SU1797414A1 - Способ контроля качества проработки элементов топологии - Google Patents
Способ контроля качества проработки элементов топологииInfo
- Publication number
- SU1797414A1 SU1797414A1 SU4882573/25A SU4882573A SU1797414A1 SU 1797414 A1 SU1797414 A1 SU 1797414A1 SU 4882573/25 A SU4882573/25 A SU 4882573/25A SU 4882573 A SU4882573 A SU 4882573A SU 1797414 A1 SU1797414 A1 SU 1797414A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- line
- crt screen
- probe
- electronic
- processing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Назначение: изобретение относится к электронной технике и направлено на создание неразрушающего метода контроля качества проработки линий в проводящем маскирующем материале на диэлектрической подложке. Сущность изобретения: сканирование контролируемой линии сфокусированным электронным зондом, регистрация сигнала вторичных электронов, эмитированных из поверхности, сканируемой электронным зондом, формирование видеосигнала на экране электронно-лучевой трубки ЭЛТ и визуальная оценка качества, проработки линии, причем сканирования проводят электронным зондом, падающим по нормали к поверхности, на которой сформирована линия, причем линию ориентируют вдоль направления, параллельного направлению строчной развертки на экране ЭЛТ, и в качестве визуального критерия проработки линии берут большую яркость ее изображения на экране ЭЛТ по сравнению с яркостью изображения окружающего ее зонда от непроработанного маскирующего слоя.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | Способ контроля качества проработки элементов топологии |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | Способ контроля качества проработки элементов топологии |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1797414A1 true SU1797414A1 (ru) | 1996-04-27 |
Family
ID=60538031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4882573/25A SU1797414A1 (ru) | 1990-11-13 | 1990-11-13 | Способ контроля качества проработки элементов топологии |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1797414A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2560967C1 (ru) * | 2014-05-26 | 2015-08-20 | Акционерное Общество "НПО "Орион" (АО "НПЦ "Орион") | Способ коррекции топологии бис |
-
1990
- 1990-11-13 SU SU4882573/25A patent/SU1797414A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2560967C1 (ru) * | 2014-05-26 | 2015-08-20 | Акционерное Общество "НПО "Орион" (АО "НПЦ "Орион") | Способ коррекции топологии бис |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4286293A (en) | Laser scanning and multiple detection for video image processing | |
US3041872A (en) | Apparatus for ultrasonic testing of materials | |
US3728481A (en) | Method for improving the accuracy of evaluating certain objects in the field of a raster scan | |
JPS54114264A (en) | Screw inspection method | |
SU1797414A1 (ru) | Способ контроля качества проработки элементов топологии | |
EP0642016A4 (en) | IMAGE SURVEYING APPARATUS WITH ULTRASONIC WAVES. | |
US3739091A (en) | Method and apparatus for displaying image and measuring object therein | |
GB1519704A (en) | Method and means for measuring substance volumes in light-trasnmitting samples | |
JPS59138904A (ja) | 走行中板状体の表面欠陥検査方法 | |
US3614889A (en) | Vibration testing of specimens | |
JPS63210606A (ja) | 荷電粒子ビームによるパターン欠陥検査方法およびその装置 | |
JPS5568629A (en) | Device for checking minute pattern of integrated circuit or the like | |
EP0327167A3 (en) | In situ differential imaging and method utilizing a scanning electron microscope | |
JPS63269198A (ja) | 液晶表示器用駆動回路基板の検査方法 | |
JPH04286943A (ja) | 印刷配線板のパターン検査方法および検査装置 | |
Burch | Digital enhancement of video images for NDT | |
JP2824860B2 (ja) | 超音波表面状態測定装置 | |
ES8305929A1 (es) | "procedimiento para examinar bandas de material transparentes, en particular vidrio plano en cuanto a defectos incluidos en la banda". | |
JPS58200141A (ja) | 基板検査方式 | |
JPS6168676A (ja) | プリント板部品実装検査方法 | |
JPS5794636A (en) | Defect detecting device of disk substrate | |
GB689792A (en) | An improved method of and means for examining surfaces for the purpose of detecting any defects therein | |
JPS5645560A (en) | Oblique-image displaying system for scanning electron microscope or the like | |
Takenoshita | Nondestructive internal observation of metal-oxide-semiconductor LSI designed by 0.8 µm rule | |
SU1173883A1 (ru) | Способ измерени концентрации и спектра размеров аэрозольных частиц |