SE528891C2 - Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid - Google Patents

Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid

Info

Publication number
SE528891C2
SE528891C2 SE0500648A SE0500648A SE528891C2 SE 528891 C2 SE528891 C2 SE 528891C2 SE 0500648 A SE0500648 A SE 0500648A SE 0500648 A SE0500648 A SE 0500648A SE 528891 C2 SE528891 C2 SE 528891C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
multilayer
layer
thickness
layers
zirconia
Prior art date
Application number
SE0500648A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0500648L (sv
Inventor
Carl Bjoermander
Markus Rodmar
Original Assignee
Sandvik Intellectual Property
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Intellectual Property filed Critical Sandvik Intellectual Property
Priority to SE0500648A priority Critical patent/SE528891C2/sv
Priority to DE602006010928T priority patent/DE602006010928D1/de
Priority to AT06005487T priority patent/ATE451486T1/de
Priority to EP06005487A priority patent/EP1705263B1/en
Priority to IL174389A priority patent/IL174389A/en
Priority to US11/378,614 priority patent/US7597951B2/en
Priority to KR1020060026495A priority patent/KR100755771B1/ko
Priority to JP2006081338A priority patent/JP5144021B2/ja
Priority to CN200610071762A priority patent/CN100591444C/zh
Publication of SE0500648L publication Critical patent/SE0500648L/sv
Publication of SE528891C2 publication Critical patent/SE528891C2/sv

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5027—Oxide ceramics in general; Specific oxide ceramics not covered by C04B41/5029 - C04B41/5051
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/081—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/08—Oxides
    • C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/405—Oxides of refractory metals or yttrium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Description

20 25 30 35 528 891 2 metalloxidskikt omfattande en kontinuerlig metalloXidfaS, omfattande aluminiumoxid, yttriumoxid eller zirkoniumoxid, och en diskontinuerlig metalloxidfas, omfattande en fördelad, diskret andra fas av aluminiumoxid, yttriumoxid eller zirkoniumoxid.
I US-patentet 4,749,629 är integreringen av ZrO2 gjord genom användning av en laminerad oxidbeläggning, med en total tjocklek av 0,3-20 pm, bestående av olika alternerande oxidskikt såsom Al2O3, ZrO2 och Y203 och där varje oxidskikt har en tjocklek inom 0,1-3 pm.
Krav på hög ytfinhet hos den bearbetade komponenten tillåter endast användning av skär med ren, jämn egglinje med mycket liten utvecklad förslitning och det blir svårare och svårare för maskinoperatören att med bara ögat skilja mellan en lite använd och en oanvänd skäregg (“used edge identification”). Detta är speciellt svårt om toppskiktet är Al2O3, vilket gör att toppskiktet framstår som mörkt grått eller svart. Om det av misstag används en använd skäregg t.ex. under ett obemannat nattskift kan det förorsaka kassering av komponenter och även oönskade produktionsstopp. Egg- identifiering görs lättast om skäret har ett toppskikt av TiCg®Oz eller särskilt om toppskiktet är ett guldfärgat TiN- skikt.
EP-B-693574 beskriver ett skär med ett yttersta Algh- skikt på spånsidan och egglinjen, pga. dess förmåga att motstå förslitning orsakad av diffusion. Släppningssidan har ett yttersta skikt av typen MeCA®Oz, där Me är en metall vald från gruppen bestående av metaller från grupperna IVB, VB, VIB i det periodiska systemet (hädanefter betecknat som TiCQQOfi, p.g.a. dess höga motstånd mot fasförslitning och möjligheten till “used edge identification”. Detta uppnås genom att mekaniskt ta bort TiCQ@0,-skiktet antingen från endast egglinjen eller från både spånsidan och egglinjen.
Ett ändamål med föreliggande uppfinning är att erhålla förbättringar av skär med avseende på följande egenskaper: -Motstånd mot plastisk deformation av hårdmetallen på skäreggen.
-Motstånd mot gropförslitning orsakad av diffusion. 10 15 20 25 30 35 528 891 3 -Förbättrat flagningsmotstànd och reducerad mängd kamsprickor vid fräsning.
-Addering av en färg till skär som möjliggör sortdifferentiering med avseende på färg.
Det har överraskande visat sig att ett skär med en beläggning med ett flertal mindre än 100 nm tjocka ZrO2- och Al2O3-skikt, uppfyller dessa ändamål. Oväntat hittades inga termiska sprickor i multiskiktbeläggningarna eller i underliggande Ti(C,N)-skikt medan det i Ti(CfN)+U'Ä120s' beläggningar normalt förekommer termiska sprickor. Det har också upptäckts att skär med en multiskiktbeläggning enligt uppfinningen, har en likformig blå färg, som är oberoende av observationsvinkeln.
Fig. 1 visar i 30000X en svepelektronmikroskopbild (SEM- bild) pà ett exempel av ett multiskikt enligt uppfinningen, vari A - A120; B - ZrO2 Enligt föreliggande uppfinning föreligger ett skär omfattande ett substrat av en huvudsakligen mànghörnig eller rund form med en övre sida, en motsatt sida och åtminstone en släppningssida korsande sagda övre och lägre sidor så att skäreggar definieras, tillverkat av hàrdmetall, titan baserad karbonitrid eller keramik, ovanpå vilket en multiskiktbeläggning har utfällts. Sagda substrat kan också vara förbelagt med ett tunt skikt av åtminstone en av TiN, TiC, TiC¿@, där x+y=l, x>0 och y>0, eller TiAlN med en tjocklek i mikrometerintervallet enligt känd teknik. Det belagda skäret enligt föreliggande uppfinning visar förbättrade slitstyrke- och seghetsegenskaper jämfört med tidigare kända skär för användning vid bearbetning av stål eller gjutjärn och, särskilt, rostfritt stäl. Sagda beläggning, som god bindning till substratet, omfattar en 0,1- 20 pm, företrädesvis 0,1-l2_pm tjock laminär, multiskikt- struktur MX+NX+MX+NXm de omväxlande MX- och NX-skikten omfattar metalloxider, med metallelementen M øch N valda från aluminium, zirkonium, titan, hafnium och krom, företrädesvis W 20 25 30 35 528 891 4 aluminium, zirkonium och titan. MX- och NX-skikten har en föredragen medelkornstorlek av 10-150 nm, helst 20-150 nm, och en tjocklek av 10-<100 nm, företrädesvis 10-90 nm.
Skikttjockleken är bestämd som ett genomsnitt av åtminstone tio slumpvis skiktmätningar av MX och NX i en svepelektron- mikroskopbild. Medelkornstorleken kan överskrida den genomsnittliga skikttjockleken. I sådana fall är kornen större i den riktning som är parallell med substratets yta än i den riktning som är vinkelrät mot substratets yta.
Repetitionsperioden har en tjocklek av 220 nm men <200 nm, företrädesvis <190 nm, helst <175 nm. Med repetitionsperiod menas tjockleken av tvä närliggande skikt med olika metallelement. Den totala beläggningstjockleken bör vara >2 pm, företrädesvis >5 pm, helst >7 pm, men bör vara <50 pm, företrädesvis <15 pm, helst <10 pm.
Företrädesvis har sagda multiskikt en blå färg definierat genom färgkoordinaterna, i en CIE standardfärgkarta, där: x = 0,2 +/- 0,1; y = 0,2 +/- 0,1.
I en utföringsform är repetitionsperioden väsentligen konstant genom hela multiskiktstrukturen.
I en annan utföringsform har sekvenser av individuella MX- och NX-skikt tjocklekar som är aperiodiska väsentligen genom hela multiskiktstrukturen. De individuella skikttjocklekarna är som definierats ovan. Tjockleken av ett individuellt skikt är ej beroende av tjockleken av ett individuellt skikt omedelbart under, inte heller har den någon relation till ett individuellt skikt ovanför sagda individuella skikt. Sá, för den aperiodiska beläggningsstrukturen finns det ingen repetitionsperiod med vilket det menas den tjocklek som strukturen upprepar sig efter.
I en utföringsform är MX a-A120; och NX är TiOz där 1,2 <= z <= 2, företrädesvis 1,5 <= z <=2. Företrädesvis är tjockleken av Al2O3~skiktet 2 tjockleken av TiOz-skiktet, helst är tjockleken av A120;-skiktet 1,4 gånger TiOz-skiktets tjocklek.
I en utföringsform är MX a-A120; och NX är ZrO2 som har en väsentligen ren tetragonal struktur med mindre än 10 vol-% av monoklin ZrO2 bestämd med XRD. Företrädesvis är tjockleken av 10 15 20 25 30 35 528 897 5 A120;-skiktet 2 tjockleken av ZrO2-skiktet, helst är Alzos' skiktets tjocklek 1,2 gånger ZrO2~skiktets tjocklek.
I en utföringsform är MX a-Al2O3 och NX är ZrO2 som har en blandad monoklin och tetragonal struktur med omkring 40 till 60 vol-% av monoklin ZrO2 bestämd med XRD. Företrädesvis är tjockleken av A120;-skiktet 2 tjockleken av ZrO2~Skikfietf helst är A120;-skiktets tjocklek 1,2 gånger ZrO2-skiktets tjocklek.
I en utföringsform har sagda d-A120; en textur i riktningen (300) med en texturkoefficient TC(hk1) >l,5, företrädesvis >3, TC(hkl) definierat som I(hk1) 3 I(hk1) -1 TC(hkl) = :O(hk1> ín :ë:IO(hk1)} Där I(hkl) = intensitet av (hkl)-reflexen IO(hkl) = standardintensitet enligt PDF-kort Nr 10-173 n = antal reflexer som använts i beräkningen (hkl) reflexer som använts är: (012), (104), (110), (113), (024), (116), (124), (030).
I en annan utföringsform har sagda d-A120; en textur i riktningen (104) med en texturkoefficient TC(hkl) >l,5, företrädesvis >2, med användning av definitionen ovan för TC(hkl).
I en utföringsform är sagda multiskikt helst det yttersta skiktet av beläggningen.
I en annan utföringsform är sagda multiskikt helst det yttersta skiktet av beläggningen längs egglinjen eller bàde längs egglinjen och spànsidan och på släppningssidan är det yttersta skiktet helst ett skikt av TiQ@@Oz, där x+y+z=l, x20, y20 och zZ0, eller ZrCQ®, där x+y=l, x20 och y20, helst ett skikt av åtminstone en av TiN, ZrN, TiQJ®, där x+y=1, x>O och y>O, och TiC.
I ytterligare en utföringsform är sagda multiskikt belagt på ett A120;-skikt med en tjocklek av 0,5-40 pm.
Skäret enligt föreliggande uppfinning tillverkas med en metod omfattande beläggning av ett substrat av hårdmetall, titanbaserad karbonitrid eller keramik med åtminstone ett refraktärt multiskikt, utfällt antingen direkt på substratet eller på andra refraktära oxid-, karbid- och/eller nitridskikt 10 15 20 25 30 35 5.28 891 6 som är kända i tekniken såsom till exempel aluminiumOXiå, titankarbid, titankarbonitrid, etc. Sagda multiskikt omfattar olika alternerande metalloxidskikt med metallelement valda från aluminium, zirkonium, titan, hafnium och krom, företrädesvis aluminium, zirkonium och titan, som är företrädesvis utfällt med CVD-teknik (kemiskångdeponerings- teknik), där substraten som ska beläggas hålls vid en temperatur av 950-1050°C och bringas i kontakt med en innehållande en eller flera metallhalider och en hydrolyserande och/eller en oxiderande agent. En svavelkatalysator kan även tillsättas till denna gasblandning för att erhålla en förbättrad beläggningshastighet.
Oxidationspotentialen för atmosfären i CVD-reaktorn innan kärnbildning av de ovannämnda metalloxiderna hålls på en låg bärargas, vätgas, nivå med en koncentration av vattenånga (H50) eller andra oxiderande beståndsdelar såsom C02, 02, etc., under 5 ppm.
Multiskiktet kan förses med ett yttre refraktärt skikt som är känt i tidigare känd teknik såsom till exempel titankarbid, titannitrid, etc.
Multiskiktet karakteriseras av en period innehållande två olika metalloxider.
I en utföringsform startas perioden med kärnbildning av en metalloxid genom att följden av reaktantgaser blir så att HCl och C02 går in i reaktorn först i en Ar- och/eller H2- atmosfär följt av motsvarande metallhalid. När kärnbildning av metalloxiden har skett, kan en svavelkatalysator, företrädesvis H28, tillsättas till reaktionsgasblandningen för att erhålla en förbättrad beläggningshastighet. Efter detta stoppas försörjningen av metallhaliden för att garantera att reaktorn är tom på metallhalid. Den ovannämnda ordningsföljden återupprepas sedan för den andra metalloxiden så en period erhålls av multiskiktet där, i övergången av utfällningen av de två metalloxiderna, ingen blandning sker av motsvarande metallhalider.
I en andra utföringsform är processen sådan att genom hela perioden innehåller reaktorn en Ar- och/eller H2-atmosfär med reaktantgaser HCl, C02 och en där en svavelkatalysator, företrädesvis H28 är närvarande och förutom detta går de två olika metallhaliderna omväxlande in i reaktorn så att 10 20 25 30 35 528 891 7 kärnbildning och tillväxt kan ske av respektive metalloxidskikt. Så i övergången mellan belâggningen av de två olika metalloxiderna, sker en blandning av motsvarande metallhalider.
I ett exempel på en utföringsform är sagda metallhalider AlCl3 och ZrCl4 och processen är sådan att, i övergången mellan utfällningen av de två metalloxidskikten, sker en blandning av motsvarande halider. De alternerande metalloxidskikten som utfälls är d-A120; och ZrO2, där ZrO2 har en väsentligen tetragonal struktur.
I ett exempel pà en annan utföringsform är sagda metallhalider AlCl3 och ZrCl4 och processen är sådan att, i övergången av utfällningen av de tvà metalloxidskikten, sker ingen blandning av motsvarande halider. De alternerande metalloxidskikten som utfälls är d-A120; och ZrO2, där ZrO2 har en blandad tetragonal och monoklin struktur.
I ett exempel på en annan utföringsform är sagda metallhalider AlCl3 och TiCl4 och utfällda metalloxidskikt är d-A120; och TiO,, där 1,2 <= z <= 2.
I en utföringsform kan beläggningen även genomgå efterbehandling såsom borstning, polerande eller blästring, som delvis eller helt avlägsnar det yttersta skiktet på egglinjen eller på både egglinjen och skärets spánsida.
Exempel l (uppfinning) Hârdmetallskär CNMG 120408-PM med substrat- sammansättningen 7,5 vikt-% Co, 5,3 vikt-% kubiska karbider (TiC+TaC+NbC) och resten WC, med en ytzon utarmad pà kubiska karbider med en tjocklek av 25 pm, belades med CVD-teknik enligt följande sekvens: 0,7 pm TiN, 5,0 pm Ti(C,N), 6,5 um periodiskt (d-Al2O3+ZrO2)*N multiskikt med N=43 perioder där vardera period var 150 nm tjock och tjockleken av d-Al2O3 var 85nm och för ZrO2 65nm.
Processparametrarna för det periodiska (d-A120;/ZrO2)*N multiskiktet summeras mer detaljerat i följande tabell: Gasflöde (i vol-%). (d-Al2O3+Zr02)*N T=lOl0 °C, P=55 mbar. Q-Al2O3 ZrO2 H2 87,5 87,2 U 20 25 30 528 891 Hcl 5 , 5 615 C02 4,4 5,2 H25 0,33 0,39 A1c13 2 , 2 NA zrcn NA 0, 65 Beläggningshastighet (pm/h) 1,1 1:1 Processen var sådan att reaktorn tömdes pà AlCl3 före tillsats av ZrCl4 och omvänt och därför blev det inga överlappningar av AlCl3- och ZrCl4-profilerna i övergängsomràdet dvs. ingen blandning skedde av sådana klorider.
SEM-bilder visade att de individuella Al2O3- och ZrO2- skikten var sammansatta av mycket fina korn och att övergången mellan de tvà olika oxidskikten var skarp.
Det fastställdes med XRD att d-Al2O3 inte hade någon textur och att ZrO2 bestod av en blandning av tetragonal och monoklin fas med omkring 50 vol-% monoklin fas.
Det resulterande multiskiktet hade en blå färg. Färgens koordinater i färgsystemet CIE, x och y värdena, mättes pà det belagda substratet med användning av en Perkin Elmer Lambda 900 Spektrofotometer med följande inställningar: Integral sfär: täckt av Spectralon material Spektral upplösning: <5 nm Ljuskälla: D65 Infallsvinkel (vs. normal): 5-8 grader Detektion: Hemisfärisk Visning: Total och diffus reflektans Följande koordinater från färgsystemet CIE erhölls: x = 0,266, y = 0,257.
Det belagda skäret efterbehandlades med blästring vid 2,2 bar med användning av slipkorn av Algh.
Exempel 2 (uppfinning) Samma provberedning som i Exempel 1 men med ytterligare ett topp skikt av 0,7 um TiN. De belagda skären efterbehandlades 10 20 25 528 891 9 med blästring vid 2,2 bar med användning av slipkorn av A120; där det översta TiN-skiktet avlägsnades längs egglinjen såväl som pà hela spànsidan så att det blàa periodiska multiskiktet (d-Al203+ZrO2)*N exponeras.
Exempel 3 (uppfinning) Hàrdmetallskär med samma form och sammansättning som i Exempel 1 belades med CVD-teknik enligt följande sekvens: 0,7 pm TiN, 5,0 pm Ti(C,N), 6,0 pm periodiskt (d-Al2O3+ZI02)*N multiskikt med 200 perioder där varje period var 30 nm tjock och tjockleken av a-A120;-skikten var 20 nm och av ZrO2-skikten 10 nm.
Processparametrarna för det periodiska (G-A120;/ZrO2)*N multiskiktet summeras mer detaljerat i följande tabell: Gasflöde (i vol-%). (a-Al2O;+ZrO2)*N T=lOlO °C, P=55 mbar. G-A120; Zrøz H2 87,5 87,2 Hcl s , 5 6 , 5 C02 4,4 5,2 H23 0,33 Û,39 Alcl, 2, 2 NA ZrCl4 NA 0,65 Beläggningshastighet (pm/h) 0,8 0,8 Processen var sådan att i övergången växlades AlCl3 in och ZrCl4 växlades ut och omvänt och det därför i viss utsträckning blev en överlappning av AlCl3- och ZrC14-profilerna i övergàngsregionen dvs. blandning i reaktorn.
SEM-bilder avslöjar att de individuella Al2O3- och ZrO2- skikten var sammansatta av mycket fina korn.
Det fastställdes med XRD att a-A120; hade en kraftig (300)-textur, med ett TC(300) värde av 4,31, och att ZrO2 bestod av endast en tetragonal fas. De belagda skären efterbehandlades med blästring vid 2,2 bar med användning av slipkorn av Al2O3.
Exempel 4 (tidigare känd teknik) 528 891 10 Hárdmetallskär av samma form och sammansättning som i Exempel 1 belades med CVD-teknik enligt följande sekvens: 0,7 pm TiN, 5,0 pm Ti(C,N), 6,5 pm a-Al2O3. d-Al2O3-skiktet utfälldes med en metod som ger en finkornig d-A120; enligt EP- 5 A-603144. De andra skikten utfälldes enligt känd teknik. De belagda skären efterbehandlades genom blästring vid 2,2 bar med användning av slipkorn av A143.
Exempel 5 10 Skär från Exempel 1, 2 och 4 utvärderades med avseende pà plastisk deformation i en svarvningsoperation.
Operation: Längdsvarvning i en stång 700xl80 mm Arbetsstyckematerial: Härdat och tempererat låg- 15 legerat stål, SS2541 Skärhastighet: 100-180 m/min Matning: 0,70 mm/varv Skärdjup: 2,0 mm skärtyp= CNMG 120498-PM 20 Notering: Torr bearbetning Resultat: Typ av oxid- Eggintryckning (pm) Exempel beläggning vid angiven skärhastighet 120 150 180 (m/min) (m/min) (m/min) 1 (uppfinning) d-Al2O3+ZrO2- 29 55 80 multiskikt 2 (uppfinning) a-Al2O3+Zr02- 30 56 81 multiskikt och TiN 4 (tidigare d-A120; 41 68 96 känd teknik) Detta exempel visar att multiskiktbeläggningen ökar det 25 plastiska deformationsmotståndet jämfört med en beläggning enligt känd teknik i denna tillämpning.
Exempel 6 20 25 30 528 891 H Skär från Exempel l, 2 och 4 utvärderades med avseende på plastisk deformation i en svarvningsoperation.
Operation: Arbetsstyckematerial: Skärhastighet: Matning: Skärdjup: Skärtyp: Notering: Planing Härdat och tempererat låglegerat Stål, SS254l 200 m/min 0,35 mm/varv 2,0 mm CNMG l20408~PM Torr bearbetning Kriteriet för skärets livslängd i detta test var en maximal fasförslitning av 0,5 mm av skäreggen.
Resultat: Typ av oxidbeläggning antal passeringar Exempel l (uppfinning) a-Al2O3+ZrO2- 40 multiskikt 2 (uppfinning) d-Al2O3+zrO2- 41 multiskikt och TiN 4 (tidigare känd d-A120; 32 teknik) Detta exempel visar det förbättrade plastiska deformationsmotstàndet jämfört med en beläggning enligt känd teknik.
Exempel 7 Skär fràn Exempel 3 och 4 utvärderades med avseende på flagning av spånsidan i en svarvningsoperation.
Operation; Arbetsstyckematerial: Skärhastighet: Matning: Skärdjup: Skärtyp: Notering: Planing Nodulärt gjutjärn, SS0717 160 m/min 0,10 mm/varv 2,0 mm CNMG 120408-PM Torr bearbetning Den flagade ytan mättes som procent av den totala ytan av skäret som spånan är i kontakt med. 10 H 20 25 528 s91 12 Resultat: Typ av oxid- Mängd Mängden flagning av Exempel beläggning flagning av den COCa1a Qxid- beläggningen ner toppskiktet till substratet (%) (%) a-Al2O3+ZrO2- 1 (uppfinning) multi-skikt 3 l d-Al2O3+ZrO2- 2 (uppfinning) multiskikt 4 1 och TiN 3 (uppfinning) d-Al$h+ZrO2- multiskikt O 0 4 (tidigare d-A120; känd teknik) Exempel 8 Hàrdmetallskär R390-l1T308M-PM (P-fräsning) med sammansättningen 12,6 vikt-% Co, 1,57 vikt-% kubiska karbider (TaC+NbC) och resten WC belades med CVD-teknik enligt följande sekvens: 0,7 pm TiN, 2,8 pm Ti(C,N), 3,2 pm periodiskt (d- A12O3+ZrO2)*N-multiskikt med 24 perioder där vardera period var 128 nm tjock, och 0,7 pm TiN. d-Al2O3- och ZrO2-skikten utfälldes som beskrivits i Exempel l ovan.
Skären efterbehandlades med blästring vid 2,2 bar med användning av slipkorn av Al2O3 där toppskiktet av TiN avlägsnades längs egglinjen såväl som på hela spånsidan.
Exempel 9 (referens till Exempel 8) Samma provberedning som i Exempel 8 förutom att, i stället för det 3,2 pm periodiska (d-Al2O3+ZrO2)*N- multiskiktet, utfälldes 3,2 pm a~Al2O3; Exempel 10 Skär från Exemplen 8 och 9 utvärderades med avseende på förekomsten av kamsprickor i en fräsningsoperation.
Operation: Arbetsstyckematerial: ansatsfräsning härdat láglegerat stàl, SS2244 528 891 13 Skärhastighet: 200 m/min Matning per tand: 0,21 mm Axiellt Skärdjup: 3,0 mm Radiellt Skärdjup: 7,0 mm Skärande Diameter: 80 mm Skärtyp: R390- llT3 08M-PM Notering: vàt bearbetning Resultat: Exempel Typ av oxidbeläggning antal kamsprickor (medelantal/använd egg) 8 (uppfinning) d-Al2O3+ZrO2-multiskikt 0 och TiN 9 (referens) d-A120; och TiN 8 Exempel 11 (uppfinning) Hàrdmetallskär CNMG 120408-PM med sammansättingen 7,5 vikt-% Co, 5,3 vikt-% kubiska karbider (TiC+TaC+NbC) och resten WC, med en ytzon utarmad pà kubiska karbider med en tjocklek av 25 pm, belades med CVD-teknik enligt följande sekvens: 0,7 pm TiN, 5,0 pm Ti(C,N), 6,0 pm periodiskt (d- A12O3+Ti2O3)*N-multiskikt med N=50 perioder där vardera period var 120 nm tjock och tjockleken på d-A120; skiktet var 70 nm och pá Ti2O3-skiktet 50 nm. Mer detaljerat summeras processparametrarna för det periodiska (d-Al2O3+ Ti2O3)*N- multiskiktet i följande tabell: Gasflöde (i %). T=10l0 °C, (G-Al2O3+Ti2O3)*N P=55 mbar. q_A1203 Tizoa H2 (%) 87,5 88,0 HCl (%) 5,5 7,6 C02 (%) 4,4 2,0 H25 (96) 0,33 AlCla (%) 2,2 NA TiClq (Ps) NA 2,3 Beläggningshastighet (pm/h) 1,1 1,5 10 20 528 891 14 Processen var sådan att reaktorn tömdes på AlCl3 före tillsats av TiCl4 och omvänt så att ingen blandning av sådana klorider skedde.
SEM-bilder avslöjar att övergången mellan de två olika oxidskikten var skarp och att de individuella A120; och Ti2O3 skikten var sammansatta av mycket fina korn.
Det resulterande multiskiktet hade en blå färg. Färgens koordinater i fârgsystemet CIE, x och y värdena, mättes på det belagda substratet med användning av en Perkin Elmer Lambda 900 Spektrofotometer med följande Integral sfär: Spektral upplösning: Ljuskälla: Infallsvinkel (vs. normal): Detektion: Visning: inställningar: Täckt av Spectralon material <5 nm D65 5~8 grader Hemisfärisk Total och diffus reflektans Följande koordinater i färgsystemet CIE erhölls: x = 0,251, y 0,242.

Claims (5)

W Ü 20 25 30 35 528 891 15 Krav
1. Ett skär med en övre sida (spànsida) och åtminstone en släppningssida korsande övre sidan för att definiera skäreggar gjorda av hàrdmetall, titanbaserad karbonitrid eller keramik, skäret är belagt med en hård beläggning omfattande en laminär, multiskiktstruktur MX+NX+MX+NXm de alternerande MX- och NX- skikten omfattande metalloxider, k ä n n e t e c k n a t av att repetitionsperioden, dvs. tjockleken av tvà närliggande skikt med olika metallelement, av multiskiktet är 220 nm men <200 nm, företrädesvis helst NX-skikten är zirkoniumoxid alternativt Ti2O3, där tjockleken av MX- och NX-skikten är 10-90 nm, och den totala tjockleken av multiskiktet är 0,1-20 pm, företrädesvis 0,1-12 pm, och att multiskiktet har en blá färg beskriven av färgkoordinater, i en CIE standardfärgkarta, där: x = 0,2 +/- 0,1; y = 0,2 +/- 0,1.
2. Ett skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att zirkoniumoxiden har väsentligen ren tetragonal struktur med mindre än 10 vol-% monoklin zirkoniumoxid.
3. Ett skär enligt krav 1 k ä n n e t e c k n a t av att zirkoniumoxiden har blandad monoklin och tetragonal struktur med omkring 40 till 60 vol-% monoklin zirkoniumoxid.
4. Ett skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att multiskiktet är utfällt på ett A120;-skikt med en tjocklek av 0,5-40 pm.
5. Ett skär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att multiskiktet är det yttersta skiktet längs skäreggen eller både längs skäreggen och pä spánsidan och på släppningssidan är det yttersta skiktet ett 528 s91A 16 skikt av TiCxNyOz, där x+y+z=l, 2:20, y20 och 220, eller ZrCxNy, där x+y=1, xZO och y20, företrädesvis ett skikt av åtminstone en av TiN, ZrN, TiCxNy, där x+y=1, x>0 och y>O och TiC.
SE0500648A 2005-03-23 2005-03-23 Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid SE528891C2 (sv)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0500648A SE528891C2 (sv) 2005-03-23 2005-03-23 Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid
DE602006010928T DE602006010928D1 (de) 2005-03-23 2006-03-17 Beschichteter Schneideinsatz
AT06005487T ATE451486T1 (de) 2005-03-23 2006-03-17 Beschichteter schneideinsatz
EP06005487A EP1705263B1 (en) 2005-03-23 2006-03-17 Coated cutting tool insert
IL174389A IL174389A (en) 2005-03-23 2006-03-19 Cutting tool inserts coated with metal oxide and methods for the preparation thereof
US11/378,614 US7597951B2 (en) 2005-03-23 2006-03-20 Coated cutting tool insert
KR1020060026495A KR100755771B1 (ko) 2005-03-23 2006-03-23 코팅된 절삭 공구 인서트
JP2006081338A JP5144021B2 (ja) 2005-03-23 2006-03-23 被膜付き切削工具インサートおよびその製造方法
CN200610071762A CN100591444C (zh) 2005-03-23 2006-03-23 具有涂层的切削刀具刀片

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0500648A SE528891C2 (sv) 2005-03-23 2005-03-23 Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0500648L SE0500648L (sv) 2006-09-24
SE528891C2 true SE528891C2 (sv) 2007-03-06

Family

ID=36143758

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0500648A SE528891C2 (sv) 2005-03-23 2005-03-23 Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid

Country Status (9)

Country Link
US (1) US7597951B2 (sv)
EP (1) EP1705263B1 (sv)
JP (1) JP5144021B2 (sv)
KR (1) KR100755771B1 (sv)
CN (1) CN100591444C (sv)
AT (1) ATE451486T1 (sv)
DE (1) DE602006010928D1 (sv)
IL (1) IL174389A (sv)
SE (1) SE528891C2 (sv)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4427271B2 (ja) 2003-04-30 2010-03-03 株式会社神戸製鋼所 アルミナ保護膜およびその製造方法
SE528929C2 (sv) 2005-04-18 2007-03-20 Sandvik Intellectual Property Skär belagt med ett skiktsystem och metod att framställa detta
JP2007283478A (ja) * 2006-03-24 2007-11-01 Sumitomo Electric Ind Ltd 表面被覆切削工具
DE102006046915C5 (de) * 2006-10-04 2015-09-03 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen
DE102006046917C5 (de) * 2006-10-04 2014-03-20 Federal-Mogul Burscheid Gmbh Kolbenring für Verbrennungskraftmaschinen
EP1918422B1 (en) * 2006-10-18 2014-03-12 Sandvik Intellectual Property AB Coated cutting tool
US8119226B2 (en) * 2006-10-18 2012-02-21 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
DE102007030735A1 (de) * 2007-07-02 2009-01-08 Walter Ag Werkzeug mit mehrlagiger Metalloxidbeschichtung
US7947363B2 (en) * 2007-12-14 2011-05-24 Kennametal Inc. Coated article with nanolayered coating scheme
CN101462274B (zh) * 2007-12-17 2012-10-10 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 剪切机
EP2072636B1 (en) * 2007-12-21 2016-08-31 Sandvik Intellectual Property AB Method of making a coated cutting tool
DE102008026358A1 (de) * 2008-05-31 2009-12-03 Walter Ag Werkzeug mit Metalloxidbeschichtung
JP5267790B2 (ja) * 2008-10-09 2013-08-21 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
JP2010214522A (ja) * 2009-03-17 2010-09-30 Futaba Corp 切削用工具
US20130216777A1 (en) * 2012-02-21 2013-08-22 Wenping Jiang Nanostructured Multi-Layer Coating on Carbides
EP2823919B1 (en) * 2012-02-27 2020-12-09 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Manufacturing method for a coated surface cutting tool
JP5878086B2 (ja) 2012-06-21 2016-03-08 住友電工ハードメタル株式会社 切削工具の製造方法
JP5950230B2 (ja) * 2012-08-30 2016-07-13 住友電工ハードメタル株式会社 セラミックス被膜
US9017809B2 (en) 2013-01-25 2015-04-28 Kennametal Inc. Coatings for cutting tools
US9138864B2 (en) 2013-01-25 2015-09-22 Kennametal Inc. Green colored refractory coatings for cutting tools
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
CN105051248B (zh) * 2013-03-21 2018-03-20 钴碳化钨硬质合金公司 用于切削工具的涂层
CN105102673B (zh) 2013-03-21 2017-11-17 钴碳化钨硬质合金公司 用于切削工具的涂层
US9371580B2 (en) 2013-03-21 2016-06-21 Kennametal Inc. Coated body wherein the coating scheme includes a coating layer of TiAl2O3 and method of making the same
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
CN104711541A (zh) * 2013-12-11 2015-06-17 北京有色金属研究总院 一种氧化锆和氧化铝梯度复合涂层及其制备方法
JP6330359B2 (ja) * 2014-02-14 2018-05-30 新日鐵住金株式会社 超硬工具
US9719175B2 (en) 2014-09-30 2017-08-01 Kennametal Inc. Multilayer structured coatings for cutting tools
US9650714B2 (en) 2014-12-08 2017-05-16 Kennametal Inc. Nanocomposite refractory coatings and applications thereof
US9650712B2 (en) 2014-12-08 2017-05-16 Kennametal Inc. Inter-anchored multilayer refractory coatings
EP3034652A1 (en) * 2014-12-19 2016-06-22 Sandvik Intellectual Property AB CVD coated cutting tool
US10100405B2 (en) 2015-04-20 2018-10-16 Kennametal Inc. CVD coated cutting insert and method of making the same
KR20180112803A (ko) * 2016-02-19 2018-10-12 발터 악티엔게젤샤프트 커팅 공구
KR102638297B1 (ko) 2016-09-23 2024-02-20 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조 방법 및 제조 장치
WO2018092518A1 (ja) * 2016-11-17 2018-05-24 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US10409632B2 (en) 2017-03-31 2019-09-10 The Boeing Company Emulation of hardware components based on interrupt design
DE112018003209T5 (de) * 2017-06-21 2020-03-19 Kyocera Corporation Beschichtetes Werkzeug, Schneidwerkzeug und Herstellungsverfahren eines maschinell bearbeiteten Produkts
US10705933B2 (en) 2017-07-18 2020-07-07 The Boeing Company System integration using virtualization
JP2019063937A (ja) * 2017-09-29 2019-04-25 三菱マテリアル株式会社 耐溶着チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具
BR112020026642A2 (pt) * 2018-06-28 2021-03-30 Ab Sandvik Coromant Ferramenta de corte revestida

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2917348C2 (de) 1979-04-28 1984-07-12 Fried. Krupp Gmbh, 4300 Essen Verschleißfester Verbundkörper
JPS60238481A (ja) * 1984-05-14 1985-11-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 多重層被覆超硬合金
JPS61270374A (ja) 1985-05-27 1986-11-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆超硬合金
FI854000L (fi) 1985-10-25 1987-04-16 Vsesojuzny Nauchno-Issledovatelsky Instrumentalny Institut Skaerverktyg med en slitbestaendig belaeggning.
US4749629A (en) 1987-01-20 1988-06-07 Gte Laboratories Ultrathin laminated oxide coatings and methods
US4844951A (en) * 1987-01-20 1989-07-04 Gte Laboratories Incorporated Method for depositing ultrathin laminated oxide coatings
SE501527C2 (sv) 1992-12-18 1995-03-06 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
CA2149567C (en) 1994-05-31 2000-12-05 William C. Russell Coated cutting tool and method of making same
SE509201C2 (sv) * 1994-07-20 1998-12-14 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt verktyg
DE69527236T2 (de) 1994-09-16 2003-03-20 Sumitomo Electric Industries Mehrschichtfilm aus ultrafeinen Partikeln und harter Verbundwerkstoff für Werkzeuge, die diesen Film enthalten
JP3353675B2 (ja) * 1997-11-19 2002-12-03 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具
US6071601A (en) * 1997-05-12 2000-06-06 Mitsubishi Materials Corporation Coated cutting tool member
JP4185172B2 (ja) * 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
US20010016273A1 (en) * 1998-05-08 2001-08-23 Krishnan Narasimhan Multilayer cvd coated article and process for producing same

Also Published As

Publication number Publication date
JP5144021B2 (ja) 2013-02-13
IL174389A (en) 2010-11-30
CN100591444C (zh) 2010-02-24
KR100755771B1 (ko) 2007-09-05
US7597951B2 (en) 2009-10-06
IL174389A0 (en) 2006-08-01
EP1705263A1 (en) 2006-09-27
ATE451486T1 (de) 2009-12-15
KR20060103177A (ko) 2006-09-28
EP1705263B1 (en) 2009-12-09
US20060222894A1 (en) 2006-10-05
CN1836811A (zh) 2006-09-27
DE602006010928D1 (de) 2010-01-21
JP2006263913A (ja) 2006-10-05
SE0500648L (sv) 2006-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE528891C2 (sv) Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid
SE522736C2 (sv) Aluminiumoxidbelagt skärverktyg och metod för att framställa detsamma
JP2000144427A (ja) 酸化アルミニウム被覆工具
JP2002526654A (ja) 複合材料コーテイング及びその製法
CN107980013B (zh) 表面被覆切削工具及其制造方法
SE528929C2 (sv) Skär belagt med ett skiktsystem och metod att framställa detta
JP6519057B2 (ja) 表面被覆切削工具の製造方法
JP2004050403A (ja) 切削工具インサートおよびその製造方法
JP4973880B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP4107433B2 (ja) α型酸化アルミニウム被覆部材
JP2003039212A (ja) 被覆された切削工具
JP2002273607A (ja) 多層被覆工具
KR20060001349A (ko) 절삭공구/내마모성 공구용 표면 피복 경질부재
WO2019176201A1 (ja) 表面被覆切削工具及びその製造方法
JP2004148503A (ja) 酸化アルミニウム被覆工具
JP2010082740A (ja) 表面被覆切削工具
JP2006334720A (ja) 被覆工具部材
JP7009718B1 (ja) 切削工具
JP5286619B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP7005865B1 (ja) 切削工具
JP5252276B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2002205204A (ja) 多層被覆工具
JP2010137315A (ja) 表面被覆切削工具
JP5157014B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2004148502A (ja) 酸化アルミニウム被覆工具

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed