SU1721477A1 - Method for determining the refractive index of a condensed gas - Google Patents

Abstract

Изобретение м.б. использовано в крио- вакуумной технике дл  исследовани  газовых потоков. Дл  повышени  точности по предлагаемому способу монохроматическое излучение направл ют нормально к поверхности подложки, а интерферограммы получают при интерференции пучков, отраженных от поверхности криоосадка и соответственно поглощающей и прозрачной подложке, охлажденных до одинаковой температуры , определ ют начало координат, разность фаз f интерферограмм.а показатель преломлени  щ конденсированного газа определ ют по формуле m K2-VK 4-tgV(ng + K) где П2 показатель преломлени  поглощающей подложки. К2 - показатель поглощени  С/) поглощающей подложки. 2 з.п. ф-лы. 3 ил. fInvention m. used in cryo-vacuum technology for the study of gas flows. To improve the accuracy of the proposed method, monochromatic radiation is directed normally to the surface of the substrate, and interferograms are obtained by interference of beams reflected from the cryo-deposit surface and, accordingly, the absorbing and transparent substrate, cooled to the same temperature, determine the origin, the phase difference f of the interferogram. The refractions of the condensed gas are determined by the formula m K2-VK 4 -tgV (ng + K) where P2 is the refractive index of the absorbing substrate. K2 is the absorption coefficient C /) of the absorbing substrate. 2 hp f-ly. 3 il. f

Description

Изобретение относитс  к физической оптике и может быть использовано в крио- вакуумной технике дл  определени  оптико-физических свойств конденсированых газов, а также дл  исследовани  газовых потоков.The invention relates to physical optics and can be used in cryo-vacuum technology to determine the optical-physical properties of condensed gases, as well as to study gas flows.

Потребности развити  исследований в области космонавтики,  дерной энергетики, физики плазмы, разработки крупных сверхпровод щих устройств привели к созданию качественно новых вакуумных систем, в которых необходимый ватсуум достигаетс  с помощью криоохлаждени .The needs for the development of research in the field of cosmonautics, nuclear energy, plasma physics, the development of large superconducting devices have led to the creation of qualitatively new vacuum systems in which the required vatsuum is achieved by cryo-cooling.

По чистоте свободной от углеводородов атмосферы остаточных газов, низкому предельному-давлению с учетом возможно короткого времени откачки, высокой удельнойIn terms of purity of a hydrocarbon-free atmosphere of residual gases, low limiting pressure, taking into account the shortest possible pumping time, high specific

быстроте действи , крионасосы превосход т все обычные высоковакуумные насосы.fast, the cryopumps are superior to all conventional high vacuum pumps.

При разработке или выборе наиболее предпочтительного способа криооткачки, а также повышени  ее эффективности, необходимо учитывать оптико-физические свойства конденсирующихс  газов.When developing or choosing the most preferred method of cryo-pumping, as well as increasing its efficiency, it is necessary to take into account the optical-physical properties of condensing gases.

Важнейшей характеристикой конденсированных газов  вл етс  их плотность.The most important characteristic of condensed gases is their density.

Расчет плотности может быть произведен наиболее точно на основе показател  преломлени  конденсированного газа.The density calculation can be made most accurately based on the refractive index of the condensed gas.

Точное значение показател  преломлени  дает возможность правильно определить скорость образовани  криоосадка и его структуру.The exact value of the refractive index makes it possible to correctly determine the rate of formation of the cryocoat and its structure.

VIVI

ГОGO

ЈJ

XIXi

XIXi

Известны способы определени  показател  преломлени  прозрачной пленки на прозрачной подложке, основанные на регистрации интерференции, возникающей при сложении двух лучей, отраженных от поверхности пленки и подложки, например, способ Абелеса, включающий определение угла падени  0 р-пол ризованного монохроматического света, при котором интенсивности пучков, отраженных от поверхности подложки -с пленкой и без пленки, будут равны, а показатель преломлени  пленки вычисл етс  из соотношени  tg 0 Ппл/Ло, гДе ппл - показатель преломлени  пленки, п0- показатель преломлени  подложки.Methods are known for determining the refractive index of a transparent film on a transparent substrate, based on detecting interference arising from the addition of two rays reflected from the surface of the film and the substrate, for example, the Abeles method, including determining the angle of incidence of 0 p-polarized monochromatic light, in which the beam intensities reflected from the substrate surface with and without film will be equal, and the refractive index of the film is calculated from the ratio tg 0 Ppl / Lo, where Pfp is the refractive index of pl APIS, n0 is the refractive index of the substrate.

Недостатком такого способа  вл етс  ограниченна  область применени . Этот способ дает достаточно точный результат только в случае определени  показател  преломлени  однородной пленки. Дл  конденсированного газа характерна неоднородна , столбчата  структура сло , что необходимо учитывать при определении показател  преломлени . Кроме того, этот способ трудно реализовать в криовакуум- ной технике из-за ограниченного рабочего объема камеры.The disadvantage of this method is the limited scope. This method gives a fairly accurate result only if the refractive index of a homogeneous film is determined. For a condensed gas, the characteristic is non-uniform, the columnar structure of the layer must be taken into account when determining the refractive index. In addition, this method is difficult to implement in cryovacuum technology due to the limited working volume of the chamber.

Наиболее близким к изобретению  вл етс  способ определени  показател  преломлени  конденсированного газа в криовакуумной камере, включающий направление на подложку с растущим криоо- садком монохроматического излучени  под разными углами; регистрацию интерферог- рамм двух отраженных пучков света. Показатель преломлени  определ етс  по соотношению:Closest to the invention is a method for determining the refractive index of a condensed gas in a cryovacuum chamber, including the direction of a substrate with a growing cryochamp of monochromatic radiation at different angles; registration of interferograms of two reflected light beams. The refractive index is determined by the ratio:

Гз п2 -©2з1гГз п2 - © 2з1г

в... Оin ... o

1 - (m2/mi)1 - (m2 / mi)

где , tyi -углы падени  пучков света;where, tyi are the angles of incidence of light beams;

mi, ГТ12 - количество минимумов на ин- терферограммах, соответствующих углам падени  и $г за одинаковый промежуток времени.mi, GT12 are the number of minima on interferograms corresponding to the angles of incidence and $ g for the same period of time.

Недостатком способа  вл етс  невысока  точность при определении показател  преломлени  слоев неоднородной структуры .The disadvantage of this method is the low accuracy in determining the refractive index of the layers of a non-uniform structure.

Целью изобретени   вл етс  повышение точности определени  показател  преломлени  конденсированных газов.The aim of the invention is to improve the accuracy of determining the refractive index of condensed gases.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу определени  показател  преломлени  сло  конденсированного газа в криовакуумной камере, включающему направление монохроматического излучени  на подложку с криоосадком и регистрацию интерферограмм, излучение направл ют нормально к поверхности подложки, формируют интерферограммы со сдвигом фаз, определ ют разность фаз интерферограмм , а показатель преломлени  щ конденсированного газа наход т по формулеThe goal is achieved by the method of determining the refractive index of a layer of condensed gas in a cryovacuum chamber, including the direction of monochromatic radiation on a cryosadic substrate and the registration of interferograms, the radiation is directed normally to the surface of the substrate, the interferograms with phase shift are determined, the phase difference of the interferograms is determined and the refractive index of u condensed gas is found by the formula

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

00

5five

П1 P1

fe-Vkj+tg r +K2)fe-vkj + tg r + K2)

- г S- Mr. S

tgytgy

(D(D

гдеп1, К2 показатели преломлени  и поглощени  поглощающей части подложки соответственно .gdep1, K2 are the refractive indices and absorption indices of the absorbing part of the substrate, respectively.

Записать интерферограмму со сдвигом фаз можно различными пут ми. Например, путем интерференции излучени , отраженного от поверхности криоосадка и охлажденных до одинаковой температуры поглощающей и прозрачной частей подложки .The interferogram with a phase shift can be recorded in various ways. For example, by interfering radiation reflected from the cryo-precipitation surface and cooled to the same temperature of the absorbing and transparent parts of the substrate.

Или интерферограммы со сдвигом фаз формируют путем интерференции излучений с длинами волн AI и Л.2, отраженных от подложки выполненной прозрачной дл  AI и поглощающей дл  Яа , а сдвиг фаз р наход т по формуле ,cfeOr interferograms with a phase shift are formed by the interference of radiation with wavelengths AI and L. 2, reflected from the substrate made transparent for AI and absorbing for Yaa, and the phase shift p is found by the formula

Л ,02 ,, чL, 02 ,, h

1 2 12

4Ji4Ji

где ch и d2 рассто ни  на интерферограм- мах от начала координат до первого минимума дл  AI и 2.2 соответственно.where ch and d2 are the distances on the interferograms from the origin to the first minimum for AI and 2.2, respectively.

Повышение точности стало возможным благодар  выбору в качестве измер емой величины разности фаз двух интерферог- рамм. Эту разность фаз представл етс  воз- можным измерить в малый отрезок времени, за который практически не сказываетс  вли ние изменени  структуры криоосадка . Выбор в качестве измер емой величины разности фаз накладывает жесткие услови  построени  интерферограммы, а именно параллельности падени  излучени  на образец в обоих случа х.The increase in accuracy was made possible by choosing the measured phase difference between two interferograms. This phase difference seems to be possible to measure in a small period of time, during which the effect of a change in the cryo-upset structure has little effect. The choice of the phase difference as the measured value imposes strict conditions on the construction of the interferogram, namely, the parallelism of the incident radiation on the sample in both cases.

Выбор математической обработки результатов измерени  ставит условием строго определенное падение излучени  на поверхность рабочего элемента, а именно нормальное падение, что, в свою очередь, приводит к дополнительному повышению точности за счет исключени  вли ни  анизотропии растущего сло  криоосадка.The choice of mathematical processing of measurement results imposes a strictly defined incidence of radiation on the surface of the working element, namely, a normal incidence, which, in turn, leads to an additional increase in accuracy by eliminating the influence of the anisotropy of the growing cryo-deposition layer.

На фиг. 1 представлена схема устройства дл  реализации способа определени  показател  преломлени  конденсированных газов; на фиг. 2 и 3 - интерферограммы.FIG. 1 shows a diagram of an apparatus for implementing a method for determining a refractive index of condensed gases; in fig. 2 and 3 - interferograms.

Устройство содержит камеру 1, подложку 2, окно 3, светоделительную пластину 4, источник 5 излучени , светоделительнуюThe device comprises a camera 1, a substrate 2, a window 3, a beam-splitting plate 4, a radiation source 5, a beam-splitting

призму 6, приемники 7 и 8 излучени , усилители 9 и 10 и самописец 11.prism 6, 7 and 8 radiation receivers, amplifiers 9 and 10, and a recorder 11.

На фиг. 2 изображены интерферограм- мы: 12 - соответствующа  растущей пленке на поглощающей подложке; 13 - соответствующа  растущей пленке на прозрачной подложке; отрезок А соответствует двум точкам с одинаковой фазой; отрезок х соответствует периоду интерферограммы. По оси абсцисс обозначено врем  Т, по оси координат - интенсивность I.FIG. 2 shows interferograms: 12 is the corresponding growing film on the absorbing substrate; 13 is a corresponding growing film on a transparent substrate; segment A corresponds to two points with the same phase; segment x corresponds to the period of the interferogram. The abscissa axis denotes time T, the coordinate axis is intensity I.

На фиг. 3 изображены интерферограммы: 14-полученна  при облученииAI ; 15- полученна  при Кг ; di, d2 - рассто ние от начала координат до первого минимума дл  длин волн AI и Л.2 соответственно.FIG. 3 shows interferograms: 14 obtained by irradiation with AI; 15 obtained with Kg; di, d2 is the distance from the origin to the first minimum for wavelengths AI and L.2, respectively.

Способ осуществл етс  следующим образом .The method is carried out as follows.

В криовакуумной камере создают необходимое давление. В зависимости от состава газа и структуры исследуемого сло  выбирают температуру подложки, охлаждают ее до этой температуры и поддерживают ее неизменной в течение всего рабочего цикла измерений.In the cryovacuum chamber create the necessary pressure. Depending on the composition of the gas and the structure of the layer under study, choose the temperature of the substrate, cool it to this temperature and keep it constant throughout the entire measurement cycle.

На поверхность подложки направл ют поток исследуемого газа, при этом на поверхности образуетс  слой криоконденсата. Далее нормально к поверхности рабочего элемента направл ют два параллельных пучка света /li и Л г: луч Г падает на поглощающую подложку, а Ла - на прозрачную. Отраженные от рабочего элемента лучиA stream of test gas is directed onto the surface of the substrate, and a layer of cryocondensate forms on the surface. Then, two parallel beams of light (li and lg) are directed normally to the surface of the working element: the beam F is incident on the absorbing substrate, and La is directed to the transparent one. Rays reflected from the work element

л и Л2  вл ютс  результатом сложени  двух лучей: луча, отраженного от растущего сло  криоосадка, и луча, отраженного от поглощающей (Л1) и прозрачной (Лг) частей подложки.L and L2 are the result of the addition of two rays: a beam reflected from the growing layer of a cryo-deposit, and a beam reflected from the absorbing (L1) and transparent (Lg) portions of the substrate.

В отраженном от поглощающей подложки луче света электромагнитна  волна измен ет фазу колебаний по отношению к падающей на величину от О до л в зависимости от показател  поглощени  подложки. Если на поверхности подложки будет прозрачна  пленка, отраженные от подложки и пленки лучи интерферируют. Интерференционную картину можно зарегистрировать на самописце. В случае непрерывно измен ющейс  толщины пленки интерференционна  картина представл ет собой гармонически измен ющуюс  кривую.In a light beam reflected from an absorbing substrate, an electromagnetic wave changes the phase of the oscillations with respect to the incident wave from O to 1 depending on the absorption of the substrate. If a transparent film is on the surface of the substrate, the rays reflected from the substrate and the film interfere. The interference pattern can be registered on the recorder. In the case of continuously changing film thickness, the interference pattern is a harmonically changing curve.

В случае прозрачной подложки отраженна  волна не измен е рсво ей фазы. Если теперь получить интерферограммы отраженных лучей от систем прозрачна  подложка - пленка и поглощающа  подложка - пленка, причем толщина пленки в обоих случа х должна быть равна, то интерферограммы отличаютс  одна от другой лишь наIn the case of a transparent substrate, the reflected wave does not change its phase. If now the interferograms of the reflected rays from the systems are transparent substrate - film and absorbing substrate - film, and the film thickness in both cases must be equal, then the interferograms differ from one another only by

величину разности фаз (р, котора  зависит от оптических посто нных подложки и пленки . Интерференционна  картина, полученна  от системы прозрачна  подложка - пленка, необходима дл  определени  нача- ла координат. По интерферограммам определ ют величину р . Дл  этого измер ют длину отрезка А (фиг.2), что соответствует точкам одинаковых фаз. Разность фаз определ ют из соотношени the magnitude of the phase difference (p, which depends on the optical constant substrate and film. The interference pattern obtained from the transparent substrate – film system is necessary for determining the origin of coordinates. The p value is determined using interferograms. To do this, measure the length of segment A ( 2), which corresponds to points of the same phases. The phase difference is determined from the relation

,-%ЕД.(2), -% UNIT (2)

Определив таким образом величину у и зна  значение оптических посто нных поглощающей подложки, определ ют значение показател  преломлени  сло  конденсированного газа из выражени  (1). П р и м е р. В криовакуумной камере 1 с окном 3 размещена подложка 2, поверхность которой устанавливаетс  перпендикул рно оптической оси окна 3. Дл  исключени  колебани  температуры поглощающей и прозрачной частей подложки, они конструктивно выполнены в виде одной пластины селенида цинка, половина которого была покрыта пленкой золота и  вл лась поглощающей подложкой. Пластину из ZnSe охлаждают до необходимой температуры . В качестве источника оптического излучени  был вз т He-Ne лазер с длинойHaving thus determined the value of y and the value of the optical constants of the absorbing substrate, the value of the refractive index of the condensed gas layer is determined from expression (1). PRI me R. In a cryovacuum chamber 1 with a window 3, a substrate 2 is placed, the surface of which is set perpendicular to the optical axis of the window 3. To eliminate temperature fluctuations in the absorbing and transparent parts of the substrate, they are structurally made in one plate of zinc selenide, half of which was covered with a gold film and absorbing substrate. The ZnSe plate is cooled to the required temperature. As a source of optical radiation, a He-Ne laser with a length of

волны излучени  0,63 мкм. Значение оптических посто нных золота дл  излучени  He-Ne лазера составл ет: показатель преломлени  П2 0,36, показатель поглощени  К2 2,19. Дл  упрощени  конструкции излучател  в установке использован один источник излучени , а два параллельных луча получают делением пучка с помощью свето- делительной пластины 6. Дл  регистрации интерференционной картины использована0.63 micron radiation waves. The value of optical permanent gold to emit a He-Ne laser is: refractive index P2 0.36, absorption coefficient K2 2.19. To simplify the design of the emitter, a single radiation source was used in the installation, and two parallel beams are produced by dividing the beam using a light-dividing plate 6. For recording the interference pattern,

электрическа  схема, котора  включает приемники 7 и 9 оптического излучени , усилители 9 и 10 и самописец 11.an electrical circuit that includes optical radiation receivers 7 and 9, amplifiers 9 and 10, and a recorder 11.

Объектом анализа  вл етс  поток аргона .The object of the analysis is the flow of argon.

Перед началом исследовани  камеру 1 откачивают до давлени  10 торр. После чего подложку охлаждают криоагентом. Далее на поверхность подложки направл ют поток аргона; на поверхности начинает расти слой криоосадка. Подложку облучают лучами Лт и Л2. Полученные при отражении от поглощающей и прозрачной подложек интерференционные картины регистрируют на ленте самописца. Дл  удобства определени  разности фаз интерферограммы, соответствующие росту криоосадка на поглощающей (12) и прозрачной (13) подложках , совмещены на одном рисунке.Before starting the study, chamber 1 is pumped to a pressure of 10 Torr. Then the substrate is cooled with a cryoagent. Further, argon flow is directed to the surface of the substrate; on the surface, the cryosadimentation layer begins to grow. The substrate is irradiated with rays Lt and L2. Interference patterns obtained by reflection from absorbing and transparent substrates are recorded on a recorder tape. For convenience, the determination of the phase difference of the interferogram, corresponding to the growth of the cryoadjust on the absorbing (12) and transparent (13) substrates, are combined in one picture.

Разность фаз определ ют, использу  выражение (2).The phase difference is determined using expression (2).

Дл  этого измер ют длину отрезков Л и х. В этих случа х величина А 34,2 мм, а х 51,9 мм. Дл  более точного определени  длины отрезков Д их рекомендуетс  в качестве точек одинаковых фаз выбирать точки минимумов. Далее, использу  выражение (1), по вычисленному значению разности фаз р и известным значением оптических констант золота П2 и «2 определ ют показатель преломлени  аргона m 1,218.To do this, measure the length of the segments L and x. In these cases, the value of A is 34.2 mm, and x 51.9 mm. In order to more accurately determine the length of the segments D, it is recommended to choose the points of the minima as points of identical phases. Next, using the expression (1), the refractive index of argon m 1,218 is determined from the calculated value of the phase difference p and the known value of the optical constants of gold P2 and 2.

Структура конденсированных газов зависит от условий их образовани . Наиболее веро тно по вление столбчатой структуры. Дл  описани  ее оптических свойств используют модель однородных цилиндров, разделенных вакуумом, ось которых совпадает с нормалью к поверхности:The structure of the condensed gases depends on the conditions of their formation. The appearance of a column structure is most likely. To describe its optical properties, a model of homogeneous cylinders separated by a vacuum is used, whose axis coincides with the normal to the surface:

np o f+O-f)np o f + O-f)

nr Vn2p-An2 nr Vn2p-An2

(4) .(5)(4). (5)

П2 (neo-1)2f(1-f) ng0(l-f)+(1+f)P2 (neo-1) 2f (1-f) ng0 (l-f) + (1 + f)

где Пр - коэффициент преломлени  пленки при падении излучени  вдоль оси цилиндров (нормально к поверхности);where Pr is the refractive index of the film when radiation is incident along the axis of the cylinders (normal to the surface);

пг - коэффициент преломлени  пленки при падении излучени  поперек оси цилиндров (параллельно поверхности);ng is the refractive index of the film when radiation falls across the axis of the cylinders (parallel to the surface);

nko - показатель преломлени  криоо- садка без пор (пустот);nko is the refractive index of a cryoaddle without pores (voids);

f - часть объема пленки, зан та  криоо- садком.f is a part of the film volume occupied by a cryo-saddle.

Если конденсированный газ - аргон; nko 1,3; /Око 1770 кг/м3; f 0,7, то расчеты по формулам (3)-(5) показател  преломлени  дл  разных направлений падени  излучени  дают пр 1,218, пг 1,199.If the condensed gas is argon; nko 1,3; / Eye 1770 kg / m3; f 0.7, then calculations using formulas (3) - (5) of the refractive index for different directions of radiation incidence give Pr 1.218, pg 1.199.

Дл  конкретного способа определени  показател  преломлени  пр 1,218, пг 1,213.For a specific method of determining the refractive index, pr 1.218, pg 1.213.

На основе методики определени  показател  преломлени  можно записатьBased on the method of determining the refractive index can be written

ГТН Я ГП2 А GTH I GP2 A

ГП2Ч2GP2CH2

-(1-(one

т -1t -1

тгmr

Чп2РCP2R

(1(one

sin t/2sin t / 2

nn

Подставл   численные значени , получают пр 1,19. Таким образом, абсолютна Substituting numerical values, ave. 1.19 is obtained. So absolute

5 10 15 205 10 15 20

2525

30thirty

ошибка составл ет 0,028; относительна  ошибка 2,3%.the error is 0.028; relative error of 2.3%.

Соответствующую ошибку в величине плотности криоконденсата рассчитывают из уравнени  (3)The corresponding error in the density of the cryocondensate is calculated from equation (3)

f (8)f (8)

1 - ПЙо1 - PIOT

а плотность криоконденсата р pko f.and the density of the cryocondensate p pko f.

Получают fnp 0,603, fpea 0,7, рпр 1067,3 кг/м3, /Эреал 1239 кг/м3.Get fnp 0,603, fpea 0,7, RPR 1067.3 kg / m3 / Area 1239 kg / m3.

Абсолютна  ошибка составл ет 171,6 кг/м3. Относительна  ошибка 13,8%.The absolute error is 171.6 kg / m3. The relative error is 13.8%.

Claims (3)

Формула изобретени  1. Способ определени  показател  преломлени  конденсированного газа в крио- вакуумной камере, включающий направление монохроматического излучени  на подложку с криоосадком и регистрацию интерферограмм, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности, излучени  направл ют нормально к поверхности подложки, формируют ин- терферограммы со сдвигом фаз, определ ют разность фаз (р интерферограмм , а показатель преломлени  m конденсированного газа наход тс  по формуле:Claim 1. Method for determining the refractive index of a condensed gas in a cryo-vacuum chamber, including the direction of monochromatic radiation to a substrate with a cryo-precipitate and recording interferograms, characterized in that, in order to improve the radiation, radiation is directed normally to the substrate surface, interferograms are formed with a phase shift, the phase difference is determined (p interferograms, and the refractive index, m, of the condensed gas is found by the formula: П1 P1 K2-VK3+to2cofn3+KfrK2-VK3 + to2cofn3 + Kfr 3535 40 4540 45 5050 5555 где m и К2 - показатели преломлени  и поглощени  поглощающей части подложки соответственно .where m and K2 are the indices of refraction and absorption of the absorbing part of the substrate, respectively. 2.Способ по п.1, о т л и ч а ю щ и и с   тем, что интерферограммы со сдвигом фаз формируют путем интерференции излучени , отраженного от поверхности криоосад- ка и охлажденных до одинаковой температуры поглощающей и прозрачной частей подложек.2. The method according to claim 1, wherein the interferograms with phase shift are formed by interfering radiation reflected from the cryosolder surface and cooled to the same temperature of the absorbing and transparent parts of the substrates. 3.Способ по п.1,отличающийс  тем, что интерферограммы со сдвигом фаз формируют путем интерференции излучений с длинами волн AI и Я2 , отраженных от подложки, выполненной прозрачной дл  AI и поглощающей дл  А.2 , а сдвиг фаз р наход т по формуле3. The method according to claim 1, characterized in that the interferograms with phase shift are formed by interfering radiation with wavelengths AI and H2, reflected from the substrate, made transparent for AI and absorbing for A.2, and the phase shift p is found by the formula (%b-®(% b-® где di и d2 рассто ни  на интерферограм- мах от начала координат до первого минимума дл  AI и А2 соответственно.where di and d2 are the distances on the interferograms from the origin to the first minimum for AI and A2, respectively. °0° 0 33 «" I-I ЈI-I Ј /J/ J 1212 «Риг. 2“Rig. 2 ТT , ,