SU844986A1

SU844986A1 - Capacitive transducer

Info

Publication number: SU844986A1
Application number: SU792807903A
Authority: SU
Inventors: Антонина Никитична Грачева; Виктор Григорьевич Наливаев; Валентин Николаевич Николаенко; Виталий Георгиевич Панов
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4708
Priority date: 1979-08-02
Filing date: 1979-08-02
Publication date: 1981-07-07

Description

(54) ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ(54) CAPACITIVE CONVERTER

1one

Изобретение относитс к контрольноизмерительной технике и может быть использовано дл измерени рассто ний до контролируемого объекта, в частности рассто ний пор дка 10 -510 мкм.The invention relates to a reference measurement technique and can be used to measure distances to a controlled object, in particular distances of the order of 10-510 microns.

Известно устройство дл контрол формы изделий и измерени малых перемещений , содержащее два электрода, один из которых выполнен в форме полущара, охватывающего второй электрод, размещенный в центре щара, причем радиус полущара равен двойному рассто нию от контролируемого объекта до второго электрода 1.A device for controlling the shape of products and measuring small displacements is known.

Недостатком устройства вл етс сложность его изготовлени , невозможность кон трол с его помощью перемещени объектов малых размеров и невысока точность.The disadvantage of the device is the complexity of its manufacture, the inability to control with its help the movement of objects of small size and low accuracy.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс емкостный преобразователь рассто ни до контролируемого объекта, содержащий измерительный и потенциальный электроды, экранирующие электроды, обхватывающие измерительный и потенциальный электроды, а так же фокусирующий электрод, выполненный в виде кольца. Измерительный электрод выполнен в виде заостренного стержн , аThe closest to the technical essence of the invention is a capacitive transducer of the distance to the object under control, containing measuring and potential electrodes, shielding electrodes, grabbing the measuring and potential electrodes, as well as a focusing electrode made in the form of a ring. The measuring electrode is made in the form of a pointed rod, and

потенциальный - в виде кольца, охватывающего острие измерительного электрода 2.potential - in the form of a ring, covering the tip of the measuring electrode 2.

Недостатком его вл етс сложность изготовлени конструкции малых размеров и, следовательно невозможность обеспечени высокой чувствительности и точности.The disadvantage of it is the complexity of manufacturing the construction of small dimensions and, consequently, the impossibility of providing high sensitivity and accuracy.

Целью изобретени вл етс повыщение точности и чувствительности преобразовател .The aim of the invention is to increase the accuracy and sensitivity of the converter.

Поставленна цель достигаетс тем, что IQ преобразователь снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а-, торец второго измерительного 15 электрода утоплен относительно этой плоскости на рассто ние, равное рассто нию между потенциальным и первым измерительным электродами.The goal is achieved by the fact that the IQ converter is equipped with a second measuring electrode, all electrodes are made in the form of parallel rods, the working ends of the potential and one of the measuring electrodes lie in the same plane, and the end of the second measuring 15 electrode is recessed relative to this plane equal to the distance between the potential and the first measuring electrodes.

На чертеже приведена принципиальна схема емкостного преобразовател .The drawing shows a schematic diagram of a capacitive transducer.

2020

Преобразователь содержит потенциальный электрод 1 и два измерительных электрода 2 и 3, выполненные в виде параллельных стержней. Рабочие торцы 4 потенциальThe Converter contains a potential electrode 1 and two measuring electrodes 2 and 3, made in the form of parallel rods. Working ends 4 potential

Claims

Формула изобретения ⁰ Емкостный преобразователь расстояния до контролируемого объекта, содержащий измерительный и потенциальный электроды, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности преобразова5 теля, он снабжен вторым измерительным электродом, все электроды выполнены в виде параллельных стержней, рабочие торцы потенциального и одного из измерительных электродов лежат в одной плоскости, а торец второго измерительного электрода ⁰ утоплен относительно этой плоскости на расстояние, равное расстоянию между потенциальным и первым измерительным электродом.SUMMARY OF THE INVENTION ⁰ Capacitive transducer of distance to a controlled object, containing measuring and potential electrodes, characterized in that, in order to increase the accuracy and sensitivity of the transducer, it is equipped with a second measuring electrode, all electrodes are made in the form of parallel rods, the working ends of the potential and one of measuring electrodes lie in one plane, and the end face of the second measuring electrode ^{0 is} recessed relative to this plane by a distance equal to the distance between the sweat the first and the first measuring electrode.

5 Источники информации, принятые во внимание при экспертизе5 Sources of information taken into account in the examination

1. Авторское свидетельство СССР № 339762, кл. G 01 В 7/00, 1970.1. USSR copyright certificate No. 339762, cl. G 01 B 7/00, 1970.

2. Авторское свидетельство СССР № 625130, кл. G 01 В 7/00, 1976 (прототип).2. Copyright certificate of the USSR No. 625130, cl. G 01 B 7/00, 1976 (prototype).