SU430195A1 - METHOD OF OBTAINING COATINGS - Google Patents

Description

1one

Изобретение относитс  к получению металлических локрытий термическим разложением соединений металла в газовой фазе, и в частности , разложением карбонилов металлов.The invention relates to the production of metal lokrati by thermal decomposition of metal compounds in the gas phase, and in particular, the decomposition of metal carbonyls.

Известен способ получени  покрытий, например металлических, термическим разложением карбонилов металлов в вакууме.A known method for producing coatings, for example metal, by thermal decomposition of metal carbonyls in vacuum.

Предлагаемый способ отличаетс  тем, что процесс осуществл ют сначала при температуре осаждени  металла, а затем при температуре осаждени  его карбида с последующей термообработкой покрыти , что обеспечивает повыщение его коррозионной стойкости.The proposed method is characterized in that the process is carried out first at the temperature of deposition of the metal, and then at the temperature of the deposition of its carbide, followed by heat treatment of the coating, which increases its corrosion resistance.

Предлагаемый способ осуществл етс  следующим образом.The proposed method is carried out as follows.

Предварительно очищенную подложку нагревают до рабочей температуры, например 100-700°С, в зависимости от природы исходного карбонила в рабочем пространстве с остаточным давлением 1,,.. сг., после чего подают тары карбонила соответствующего металла, который, разлага сь на нагретой подложке, обеспечивает получение сло  металла определенной толщины с высокой адгезией к подложке.The pre-cleaned substrate is heated to an operating temperature, for example 100-700 ° C, depending on the nature of the initial carbonyl in the working space with a residual pressure of 1 ,, .. sg., Then the carbonyl containers of the corresponding metal are fed, which decompose on the heated substrate , provides a layer of metal of a certain thickness with high adhesion to the substrate.

Затем температуру подложки снижают до 20-400°С, при которой карбонил разлагаетс  с образованием карбида металла, что приводит к повышению коррозионной стойкости и твердости покрыти . После нанесени  такого двухслойного покрыти  объект подвергают термической обработке в отсутствии карбонила с постепенным снижением температуры до комнатной.Then, the substrate temperature is reduced to 20-400 ° C, at which carbonyl decomposes to form metal carbide, which leads to an increase in the corrosion resistance and hardness of the coating. After applying such a two-layer coating, the object is subjected to heat treatment in the absence of carbonyl with a gradual decrease in temperature to room temperature.

Предлагаемый способ позвол ет получать покрыти  разложением карбонилов различных металлов, например никел , хрома, ванади , молибдена, вольфрама, марганца, рени ,The proposed method allows to obtain coatings by decomposing carbonyls of various metals, for example, nickel, chromium, vanadium, molybdenum, tungsten, manganese, rhenium,

железа, кобальта, осми  на металлических и неметаллических подложках.iron, cobalt, osmi on metallic and non-metallic substrates.

В таблице приведены данные дл  процесса разложени  карбонилов никел  и хрома при остаточном давлении 1,,10 мм рт. ст.The table shows the data for the decomposition of nickel and chromium carbonyls at a residual pressure of 1,... 10 mm Hg. Art.

и температуре нагрева карбонила соответственно 20° и 40°С.and the carbonyl heating temperature, respectively, 20 ° and 40 ° C.

Полученные покрыти  отличаютс  высокой адгезией с основой и высокой коррозионной стойкостью.The resulting coatings are characterized by high adhesion to the substrate and high corrosion resistance.

ТаблицаTable

Предмет изобретени Subject invention

Способ получени  покрытий термическим разложением карбонилов металлов в вакууме, отличающийс  тем, что, с целью повышени  коррозионной стойкости покрыти , процесс осуществл ют сначала при температуре осаждени  металла, а затем при температуре осаждени  его карбида с последующей термообра-боткой покрыти .The method of producing coatings by thermal decomposition of metal carbonyls in vacuum, characterized in that, in order to increase the corrosion resistance of the coating, the process is carried out first at the metal deposition temperature, and then at the temperature of its carbide deposition, followed by heat treatment of the coating.