 9 позвол   нагрев фасонных стенок, определ ющих указанную камеру. Лицевые стороны углеродных блоко 52-55, которые определ ют стенки канала 55 U -образной формы,  вл ют с  гладкими и выполнены по форме, чтобы избежать турбулентности потока и обеспечить ламинарность потока газа по поверхности 30 ленты стекла Вспомогательные углеродные блоки 59 и 60 закреплены к задней фасонно стороне углеродного блока 55 соответственно у верхнего и нижнего кон ца последнего и служат дл  повышени  возможности контрол  потока газ Нижний вспомогательный блок распола гаетс  горизонтально вблизи поверхности газа и ограничивает поток газ в зазор между нижней поверхностью блока 55 и поверхностью листа стекл Пример 1 относитс  кнанесению кремниевого покрыти  на верхшою поверхность ленты стекла, получаемого на поверхности расплавленного.метал ла, перед выходом ленты из установки дл  изготовлени  такой ленты стекла. Пример 2 относитс  к нанесе нию кремниевого покрыти  на ленту прокатанного листового стекла при ее прохождении через печь дл  обжига стекла. В показанных примерах привод тс  оптические свойства полученного сте ла. Величины толщины покрового сло  определены известным способом измерени  оптической толщины. Степень пропускани  белого света определ ет с  с использованием дл  этой цели в качестве источника света осветительного средства С согласно положе ни м Международной комиссии по осве щению . Пример I. Используют предлагаемое устройство, причем защитна  атмосфера состоит из 9А об.% азота и 6 об.% водорода и поддерживаетс  в полости верхней части ванны поверх расплавленного металла, поверх которого перемещаетс  лента стекла. Лента стекла подаетс  со скоростью 295 м/ч с последующим прохождением через печь дл  отжига стекла. Газораспределитель устанавливают вблизи выходного конца ванны где температура поверхности стекла составл ет примерно , причем нижн   кромка камеры 29 располагает с  по возможности ближе к верхней 310 поверхности 30 ленты стекла, но без контакта с последней, В распределитель через газопроводы подают содержащий силан газ, состо щий из 3,9 об.% моносилана (Sill) 93,0 об ,% азота и 2,2 об.% водорода, со скоростью 90 л/мин на каждый метр длины распределител . Скорость подачи регулируют до тех пор, пока не получат по существу равномерное кремниевое покрытие на поверхности стекла у выходного конца печи дл  отжига стекла. Пластины, отрезанные от ленты стекла, покрытого кремтем, имеют коричневый цвет приiпроход -щем свете и серебр нный при отр енном свете. Толщина, показатель преломлени , оптические свойства снабженного покрыти  стекла были следующими: длина волны максимального отражени  (XyTiOtx) 5340 Л, показатель преломлени  3,73; оптическа  толпшна 1234 А, толщина 355 А; пропускание белого света 23%, пр мое пропускание солнечного тепла 34%, полное пропускание тепла 40%, отражение солнечной радиации 48%. Пример 2. Процесс повтор ют по примеру I с использованием дл  этой цели модифицированного варианта устройства (фиг.6) при подаче содержащего силан газа через открытую сторону камеры параллельно поверхности стекла в услови х по существу ламинарного потока газа. Общий расход газа установлен из расчета обеспечени  равномерного покрыти  стекла, а концентраци  силага в газе варьируетс  дл  изменени  толщины покрыти  с целью получени  заданной толщины сло . Услови  нанесени  покрыти  следующие: состав защитной атмосферы - 90 об.% азота, и 10 об.% водорода; скорость движени  ленты стекла в печи дл  отжига стекла - 365 м/ч; температура стекла 620°С; скорость подачи газовой смеси - 50,0 л/мин/м длины распределител ; состав газовой смеси: ) 5 об.% моносилана- (511-14) и 95 об.% азота; II- 10 об.% моносилана (Sill) и 90 об.% азота:, 1(1 - 7 об.% моносилана (51114), 3 об.% водорода и 90 об.% азота. Толщина, показатель прелог лени  и оптические свойства стекла-по примеру 2 представлены в таблице. Длина волны максимального отражени  (Хумох ) Показатель лреломлени 3,45 о Оптическа  толщина, А1190 о Толщина, Л348 Пропускание белого света, % 25 Пр мое пропускание солнечной теплоты, % Полное пропускание тепла, % Отражение солнечной радиации, % Цвет стекла при провод щем свете Цвет стекла при отраженном свете Снабженное покрытием листовое стекло может служить либо в к честве внутреннегоi либо наружного окон ного стекла двойного глазурованного издели , В многослойном глазурованном изделии, содержащем три или бол оконных стекла, снабженное покрытие стекло может быть использовано в качестве промежуточного оконного стекла или же в качестве внутреннег оконного стекла. В р де сл чаев, где требуетс  стекло высокой прочности, желательно делать стекло более прочным путе обычного термического улучшени . Такое термическое улучшение было осуществлено в отношении снабженного кремниевым покрытием стекла согласно предлагаемому изобретению, причем какого-либо существенного ухудшени  указанного покрыти  не отмечено. Кроме того, снабженное таким покрытием стекло может быть слоистым. Покрытое кремнием стекло имеет при тный внешний вид и может примен тьс  там, где не требуетс  особых свойств в отношении контрол  воздей стви  солнечного излучени , например , при внутреннем глазуровании 00 б О4 ,00 3,80 1/80 1500 444 395 Коричневый Зеленый г Коричневый Серебр ный Золотой Серебр ный или же в качестве декоративного и иногда строительного материала дл  мебели. Например, покрытое кремнием стекло можно использовать дл  крышки стола. Кроме того, покрытое кремнием стекло можно примен ть в качестве зеркала путем создани  темной обратной стороны дл  предупреждени  пропускани  света через стекло. Такие зеркала с кремниевым покрытием получают за счет нанесени  черной краски либо поверх кремниевого покрыти , либо на обратную сторону стекла. При нанесении кремниевого покрыти  в качестве составной части содержащего силан газаt можно использовать и другие силаны, например, дисилан () или ди а1орсилан (SiHgCl.g). Способ соГласно нзобретенига используетс  дл  нанесени  покрыти  на плоское стекло, причем толщина покрыти  составл ет величину в пределах от 200 до 1000 А или более. Предпочтительно, чтобы толщина покрыти  была Б пределах от 250 до 600 i. Более тонкие покрыти  в указатшых пределах при отраженном свете имеют серебр ньй цвет, а при проход щем 13 свете - коричневый. По мере увеличени  толщины покровного сло  происходит постепенное изменение его цвета, так, напрдаер, при толщине покрыти  примерно в 400 X стекло выгл дит желто-серебр ным в отраже ном свете и коричневь в проход щем свете. Формула изобретени  1.Способ получени  кремниевог покрыти  на поверхности стекла с температурой 400-700 С путем пиро лиза смеси, включающей силан и инертный газ, отличающий с   тем, что, с целью получени  равномерного покрыти , последнее нанос т на непрерывно движущуюс  .ленту стекла по всей ширине из см си следующего состава, об.%: 0,1-20 Силан Остальное Инертный газ 2. Способ по П.1, о т л и ч а щ и и с   тем, что покрытие нано , из смеси, содержащей дополнитель водород - 2-10 об.%. 3 Устройство дл  осуществлени  пособа по пп. 1, 2, включающее опоу , газопровод дл  подачи материала окрыти , расположенный поперек лены стекла и открытую камеру, о т - ичающеес  тем, что газоровод снабжен вод ной рубашкой и соединен с открытой камерой газораспределителем . 4 Устройство по пп. 1-3, о т личающеес  тем, чго газораспределитель выполнен в виде р да вертикальных каналов, 5.Устройство по пп. 1-4, о т личающеес  тем, что между газопроводом и камерой установлены теплоизол ционные плиты. 6,Устройство по пп. 1-5, о т л и ч а ю щ е е с   тем, что камера выполнена с фасонными стенками. Источники информации, прин тые во внимаоте при экспертизе 1.Патент США ff 3821020, кл. 117-106, опублик. 1974.
  2. 2.Патент Франции № 2046320, кл. С 03 С 17/00, опублик. 1971.
    904513
    J X
    фиг.З
    Фиг.
    J/
    f////// /yyy/7//////// УХ X X У у- / X X Y X f f гЛ1 f /Г / Л / V / J
    дг
    лг. / J f X X V f /
    2
    J .
    Q
    О О
    D
    Фг/г. 7
SU752147450A 1974-06-14 1975-06-13 Способ получени кремниевого покрыти и устройство дл осуществлени способа SU904513A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB26522/74A GB1507465A (en) 1974-06-14 1974-06-14 Coating glass

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU904513A3 true SU904513A3 (ru) 1982-02-07

Family

ID=10244955

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU752147450A SU904513A3 (ru) 1974-06-14 1975-06-13 Способ получени кремниевого покрыти и устройство дл осуществлени способа

Country Status (28)

Country Link
US (1) US4019887A (ru)
JP (1) JPS5130219A (ru)
AR (1) AR205204A1 (ru)
AT (1) AT347617B (ru)
BE (1) BE830179A (ru)
BR (1) BR7503721A (ru)
CA (1) CA1048870A (ru)
CH (1) CH614916A5 (ru)
CS (1) CS209479B2 (ru)
DD (1) DD120644A5 (ru)
DE (1) DE2526209C3 (ru)
DK (1) DK154340C (ru)
ES (2) ES438551A1 (ru)
FI (1) FI59238C (ru)
FR (1) FR2274572A1 (ru)
GB (1) GB1507465A (ru)
IE (1) IE41157B1 (ru)
IN (1) IN144078B (ru)
IT (1) IT1041380B (ru)
LU (1) LU72728A1 (ru)
NL (1) NL7507071A (ru)
NO (1) NO140533C (ru)
NZ (1) NZ177812A (ru)
RO (1) RO75159A (ru)
SE (1) SE410591B (ru)
SU (1) SU904513A3 (ru)
TR (1) TR18884A (ru)
ZA (1) ZA753807B (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5022905A (en) * 1988-10-14 1991-06-11 Pilkington Plc Method and apparatus for coating glass
RU2640617C1 (ru) * 2016-10-24 2018-01-10 Автономная некоммерческая организация высшего образования "Белгородский университет кооперации, экономики и права" Способ глазурования листовых стекол

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1573154A (en) * 1977-03-01 1980-08-13 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
US4100330A (en) * 1977-03-28 1978-07-11 Ppg Industries, Inc. Method for coating glass with silicon and a metal oxide and resulting product
JPS53141318A (en) * 1977-05-17 1978-12-09 Nippon Sheet Glass Co Ltd Heat radiation reflecive glass
CA1134214A (en) * 1978-03-08 1982-10-26 Roy G. Gordon Deposition method
JPS57121431U (ru) * 1981-01-22 1982-07-28
FR2542636B1 (fr) * 1983-03-14 1985-07-12 Saint Gobain Vitrage Procede et dispositif de distribution reguliere d'un solide pulverulent sur un substrat en vue de son revetement et substrat ainsi revetu
FR2542637B1 (fr) * 1983-03-14 1985-07-12 Saint Gobain Vitrage Distribution reguliere d'un solide pulverulent sur un support en vue de son revetement
DE3585901D1 (de) * 1984-02-13 1992-05-27 Iii Jerome J Schmitt Verfahren und vorrichtung fuer gasstrahlniederschlag von leitfaehigen und dielektrischen duennen festfilmen und so hergestellte erzeugnisse.
GB8408118D0 (en) * 1984-03-29 1984-05-10 Pilkington Brothers Plc Coating glass
US5165972A (en) * 1984-08-13 1992-11-24 Pilkington Plc Coated glass
FR2575679B1 (fr) * 1985-01-07 1988-05-27 Saint Gobain Vitrage Perfectionnement au procede de revetement d'un substrat tel un ruban de verre, par un produit pulverulent, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
US4661381A (en) * 1985-10-07 1987-04-28 Libbey-Owens-Ford Co. Continuous vapor deposition method for producing a coated glass article
DE3628051A1 (de) * 1986-08-19 1988-04-21 Flachglas Ag Verfahren zum herstellen einer vorgespannten und/oder gebogenen glasscheibe, insbesondere sonnenschutzscheibe
US4869966A (en) * 1986-10-16 1989-09-26 Shell Oil Company Encapsulated assemblage and method of making
US4749430A (en) * 1986-10-16 1988-06-07 Shell Oil Company Method of making an encapsulated assemblage
US5065696A (en) * 1987-05-18 1991-11-19 Libbey-Owens-Ford Co. Temperature controlled distributor beam for chemical vapor deposition
GB2209176A (en) * 1987-08-28 1989-05-04 Pilkington Plc Coating glass
US5221352A (en) * 1989-06-19 1993-06-22 Glaverbel Apparatus for pyrolytically forming an oxide coating on a hot glass substrate
GB8914047D0 (en) * 1989-06-19 1989-08-09 Glaverbel Method of and apparatus for pyrolytically forming an oxide coating on a hot glass substrate
DE69305936T3 (de) * 1992-07-11 2004-07-22 Pilkington United Kingdom Ltd., St. Helens Verfahren zur Herstellung von reflektierenden Schichten auf Glas
GB9300400D0 (en) * 1993-01-11 1993-03-03 Glaverbel A device and method for forming a coating by pyrolysis
WO1995005348A1 (en) 1993-08-19 1995-02-23 Cardinal Ig Company Stain-resistant glass and method of making same
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
CN1051534C (zh) * 1994-11-22 2000-04-19 秦皇岛开发区蓝光玻璃新技术公司 浮法在线生产镀膜玻璃的方法
GB9500330D0 (en) * 1995-01-09 1995-03-01 Pilkington Plc Coatings on glass
GB2324824A (en) * 1997-05-02 1998-11-04 Pilkington Uk Ltd Patterned and partially reflecting insulating glazing unit
JP2000159546A (ja) * 1998-11-25 2000-06-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 熱線反射ガラス及びこれを用いた複層ガラス
US6350397B1 (en) 1999-03-10 2002-02-26 Aspen Research Corporation Optical member with layer having a coating geometry and composition that enhance cleaning properties
DE60238399D1 (de) * 2001-06-06 2011-01-05 Tokuyama Corp Verfahren zur herstellung von silicium
DE10129876C1 (de) * 2001-06-21 2003-01-02 Schott Glas Verfahren zur Ritzspurmarkierung laserinduzierter Ritze
EP1480921B1 (en) * 2002-03-01 2006-01-25 Cardinal CG Company Thin film coating having niobium-titanium layer
US6919133B2 (en) 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
US20050044894A1 (en) * 2003-08-29 2005-03-03 Douglas Nelson Deposition of silica coatings on a substrate
US20050221003A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-06 Remington Michael P Jr Enhancement of SiO2 deposition using phosphorus (V) compounds
US9564629B2 (en) * 2008-01-02 2017-02-07 Nanotek Instruments, Inc. Hybrid nano-filament anode compositions for lithium ion batteries
US8968820B2 (en) * 2008-04-25 2015-03-03 Nanotek Instruments, Inc. Process for producing hybrid nano-filament electrodes for lithium batteries
CN102584023A (zh) * 2012-02-22 2012-07-18 株洲旗滨集团股份有限公司 一种阳光控制镀膜玻璃的制备方法及其玻璃
CN103466955B (zh) * 2013-08-20 2015-09-09 秦皇岛玻璃工业研究设计院 一种减反射玻璃的制备方法及其镀膜设备
CN110255868B (zh) * 2019-07-31 2024-04-02 上海耀皮玻璃集团股份有限公司 一种提高保护气体利用效率的浮法玻璃成型装置及成型方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE395978C (de) * 1921-05-28 1924-05-24 Siemens & Halske Akt Ges Verfahren zur Herstellung eines spiegelnden Siliziumbelages
US2698812A (en) * 1949-10-21 1955-01-04 Schladitz Hermann Metal deposition process
US2689803A (en) * 1951-11-03 1954-09-21 Pittsburgh Plate Glass Co Method of producing a film of uniform electroconductivity on refractory bases
US2967115A (en) * 1958-07-25 1961-01-03 Gen Electric Method of depositing silicon on a silica coated substrate
US3459673A (en) * 1967-10-10 1969-08-05 Owens Illinois Inc Preparation of luminescent silica glass modified with a rare earth metal
GB1265796A (ru) * 1968-06-24 1972-03-08
GB1282866A (en) * 1968-08-16 1972-07-26 Pilkington Brothers Ltd Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics
US3699027A (en) * 1970-02-02 1972-10-17 Ransburg Electro Coating Corp Deposition method
US3721584A (en) * 1970-04-13 1973-03-20 A Diem Silicon coated substrates and objects fabricated therefrom

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5022905A (en) * 1988-10-14 1991-06-11 Pilkington Plc Method and apparatus for coating glass
RU2640617C1 (ru) * 2016-10-24 2018-01-10 Автономная некоммерческая организация высшего образования "Белгородский университет кооперации, экономики и права" Способ глазурования листовых стекол

Also Published As

Publication number Publication date
BE830179A (fr) 1975-12-12
NZ177812A (en) 1978-06-20
IN144078B (ru) 1978-03-18
CS209479B2 (en) 1981-12-31
AR205204A1 (es) 1976-04-12
SE7506768L (sv) 1975-12-15
DE2526209C3 (de) 1979-04-05
LU72728A1 (ru) 1975-10-08
ES438551A1 (es) 1977-02-01
JPS5531099B2 (ru) 1980-08-15
FI59238C (fi) 1981-07-10
JPS5130219A (en) 1976-03-15
US4019887A (en) 1977-04-26
FR2274572B1 (ru) 1982-01-29
CA1048870A (en) 1979-02-20
DE2526209B2 (de) 1978-08-10
DK154340C (da) 1989-04-10
ES438550A1 (es) 1977-05-16
CH614916A5 (ru) 1979-12-28
NO140533B (no) 1979-06-11
NO140533C (no) 1979-09-19
BR7503721A (pt) 1976-07-06
DK154340B (da) 1988-11-07
SE410591B (sv) 1979-10-22
FI59238B (fi) 1981-03-31
NO752111L (ru) 1975-12-16
FR2274572A1 (fr) 1976-01-09
ATA455675A (de) 1978-05-15
IT1041380B (it) 1980-01-10
DK267475A (da) 1975-12-15
GB1507465A (en) 1978-04-12
AT347617B (de) 1979-01-10
IE41157B1 (en) 1979-10-24
DD120644A5 (ru) 1976-06-20
FI751752A (ru) 1975-12-15
IE41157L (en) 1975-12-14
RO75159A (ro) 1981-03-30
TR18884A (tr) 1977-10-21
NL7507071A (nl) 1975-12-16
DE2526209A1 (de) 1976-01-02
ZA753807B (en) 1976-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU904513A3 (ru) Способ получени кремниевого покрыти и устройство дл осуществлени способа
US4469045A (en) Coating glass
US4144684A (en) Glazing unit
US3509011A (en) Manufacture of flat glass
US5863337A (en) Apparatus for coating a moving glass substrate
KR970001212B1 (ko) 피복장치, 유리의 피복방법, 유리 피복용 화합물 및 조성물 및 피복된 유리 기재
JP3280069B2 (ja) ガラス基材上に被覆を形成する方法及び装置
JP4685304B2 (ja) ソーラーコントロールコーティングを有するガラス製品
US3351451A (en) Apparatus for forming glass ribbon on molten metal with gas seal means
EP0755902B1 (en) A method of coating flat glass
EP0150204B1 (en) Non-iridescent glass structure and coating process for making same
CA1338428C (en) Titanium silicide-coated glass windows
US4612217A (en) Coating process for making non-iridescent glass structure
US4088471A (en) Apparatus for coating glass
US5167986A (en) Titanium silicide-coated glass windows
CA1044896A (en) Control of thermal convection in a glass forming chamber
KR790001984B1 (ko) 유리의 코팅방법
US3351446A (en) Method and apparatus for vertically drawing glass from a molten metal bath
CA1287485C (en) Apparatus for coating glass
EP3697737B1 (en) Method of making a reflective coated glass article
WO2023247950A1 (en) Coated glass articles
CA1067355A (en) Coating glass
WO1990015783A1 (en) A method and apparatus for manufacturing coated flat glass
PL108359B1 (en) Method of coating glass,especially with silicon and apparatus for coating glass