SU771755A1 - Apparatus for cleaning electric discharge devices - Google Patents

Description

Изобретение относится к области электровакуумного дтпоизводства, а более конкретно — к установкам для очистки деталей, например, электровакуумных приборов. Изобретение может быть также использовано в оптической промышленности для очистки стеклянных дисков.The invention relates to the field of electric vacuum production, and more specifically to installations for cleaning parts, for example, electric vacuum devices. The invention can also be used in the optical industry for cleaning glass disks.

Известны установки для очистки деталей, электровакуумных приборов (ЭВП), в частности, стеклянных дисков для мишеней видиконов.Known installations for cleaning parts, electrovacuum devices (EVP), in particular, glass disks for vidicon targets.

Такие установки имеют камеру в виде замкнутого цилиндрического объема, в торцах которой выполнены каналы для одновременного подвода моющей жидкости под давлением к противоположным сторонам очищаемой детали, а на боковой поверхности камеры имеются выпускные ₅ отверстия для моющей жидкости [1].Such installations have a chamber in the form of a closed cylindrical volume, in the ends of which channels are made for simultaneously supplying washing liquid under pressure to opposite sides of the part to be cleaned, and there are ₅ outlet holes for washing liquid on the side surface of the chamber [1].

Однако такие установки обладают рядом недостатков: отсутствует возможность быстрой переналадки на обработку других /ипоразмеров дисков при работающей установке, т. к. пере- го наладка возможна только после прекращения подвода- моющей жидкости; весьма ограничен диапазон номенклатуры обрабатываемых деталей в одной камере, г. к. зазор между внутренней цилиндрической поверхностью млечной камеры и очищаемой деталью должен составлять несколько миллиметров; возможен отпечаток от опорного пояска на рабочей плоскости диска, предназначенной для индиевого соединения, с ЭВП, т. к. после прекращения, подвода моющей жидкости очищенная деталь под действием силы тяжести опускается на опорный поясок; низка производительность, вызванная однопозиционностью установки - последовательным выполнением операций технологического процесса на одной позиции, т. е. отсутствием возможности совмещения операций во времени; трудно применять ультразвук для очистки ряда деталей ЭВП, т.к. конструкция камеры не позволяет, встроить в нее пьезокерамические излучатели из-за наличия в нижнем торце камеры каналов; отсутствует возможность применения двухсторонней механической обработки диска для интенсификации очистки ряда деталей ЭВП; ограничена возможность многостаночного обслуживания; отсутствует вращение обрабатываемых деталей, необходимое для центробежной очистки.However, such installations have a number of drawbacks: there is no possibility of quick readjustment to processing of other / ip sizes of disks while the installation is in operation, since reconfiguration is possible only after the supply liquid stops; the range of the nomenclature of the workpieces in one chamber is very limited, since the gap between the inner cylindrical surface of the milky chamber and the part to be cleaned should be several millimeters; possible imprint from the support belt on the working plane of the disk, intended for indium connection with the EEC, because after the termination of the supply of the washing liquid, the cleaned part falls under the influence of gravity onto the support belt; low productivity caused by the single-positioning of the installation - the sequential execution of operations of the technological process at one position, i.e., the lack of the possibility of combining operations in time; it is difficult to use ultrasound to clean a number of components of the EEC, because the design of the camera does not allow piezoelectric emitters to be built into it due to the presence of channels in the lower end of the chamber; there is no possibility of using double-sided machining of the disk to intensify the cleaning of a number of EEC parts; limited multi-service capability; there is no rotation of the workpieces required for centrifugal cleaning.

4Известна установка для очистки деталей электровакуумных приборов, преимущественно стеклянных дисков для мишеней 'шдиконов, содержащая подъемно-опускную карусель с держателями для обрабатываемых деталей^ меха- $ низм поворота карусели, ванны, расположенные по кругу, устройства для нагрева и подачи моющих и промывочных сред в ванны [2].4 There is a known installation for cleaning parts of electrovacuum devices, mainly glass disks for targets of Shdikon, containing a lifting and lowering carousel with holders for workpieces ^ a rotation mechanism of the carousel, bathtubs arranged in a circle, devices for heating and supplying washing and flushing media to bathtubs [2].

Однако· этот полуавтомат имеет следующие недостатки: из-за обработки деталей в кас- ю сетах при смене объекта обработки (переход на выпуск других приборов ЭВП)требуются дополнительные затраты на изготовление новых кассет; отсутствует возможность быстрой переналадки установки на обработку других, типоразмеров 15 дисков, т. к. требуется вспомогательное время на закладку дисков в кассеты, а затем на закладку кассет в установку; наличие неподвижных мест контактов в местах крепления деталей снижает качество очистки; кассеты не дают возможно ность применить двухсторонние щетки -для обработки двух плоскостей стеклянных дисков, а участки дисков, находящиеся под элементами крепления, вообще не подвергаются очистке; отсутствует принудительное скоростное враще- 25 йие обрабатываемой детали, необходимое для центробежной очистки; качество очистки не удовлетворяет требованиям, предъявляемым к чистоте стеклянных деталей для индиевых соединений, т. е. очистке, соответствующей уг- , лам смачивания порядка 3-4?However, · this semiautomatic device has the following disadvantages: due to the processing of parts in cash registers when changing the processing object (switching to the production of other EVP devices) additional costs are required for the manufacture of new cassettes; there is no possibility of quick readjustment of the installation to the processing of other, standard sizes of 15 disks, since additional time is required to insert disks into cassettes, and then to bookmark cassettes into the installation; the presence of fixed contact points in places of attachment of parts reduces the quality of cleaning; cassettes do not allow the use of double-sided brushes - for processing two planes of glass disks, and the sections of disks under the fasteners are not cleaned at all; there is no forced high-speed rotation of the workpiece required for centrifugal cleaning; the quality of cleaning does not meet the requirements for the purity of glass parts for indium compounds, that is, cleaning corresponding to wetting angles of the order of 3-4?

Целью настоящего изобретения является обеспечение возможности быстрой переналадки установки при переходе на обработку с одного .диаметра диска на другой. и повышение качества ₃₅ очистки.The aim of the present invention is to provide the ability to quickly readjust the installation when switching to processing from one .diameter of the disk to another. and quality improvement ₃₅ cleaning.

Эта цель достигается тем, что подъемно-опускная карусель оснащена приводами с роликовыми, держателями, смонтированными по кругу соосно ₄₀ отцрсительчо ванн, в которых установлены механизмы для механической обработки поверхностей дисков. Привод с роликовыми держателями- выполнен в виде планетарного редуктора, три вертикальных вала которого с закрепленны- ₄₅ ми на них роликовыми держателями установлены на поверхностях равномерно расположенных по окружности рычагов и кинематически связаны шестернями с подпружиненной рейкой для их синхронного 'разворота по дуге радиуса к ₅θ центру привода, а валы с роликовыми держателями кинематически связаны через блок-шестерни с ведущей шестерней привода. Механизмы для механической обработки поверхности дисков выполнены в виде кольцевого поворотного $$ сектора с горизонтальным пазом, по контуру которого закреплен ворс, а ступица сектора кинематически связана реечной передачей со штоком пневмопривода.This goal is achieved by the fact that the lifting and lowering carousel is equipped with roller drives, holders mounted in a circle coaxially with ₄₀ bathtubs that have mechanisms for machining the surfaces of the disks. The drive with roller holders is made in the form of a planetary gearbox, three vertical shafts of which are mounted with ₄₅ roller holders mounted on surfaces of levers evenly spaced around the circumference and kinematically connected by gears with a spring-loaded rack for their synchronous' turn along an arc of radius ₅ θ the center of the drive, and the shafts with roller holders are kinematically connected through the block gears with the drive drive gear. Mechanisms for machining the surface of the disks are made in the form of an annular rotary $$ sector with a horizontal groove along the contour of which a pile is fixed, and the hub of the sector is kinematically connected by a rack and pinion gear to the pneumatic actuator rod.

На фиг. 1 схематически изображен общий вид установки для очистки деталей электровакуумных приборов в разрезе; на фиг. 2 схема-·, тически изображен привод с роликовыми держателями деталей (разрез А-А па фиг. 1); на фиг. 3 - вид сверху на моющую камеру, оснащенную устройством для механической обработки поверхностей дисков двухсторонней щеткой (разрез Б-Б на фиг. 1); на фиг. 4 - вид В на фиг. 3.In FIG. 1 schematically shows a General view of the installation for cleaning parts of vacuum devices in the context; in FIG. 2 schematically ·, a drive with roller holders of parts is shown in diagrammatic form (section AA shown in Fig. 1); in FIG. 3 is a top view of a washing chamber equipped with a device for machining the surfaces of the discs with a double-sided brush (section BB in FIG. 1); in FIG. 4 is a view B in FIG. 3.

Предлагаемая установка содержит поворотную подъемно-опускную карусель I с закрепленными на ней неподвижно приводами с роликовыми держателями деталей 2, стола 3, по кругу которого установлены промывочные ванны 4 и моющие ванны 5 с механизмами для механической обработки поверхностей дисков двухсторонней щеткой, устройства 6 и 7 обеспечивающие подачу; ‘ моющих и промывочных сред в ванны, механизм 8 поворота карусели. Причем приводы с роликовыми держателями деталей (дисков) на поворотной подъемно-опускной карусели располагаются по кругу соосно относительно ванн. Количество приводов с роликовыми держателями деталей соответствует количеству рабочих позиций установки, т.е. количеству ванн с учетом позиции загрузки и разгрузки деталей.The proposed installation contains a rotary lifting and lowering carousel I with fixed motionless drives with roller holders of parts 2, table 3, in a circle of which there are washing baths 4 and washing baths 5 with mechanisms for machining the surfaces of the discs with a double-sided brush, devices 6 and 7 providing feed; ‘Washing and flushing media in the bath, the mechanism of 8 rotation of the carousel. Moreover, drives with roller holders of parts (disks) on a rotary lifting and lowering carousel are arranged in a circle coaxially relative to the bathtubs. The number of drives with roller part holders corresponds to the number of installation positions, i.e. the number of bathtubs, taking into account the position of loading and unloading parts.

Устройство для механической обработки по- верхностей диска двухсторонней щеткой смонтировано внутри моющей ванны 5, на днище которой вертикально закреплена ось 9. На ось насажен коль·, цевой поворотный сектор 10 с'горизонтальным пазом, по контуру которого закреплен ворс 11, образуя двухстороннюю щетку. Причем ось сим- . метрии горизонтального паза кольцевого поворотного сектора совпадает с осью симметрии кольцевых проточек на сменных роликах привода держателей деталей, что обеспечивает одинаковые усилия механического воздействия, со стороны ворса на поверхности обрабатываемых деталей. Шестерня ступицы кольцевого поворотного сектора 10 находится’в зацеплении с кольцевой рейкой 12, закрепленной на штоке 13 пневмоцилиндра 14. Шток 13 с пневмоцилиндром 14 отделен от моющей среды герметичной эластичной перегородкой 15. При подаче воздуха в пневмоцилиндр, попеременно в каждую полость кольцевой поворотный сектор 10 будет совершать качательное движение вокруг оси 9 и тем самым производить очистку поверхностей дисков.A device for machining the surfaces of the disk with a double-sided brush is mounted inside the washing bath 5, on the bottom of which the axis 9 is vertically fixed. A ring ·, a central rotary sector 10 with a horizontal groove, along the contour of which the pile 11 is fixed, is mounted on the axis, forming a double-sided brush. And the axis is sim. the horizontal groove of the annular rotary sector coincides with the axis of symmetry of the annular grooves on the interchangeable drive rollers of the part holders, which provides the same mechanical forces from the pile on the surface of the workpiece. The gear wheel of the annular rotary sector 10 is engaged with the annular rack 12 fixed to the rod 13 of the pneumatic cylinder 14. The rod 13 with the pneumatic cylinder 14 is separated from the washing medium by a sealed elastic partition 15. When air is supplied to the pneumatic cylinder, the annular rotary sector 10 is alternately in each cavity. will make a swinging motion around axis 9 and thereby clean the surfaces of the disks.

Привод с роликовыми держателями деталей (фиг. 3 и 4) выполнен в виде цилиндрического планетарного редуктора и- имеет две Кинематические цепи. Одна кинематическая цепь обеспечивает синхронный разворот роликовых, держателей деталей по радиусу R , осуществляя поштучный самоцентрирующий зажим обрабатыва емых дисков в диапазоне размеров: от 013,5 мм до 0 113,5 мм и толщиной от 1,2 мм до 8 мм от подпружиненной рейки к центру привода, и состоит из держателей деталей 16 с роликами .17 поворотных рычагов 5 18, оси 19, шестерен 20 и 21, рейки 22.The drive with roller holders of parts (Fig. 3 and 4) is made in the form of a cylindrical planetary gearbox and has two kinematic chains. One kinematic chain provides a synchronous rotation of the roller, part holders along the radius R, by single-piece self-centering clamping of machined disks in the size range: from 013.5 mm to 0 113.5 mm and a thickness of 1.2 mm to 8 mm from the spring-loaded rail to the center of the drive, and consists of part holders 16 with rollers .17 pivoting levers 5 18, axis 19, gears 20 and 21, rack 22.

При нажатии на рейку 22 происходит поворот шестерен 20 и 21, и держатели деталей 16 с роликами 17 расходятся от центра привода, осуществляя разжим дисков. ,0When clicking on the rail 22, the gears 20 and 21 rotate, and the holders of the parts 16 with the rollers 17 diverge from the center of the drive, expanding the disks. 0

Другая кинематическая цепь обеспечивает синхронное вращение роликовых держателей деталей с оптимальной угловой скоростью от регулируемого электродвигателя и состоит из держателей деталей 16 с роликами 17, шестерен 15 23, бдок-шестерен 2^, центральной шестерни 25, червячного редуктора 26 и электродвигателя 27.Another kinematic chain provides synchronized rotation of the roller holders of parts with an optimal angular speed from an adjustable motor and consists of holders of parts 16 with rollers 17, gears 15 23, side gears 2 ^, central gear 25, worm gear 26 and electric motor 27.

В зависимости от толщины обрабатываемых дисков ролики 17 на держателях 16 выполнены 20 сменными и имеют различную ширину кольцевой проточки, ось симметрии которой остается неизменной для всех роликов. Этим достигается фиксация обрабатываемых дисков относительно ванн по их глубине погружения при опускании 25 карусели.Depending on the thickness of the machined disks, the rollers 17 on the holders 16 are made 20 interchangeable and have different widths of the annular groove, the axis of symmetry of which remains unchanged for all the rollers. This achieves the fixation of the machined discs relative to the bathtubs according to their immersion depth when lowering the 25th carousel.

Рейка 22 подпружинена пружиной 28.The rail 22 is spring-loaded with a spring 28.

Предлагаемая установка для очистки деталей ЭВП типа дисков работает следующим образом. В зависимости от толшины дисков,которые тре-30 буется подвергнуть очистке, на держатели деталей 16 устанавливаются ролики 17 с соответствующей шириной кольцевой проточки. Затем включаются устройства, обеспечивающие заполнение ванн моющими и промывочными средства-₃₅ ми, и на реле времени устанавливается расчетное время очистки деталей на рабочих позициях полуавтомата.The proposed installation for cleaning parts EVP type disks works as follows. Depending on the thickness of the disks that need to be cleaned, rollers 17 with the corresponding width of the annular groove are mounted on the holders of the parts 16. Then, devices are turned on to ensure that the bathtubs are filled with detergents and flushing agents with ₃₅ mi, and the estimated time for cleaning parts at the working positions of the semiautomatic device is set on the time relay.

При включении кнопки ’’Пуск” осуществляется включение реле времени й электродвигателя^ 27, обеспечивающего вращение держателей деталей 16 с роликами 17. На позиции загрузки оператор при помощи кнопки управления ’’Загрузка” включает пневмопривод (на схеме он не показан), шток которого нажимает на .рей- ₄₅ ку 22 привода 2 и разводит держатели деталей 16 с роликами 17. В этом положении оператор устанавливает диск или кольцо, которое необходимо подвергнуть очистке, между роликами напротив кольцевых проточек. При включении кнопки ’’Зажим” пневмопривод освобождает рейку 22, и под действием пружины 28 держатели деталей сходятся, осуществляя самоцентрирующий зажим детали и ее вращение между трех синхронно-вращающихсй-’роликов 17. По истечении времени выдержки реле времени включает механизм поворота карусели 3, держатели деталей привода 2 вместе с вращающейся деталью (диском или кольцом) погруWhen the “Start” button is turned on, the time relay of the electric motor ^ 27 is turned on, which rotates the part holders 16 with rollers 17. At the loading position, the operator uses the “Download” control button to turn on the pneumatic actuator (it is not shown in the diagram), the rod of which presses on the .ray- ₄₅ ku 22 of the drive 2 and spreads the part holders 16 with the rollers 17. In this position, the operator sets the disk or ring to be cleaned between the rollers opposite the ring grooves. When the “Clamp” button is turned on, the pneumatic actuator releases the rail 22, and under the action of the spring 28, the part holders converge, self-centering clamping of the part and its rotation between the three synchronously rotating “rollers 17. After the expiration of the holding time, the time relay turns on the carousel 3 holders of parts of drive 2 together with a rotating part (disk or ring)

771755 6 жаются в моющую ванну 5. При опускании карусели происходит включение реле времени на заданную выдержку и осуществляется попеременная подача сжатого воздуха в полости пневмоцилиндра 14 для механической обработки поверхностей диска, двухсторонней щеткой. По окончании времени очистки пневмопривод возвращает двухстороннюю щетку 10 в исходное положение (на рис. 2 это положение показано штрих-пунктирной линией), при котором включается механизм поворота, и карусель 1 с приводами 2 переносят обрабатываемую деталь на следующую рабочую позицию.771755 6 are pressed into the washing bath 5. When the carousel is lowered, the timer switches on for the set shutter speed and the compressed air is alternately supplied into the cavity of the pneumatic cylinder 14 for machining the surfaces of the disk with a double-sided brush. At the end of the cleaning time, the pneumatic actuator returns the double-sided brush 10 to its original position (in Fig. 2 this position is shown by a dashed line), at which the rotation mechanism is turned on, and the carousel 1 with drives 2 transfers the workpiece to the next working position.

Во время очистки детали на первой рабочей позиции оператор на позиции ’’Загрузка” производит установку другой детали в следующий привод с роликовыми держателями деталей. Таким образом происходит загрузка всех приводов деталями. По мере последовательного прохождения деталей через все рабочие позиции установки чистые детали попадают на позицию ’’Разгрузка”. Разгрузка деталей осуществляется оператором одновременно с выполнением на операции ’’Загрузка”, т. е. путем включения кнопки управления ’’Загрузка”. При этом шток пневмопривода (на фиг. не показан) нажимает на рейку 22 привода 2, роликовые держатели деталей 16 расходятся, и чистая деталь падает в ванну, заполненную деионизованной водой. При применении предложенной установки в производстве достигается экономия за счет повышения производительности труда, .исключения вспомогательных операций, связанных с закладкой деталей в кассеты и изготовлением самих кассет, увеличения среднего процента выхода годных деталей на 20%, расширения номенклатуры обрабатываемых деталей, достижения воспроизводимости технологического процесса, повышения качества очистки: стеклянные диски очищаются до чистоты, соответствующей углу смачивания 3-4°, необходимой для индиевых соединений.When a part is being cleaned at the first working position, the operator at the ’’ Loading ’position installs another part in the next drive with roller part holders. Thus, all drives are loaded with parts. As parts pass through all installation positions in sequence, clean parts fall into the ’’ Unloading position. The unloading of parts is carried out by the operator simultaneously with the execution of the operation ’’ Download ”, that is, by turning on the control button’ ’Download”. In this case, the pneumatic actuator rod (not shown in FIG.) Presses the rail 22 of the actuator 2, the roller holders of the parts 16 diverge, and the clean part falls into the bathtub filled with deionized water. When applying the proposed installation in production, savings are achieved by increasing labor productivity, eliminating auxiliary operations associated with laying parts into cassettes and manufacturing the cassettes themselves, increasing the average percentage of suitable parts by 20%, expanding the range of processed parts, achieving reproducibility of the technological process, improving the quality of cleaning: glass disks are cleaned to a purity corresponding to a wetting angle of 3-4 ° required for indium compounds.

Claims (2)

Изобретение относитс  к Области электровакуумного тоизводства, а более конкретно к установкам дл  очистки деталей, например, электровакуумных приборов. Изобретение может быть таЮке использовано в оптической промышленности дл  очистки стекл нных дисков. Известны установки дл  очистки деталей, электровакуумных приборов (ЭВП), в частности стекл нных дисков дл  мишеней вйдиконов. Такие установки имеют камеру в виде замкнутого цилиндрического объема, в торцах которой выполнены каналы дл  одновременного подвода моющей жидкости под давлением к противоположным сторонам очищаемой детали, а на боковой поверхности камеры имеютс  выпускные отверсти  дл  моющей жидкости 1. Однако такие установки обладают р дом недостатков: отсутствует возможность быстрой переналадки на обработку других 7ипоразмеров дисков при работающей установке, т. к. переналадка возможна только после прекращени  подвода- моющей жидкости; весьма ограничен диапазон номенклатуры обрабатываемых деталей в оцной камере, г. к. зазор между внутренней цилиндрической поверхностью оечной камеры и очищаемой деталью должен составл ть несколько миллиметров; возможен отпечаток от опорного по ска на рабочей плоскости диска, предназначенной дл  индиевого соединени , с ЭВП, т. к. после прекращени , подвода моющей жидкости очищенна  деталь под действием силы т жести опускаетс  на опорнь1й по сок; низка производительность, вызванна  однопозиционностью установки - последовательным выполнением Операций технологического процесса на одной позиции, т. е. отсутствием возможности совмещени  операций во времени; трудно примен ть ультразвук дл  очистки р да деталей ЭВП, т.к. конструкци  камеры не позвол ет, встроить в нее пьезокерамические излучатели из-за наличи  в нижнем торце камеры каналов; отсутствует возможность применени  двухсторонней механической обработки диска дл  и тен (Лфикации очистки р да деталей ЭВП; ограничена возможность многостаночного обслуживани ; отсутствует вращение обрабатываемых деталей, необходимое дл  центробежной очистки . Известна установка дл  очистки деталей электровакуумных приборов, преимущественно стекл нных дисков дл  мишеней чдиконов, содержаща  подъемно-опускную карусель с дер жател ми дл  обрабатываемых деталей механизм поворота карусели, ванны, расположенные по кругу, устройства дл  нагрева и пода и моющих и промывочных сред в ванны 2. ОднакО этот полуавтомат имеет следующие недостатки: из-за обработки деталей в кас сетах при смене объекта обработки (переход на )эыпуск других приборов ЭВП)требуютс  дополнительные затраты на изготовление новых кассет; отсутствует возможность быстрой переналадки установки на обработку других, типоразмеров дисков, т. к. требуетс  вспомогательное врем  на закладку дисков в кассеты, а затем на закладку кассет в установку; наличие неподвижн мест контактов в местах креплени  детале) сни жает качество очистки; кассеты не дают возмож ность применить двухсторонние щетки -дл  обра ботки двух плоскостей стекл нных дисков, а участки дисков, наход щиес  под элемет1тами креплени , вообще не подвергаютс  очистке; отсутствует принуцитсльнос скоростное врацение обрабатываемой детали, необходимое дл  центробежной очистки; качество очистки не удовлетвор ет требовани м, предъ вл емым к.чистоте стекл нных деталей дл  индиевых соединений, т. е. очистке, соответствующей углам смачивани  пор дка 3-4 Целью насто щего изобретени   вл етс  обеспечение возмо кности быстрой переналадки установки при переходе па обработку с дааметра диска на другой. и повышение качеств очистки. Эта цель достигаетс  тем, что ноаъемно-опускна  карусель оснащена приводами с роликовыми держател ми, смонтированными по кругу соосп отцрсительчо ванн, в которых установлены механизмы дл  механической обработки поверхностей дисков. Привод с роликовыми держател ми- выполнен в виде планетарного редуктора, три вертикальных вала которого с закрепленны ми на них роликовыми держател ми установле ны на поверхност х равномерно расположенных по окружности рычагов/ и кинематически св заны плестерн ми с подпружиненном рейкой дл  их синхронного разворота по дуге радиуса к центру привода, а валы с роликовыми держател ми кинематически св заны через блокчпестерни с ведущей шестерней привода. Механизмы дл  механическом обработки поверхности дисков выполнены в виде кольцевого новоротного сектора с горизонтальным пазом, по контуру которого закреплен ворс, а ступица сектора кинематически св зана реечной передачей со штоком пневмопривода. На фиг. 1 схематически изображен обн1ий вид установки дл  очистки деталей электровакуумных приборов в разрезе; на фиг. 2 схематически изображен привод с роликовыми держател ми деталей (разрез Л-А на фиг. 1); на фиг. 3 - вид сверху на моющую камеру, оснащенную устройством дл  механической обработки поверхностей дисков двухсторонней щеткой (разрез Б-Б на фиг. 1); на фиг. 4 - вид В на фиг. 3. Предлагаема  установка содержит поворотную подъемно-опускную карусель I с закрепленными на ней неподвижно приводами с роликовыми держател ми деталей 2, стола 3, по кругу которого установлены промывочные ванны 4 и моющие ванны 5 с механизмами дл  механической обработки поверхностей дисков двухсторонней щеткой, устройства 6 и 7 обеспечивающие подачу моющих и промывочных сред в ванны, механизм 8 поворота карусе;ш. Причем приводы с РО.ПИКОВЫМИ держател ми деталей (дисков) нд поворотной подъемно-опускной карусели располагаютс  по кругу соосно относительно ванн. Количество приводов с роликовыми держател ми деталей соответствует количеству рабочих позиций установки, т.е. количеству ванн с учетом позиции загрузки и разгрузки деталей. Устройство дл  механической обработки по- верхностей диска двухсторонней щеткой смонтировано внутри моющей ванны 5, на днище которой вертикально закреплена ось 9. На ось насажен колЬ. цевой поворотный сектор 10 сгоризонтальным пазом , по контуру которого закреплен ворс 11, образу  двухстороннюю щетку. Причем ось сим- . метрии горизонтального паза кольцевого поворотного сектора совпадает с осью симметрии кольцевых проточек на с.менных роликах привода держателей деталей, что обеспечивает одинаковые усили  механического воздействи , со стороны ворса на поверхности обрабатываемых деталей. Шестерн  ступицы кольцевого поворотного сектора 10 находитс в зацеплении с кольцевой рейкой 12, закрепленной на штоке 13 нневмодилиндра 14. Шток 13 с пневмоцилиндром 14 отделен от моющей среды герметичной эластичной перегородкой 15. При ггодаче возд)оса в пневмоцилиндр, попеременно в каждую полость кольцевой поворотный сектор 10 будет соверщать качат.ельное движение вокруг оси 9 и тем самым производить очистку поверхностей дисков. Привод с роликовыми держател ми деталей (фиг. 3 и 4) вьшолнен в виде цилиндрического планетарного редуктора и имеет дае 1 инематические цепи. Одна кинематическа  цепь обеспечивает синхронный разворот роликовых, держателей деталей по радиусу R , осуществл   но (нтушый самоцентрирующий зажим обрабатываемых дасков в диапазоне размеров: от 013,5 мм до 0 113,5 мм и толщиной от 1,2 мм до 8 мм от подг ружиненной рейки к центру привода, а состоит из держателей деталей 16 с роликами ,17 поворотных рычагов 18, оси 19, шестерен 20 и 21, рейки 22. При нажатии на рейку 22 происходит поворот шестерен 20 и 21, и держатели деталей 16 с роликами 17 расход тс  от центра привод осуществл   разжим дисков. Друга  кинематическа  цепь обеспечивает синхронное вращение роликовых держателей де талей с оптимальной угловой скоростью от регулируемого электродвигател  и состоит из дер жателей деталей 16 с роликами 17, шестерен 23, блок-щестерен 2, центральной шестерни 25 черв вдого редуктора 26 и электродвигател  27. В зависимости от толщины обрабатываемых дисков ролики 17 на держател х 16 выполнены сменными и имеют различную ширину кольцевой проточки, ось симметрии которой остаетс  неизменной дл  всех роликов. Этим достигаетс  фиксаци  обрабатываемьЕх дисков относительно ванн по их глубине погружени  при опускании карусели. Рейка 22 подпру инена пружиной 28. Предлагаема  установка дл  очистки деталей ЭВП типа дисков работает следующим образом В зависимости от толщины дисков j которые тре буетс  подвергнуть очистке, на держатели деталей 16 устанавливаютс  ролики 17 с соответавующей шириной кольцевой проточки. Затем включаютс  устройства, обеспечивающие заполнение ванн моющими и промывочными средства ми, и на реле времени устанавливаетс  расчетное врем  очистки деталей на рабочих позищ1 х полуавтомата. При включении кнопки Пуск ос ществл етс  включение реле времени и электродвигател 27, обеспечивающего вращение держателей деталей 16 с роликами 17. На позиции загрузки оператор при помощи кнопки управлени  Загрузка включает пневмопривод (на схеме он не показан), шток которого нажимает на .рейку 22 привода 2 и разводит держатели деталей 16 с роликами 17. В этом положении оператор устанавливает диск или кольцо, которое необходимо подвергнуть очистке, между роликами напротив кольцевых проточек. При включении кнопки Зажим пневмопривод освобождает рейку 22, и под действием пружины 28 держатели деталей сход тс , осуществл   самоцентрирующий зажим детали и ее вращение между трех синхронно-вращающихс роликов 17. По истечении времени выдержки реле времени включает механизм поворота карусели 3, держатели деталей привода 2 вместе с вращающейс  деталью (диском или кольцом) погру7 56 жаютс  в моющую ванну 5. При опускании карусели происходит включение реле времени на заданную выдержку и осуществл етс  попеременна  подача сжатого воздуха в полости пневмодилиндра 14 дл  механической обработки поверхностей диска, двухсторонней щеткой. По окончании времени очистки пневмопривод возвращает двухстороннюю щетку 10 в исходное положение (на рис. 2 это положение показано штрих-пунктирной линией), при котором включаетс  механизм noBofToTa, и карусель I с приводами 2 перенос т обрабатываемую деталь на следующую рабочую позицию. Во врем  очистки детали на первой рабочей позиции оператор на- позиции Загрузка про- изводит установку другой детали в следующий привод с роликовыми держател ми деталей. Таким образом происходит загрузка всех приводов детал ми. По мере последовательного прохождени  деталей через все рабоше позиц и установки чистые детали попадают на позицию Разгрузка. Разгрузка деталей осуществл етс  оператором одновременно с выполнением на операции Загрузка, т. е. путем включени  , кнопки управлени  Загрузка. При этом шток пневмопривода (на фиг. не показан) нажимает на рейку 22 привода 2, роликовые держатели деталей 16 расход тс , и вдета  деталь падает в ванну, за;полне1шую деионизованной водой. При применении предложенной установки в производстве достигаетс  экономи  за счет повьш1ени  производительности труда,.исключени  вспомогательных операций, св занных с закладкой деталей в кассеты и изготовлением самих кассет, увеличени  среднего процента выхода годных деталей на 20%, расширени  номенклатуры обрабатываемых деталей, достижени  воспроизводимости технологического процесса, повышени  качества очистки: стекл нные диски очищаютс  до чистоты, соответствующей углу смашвани  3-4°, необходимой дл  индиевых соединений. Формула изобретени  1. Установка дл  очистки деталей электровакуумных приборов, преимущественно стекл нных дисков дл  мишеней видиконов, содержаща  подъемно-опускную карусель с держател ми дл  обрабатываемых деталей, механизм поворота карусели, ванны, расположенные по кругу, устройства дл  нагрева и подачи моющ}1х и промывочных сред в ванны, о т л и чающа с  тем, что, с целью обеспечени  ВОЗМОЖ1ЮСТИ быстрой переналадки установки при переходе на обработку с одного диаметра диска на другой, повьщюни  качества очистки, подъем но-опускна  карусель оснащена привода77 МИ § рш1ик овыми даржател мй, цм« 1ти1юнаим 1 -N« т кругу ёвоено етковительий ваин, в кйто рых уетаневлены NfeMiiinaMbi длн мехаиичеикой обработки поверхностей дискои. 2. Установка по и, 1, о т л и ч а ю щ а   с   тем. что 1ШИПОЛ е роликоиыми держател ми выполнен в виде планетарного редуктора , три вертикальных вала которого с закрепленными на них роликовыми держател ми установлены на поверхност х равномерно расположенных по окружности рычагов и кинематически св заны шестерн ми с подпружиненной рейкой дл  их синхронного разворота по дуге радиуса к центру привода, а валы с роликовыми держател ми кинематически св заны через бпок-шестерни с ведущей шестерней привода. / / . 5 3.. Уётйшита пй ii,l, « г п и ч и ш in ц и ё и , что механизмы мехииичёекой ойрайотки umepxnotTeii выполнены п нндё кольцевого попоротмого иектора е юриэоитйльным пааом, по контуру которою закреплен поре, а стуннца секторп кинематически св зана реечной передачей со штоком пневмопривода . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 332518, кл. Н 01 J 9/14, 1972. The invention relates to the field of electrovacuum production, and more specifically to installations for cleaning parts, for example, electrovacuum appliances. The invention can be used in the optical industry for cleaning glass discs. Installations are known for cleaning parts, electrovacuum devices (EEC), in particular glass discs for vydikon targets. Such installations have a chamber in the form of a closed cylindrical volume, at the ends of which channels are made to simultaneously supply washing liquid under pressure to opposite sides of the part being cleaned, and on the side surface of the chamber there are outlet openings for washing liquid 1. However, such installations have several disadvantages: none the possibility of a quick readjustment to the processing of other disk sizes while the installation is running, since the readjustment is possible only after the supply liquid has been stopped; the range of the workpiece range in the sludge chamber is very limited, because the gap between the inner cylindrical surface of the barrel chamber and the part to be cleaned must be several millimeters; an imprint is possible from the reference skate on the working plane of the disk intended for an indium compound with EVP, since after the termination of the supply of washing liquid, the cleaned part under the force of gravity is lowered onto the juice plate; low productivity, caused by the single position of the installation - sequential execution of the Operations of the technological process in one position, i.e. the lack of possibility of combining operations in time; It is difficult to use ultrasound to clean a series of parts of an EVP, since the design of the camera does not allow the piezoceramic emitters to be built into it due to the presence of channels in the lower end of the chamber; There is no possibility of using double-sided machining of a disk for and ten (LFU for cleaning a number of parts of the EEC; multi-station service is limited; there is no rotation of the workpiece required for centrifugal cleaning. A known installation for cleaning parts of electrovacuum devices, mainly glass discs for chondone targets, containing lifting and lowering carousel with holders for machined parts turning mechanism of the carousel, baths arranged in a circle, devices and for heating and washing and washing and rinsing media into the baths 2. However, this semi-automatic machine has the following disadvantages: due to the processing of parts in cassettes when changing the processing object (switching to) the ejection of other EVP devices, additional costs are required for the manufacture of new cassettes; there is no possibility of a quick changeover of the installation to the processing of other disk sizes, since an auxiliary time is required for inserting disks into cassettes and then for inserting cassettes into the installation; the presence of fixed contact points at attachment points) reduces the quality of cleaning; the cassettes do not allow the use of double-sided brushes for processing two planes of glass discs, and the sections of the discs located under the fasteners are not cleaned at all; there is no high-speed machining of the workpiece required for centrifugal cleaning; the quality of cleaning does not satisfy the requirements imposed on the cleanliness of glass parts for indium compounds, i.e., cleaning corresponding to wetting angles of the order of 3-4. The aim of the present invention is to ensure the possibility of a quick changeover of the unit when changing over processing from a disk diameter to another. and improving the quality of cleaning. This goal is achieved by the fact that the butt-lowering carousel is equipped with drives with roller holders mounted in a circle of cooper-shaped tubs in which mechanisms are installed for machining the surfaces of the disks. The drive with roller holders is made in the form of a planetary gearbox, three vertical shafts of which with roller holders fixed on them are mounted on surfaces evenly distributed around the levers / and are kinematically connected by pillows with a spring-loaded rail for their simultaneous rotation along the arc radius to the center of the drive, and the shafts with roller holders are kinematically connected through the wheelchairs to the drive pinion. Mechanisms for machining the surface of the discs are made in the form of an annular new sector with a horizontal groove, along the contour of which the pile is fixed, and the sector hub is kinematically connected with a rack and pinion with a pneumatic actuator rod. FIG. 1 shows schematically an exploded view of an installation for cleaning parts of electrovacuum devices in a section; in fig. Figure 2 shows schematically an actuator with roller parts holders (section L-A in Fig. 1); in fig. 3 is a top view of a washing chamber equipped with a device for machining the surfaces of the disks with a double-sided brush (section BB in Fig. 1); in fig. 4 is a view of B in FIG. 3. The proposed installation contains a rotary lifting and lowering carousel I with fixedly mounted drives with roller holders for parts 2, a table 3, around which wash baths 4 and washing baths 5 with mechanisms for machining the surfaces of disks with a double-sided brush, device 6 are installed. and 7 providing the supply of washing and flushing fluids to the baths, the carousel turning mechanism 8; w. Moreover, the drives with RO.PIKE holders of parts (disks) of the rotary lift-and-go carousel are arranged in a circle coaxially with respect to the baths. The number of drives with roller parts holders corresponds to the number of working positions of the installation, i.e. number of baths, taking into account the position of loading and unloading parts. The device for machining the surfaces of the disk with a double-sided brush is mounted inside the washing bath 5, on the bottom of which an axis 9 is vertically fixed. An axle is mounted on the axis. The pivotal tilting sector 10 with a horizontal groove, along the contour of which the pile 11 is fixed, forms a double-sided brush. Moreover, the axis of the sim. The metrics of the horizontal groove of the annular rotary sector coincide with the axis of symmetry of the annular grooves on the axle rollers of the drive for the holders of the parts, which provides the same mechanical force from the pile side to the surface of the machined parts. The hub gear of the annular rotary sector 10 is in engagement with the annular rail 12 fixed on the stem 13 of the non-modulus 14. The piston 13 with the pneumatic cylinder 14 is separated from the cleaning medium by a hermetic elastic partition 15. With the elevation of the wasp into the pneumatic cylinder, alternately in each cavity the annular rotary sector 10 will perform a rolling motion around the axis 9 and thereby clean the surfaces of the disks. The drive with roller parts holders (Figs. 3 and 4) is implemented in the form of a cylindrical planetary gearbox and has 1 inmatic circuits. One kinematic chain provides simultaneous rotation of the roller holders of parts along the radius R, implemented (this self-centering clip of the machined dogs in the size range: from 013.5 mm to 0 113.5 mm and thickness from 1.2 mm to 8 mm from the pre-fabricated rail to the center of the drive, and consists of holders of parts 16 with rollers, 17 pivoting levers 18, axis 19, gears 20 and 21, rails 22. When you press the rail 22, the gears 20 and 21 rotate, and the holders of parts 16 with rollers 17 flow TC from the center of the drive carried out unclenching discs. The chain provides synchronous rotation of roller holders of parts with an optimal angular speed from an adjustable electric motor and consists of holders of parts 16 with rollers 17, gears 23, block-gear 2, central gear 25 worms through gearbox 26 and electric motor 27. Depending on thickness The discs being processed, the rollers 17 on the holders 16 are made removable and have a different width of the annular groove, the axis of symmetry of which remains unchanged for all the rollers. This achieves fixation of the machined discs relative to the baths according to their immersion depth when the carousel is lowered. The rail 22 is supported by a spring 28. The proposed installation for cleaning parts of the EEP type of discs works as follows. Depending on the thickness of the discs j that need to be cleaned, the holders of the parts 16 are fitted with rollers 17 with the corresponding width of the annular groove. Then, devices are switched on to ensure that the baths are filled with detergents and flushing agents, and the estimated time of cleaning the parts at the working stand of the semi-automatic machine is set at the time relay. When the start button is turned on, the time relay and the electric motor 27 are turned on, providing rotation of the holders of parts 16 with rollers 17. At the loading position, the operator uses the control button to load the actuator (not shown in the diagram), the rod of which presses the actuator rail 22 2 and spreads the holders of the parts 16 with the rollers 17. In this position, the operator places a disc or ring that needs to be cleaned between the rollers opposite the annular grooves. When the button is turned on, the pneumatic actuator releases the rail 22, and under the action of the spring 28, the part holders converge, self-centering the part and rotate it between the three synchronously rotating rollers 17. After the exposure time, the time relay switches on the rotation mechanism of the carousel 3, the drive part holders 2 together with the rotating part (disk or ring) of the immersion 56, they are pressed into the washing bath 5. When the carousel is lowered, the time relay is activated for a given shutter speed and the compressed air is alternately supplied to cavity of the pneumatic bore 14 for machining the surfaces of a disk with a double-sided brush. At the end of the cleaning time, the pneumatic actuator returns the double-sided brush 10 to its original position (in Fig. 2, this position is indicated by a dash-dotted line), in which the noBofToTa mechanism is activated, and the carousel I with drives 2 moves the workpiece to the next working position. During cleaning of the part in the first working position, the operator of the loading position installs another part into the next drive with roller parts holders. Thus, all drives are loaded with parts. As parts move through all working positions and installations, clean parts fall into the Unloading position. The parts are unloaded by the operator at the same time as the loading operation, i.e. by switching on the loading control button, is performed. At the same time, the pneumatic actuator stem (not shown in fig.) Presses onto the rail 2 of the actuator 2, the roller holders of the parts 16 are dispensed, and the part is dropped into the bath, with full deionized water. When using the proposed installation in production, economy is achieved by increasing labor productivity, eliminating auxiliary operations associated with laying the parts into cassettes and manufacturing the cassettes themselves, increasing the average percentage of usable parts by 20%, expanding the nomenclature of workpieces, and achieving reproducibility of the technological process. , improving the quality of cleaning: glass discs are cleaned to a purity that corresponds to a 3-4 ° angle of masking required for indium compounds. Claim 1. Installation for cleaning parts of electrovacuum devices, mainly glass disks for vidicon targets, containing a lifting and lowering carousel with holders for the parts to be processed, a mechanism for rotating the carousel, baths arranged in a circle, devices for heating and supplying washing 1} and washing mediums in baths, so that it is so that, in order to ensure the POSSIBILITY of a quick readjustment of the installation, when switching to processing from one disc diameter to another, increasing the quality of cleaning, arusel equipped privoda77 MI § rsh1ik ovymi darzhatel MJ, cm "1 1ti1yunaim -N« t circle ovoeno etkovitely Vainio in kyto ryh uetanevleny NfeMiiinaMbi Len mehaiicheikoy diskoa processing surfaces. 2. Installation on, and, 1, about tl and ch and so with that. that the SHIPOLO roller holders are made in the form of a planetary gearbox, three vertical shafts of which with roller holders fixed on them are mounted on surfaces evenly arranged around the levers and kinematically connected with pinion gears with a spring-loaded rail for their simultaneous rotation along an arc of radius to the center drives, and shafts with roller holders are kinematically connected through bpok-gears with driving gears. / /. 5 3 .. It is ii, l, “rp and h and w in t and e, and that the mechanisms of the mechanic urayotki umepxnotTeii are made according to the contour of which is attached to the kinematic kimestrum, rack and pinion with pneumatic actuator rod. Sources of information taken into account in the examination 1. USSR author's certificate number 332518, cl. H 01 J 9/14, 1972. 2.Полуавтомат очистки стекл )П1ых деталей суперортиконов И086 0047. Информационносправочный листок 000518, сер. Технологи  и организаци  производства, 1969 (прототип).2. Semiautomatic glass cleaning machine) First parts of superorticones I086 0047. Information sheet 000518, ser. Technologists and production organization, 1969 (prototype).