SU1203027A1 - Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий - Google Patents
Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1203027A1 SU1203027A1 SU833679370A SU3679370A SU1203027A1 SU 1203027 A1 SU1203027 A1 SU 1203027A1 SU 833679370 A SU833679370 A SU 833679370A SU 3679370 A SU3679370 A SU 3679370A SU 1203027 A1 SU1203027 A1 SU 1203027A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- quartz
- holes
- crucible
- graphite
- sealing ring
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
Изобретение относитс к стекольной промышленности, а именно к устройствам дл наплавлени блоков кварцевого стекла в графитовых тигл х .
Целью изобретени вл етс расширение ассортимента выплавл емых изделий.
На чертеже изображена предлагаема KBардеплавильна печь.
В корпусе 1 соосно установлен графитовый сусцептор 2, образующий нагревательную камеру 3. В центре корпуса на крышке 4 механизма загрузки и выгрузки с водоохлаждаемым кольцом 5, установлен теплоизол ционный круг 6, на котором расположена графитова подставка 7, имеюща вертикальное глухое отверстие 8, пересекающее как два верхних горизонтальных взаимно перпендикул рных сквозных отверсти 9, так и два нижних го ризонтальных взаимно перпендикул рных сквозных отверсти .10. На крышке 4 взаимно плотно с графитовой под- 25 ров тигл , количества кварцевой
ставкой 7 установлено уплотнитель- ное кольцо 11 со сквозными отверсти ми 12, соосными нижним горизонтальным отверсти м 10. На графитовую подставку установлен графитовый тигель 13, который охватьюаетс индуктором 14. Между сусцептором 2 и индуктором 14 расположена теплова изол ци 15.
Устройство работает следующим образом .
Крышка 4 механизма загрузки и выгрузки опускаетс в нижнее положение , на нее помещают теплоизол ционный круг 6. Затем на круг устанавливают графитовую подставку 7 с уп- лотнительным кольцом 11, после чего на подставку став т графитовый тигель 13. Графитовый тигель заполн ют кварцевой крупкой через отверсти 16 сверху. Крьш1ку 4 поднимают в крайнее верхнее положение, при этом уплотнительное кольцо 11 герметизирует нагревательную камеру 3, чем достигаетс стабилизаци температурного режима в ней, что позвол ет проводить равномерный нагрев кварцевой крупки в тигл х разного диаметра и соответственно получать в одном устройстве блоки кварцевого стекла расширенного ассортимента . Одновременно с этим повышаетс качество кварцевого стекла.
так как при равномерном нагреве расплавление кварцевой крупки происходит во всем объеме тигл , а следовательно , и выделение газообразных продуктов , которые откачиваютс из нагревательной камеры и не взаимодействуют с расплавом. Затем производ т откачку воздуха из нагревательной камеры через верхние горизонтальные отверсти 9, вертикальное глухое отверстие 8, нижние горизонтальные отверсти 10 и отверсти 12 уплотнительного кольца. По достижении заданной величины вакуума
включают индуктор 4 и производ т
нагрев и расплавление кварцевой
крупки. Отсос выдел ющейс смеси
газообразных продуктов производ т
через отверсти в графитовой подставке 7 и отверсти 12 уплотнитель- ного кольца, причем диаметры отверстий в графитовой подставке выбираютс из условий технологических параметров устройства, а именно размекрупки в нем, стабилизации температурного режима в нагревательной камере . Уменьшение диаметра отверстий 12 в уплотнительном кольце относи30 тельно диаметра нижних отверстий нежелательно, так как приводит к ухудшению отсоса газообразных продуктов , и нарушению температурного режима в нагревательной камере. Уве ,j личение этого диаметра относительно нижних отверстий технологически не оправдано.
Выполнение верхних горизонтальных сквозных отверстий 10, как и нижних горизонтальных сквозных отверстий 9 взаимно перпендикул рными обусловлено необходимостью полного, равномерного отсоса газообразных продуктов из нагревательной камеры.
Выдел ющиес газообразные продукты , проход через верхние горизонтальные , отверсти 9, дополнительно подогревают графитовую подставку 7 и тигель 13, что улучшает стабилизацию температурного режима в нижней части нагревательной камеры 3, тем самым способствует расширению ассортимента блоков кварцевого стекла в одном устройстве и повышает качество кварцевого стекла. Проход через нижние горизонтальные отверсти 10, газообразные продукты конденсируютс и оседают на водоохлаж
3 , 12030274
даемом кольце 5, что уменьшает заг- ва, так как стабилизируетс скоростьр знение вакуумной системы и, следо-удалени газообразных продуктов из
вательно, спобствует стабилизациизоны нагрева кварцевой крупки. Когтемпературного режима в нагреватель-да вс кварцева крупка расплавитс
ной камере, что в свою очередь, поз-5 индуктор 13 отключают, в камеру навол ет расширить ассортимент выплав-пускают воздух или инертный газ, и
л емых блоков кварцевого стекла прикварцевый блок выгружают из устройодновременном повьшении их качест-ства.
Claims (1)
- КВАРЦЕПЛАВИЛЬНАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛЫХ КВАРЦЕВЫХ ИЗДЕЛИЙ, содержащая корпус, размещенный на подставке тигель, установленный соосно с тиглем нагреватель, вакуумную систему и механизмы загрузки и выгрузки, отличающаяся тем, что, с целью расширения ассортимента выплавляемых изделий, она снабжена уплотнительным кольцом, охватываю- щим выполненную из графита подставку, и установленным на крышке механизма загрузки и выгрузки водоохлаждаемым кольцом, а тигель установ* лен на графитовой подставке, в которой соосно тиглю выполнена полость , два верхних горизонтальных взаимно перпендикулярных отверстия, расположенных на уровне нижней части нагревателя, и два нижних горизонтальных взаимно перпендикулярных отверстия, расположенных на уровне водоохлаждаемого кольца, причем полость пересекает верхние и нижние отверстия, уплотнительное е кольцо установлено до уровня верхних отверстий, в нем соосно с нижними отверстиями выполнены отверстия диаметром, равным диаметру нижних отверстий, графитовая подставка с уплотнительным кольцом установлена на крышке механизма загрузки и выгрузки, а нагреватель смонтирован с внешней стороны тигля.SU ,.„1203027 >
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833679370A SU1203027A1 (ru) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833679370A SU1203027A1 (ru) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1203027A1 true SU1203027A1 (ru) | 1986-01-07 |
Family
ID=21095431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833679370A SU1203027A1 (ru) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1203027A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2612180C1 (ru) * | 2016-02-08 | 2017-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургская Государственная художественно-промышленная Академия имени А.Л. Штиглица" | Устройство вакуумной дегазации расплавленной стекломассы |
-
1983
- 1983-12-28 SU SU833679370A patent/SU1203027A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 460248, кл. С 03 В 5/00, 1972. Патент JP № 55-18663, кл. С 03 В 5/00, 1980. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2612180C1 (ru) * | 2016-02-08 | 2017-03-02 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургская Государственная художественно-промышленная Академия имени А.Л. Штиглица" | Устройство вакуумной дегазации расплавленной стекломассы |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0068021B1 (en) | The method and apparatus for forming and growing a single crystal of a semiconductor compound | |
US3608050A (en) | Production of single crystal sapphire by carefully controlled cooling from a melt of alumina | |
JPS6150881B2 (ru) | ||
EP1153161A1 (en) | Tungsten doped crucible and method for preparing same | |
US3275415A (en) | Apparatus for and preparation of silicon carbide single crystals | |
EP1571240B1 (en) | Method for producing compound semiconductor single crystal | |
US8555674B2 (en) | Quartz glass crucible for silicon single crystal pulling operation and process for manufacturing the same | |
KR101806791B1 (ko) | 대면적 석영 유리 잉곳의 제조방법 | |
KR20040089737A (ko) | 단결정 ii-vi및 iii-v족 화합물들을 성장시키기위한 장치 | |
SU1203027A1 (ru) | Кварцеплавильна печь дл изготовлени полых кварцевых изделий | |
JPH0535715B2 (ru) | ||
KR100482702B1 (ko) | 단결정인상장치 | |
KR20140131312A (ko) | 갈륨비소 다결정체 합성 장치 및 방법 | |
KR101381326B1 (ko) | 실리콘으로 구성된 반도체 웨이퍼를 제조하는 방법 | |
KR101111681B1 (ko) | 단결정 실리콘 잉곳 제조장치 | |
NL8002144A (nl) | Werkwijze voor de vervaardiging van gadolinium- -galliumgranaat. | |
KR102138455B1 (ko) | 단결정 성장용 열차폐 부재 및 이를 적용한 단결정 성장장치 | |
US3282654A (en) | Crystal growing furnace with an alumina liner | |
JP2631591B2 (ja) | 半導体単結晶製造方法および製造装置 | |
US4725423A (en) | Process for the regeneration of shaped carbon bodies | |
JP2004123516A (ja) | 単結晶引上装置 | |
JPH09202632A (ja) | シリンダー状石英ガラスの製造方法 | |
JP2504550Y2 (ja) | 単結晶引上げ装置 | |
JPH0364478B2 (ru) | ||
GB1565407A (en) | Method for producing single crystal gadolinium gallium |