SE514004C2 - Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metod - Google Patents
Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metodInfo
- Publication number
- SE514004C2 SE514004C2 SE9800962A SE9800962A SE514004C2 SE 514004 C2 SE514004 C2 SE 514004C2 SE 9800962 A SE9800962 A SE 9800962A SE 9800962 A SE9800962 A SE 9800962A SE 514004 C2 SE514004 C2 SE 514004C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- detector
- optical element
- distance
- light
- illumination
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
10
15
20
25
30
514 004
203)
I US 5,3 59,532 beslorives en filmtjocklekskontrollerare, som alltid kan erhålla snabba
förutbestämda tj ocklekskontroll, även om drifis förhållandena ändras.
Filmtj ocklekskontrolleraren innefattar en dyna som har en mekanism för att reglera och operera
en utströmningsmängd längs ñlrnens breddriktning, en tjockleksmätare för att detektera
tjockleksvariationen hos filrnen förflyttad med en fördröjningstid från ett läge av dynan till ett
läge av tj ockleksmätaren, och adaptrar adderade till en operativ kalkylator, en
tillståndsförutsägningsanordning, en tillståndsskifiare respektive en driftsmängdstyrare som
utgör filmtjocklekskontrolleraren, och därigenom automatiskt modifierar en matris av en
styroperationsekvation att sammanfalla med drifisförhållandena med hänsyn till variationen av
förseningstiden beroende av filmens rörelse och automatiskt modifiera en förstärkningsmatris
av operationskalkylatom, en förstärkningsmatris av en regulator och en matris i
styroperationsekvationen att sammanfalla med drifisförutsättningen med hänsyn till variationen
hos filrnstj ocklekskänsligheten till en värmaringångsvariation genom ändring av
drifisförhållanden.
En anordning och metod för tjockleksmätning av plåtmaterial, speciellt i ett valsverk, och
styrning av ett valsstativ är känd genom US 4,088,886. Den innefattar en
röntgenfluorescensanalyserare för bestärrming av komponentema av plåtmaterialet, en
strålningstjockleksmätare med ett kalibreringssystem för att mäta materialet med varierande
sammansättning, och en dator för att beräkna en kalibreringssignal för tjockleksmätningar
baserade på utgången av analyserna, med tjockleksmätningsutgången givande ett mått på
tj ockleken av plåtmaterialet vid mätning och en styrsignal för att kontrollera valsstativet.
Andra apparater är också kända, vilka utnyttjar ultraljud, nukleärstrålningsabsorbtion etc.
Emellertid beror utföranden av dessa apparater huvudsakligen av sammansättningen av det
uppmätta materialet och andra omgivningsförhållanden, vilka i regel kan medföra
omkalibrering av apparaten.
En anordning för mätning av avståndet till ett föremål från en mätningsyta är känd genom
US 4,911,511, beviljat uppfinnaren. Anordningen innehåller en illurninationsenhet, ett optisk
bildreproduktionssystem med vilket en ljusstråle projicerad på föremålet genom
illuminationsenheten efter reflektion proj ekteras på en optisk detektor, vilken består av en
tvådimensionell laddningskopplad halvledardetektor, som har ett pulståg som utsignal.
Pulståget representerar de illuminerade och icke illuminerade delama av detektorn. För att
10
15
20
25
30
514 G04
sus)
uppskatta läget av en ljuspunkt på detektorn värderas alla pulstågen från detektorn. På detta sätt
uppnås en hög upplösning. Denna anordning avses för mätning av avståndsvariationer till en
yta av ett föremål och tillhandahåller inte tjockleken av föremålet av sig själv.
UPPFINNINGENS ÄNDAMÅL
Det huvudsakliga ändamålet med föreliggande uppfinning är att åstadkomma en anordning med
hög precision, beröringsfri mätning av tjockleken av ett föremål. Ett annat ändamål med
föreliggande uppfinning är att tillhandahålla en anordning som är mindre känslig för, t.ex.
omgivande temperaturändringar eller andra påverkande faktorer och således i mindre behov av
upprepade kalibreringsprocedurer.
Ovan nämnda ändamål uppnås medelst den inledningsvis beskrivna anordningen, i vilken är
illuminationsorgan anordnade för att illuminera varje nämnda åtminstone två ytor, de optiska
elementen är anordnade för att proj icera reflektioner från varje yta på nämnda detektor, som
genererar en representation av avståndet mellan nämnda åtminstone två ytor av föremålet.
I ett föredraget utförande är endast en detektor anordnad och nämnda detektor är en
fotodetektor, t.ex. en charged-coupled enhet, en diodarray, en CMOS-baserad detektor etc.
Nämnda illurninationsorgan kan bestå av en ljuskälla för vatj e yta men företrädesvis en
ljuskälla är anordnad och spegel och/eller prismor är anordnade för att rikta ljusstrålar på varje
yta.
För att projicera ljuset på detektorn består det optiska elementet av linser, prismor, linssystem
o.s.v.
I ett utförande sammanfaller centrumaxeln av de optiska elementen väsentligen med
centrumaxeln av detektom. Emellertid är det möjligt att anordna de optiska elementen lateralt
sidoförskjutna fianiför detektom.
Med fördel illuminerar illuminationsorganet nämnda ytor väsentligen lodrätt.
I ett föredraget utförande innefattar anordningen en bearbetningsenhet, en A/D-omvandlare,
skiftregister, en multiplikator, en lagringsenhet och en positionberäkningsenhet.
10
l5
20
25
30
514 004
4(13)
För korrekt drift av anordningen faller varje ljusstråle riktad på varje yta på nämnda varje yta i
samma vinkel och vid en position som har motsvarighet på varje nämnda yta.
Med fördel är proj ektionen på detektom en förstoring av avståndet mellan ytorna .
Uppfinningen avser även en apparat för optisk och beröringsfri mätning av tjockleken av ett
föremål. Apparaten omfattar: ett hus som har en huvuddel och bärande delar;
illuminationsorgan, anordnade på nämnda bärande delar för att illuminera ytor av nämnda
föremål när det placeras mellan nämnda bärande delar; en optisk detektor; optiska element
anordnade för att samla och projicera reflektionema från nämnda ytor, och organ för att
bearbeta en signal från nämnda optiska detektor för att generera en signal representerande
avståndet mellan nämnda ytor.
Förfarandet enligt uppfinningen innefattar stegen att: illuminera varje yta medelst en
illuminationsorgan, samla reflektioner av nämnda illuminationer från varje yta, projicera
nämnda reflektioner på en detektorenhet för generera en signal som indikerar positionen av de
projicerade reflektionema på detektorn, och bearbeta signalen från nämnda detektorenhet för att
beräkna avståndet mellan ytoma.
KORT BESKRIVNING AV RITNINGARNA
Uppfinningen kommer nu att beskrivas på ett icke begränsande sätt under hänvisning till de
bifogade ritningar, i vilka:
Fig. 1 visar schematiskt ett tvärsnitt genom ett utföringsexempel av en första anordning
för mätning av tjocklek, enligt uppfinningen.
Fig. 2 visar ett tvärsnitt av ett andra schematiskt utförande, illustrerande en altemativ
placering av en ljuskälla.
Fig. 3 visar en schematisk ljusprojektionsrepresentation erhållen från en detektorenhet.
Fig. 4 visar ett tvärsnitt genom ett tredje schematiskt utförande enligt uppfinningen.
DETALIERAD BESKRIVNING AV UTFÖRINGSEXEMPLEN
Fig. 1 visar en schematisk tvärsnittsvy av en anordning 10 för mätning av tjockleken av ett
10
15
20
25
30
514 004
sus)
föremål 1 1, till exempel ett plåtmaterial. Anordningen 10 kan företrädesvis utföras i ett valsverk
mellan två valsar, åtminstone en av vilka är anordnad att, t.ex. styra tj ockleken av materialet.
Plåtrnaterialet passerar genom anordningen 10, t.ex. från en matningsrulle till en
uppsarnlingssrulle eller en valsningsstation (inte visad). Anordningen 10 består av ett hus 12
som har en huvuddel och två skänklar 13 och 14, ljusstrålande anordningar 15 och 16, ett
optiskt element 17, åtminstone en detektor 18 och en bearbetningsenhet 19.
Skänklarna 13, 14 är så anordnade att plåtmateríalet 11 löper mellan dem i ett säkert avstånd,
företrädesvis i samma avstånd från båda skänklarna. De ljusstrålande anordningama 15 och 16
är anordnade inne i eller på utsidan av skänklarna och riktar ljusstrålar, visade medelst
streckade linjer 23, på båda sidor av plåtmateríalet 11. Ljusstrålarna 23 infaller väsentligen
vinkelräta på ytoma av plåtmateríalet. För den korrekta driften av anordningen är det viktig att
ljusstrålarna från varje ljusstrålande anordning 15, 16 sammanfaller vid (exakt) samrna punkt på
varje sida av plåtrnaterialet och att de har samma infallsvinkel (koaxiella ljusstrålar i fall av
vinkelrätt belysning). Pilarna visa ljusstrålarrias riktning. De infallande ljusstrålarna reflekteras
och sprids av ytan av plåtrnaterialet. En del av de reflekterade ljusstrålar uppsamlas av de
optiska elementen 17.
De optiska elementen 17 kan bestå av en eller flera linser, ett linssystem omfattande olika typer
av linser, prismor, spegel o.s.v., och är huvudsakligen anordnade att samla och projicera
ljusreflektionema från ytan av plåtmateríalet på ytan av detektorn 18. I detta utförande är
centnunaxeln av de optiska elementen 17 väsentligen i linje med centrurnaxeln av detektorn.
Detektom är företrädesvis en fotodetektor, och i synnerhet en “Charge-Coupled Device" (CCD)
avsedd att detektera den typ av ljus som utsändes från ljusstrålaren. CCDn består av linjer av
laddade kopplade detektorer anordnade i en matris, d.v.s. anordnade i ett X- och Y-
koordinatsystem för en eller flera färger. Genom elektronisk avsökning varje linje av detektorer
omvandlas ljusprojektionen på den till elektriska signaler och producerar en videosignal.
Videosignalerna kan seden analyseras på olika sätt för att detektera läget av ljusprojektionen på
den.
CCD 18 är ansluten till en bearbetningsenhet 19, som är anordnad att omvandla signalema
mottagna från CCDn till en lämplig utsignal, t.ex. en digital signal, för att beräkna läget av
ljusprojektionema.
10
15
20
25
30
5 'l 4 004
603)
Illuminationsanordningamalfi och 16 kan vara välkända typer av ljuskällor, såsom en laser
(diod), infi-aröda eller ultravioletta illuminatorer o.s.v. Emellertid fóredrages en laserkälla som
har en väldefinierad strålning.
Ett annat utföringsexempel med en illuminationsanordning visas i fig. 2, i vilken endast en
ljuskälla 20 är anordnad. Ljuskällan 20 är anordnad i en sektion utanför skänklarna, t.ex.
huvuddelen, och lj usstrålaina 25 riktas på plåtmaterialet, till exempel medelst prismor 26
och/eller speglar 27.
I det visade utföringsexemplet illustreras endast vinkelräta ljusstrålar som ett exempel. För en
faclcman är det självklart att ljusstrålar kan riktas i någon lämplig vinkel, så länge som de har
samma infallsvinkel.
I det följ ande kommer funktionen av utföringsexemplet enligt fig. 1 att beskrivas med referens
till en praktisk tillämpning. Plåtmaterialet 1 1, t.ex. en stålplåt, är anordnat att förflyttas mellan
två valsar (inte visade) i en rullbana. Valsarna är anordnade att, till exempel valsa ner
plåtrnaterialet till en förutbestämd tjocklek. Ytterligare stödrullar 28 är anordnade för att
åstadkomma bättre stabilitet vid mätpunkten(erna). Valsarn är så anordnade att de inte påverkar
illuminationen och reflektion av ljuset. En eller flera anordningar enligt uppfinningen kan
anordnas mellan valsarna. Ljuskälloma 15 och 16 illuminerar båda sidor av plåtmaterialet 11
med ljuspulser (eller kontinuerliga ljusstrålar). Ytoma reflekterar delvis och delvis sprider det
infallande ljuset i flera riktningar. Det spridda ljuset bildar en lob av spridda reflektioner på
materialets yta, väsentligen strålande i 180°. De optiska elementen 17 samlar och projicerar den
spridda reflektionsstrålama (punkt och streckade linjer 24) från varje sida av plåtmaterialet på
CCD 18. För att förhindra proj ektionema att störas av reflektionema kan det optiska elementet
maskeras åtminstone delvis.
Avståndet mellan ljusprojektionema på CCDn representerar avståndet mellan de två ytoma av
plåtmaterialet, d.v.s. tjockleken av plåtmaterialet. CCDn är periodiskt (synkroníserad med
periodiska ljuspulser) eller kontinuerligt scarma, såsom beskrevs ovan, och signalerna
omvandlas till digitala signaler (om så behövs) för att bearbetas av en positionberäkningsenhet.
I fig. 3 är signalen som representerar ljusproj ektionema på CCDn schematiskt illustrerade i en
V/S- kurva, d.v.s. spänning per yta-enhet av CCDn. Toppama 21, 22 av kurvoma representerar
10
15
20
25
30
514 004
7(13)
de mest intensiva punkterna av ljusprojektionema, d.v.s. centmmet för projektionema och
tjockleken d är avståndet mellan toppama 21 och 22. Signalen som representerar avståndet d
kan då behandlas och omvandlas till ett verkligt avstånd (t.ex. i en metrisk enhet) för
presentation eller överföras den till valsstyrningen för att reglera valsarnas mellanrum för
ytterligare valsning av plåtmaterialet. Tydligen behöver ljusprojektionen inte koncentreras
(punkt) och kan vara linjära (infallande i plåtrnaterialets longitudinella riktning) utan att
påverka beräkningen av avståndet d.
Signalen från CCDn kan behandlats analogt eller digitalt. Den analoga signalbearbetningen
innebär omvandling av signalen (enligt fig. 3) till pulser, som delvis representerar kärmetecknen
med avseende på ett tröskel värde, sedan bestämmes ett centrum för varje pulsbredd och
skillnaden mellan centrumet representerande avståndet d beräknas. Beroende av de optiska
elementens typ är det även möjligt att erhålla en förstoring av det projicerade avståndet mellan
ytorna på detektorytan (vilket måste kompenseras vid beräkning av det aktuella avståndet.)
I utföringsexemplet visat i fig. 4 är de optiska elementen 29 och 30 anordnade framför
detektorn, men lateralt förskjutna i vägen för den spridda lj usreflexen 24. Varje optiskt element
29, 30 bestående, t.ex. av linser och/eller prismor o.s.v., bryter ljusstrålarna och projicerar de på
CCDn 18. I detta utförande innefattar bearbetningsenheten 19 en A/D-omvandlare 31,
skifiregister 32, 34, multiplikator 33, en lagringsenhet 35 och positionberäkningsenhet 36.
Utsignalen från CCDn överföres till A/D-omvandlaren 31 och till lagringsenheten 35. I
lagringsenheten 35 lagras data för ljuspunkter av en specifik bild. Digital data från A/D-
omvandlaren 31 överföres till skifiregistret 32 och data från lagringsenheten 35 överföres till
skiñregister 34. Multiplikatom 33 multiplicerar data från skiñregistren och ett korskorrelerad
utsignal erhålls. Utsignalen överföres till positionberälmingsenheten 36, vilken beräknar läget
för ljusprojektionema och således avståndet d.
Självklart kan andra konventionella metoder, såsom interpolation av signalen erhållen från
CCD eller bestämning av tyngdpunkten för vaije proj ektions representerande signal användas
för att beräkna proj ektionemas läge på detektom och därigenom bestänuna avståndet d.
I ett föredraget utförande behandlas signalen från CCDn, såsom beskrives i US 4,91l,511,
inkorporerat häri genom hänvisning.
Uppfinningen är inte begränsad till de visade utföringsexemplen och kan varieras på ett antal
10
5113 004
sus)
sätt utan avlägsning fiån omfånget för de närslutna patentkraven. Anordningen och förfarandet
kan åstadkommas på olika sätt beroende av applikation, funktionella enheter, behov och krav
o.s.v. Till exempel kan fler än en CCD eller andra optiska sensorer, såsom diodarray eller
CMOS-baserade detektorer för generering av (video) signaler användas, linsema kan ersättas
och/eller kombineras med andra optiska element, såsom diffiaktion optiska element (relifer),
skänklarna kan utformas rörliga och signalen kan bearbetas externt i en datorenhet o.s.v.
Dessutom kan ljuskällorna anordnas extemt utan behov för skänklar. Apparaten enligt
uppfinningen kan även användas för att bestämma avståndet mellan två punkter på ett föremål
armat än plåtmaterial. Dessutom kan svepande ljuskällor utformas för att åtminstone täcka hela
ytan av plåtmaterialet. I detta fall måste optiska element och sensorenheter utformas på ett
lämpligt sätt för att samla, projicera och detektera hela det reflekterade ljuset och sveprörelsen
av ljuskälloma måste synkroniseras. Det är även möjligt att kombinera en eller flera delar av de
visade och beskrivna utföringsexemplen.
20
25
514 064
9(l3)
HÄNVISNING TECKEN
10 Mätanordning
ll Plåtmaterial
12 Hus
13 Skänkel
14 Skänkel
15 Ljuskälla
16 Ljuskälla
17 Optiskt element
18 Detektor
19 Bearbetningsenhet
20 Ljuskälla
21, 22 Topp
23-25 Ljusstråle
26 Prisma
27 Spegel
28 Vals
29, 30 Optiskt element
3 1 A/D-omvandlare
32, 33 Register
34 Multiplikator
35 Lagringsenhet
36 Beräknningsenhet
Claims (16)
1. En anordning för att mäta ett avstånd mellan åtminstone två ytor av ett föremål (11), vilken anordning omfattar illuminationsorgan (15, 16, 20) anordnat for att illuminera nämnda ytor, åtminstone ett optiskt element (17, 29, 30) anordnat for att projicera reflektioner från varje yta på en detektor (18), kännetecknad av, att det optiska elementet (17, 29, 30) är anordnat i ett område framför detektom for att rikta spridda illuminationsstrålar (3 7), vilka direkt infaller från ytoma på det optiska elementet på nämnda sensor, vilken genererar en representation av avståndet mellan nämnda ytor av föremålet (l 1) och att en bana för åtminstone en stråle reflekterad från åtminstone en av ytoma bildar en väsentligen triangulär form vars hömor består av ytan, det optiska elementet samt nämnda sensor.
2. En anordning enligt patentkrav 1, kännetecknad av, att endast en detektor (18) är anordnad och att nämnda detektor är en fotodetektor, såsom en CCD, en diodarray eller en CMOS-baserad detektor.
3. En anordning enligt patentkrav l, kännetecknad av, att illuminationsorganet (15, 16, 20) består av en ljuskälla för varje yta.
4. En anordning enligt något av patentkraven 1-3, kännetecknad av, att en ljuskälla är anordnad och att spegel (27) och/eller prismor (26) är anordnade for att rikta ljusstrålarna på varje yta.
5. En anordning enligt något av patentkraven 1-4, kännetecknad av, att det optiska elementet (17, 29, 30) består av linser, prismor och/eller linssystem.
6. En anordning enligt något av patentkraven 1-5 kännetecknad av, 10 15 20 25 30 'll att centrum axeln av nämnda optiska element (17) är väsentligen i linje med centrumaxeln av detektorn.
7. En anordning enligt något av patentkraven 1-5, kännetecknad av, att det optiska elementet (29, 30) är anordnat lateralt förskjutet framför detektom.
8. En anordning enligt något av föregående patentkraven, kännetecknad av, att ljuskällan upplyser nämnda ytor väsentligen vinkelrät.
9. En anordning enligt något av föregående patentkraven, kännetecknad av, att nämnda anordning innefattar en bearbetningsenhet (19), en A/D-omvandlare (31), skiftregister (32, 34), multiplikator (33), en lagringsenhet (35) och positionberäkningsenhet (36).
10. En anordning enligt patentkrav l, kännetecknad av, att anordningen innefattar en CCD och att en utsignal från CCDn överföres till A/D-omvandlaren (31) och till lagringsenheten (35), lagrande data för ljuspunkter av en specifik bild, att digital data från A/D-omvandlaren (31) överföres till skiftregistret (32) och data från lagringsenheten (35) överföres till skiftregistret (34), att nämnda multiplikator (33) är anordnad för att multiplicera data från skifiregistret varvid ett korskorrelerad utsignal erhålls och att utsignalen överföres till positionberälcningsenheten (36), som beräknar positionen av ljusprojektionerna och således tjockleken.
1 1. En anordning enligt något av föregående patentkraven, kännetecknad av, att varje ljusstråle riktas på varje yta, infaller på nämnda varje yta i motsvarande vinklar och position.
12. En anordning enligt något föregående patentkraven, kännetecknad av, 10 15 20 25 30 att proj ektionen på detektorn är en förstoring av avståndet mellan ytorna.
13. En anordning enligt något föregående patentkraven, kännetecknad av, att illuminationen är pulsad.
14. En anordning enligt något av patentkraven 1-12, kännetecknad av, att illuminationen är kontinuerlig.
15. En apparat (10) för optisk och beröríngsfri mätning av tjockleken av ett föremål, vilken apparat (10) omfattar: - ett hus (12) som har en huvuddel och bärande delar (13, 14), - illuminationsorgan ( 15 , 16, 20), anordnade på nämnda bärande delar för att illuminera ytor av nämnda föremål när det placeras mellan nämnda bärande delar, - en optisk detektor (18), - optiskt element (17, 29, 30) anordnat för att samla och projicera reflektionerna från nämnda ytor, och - organ för bearbeta en signal från närnnda optiska detektor (18), kännetecknar därav, att det optiska elementet (17, 29, 30) är anordnat i ett område framför detektom för att rikta spridda illuminationsstrålar (37), vilka direkt infaller från ytoma på det optiska elementet på nämnda sensor, vilken genererar en representation av avståndet mellan nämnda ytor av föremålet (11) och att en bana för åtminstone en stråle reflekterad från åtminstone en av ytorna bildar en väsentligen triangulär form vars hömor består av ytan, det optiska elementet samt nämnda sensor.
16. Ett förfarande för mätning av avståndet mellan åtminstone två ytor av ett föremål, kännetecknar av, - illumination varje yta medelst ett illuminationsorgan, - samling av spridda reflektioner av nämnda upplysningar från varje yta direkt medelst ett optiskt element, - projicering av nämnda spridda reflektioner på en detektorenhet för generering av en signal som indikerar positionen av de projicerade reflektionema på detektom, varvid en bana för 5 'l 4 0 Û 4 I 3 åtminstone en stråle reflekterad från åtminstone en av ytorna bildar en väsentligen triangulär form vars hömor består av ytan, det optiska elementet samt nämnda sensor och bearbetning av signalen från nämnda detektorenhet för att beräkna avståndet mellan ytorna.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9800962A SE514004C2 (sv) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metod |
AU31786/99A AU3178699A (en) | 1998-03-20 | 1999-03-17 | An arrangement and a method for gauging a distance between surfaces of an object |
PCT/SE1999/000410 WO1999049278A1 (en) | 1998-03-20 | 1999-03-17 | An arrangement and a method for gauging a distance between surfaces of an object |
EP99913795A EP1070228A1 (en) | 1998-03-20 | 1999-03-17 | An arrangement and a method for gauging a distance between surfaces of an object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9800962A SE514004C2 (sv) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metod |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9800962D0 SE9800962D0 (sv) | 1998-03-20 |
SE9800962L SE9800962L (sv) | 1999-09-21 |
SE514004C2 true SE514004C2 (sv) | 2000-12-11 |
Family
ID=20410649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9800962A SE514004C2 (sv) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metod |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1070228A1 (sv) |
AU (1) | AU3178699A (sv) |
SE (1) | SE514004C2 (sv) |
WO (1) | WO1999049278A1 (sv) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT501506A1 (de) * | 2005-01-20 | 2006-09-15 | Voestalpine Mechatronics Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum kontaktlosen messen |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1340741A (en) * | 1971-03-15 | 1974-01-30 | Vnii Pk I Metall Maschino | Method for gauging the distance between two opposite surface areas of a moving rolled product and apparatus for carrying out the method |
DE3471368D1 (en) * | 1984-10-31 | 1988-06-23 | Ibm Deutschland | Interferometric thickness analyzer and measuring method |
NO178909C (no) * | 1993-04-19 | 1996-06-26 | Toni Rydningen | Måleanordning |
SE503513C2 (sv) * | 1994-11-17 | 1996-07-01 | Ericsson Telefon Ab L M | Förfarande och anordning för bestämning av tjocklek och koncentricitet hos ett skikt pålagt på en cylindrisk kropp |
-
1998
- 1998-03-20 SE SE9800962A patent/SE514004C2/sv not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-03-17 EP EP99913795A patent/EP1070228A1/en not_active Withdrawn
- 1999-03-17 WO PCT/SE1999/000410 patent/WO1999049278A1/en not_active Application Discontinuation
- 1999-03-17 AU AU31786/99A patent/AU3178699A/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE9800962D0 (sv) | 1998-03-20 |
WO1999049278A1 (en) | 1999-09-30 |
EP1070228A1 (en) | 2001-01-24 |
SE9800962L (sv) | 1999-09-21 |
WO1999049278A8 (en) | 2000-03-16 |
AU3178699A (en) | 1999-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6246050B1 (en) | Optical encoders using non-patterned targets | |
US5319442A (en) | Optical inspection probe | |
CN106767545A (zh) | 一种高精度高空间分辨角度测量仪及角度测量方法 | |
PL101707B1 (pl) | Method and system for electro-optical non-contact measurements of an object | |
CN109387161A (zh) | 一种自准直*** | |
ATE81907T1 (de) | Optische messapparate. | |
WO1998053327A1 (en) | Method and device for contactless measuring of movement | |
US20150055144A1 (en) | High-resolution imaging and processing method and system for determining a geometric dimension of a part | |
UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
US4993830A (en) | Depth and distance measuring system | |
SE514004C2 (sv) | Tjockleksmätning med en detektor genom belysning av två ytor hos ett föremål, anordning, apparat och metod | |
Pierce et al. | A novel laser triangulation technique for high precision distance measurement | |
JP2003215149A (ja) | 光学式移動検出装置および搬送システム | |
JP2001133320A (ja) | 振動計測装置 | |
US8605291B2 (en) | Image correlation displacement sensor | |
US4758731A (en) | Method and arrangement for aligning, examining and/or measuring two-dimensional objects | |
JPS62138715A (ja) | 変位の測定方法および装置 | |
JPH0665964B2 (ja) | 変位の測定方法および装置 | |
CN219829789U (zh) | 一种兼顾高亮表面和粗糙表面的线激光轮廓仪 | |
Zhukov et al. | Compact two-coordinate digital autocollimator | |
JPS6281514A (ja) | 曲率測定装置 | |
SU1216698A1 (ru) | Способ измерени рабочего отрезка оптической системы | |
CN101320218A (zh) | 三扫描式硅片调焦调平测量装置、***以及方法 | |
RU2480718C2 (ru) | Устройство для спектрального анализа | |
SU1744444A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 9800962-4 Format of ref document f/p: F |