Claims (1)
в точке пересечени лучей, отраженных от светоделителей. На чертеже дана схема предг:оженного устройства. Устройство содержит источник света 1(ОКГ), светодели1ельную пластину 2 дл направлени пучков света на референтный 3 и измерительный 4 отражатеути интерфе™ рометра, пол роиды 5 и 6, фотоприемники 7 и 8, блок 9 треобразовани фазы интерференционных сигналов в счетлью импульсы СБетоделители 1О, 11, рекомбинационную пластину 12,. установленную в точке пересечени лучей, отраженных от светоделителей , полнронды 13, 14, фотоприемники 15 16, выходы которых соединены со вхо дами блока 17коррекции, счетно-вычиелительный блок 18,чет;эертььолновые пластинки 19, 20, предназначенные дл созда1т дев ностоградусиого сдвига интерфере шюнных сигналов. При пе мещении отражател 4 измен етс разность хода лучей в интерферомет ре . Его интёрференщшнныё сигналы пре образуютс фотолриемниками 7 и 8 и поступают на блок 9 ппеобразовани фазы и терференционных , сигналов в счетные . Сформированные этим блоком счет ные импульсы подсчитываютс блоком 18. При посто нстве показател преломлени среды разность хода лучей в дополнительном интерфарометре, образованным светодвлительными , пластинами Ю, 11, 12, не измен етс . Если же «л шотс ; показатель преломлени среды, то оптическа разность хода интерферометров измен етс . При этом изменение числа пор дков интерференции в дополнитрльном интерферометре воспринимаетс блоком 17 коррекщш, который. . с, учетом значени .полной разности хода nyieu в интерферометре вырабатывает кор е тйЪующие .импульсы, поступающие в блок 18 Макс.ймальное значение частоты интермференинонных снгнвлов в дополнительном ин1врфарометре, пропорциональное скорости , изменени показател рреломлени |.- во МНОГО раз (на 4-5 пор дков) меньше значени частоты сигналов в интерферометре, поэтому полоса пропускани фотоприемников 15, 16 становитс во много рао уже, чем полоса фотоприемников 7, 8. При этом мощность шумов на выходе фотоприечни- ков 15, 16, по сравнению с фотоприемниками 7,8, во много раз менылэ, следовательно , мощность дл освещени дополни- . тельного интерферометра требуетс во мно- го раз меньше. Устанавлива светлодели- тели 10 и 11 с большим отношением коэффициента пропускани к коэффициенту отражени , распредел ют моишость лазера таким образом, чтобы подавл юща часть ее поступала дл освещени интерферометра . По сравнению с известным устройством в предлагаемом устройстве мощность пучка света в интерферометре в два раза больше , следовательно, оно имеет в 2 раза большее быстродействие. Кроме того, конечные . значени непр молинейности не привод т к по влению ложного корректирующего сигнала . Формула изобретени Устройство дл измерени перемещений объекта, содержащее источник света, светоделительную пластину, референтный и измерительный отражатели, расположенные по разные стороны светоделительной пластины , блок фотоприемников с пол роидами, расположенных по обе. стороны светодели-k тельной пластины на пути лучей, отраженных от референтного и измерительного- отражателей , блок обработки сигналов с: фотоприемников , отличающеес тем, что, с целью повышени точности и быстродействи измерений, оно снабжено двум светоделител ми, каждый из которых установлен между светоделительной пластиной и отражателем, и рекомбинаиионной пласти-. ной, установленной в точке пересечени лу- чей,-отраженных от светоделителей.at the point of intersection of the rays reflected from the beam splitters. The drawing is a schematic of a preg: live device. The device contains a light source 1 (laser), a beacon plate 2 for directing light beams to the reference 3 and measuring reflector 4 of the interferometer, polaroids 5 and 6, photodetectors 7 and 8, block 9 for reversing the phase of the interference signals into counters Sd splitters 1O, 11, recombination plate 12,. installed at the point of intersection of the rays reflected from the beam splitters, polnronda 13, 14, photodetectors 15–16, the outputs of which are connected to the inputs of the correction block 17, counting unit 18, even; signals. When the reflector 4 is moved, the path difference of the rays in the interferometer changes. Its interfering signals are transformed by the photomultipliers 7 and 8 and are fed to block 9 for the formation of phase and terferential signals into counting ones. The counting pulses formed by this block are counted by block 18. At a constant refractive index of the medium, the path difference of the rays in the additional interferometer formed by the light-junction plates Yu, 11, 12 does not change. If “l shots; the refractive index of the medium, the optical path difference of the interferometers varies. In this case, the change in the number of interference orders in the additional interferometer is sensed by the correction unit 17, which. . c, taking into account the value of the total path difference nyieu in the interferometer, it produces the corrective pulses arriving at block 18. The maximum value of the frequency of the interfering-nucleon snnvlov in the additional in1-barometer, proportional to the speed, change in refractive index |. - MANY times (by 4-5 the order) is less than the frequency of the signals in the interferometer, therefore the passband of the photodetectors 15, 16 becomes many times narrower than the band of the photodetectors 7, 8. At the same time, the noise power at the output of the photodetectors 15, 16, compared to the photodetector 7.8 nicknames, many times menyle hence additional power for illumination. the required interferometer is required much less. By installing light glows 10 and 11 with a high ratio of transmittance to reflection coefficient, the laser power is distributed in such a way that the overwhelming part of it is fed to illuminate the interferometer. Compared with the known device in the proposed device, the power of the light beam in the interferometer is twice as large, therefore, it has twice the speed. In addition, the final. non-linearity values do not lead to the appearance of a false correction signal. Claims An apparatus for measuring the movements of an object, comprising a light source, a beam-splitting plate, a reference and measuring reflectors located on opposite sides of the beam-splitting plate, a block of photodetectors with polaroids located on both. The side of the beam splitter-k telny plate in the path of the rays reflected from the reference and measuring reflectors, the signal processing unit with: photodetectors, characterized in that, in order to improve the accuracy and speed of measurements, it is equipped with two beam splitters, each of which is mounted between the beam splitter plate and reflector, and recombinaion plate. set at the intersection of the rays reflected from the beam splitters.