SU1797414A1 - Способ контроля качества проработки элементов топологии - Google Patents

Способ контроля качества проработки элементов топологии

Info

Publication number
SU1797414A1
SU1797414A1 SU4882573/25A SU4882573A SU1797414A1 SU 1797414 A1 SU1797414 A1 SU 1797414A1 SU 4882573/25 A SU4882573/25 A SU 4882573/25A SU 4882573 A SU4882573 A SU 4882573A SU 1797414 A1 SU1797414 A1 SU 1797414A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
line
crt screen
probe
electronic
processing
Prior art date
Application number
SU4882573/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Ю.П. Кондратьев
В.А. Куликов
Original Assignee
Научно-исследовательский институт "Пульсар"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт "Пульсар" filed Critical Научно-исследовательский институт "Пульсар"
Priority to SU4882573/25A priority Critical patent/SU1797414A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1797414A1 publication Critical patent/SU1797414A1/ru

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

Назначение: изобретение относится к электронной технике и направлено на создание неразрушающего метода контроля качества проработки линий в проводящем маскирующем материале на диэлектрической подложке. Сущность изобретения: сканирование контролируемой линии сфокусированным электронным зондом, регистрация сигнала вторичных электронов, эмитированных из поверхности, сканируемой электронным зондом, формирование видеосигнала на экране электронно-лучевой трубки ЭЛТ и визуальная оценка качества, проработки линии, причем сканирования проводят электронным зондом, падающим по нормали к поверхности, на которой сформирована линия, причем линию ориентируют вдоль направления, параллельного направлению строчной развертки на экране ЭЛТ, и в качестве визуального критерия проработки линии берут большую яркость ее изображения на экране ЭЛТ по сравнению с яркостью изображения окружающего ее зонда от непроработанного маскирующего слоя.
SU4882573/25A 1990-11-13 1990-11-13 Способ контроля качества проработки элементов топологии SU1797414A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) 1990-11-13 1990-11-13 Способ контроля качества проработки элементов топологии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) 1990-11-13 1990-11-13 Способ контроля качества проработки элементов топологии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1797414A1 true SU1797414A1 (ru) 1996-04-27

Family

ID=60538031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) 1990-11-13 1990-11-13 Способ контроля качества проработки элементов топологии

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1797414A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2560967C1 (ru) * 2014-05-26 2015-08-20 Акционерное Общество "НПО "Орион" (АО "НПЦ "Орион") Способ коррекции топологии бис

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2560967C1 (ru) * 2014-05-26 2015-08-20 Акционерное Общество "НПО "Орион" (АО "НПЦ "Орион") Способ коррекции топологии бис

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4286293A (en) Laser scanning and multiple detection for video image processing
US3041872A (en) Apparatus for ultrasonic testing of materials
US3728481A (en) Method for improving the accuracy of evaluating certain objects in the field of a raster scan
JPS54114264A (en) Screw inspection method
SU1797414A1 (ru) Способ контроля качества проработки элементов топологии
EP0642016A4 (en) IMAGE SURVEYING APPARATUS WITH ULTRASONIC WAVES.
US3739091A (en) Method and apparatus for displaying image and measuring object therein
GB1519704A (en) Method and means for measuring substance volumes in light-trasnmitting samples
JPS59138904A (ja) 走行中板状体の表面欠陥検査方法
US3614889A (en) Vibration testing of specimens
JPS63210606A (ja) 荷電粒子ビームによるパターン欠陥検査方法およびその装置
JPS5568629A (en) Device for checking minute pattern of integrated circuit or the like
EP0327167A3 (en) In situ differential imaging and method utilizing a scanning electron microscope
JPS63269198A (ja) 液晶表示器用駆動回路基板の検査方法
JPH04286943A (ja) 印刷配線板のパターン検査方法および検査装置
Burch Digital enhancement of video images for NDT
JP2824860B2 (ja) 超音波表面状態測定装置
ES8305929A1 (es) "procedimiento para examinar bandas de material transparentes, en particular vidrio plano en cuanto a defectos incluidos en la banda".
JPS58200141A (ja) 基板検査方式
JPS6168676A (ja) プリント板部品実装検査方法
JPS5794636A (en) Defect detecting device of disk substrate
GB689792A (en) An improved method of and means for examining surfaces for the purpose of detecting any defects therein
JPS5645560A (en) Oblique-image displaying system for scanning electron microscope or the like
Takenoshita Nondestructive internal observation of metal-oxide-semiconductor LSI designed by 0.8 µm rule
SU1173883A1 (ru) Способ измерени концентрации и спектра размеров аэрозольных частиц