SU424333A1 - Способ травления пленок хрома - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к технологии нзготовлени  микросхем QI фотошаблонов метод ф о то л и то гр а ф и и. Известеи способ травлеа-ш  пленок хромав растворе Сол ион кислоты .с добавкой хлористых -солей. Предлагаемый снособ отличаетс  от известного введением в ра.створ ,в качестве хлорйстой соли двухлорлетото олова в количестве 30-100 г/л 1 проведением процесса при 60 110°С. Это позвол ет интенсифицировать ирощесс и ловысить качество травлени . Пример 1. Пленку хролш толщи-ной 300 А, иаие.сенпую на керамическую ЛОДложку с 8 классом чистоты вакуумтермическим наиылеилем, подвергают в лрюцессе фотоллтографли на стадии дублени  фоторезиста нагреванию ла воздухе лри 250°С в течение 0,5 час. Травление хрома нро-извод т в нагретом до 75С 20%-лом растворе сол ной кислоты , содержащем 60 г/л двухлористого олова. Врем  травлени  15 сек. После растворе .ни  Хрсма ла иезапи1Л1,еННЫх фоторезистом участках подложку промывают водой и высугнивают . В результате видимых следов иестравлеклого хрома на подложке лод микроскопом .не обнаружено. П р и мер 2. Па керамическую подложку 7 класса члстоты лалое т в вакууме двухслойлое локрыт;1е лз хрома (толщила 250 А) и меди (толщина 0,6 мкм). После фото.титографии производилось гальваническое нараидлзаиие меди до толщины 60 мкм. Травление меди л а толщину 0,6 лг м/ проводилось 25%«ой азотиой кислотой, а затем лромытую водой подложку поместили в нагретый до 90°С раствор сол ной кислоты, содержаnuni 45 г/л двухлорлсгото олова. Врем  травлени  хрома 10 сек. При о бследовании иод микроскопом следов нестравленпого хрома и растравливани  медного сло  не обнаружено. Предмет изобретени  Слособ тра|Влели  иленок хрома в растворе сол ной К 1слоты с добавкой хлорлстых солей , отличающийс  тем, что, с целью лнтенсифлкации процесса л повыщени  качества травлени , в качестве хлористой соли в раство .р ввод т двухлористое олово .в кoлн ecтвe 30-100 г/л и ироцес.с лровод т при 60-110°С,