SU1052856A1 - Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей - Google Patents
Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1052856A1 SU1052856A1 SU823463577A SU3463577A SU1052856A1 SU 1052856 A1 SU1052856 A1 SU 1052856A1 SU 823463577 A SU823463577 A SU 823463577A SU 3463577 A SU3463577 A SU 3463577A SU 1052856 A1 SU1052856 A1 SU 1052856A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- white light
- light channel
- channel
- measurement
- plane
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙ, содержащее двухлучевой интерферометр типа Майкельсона, включающий канал монохроматического света и канал белого света, приемные блоки, установленные на выходе каналов, и электронный блок обработки, отличающеес тем, что, с целью повышени точности и производительности измерени , оно снабжено двум плоскопараллельными пластинками с полупрозрачными отражательными покрыти ми на обращенных друг к другу поверхност х, расположенными в канале белого света перпендикул рно его оси и с возможностью перемещени вдоль этой оси. (Л 8 ел ю 00 ел
Description
Фиг.
Изобретение относитс к измерительной технике и может бьп-ь использовано в оптических интерференционных приборах дл прецизионных и оперативных измерений деталей в различных област х машиноС1роени .
Известно оптическое интерференционное устройство дл измерени концевых мер, содержащее две плоскопараллельные пластинки с заключенной между ними концевой мерой Размер концевой меры в этом устройстве опре еп ют путем измерени длины эталона Фабри-Перо, образованного двум плоскопараллельными пластинками с полупрозрачными отражательными покрыти ми на обращенных друг к другу поверхност х. Измерение производитс методом совпадени дробных частей полос при последовательном освещении пластин светом нескольких длин золн Г 1 ,
Ланкое устройство обеспечивает высокую точность измерений, но требует оператора высокой квалификации и трудно поддаетс автоматизации о
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс интерференционное устройство дл измерени размеров деталей , содержащее лвухлучевой интерферометр типа Майкельсона, включающий канал монохроматического света и канал белого света, (Приемные блоки, установленные на входе каналов, и электронный блок обработки 2,
Извесгное устройство имеет низкие точность и производительность измерени .
Цель изобретени - повышение тоности и производительности измерени
Поставленна цель достигаетс тем, что интерференционное устройство дл измерени размеров деталей , содержащее двухлучевой интерферометр типа Майкельсона, включающий канал монохроматического света и канал белого света, приемные блоки, установленные на выходе каналов , и электронный блок обработки , снабжено двум плоскопараллельншАи пластинками с полупрозрачными отражательными покрыти ми на обращенных друг к другу поверхност х , расположенными в канале бело света перпендикул рно его оси с зо:зможностью перемещени вдоль это оси. .
На фиг, 1 изображена принципиальна схема интерференционного устройства дл измерени размеров деталей на фиг. 2 сигналы канало1з монохроматического и белого свет
Устройство содержит двухлучевой интерферометр типа Майкельсона с кналом монохроматического света, включающим источник 1 монохроматического света и подвижный .отражатель 2, и каналом белого света, включающим источник 3 белого света и неподвижный отражатель 4, светоделитель 5 в виде стекл нного кубасистему 6 сканировани , плоскопараллельные пластинки 7 и 8 с .полупрозрачными отражательными покрыти ми на обращенных друг к другу поверхност х, расположенныгли в канале белого света перпендикул рно его оси с возможностью перемещени вдоль этой оси, приемные блоки, установленные на выходе каналов н включающие приемно-усилитеные тракты 9 и 10 и формирователи 11 и 12 11мпу;льсов, и электронный блок 13 обработки
В качестве отражателей 2 и 4 используют отражатели типа кошачий глаз
На фиг, 2 обозначены: L, - разность хода между центральным максимумом и первым боковым в сигнале канала белого света; число импульсов монохроматического канала на разности хода Ц ; П - число импульсов генератора тактовой частот с мсмента пика главного максимуму сигнала канала белого света до первого импульса канала монохроматичекого излучени П2 число импульсов тактового генератора с момента пика первого бокового максимума до MOTvjeHTa (Пд+1)-го импульса монохроматического канала; Яр- длина вол /laaepa.
Устройство дл измерени р азмеров деталей работает следук дим образом.
Интерферометр в исходном положении имеет небольиюе отрицательно запаздывание, т.е. подвижный отражатель 2 находитс несколько ближе к светоделителю 5, чем неподвижный отражатель 4. Плоскопараллельные пластинки 7 и 8 взаимно параллельны и перпендикул рны лучу канала белого света. Частоту тактового генератора (не показан) в электронном блоке 13 обработки и cKOpcjcTb сканировани подвижного отражател 2 устанавливают такими , чтобы за врем сканировани разности ходаЛр/2 тактовый генератор выхэабатывал пор дка 100 импульсов , т„е. .
Две плоскбпараллельные пластинки 7 и 8 с полупрозрачными отражательнь и Покрыти ми на обращенных друг к другу поверхност х представл ют собой многолучевой интерферометр Фабри-Перо. Сплошной прот жный спектр источника 3 белового
света, проход через такой интерферометр , регул рно модулируетс по амплитуде в функции волновых чисел так, что рассто ниелй () между соседними максимумами, рассто ние d (см) между пластинами и разность хода и между центральным максимумам и первым боковым в интерферограмме интерферометра Майкельсона, св заны Зависимостью:
L 2dncos Ss-f/dd,
где п - показатель преломлени среды между отражательными поверхност ми пла.стин 7 и 8 б - угол преломлени лучей
в среде.
При условии, ип 1, d l/2/so t.y2. Таким образом, определить J, т.е. размер детали 14, можно или рассчитав лб преобра ,зу интерферограмму в спектр, или измерив t по интерферограмме. Второй путь требует значительно меньше аппаратурных затрат и вычислений . Система 6 сканировани перемещает равномерно ПОДВИЖНЕЙ отражатель 2. При нулевой разности хода сигнал (фиг. 2) канала бело го света достигает максимума и в этот момент формирователь 11 импульсов вырабатывает импульс, по которому импульсы тактового генератора в электронном блоке 13 обработки начинают поступать на один счетчик (не показан), а импульсы с формировател 12, вьлрабатываемые через Лр/2 при прохождении сигнала монохроматического канала через нулевой уровень, на второй счетчик (не показан). Импульсы тактового генератора прекращают поступать на первый счетчик в момент поступлени первого импульса, вырабатываемого электронным блоком 13. На первом счетчике фиксируетс число п. (Система б сканировани продолжает перемещение подвижного отражател 2 При достижении разности хода - 1, в сигнале канала белого света по вл етс первый боковой максимум, по которому формирователь 11 импульсов вырабатывает импульс, по которому на втором счетчике фиксируетс число Hjj, а импульсы с тактового генертора начинают поступать на первый счетчик на вычитание до момента
по влени (Пд+1)-го импульса. перво/vi счетчике присутстЕует величина лп (). Электронный блок 13 обработки определ ет рассто ние с между пластинками 7 и 8 по выражению
()Лр/4
После получени с формировател 12 (Пд+1)-го 1 мпульса вырабатываетс команда на возврат подвижного отражател 2 в исходное состо ние и устройство готово к повторному или новому измерению. Измерение может быть произведено
и при обратном ходе подвижного отражател 2.
Отражатели 2 и 4 выбраны типа кошачий глаз дл снижени требований на поступательность перемещени подвижного отражател 2 при сканировании. На фиг. 1 изображена схема интерферометра с двойным ходом лучей, что позвол ет удвоить- разность хода при том же
перемещении подвижного отражател 2.
5
При относительных измерени х размер измер емой детали 14 может быть значительно больше за счет такой конструкции держател детали, когда контактные части (зажимы) (не
0 показаны) расположены значительно шире плоскопараллельных пластинок 7 и 8.
Метод пр мого счета числа полос более эффективен по сравнению с ме5 тодом совпадени дробных частей полос. Преимущества предлагаемого устройства заключаютс в возможности автоматизации прецизионных измерений, в простоте оптической
0 схемы устройства. Возможность работы с предельно узкими пучками света позвол ет снизить требовани к технологии изготовлени оптических деталей. Вследствие широкого
5 назначени устройства, позвол ющего измер ть контактным способом размеры непрозрачных деталей и бесконтактным способом толщины прозрачных пластин, устройство может найти широкое применение в раз0 личных област х машиностроени и оптической промышленности, что позвол ет организовать серийное производство с унификацией узлов и элементов.
Claims (1)
- ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ ДЕТАЛЕЙ, содержащее двухлучевой интерферо- метр типа Майкельсона, включающий канал монохроматического света и канал белого света, приемные блоки, установленные на выходе каналов, и электронный блок обработки, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности измерения, оно снабжено двумя плоскопараллельными пластинками с полупрозрачными отражательными покрытиями на обращенных друг к другу поверхностях, расположенными в канале белого света перпендикулярно его оси и с возможностью перемещения вдоль этой оси.Фиг. 7
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823463577A SU1052856A1 (ru) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823463577A SU1052856A1 (ru) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1052856A1 true SU1052856A1 (ru) | 1983-11-07 |
Family
ID=21020176
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823463577A SU1052856A1 (ru) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1052856A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2557681C1 (ru) * | 2014-03-04 | 2015-07-27 | Вячеслав Васильевич Орлов | Двусторонний интерферометр для измерения концевых мер длины |
-
1982
- 1982-07-02 SU SU823463577A patent/SU1052856A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Коломийцов Ю.В. Интерферо-, метры. Л., Машиностроение, 1976, с. 183. 2. Фотева И.И. и др. Измерение толщины полупроводниковых пленок интерферометрическим методом., 1975, 1, с. 62 (прототип). * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2557681C1 (ru) * | 2014-03-04 | 2015-07-27 | Вячеслав Васильевич Орлов | Двусторонний интерферометр для измерения концевых мер длины |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3319515A (en) | Interferometric optical phase discrimination apparatus | |
GB1400253A (en) | Gauging dimensions | |
CA2146300A1 (en) | Refractive Index Measurement of Spectacle Lenses | |
US3680963A (en) | Apparatus for measuring changes in the optical refractive index of fluids | |
GB914038A (en) | Interferometer using a diffraction grating | |
SU1052856A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени размеров деталей | |
EP0480027A1 (en) | Method and device for determining the thickness of a glass tube | |
SU1397732A1 (ru) | Устройство дл измерени тонких стенок стекл нных труб | |
SU1663416A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений объектов | |
CN107560555A (zh) | 激光干涉游标卡尺 | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
RU1768961C (ru) | Способ определени толщины стенки стекл нной трубки и устройство дл его осуществлени | |
SU1474456A1 (ru) | Интерференционный способ определени толщины плоскопараллельных объектов из оптически прозрачных материалов | |
SU1515039A2 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта | |
SU1397719A1 (ru) | Интерферометрический способ измерени линейных перемещений объектов | |
SU1286961A1 (ru) | Двухчастотный интерферометрический рефрактометр | |
GB1184080A (en) | Single Optical Block Interferometer Means | |
US3873208A (en) | Measuring the index of refraction | |
SU1213398A1 (ru) | Интерференционный способ определени показател преломлени | |
SU712654A1 (ru) | Интерферометр | |
SU645021A1 (ru) | Оптический микрометр нониального совмещени | |
SU188064A1 (ru) | Двухлучевой интерферометр длясмещений | |
SU1068782A1 (ru) | Автоматическое интерференционное устройство дл измерени структурной характеристики показател преломлени атмосферы | |
SU1113671A1 (ru) | Устройство дл измерени угловых перемещений | |
FR2455271A1 (fr) | Procede de mesure du taux de fuite d'une enceinte etanche sous pression par variation de l'indice de refraction, et dispositif de mise en oeuvre |