SU1328666A1 - Интерферометр дл измерени линейных размеров объектов - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  измерени  линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких дес тков метров . Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет независимого перемещени  отражателей непосредственно по линии измерени , что не нарушает принцип Аббе. Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4, 6 интерферометра перемещают по оси до соприкосновени  друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводитс  нулевой отсчет. Затем отражатели 4, 6 развод т один относительно другого по оси на рассто ние, соизмери-. мое с измер емым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производитс  автоматический счет интерференционных полос, соответствующий рассто нию между отражател ми 4 и 6. Контролируемый объект 8 ввод т между отражател ми 4 и 6 так, что лини  измерени  совпадает с осью, на которой на.код тс  отражатели 4 и 6. Отражатели 4 и 6 перемещают по оси до соприкосновени  с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объекта 8. 1 ил. 2 (Л со ю 00 О5 О5 О5

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  измерени  линейных размеров объектов, в частности диаметров до нескольких дес тков метров.

Цель изобретени  - повышение точности измерени  линейных размеров объектов И расширение диапазона измерени  за счет независимого перемеш.ени  отражателей непосредственно по линии измерени , что не нарушает принцип Аббе.

На чертеже изображена оптическа  схема интерферометра дл  измерени  линейных размеров объектов.

Интерферометр содержит осветитель 1, даюш.ий параллельный световой поток, раз- дел ющийс  на светоделительной пластине 2. Проход ш.а  светоделительную пластину 2 часть светового потока зеркалом 3 направлена на отражатель 4, затем посредством зеркала 3, светоделительной пластины 2 и зеркала 5 - на отражатель 6, откуда посредством зеркала 5 направлена на светоделительную пластину 2, где совме- ш.ена с частью светового потока, отраженного от светоделительной пластины 2, и направлена на фоторегистратор 7. Отражатели 4 и 6 расположены параллельно друг другу на одной оптической оси и в одной ветви.

Интерферометр работает следующим образом.

Перед измерением линейных размеров объекта 8 отражатели 4 и 6 интерферометра перемешаютс  по оси до соприкосновени  друг с другом, при этом на фоторегистраторе 7 вводитс  нулевой отсчет. Затем отражатели 4 и 6 развод т друг относительно друга по оси на рассто ние, соизмеримое с измер емым размером объекта 8. При этом на фоторегистраторе 7 производитс  автоматический счет интерференционных полос , соответствующий рассто нию между отражател ми 4 и 6. Контролируемый объект 8 ввод т между отражател ми 4 и 6 так, что лини  измерени  совпадает с осью, на которой наход тс  отражатели 4 и 6. Последние перемешают по оси до соприкосновени  с контролируемыми точками поверхности объекта 8. После этого фиксируют отсчет на фоторегистраторе 7, соответствующий линейному размеру объек-го и

та о.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Интерферометр дл  измерени  линейных размеров объектов, содержащий осветитель , светоделительную пластину, предназначенную дл  делени  светового потока на две ветви, зеркала, отражатели и фоторегистратор , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности и расширени  диапазона измерени , отражатели установлены в одной ветви на одной оптической оси с возможностью перемещени  вдоль нее, а светоделительна  пластина расположена так, что ее светоделительна  поверхность параллельна этой оси.