SU422055A1 - DEVICE FOR AXIAL MOVEMENT OF OBJECT - Google Patents

Description

1one

Изобретение относитс  к области электронномикроскопического приборостроени  и может быть использовано дл  прецизионного перемещени  объекта вдоль оптической оси электронно- и ионнолучевых Ъриборов.The invention relates to the field of electron microscopic instrumentation and can be used for the precision movement of an object along the optical axis of the electron-beam and ion-beam instruments.

Известны устройства дл  перемещени  объекта вдоль оси прибора, в которых используетс  винтова  пара. Одка;ко в этих устройствах пе устранено неконтролируемое радиальное смещение объекта, а сами устройства сложны по конструкции.Devices are known for moving an object along an axis of an apparatus in which screw pairs are used. However, in these devices the uncontrolled radial displacement of the object has not been eliminated, and the devices themselves are complex in design.

Цель изобретени  - увеличение точности положени  при осевом перемещении объекта.The purpose of the invention is to increase the position accuracy with the axial movement of the object.

Цель достигаетс  тем, что з предлагаемом устройстве объектодержатель жестко св зан с симметрично расположенной относительно объекта .плоской пружиной, один коНеи который за.креплен па основании устройства, а другой прижимает объектодержатель к торцу гайки винтовой пары.The goal is achieved by the fact that the object holder is rigidly connected with the flat spring symmetrically located with respect to the object from the proposed device, one line that is fixed on the base of the device, and the other presses the object holder to the end of the screw nut.

На фиг. 1 изображено предлагаемое усгройство , вид сверху; на фиг. 2 - разрез но А-А на фиг. 1.FIG. 1 shows the proposed arrangement, top view; in fig. 2 is a section along the line A-A in FIG. one.

Устройство дл  осевого перемещени  объекта жестко св зано с верхней кареткой столика }. Объектодержатель 2 с образцом вставлен в отверстие стойки 5, котора  расположена с гарантированным радиальнь1м зазором на торцевом уступе гайки 4. Гайка 4 Ввинчена в корпус 5 устройства. С корпусомA device for axially moving an object is rigidly connected to the top carriage of the table}. The object holder 2 with the sample is inserted into the hole of the rack 5, which is located with a guaranteed radial clearance on the end of the nut 4. The nut 4 is screwed into the body 5 of the device. With body

5 стойка 3 соединена при помощи двух си.мметрично расположенных одинаковых широких плоских пружин 6, прижимающих стойку 3 к гайке 4. Благодар  такому соединению при вращении гайки 4 в корпусе 5 на стойку 3 и соответственно на объектодержатель 2 с образцом не нередаютс  радиальные смещени , св занные с вращением гай«и 4 и с неточностью изготовлени  винтовой пары. Благодар  применению широких пружин 6, жестко соединенных через корпус устройства с предметным столиком, объектодержатель 2 с образцом не поворачиваетс  при вращении гайки 4.5, the rack 3 is connected by two symmetrically arranged identical wide flat springs 6, which press the rack 3 to the nut 4. Thanks to such a connection, when the nut 4 is rotated in the housing 5 on the rack 3 and respectively on the object holder 2 with the sample, the radial displacements recorded with the rotation of Guy and 4 and with the inaccuracy of the manufacture of the screw pair. Due to the use of wide springs 6, rigidly connected through the body of the device with the stage, the object holder 2 with the sample does not rotate when the nut 4 is rotated.

Контролируемый и воспроизводимый подъем или опускание объекта вдоль оси устройства осуществл етс  при повсроте гайки 4 на определенный угол. Свободный верхний венец гайки 4 используетс  дл  контакта с детал ми, передающими движение на raiiKy. Дл  повышени  точности работы устройсгва винтова  пара гайка 4 - корпус 5 изготавливаетс  с трапецоидальпой или упорной резьбой.Controlled and reproducible lifting or lowering of an object along the axis of the device is carried out when the nut 4 is turned at a certain angle. The free upper crown of the nut 4 is used for contact with parts transmitting movement to raiiKy. In order to increase the accuracy of the operation of the screw pair device, the nut 4 - body 5 is manufactured with a trapezoidal or thrust thread.

И р е д м е т изобретени And the invention

Устройство дл  осевого перемещени  объекта , содержащее основание, объектодержа30 тель и винтовую пару, от.тчаюгцесс  тем, что.A device for axially moving an object, comprising a base, an object holder and a screw pair, from the process in that.

с целью увеличени  точйостй положени  при осевом перемещении объекта, устройство содержит плоскую пружиНу, симметрично расположенную относительно объекта, один конец которой закреплен на основании устройства , а другим объектодержатель прижат к торцу гайки винтовой пары.In order to increase the positioning point when the object is axially moved, the device contains a flat spring arranged symmetrically with respect to the object, one end of which is fixed to the base of the device, and the other object holder is pressed against the end of the screw pair nut.