SE511985C2 - Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta - Google Patents

Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta

Info

Publication number
SE511985C2
SE511985C2 SE9900276A SE9900276A SE511985C2 SE 511985 C2 SE511985 C2 SE 511985C2 SE 9900276 A SE9900276 A SE 9900276A SE 9900276 A SE9900276 A SE 9900276A SE 511985 C2 SE511985 C2 SE 511985C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
image
light
recorded
intensity
registered
Prior art date
Application number
SE9900276A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9900276L (sv
SE9900276D0 (sv
Inventor
Peter Hansson
Per-Aake Johansson
Original Assignee
Skogsind Tekn Foskningsinst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Skogsind Tekn Foskningsinst filed Critical Skogsind Tekn Foskningsinst
Priority to SE9900276A priority Critical patent/SE511985C2/sv
Publication of SE9900276D0 publication Critical patent/SE9900276D0/sv
Priority to PCT/SE2000/000024 priority patent/WO2000045125A1/en
Priority to CA002359263A priority patent/CA2359263A1/en
Priority to US09/890,056 priority patent/US6757065B1/en
Priority to JP2000596332A priority patent/JP2002535668A/ja
Priority to EP00903057A priority patent/EP1155284A1/en
Priority to AU24693/00A priority patent/AU2469300A/en
Publication of SE9900276L publication Critical patent/SE9900276L/sv
Publication of SE511985C2 publication Critical patent/SE511985C2/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/306Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)

Description

15 20 25 30 5 l 'l 9 8 5 2 Enligt en betraktelse av uppfinningen registreras intensiteten (dvs. effekten per ytenhet) av endast diffust reflekterat ljus hos de båda bilderna, och bestäms en skillnad mellan de regist- rerade intensiteterna av det diffust reflekterade ljuset hos de första och andra bilderna för erhållande av en representation av ytans lutningsvariationer.
Om skillnaden norrneras genom division med summan av intensiteterna erhålls en kvot som är väsentligen direkt proportionell mot ytans lokala derivata.
Derivatan används i sin tur för beräkning av ytans höjdfunktion.
Insikten som ligger till grund för uppfinningen är att ljusheten hos ett topografiskt ytelement beror såväl av dess diffusa reflektans som dess vinkel i förhållande till belysningen. Om man upptar bilder av ytan med olika belysningsvinklar, så kommer dessa att skilja sig åt på grund av ytans topografi, men inte på grund av skillnader i diffus reflektans. Detta kan en- ligt uppfinningen utnyttjas i bildanalysoperationer som särskiljer topografin från reflektan- SCII.
KORTFATTAD RITNINGSBESKRIVNING Uppfinningen beskrivs mer i detalj med hänvisning till bifogad ritning, på vilken FIG. 1 schematiskt visar ett arrangemang för bildregistrering enligt uppfinningen; FIG. 2 visar motsvarande FIG. 1 en modell som grund för bearbetningen av de registrerade bilderna; FIG. 3 visar i diagramforrn ett förenklat exempel på bearbetning av en registrerad bild en- ligt uppfinningen; FIG. 4A och B visar bilder av en djuptyckt provyta registrerade genom belysning från vänster resp. höger hos ett arrangemang enligt FIG. 1; FIG. 5 visar reflek- tans hos provytan enligt FIG. 4; FIG. 6 visar derivatan hos provytan i FIG. 4; FIG. 7 visar topografin hos provytan i FIG. 4; FIG. 8 visar en bild av provytan enligt FIG. 4 med ni- våkurvor representerande -1 um; FIG. 9A och B visar i större skala en reflektansbild resp. en topografisk bild av en med tryckpunkter försedd provyta; och FIG. 10 visar profiler av en provyta uppmätta mekaniskt resp. med ett arrangemang enligt uppfinningen. “t =SPB\\/OL3“.users* SLïDOK“NVord-dokiiUïfi l SEOOUOC 10 20 30 b J *JJ BESKRIVNING Av UTFÖRINGSEXEMPEL I arrangemanget enligt FIG. 1 visas principen för uppfinningen. En provyta 1, som i de beskrivna exemplen är en pappersyta med en typisk area om 5x5 mm, belyses av en första ljuskälla 2 och av en andra ljuskälla 3 anordnade i två inbördes motsatta riktningar. Ljus- källorna 2 innefattar halogenlampor med belysningsoptik. En kamera 4 av CCD-typ detekte- rar och registrerar via en dator 5 intensiteten av det reflekterade ljuset.
Datorn 5 är företrädesvis försedd med känd maskin- och programvara för bildbehandling.
Tidsätgàngen för analys av en bild med en upplösning om 512x512 bildpunkter är för närva- rande ca 10 s med en 400 MHz standard-PC. Den matematiska analysen har genomförts med MATLAB® programvara.
Uppfinningen baseras på detektering av diffust ljus. Spekulära reflexer från provytan kan elimineras i det visade exemplet medelst inbördes korsade polarisatorer 6 och 7. Närmare bestämt kan mellan provytan 1 och varje ljuskälla 2, 3 placeras en polarisator 6 och mellan provytan 1 och kameran 4 placeras en därtill korsad polarisator 7, på sådant sätt att belys- ningsljuset polariseras parallellt med infallsplanet och det reflekterade ljuset polariseras vin- kelrätt därtill.
Med hänvisning till FIG. 2 är intensiteten hos det infallande ljuset proportionell mot cos(a), där ot är belysningsljusets infallsvinkel mot ytan 1. För det diffust spridda ljuset antages Lamberts lag vara giltig. Enligt denna är radiansen lika i alla riktningar. Därför gäller för den av kameran 4 detekterade intensiteten att I = Io R cos(ot) [1] där R är reflektansen och Io is den registrerade intensiteten när R = cos(ot) = 1.
Genom skalär multiplikation erhålls värdet för cos(ot) som “ÄSPB*NOLBXUSCrsiSljiDOK Word-d0k'\P3375lSEO0.tl0C 10 15 20 30 f' 4 4 O 0 ä' Û I I J' i) Ö 4 51mm i + wsm cosqa) = a-n/ln1= [z] +l vx fw där a är belysningsvektorn [sin(y),O,-cos(y)] och n är ytnormalen [øY/åx, cï/åjvg-H.
Om två bilder Ii och Iz, med y: = -q/i, registreras, FIG. 4A, 4B , kan den partiella derivatan df/(bc beräknas med ledning av [1] och [2] som ¿7'_1 -Eç-tany 1,+1¿ I,-I, Detta uttryck är oberoende av reflektansen. Ett exempel på en derivata, beräknad med led- ning av bilderna i FIG. 4A, B, visas i FIG. 6, där derivatan har kodats som en gråskalebild.
För att erhålla provytans höjdfunktion, behöver derivatan integreras, men eftersom bilderna innehåller brus, behöver vissa spatiala frekvenser integreras med försiktighet. Därför bör företrädesvis derivatan Fouriertransformeras och multipliceras med ett s.k. Wienerfilter: H., H' - [4] 1H,; +.s.\R(u,\») som utför integreringen med undertryckande av spatiala frekvenser u och v, vilka har ett förväntat lågt signal-brusförhâllande SNR. Ytans frekvenssvar H: innefattar både den parti- ella derivatan (i form av 2zriu) och det i materialet spridda ljuset. För närmare beskrivning av ett Wienerfilter hänvisas till Pratt, W. K., (1978), Digital Image Processing, Wiley, New York, 378-387. Ytfunktionen, som visas i FIG. 7, likaså kodad som en gråskalebild där lägre ytområden har en mörkare ton än höga ytområden, erhålls genom invers transforma- tion av produkten.
Provytans lokala reflektans, som tillhandahåller information om pätryckets täckningsgrad. erhålls approximativt som summan av bilderna, Ii och 1:. se FIG. 5.
För att underlätta förståelsen av uppfinningen, visas på FIG. 3 A-G en förenklad endimen- sionell "digital" betraktelse av en typisk bildbehandlingsoperation.
\\SPB\\/OL3l~users^~ S1.\DOK\Word-dok\P3375 l SE00.doc 10 15 25 Ut (TI .__S ...à \ fï \- d i FIG. 3 A visar den provyta vars topografi f(x) skall undersökas. Ytan har i detta fall ett pâtryckt regelbundet mönster.
När ytan belyses med strykljus frân vänster erhålls enligt FIG. 3B till följd av variationer i såväl reflektans (mönstret) som topografi, en intensitetsvariation i det diffust reflekterade ljuset. Jämför även motsvarande bild eller grafiska representation i det tvådímensíonella fallet enligt FIG. 4A där intensitetsvariationen motsvaras av variation i gråskala.
När ytan belyses med strykljus från höger erhålls pà motsvarande sätt enligt FIG. 3C en ny intensitetsvariation lz(x) i det diffust reflekterade ljuset. Jämför även motsvarande bild i det tvâdimensionella fallet enligt FIG. 4B.
Beräknas skillnaden, Ii(x) - Iz(x) mellan intensiteterna, erhålls enligt FIG. 3D en variation som framhäver topografiska variationer (reflektansvariationerna undertrycks delvis men ej helt), dvs. variationer i ytans lutning.
Beräknas summan Ii(x) + I1(x) av intensiterna erhålls enligt FIG. 3E en variation som vä- sentligen endast beror av reflektansvariationer, medan de strukturella eller topografiska va- riationerna undertrycks. Med andra ord erhålls ytans färgfördelning, tex. förekomst eller inte förekomst av pátryck. Jämför även motsvarande bild i det tvàdimensionella fallet enligt FIG. 5.
Beräknas kvoten (Ii(x) - Iz(x))/( Ii(x) + Iz(x)), dvs den normerade skillnaden mellan inten- siteterna, erhålls enligt FIG. 3F en variation som väsentligen endast beror av topografiska variationer, dvs. variationer i ytans lutning.
Kvoten används för beräkning av derivata FIG. 3F l _I,(x)-I3(x) tany I.|(x)+ l1(x) ytans enligt som f.'(X) = IXSPBXVOLÉ ~users\SL'«.DOK\\Å”ord«1ok\P3375 l SENLIOC lÛ 15 20 25 30 6 där liksom tidigare y = belysningsljusets infallsvinkel. Jämför även motsvarande bild i det tvådimensionella fallet enligt FIG. 6. I det tvådimensionella fallet blir derivatan på motsva- rande sätt 1 1|(X.~y)_[3(x»,V) f. (m) s TW . [I (XJ) + un” Integreras derivatan, företrädesvis med ovan beskriven samtidig anpassad brusundertryck- ning, erhålls ytans topografi enligt FIG. 3G. Jämför även motsvarande bild i det tvâdirnen- sionella fallet enligt FIG. 7.
Som framgår av det föregående kan, förutom den rena topografiska bestämningen (FIG. 7) av en yta, uppfinningen sålunda även användas för samtidig bestämning av ytans reflektans (FIG. 5) i samma koordinater. Därmed kan intressanta samband mellan ytstruktur och färgöverföring studeras i detalj. På reflektansbilden i FIG. 5 har i FIG. 8 genom tröskelope- ration i den bildanalyserande datorn 5 införts nivåkurvor motsvarande ett djup om -l um från en glidande referensnivå, vilket kan förklara varför tryckpunkter saknas i partier av tryckområdet. På provytan enligt FIG. 9A och B har på motsvarande sätt undersökts om ett bestämt djup hos försånkningarna (Lex. mörka partier i vänstra övre delen av topografikar- tan FIG. 9B) i ytan kan motsvara utebliven färgöverföring (uteblivna färgpunkter i FIG. 9A i de partier som är mörkast i FIG. 9B). Detta kan inom trycktekniken utnyttjas som en för- utsägelse om på vilka ställen missade tryckpunkter kan förväntas.
Det har därvid visat sig att s.k. rak tröskelsättning i topografin ej fungerar så bra. Om man däremot högpassfiltrerar topografin så att långvågig information undertrycks och därefter applicerar en tröskel på -lum, dvs. i praktiken tröskling relativt en glidande referensnivå. så markeras områden som har hög sannolikhet för utebliven färgöveröverföring, se FIG. 8.
Av detta kan man alltså lära sig mer om hur ytråhet skall mätas på ett tryckbarhetsrelevant sätt. Metoden har också gett intressanta resultat för fulltonsytor tryckta i flexo (ej visat).
De tvâ bilderna behöver ej nödvändigtvis registreras vid skilda tidpunkter. Exempelvis kan med det beskrivna arrangemanget enligt FIG. l den ena bilden registreras i ett första ljusvåglängdsområde och den andra bilden från samma kamerapunkt samtidigt registreras i SPBXVOLB .users-SL '.DOK'~.Word-dok\P3375 l SE00.doc 10 C [i 1"' z i; f) 7 Ö i i ett andra, till det första vâglängdsorrirådet komplementärt eller skilt våglängdsområde (ej visat) om de två belysningarna använder skilda våglängdsoinráden. Därigenom erbjuds möj- lighet att registrera förlopp då provytan, t.ex. ett område av en pappersbana under produk- tion, befinner sig i rörelse.
Analyser enligt uppfinningen av provstycken av LWC-papper har visat god korrelation, r2=0,95, mellan profiler bestämda enligt uppfinningen och profiler bestämda enligt konven- tionella optiska eller mekaniska profilmätmetoder. I det i FIG. 10 visade diagrammet anger den heldragna kurvan profilen bestämd enligt uppfinningen, medan den streckade kurvan anger samma profil hos samma pappersremsa bestämd genom en mekanisk kontaktmätme- tod. “ÅSPBEVOLIlusers\SLEDOKïVJord-dok\P3375 l SEOOJZIOC

Claims (13)

lO 15 20 30 5 ”l ”i 9 15 8 PATENTKRAV
1. l. Sätt att bestämma en av infallande ljus belyst yta genom registrering av inten- siteten (li(x,y')) i reflekterat ljus från ytan hos en första bild därav och registrering av inten- siteten (Iz(x,y)) i reflekterat ljus från ytan hos en andra, till den första bilden komplementär bild därav upptagen med annan belysningsvinkel, k ä n n e t e c k n a t av registrering av intensiteten av endast diffust reflekterat ljus över ytan hos de båda bilderna, och bestämning av en skillnad mellan de registrerade intensiteterna av det diffust reflekterade ljuset över ytan hos de första och andra bilderna för erhållande av en represen- tation som framhäver lutningsvariationer hos ytan. iQ
2. Sätt enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att skillnaden normeras för er- hållande av en en reflektansneutral bild som representerar lutningsvariationer, dvs. en deri- vata av ytans höjclfunktion. kännetecknat
3. Sätt enligt krav 2, av att skillnaden normeras genom division med en summa (I1(x,y)+l1(x,y)) av de registrerade intensiteterna över ytan.
4. Sätt enligt [något] krav 3, k ä n n e t e c k n a t av att summan (li(x,y)+l:(x,y)) av de registrerade intensiteterna över ytan används för erhållande av en väsentligen topografiskt neutral reflektansbild av ytan.
5. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a t av att intensite- ten hos den första bilden registreras med ljus infallande från en första riktning och att inten- siteten hos den andra bilden registreras med ljus infallande från en andra, till den första riktningens reflektionsvinkel motsatt riktning.
6. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a t av beräkning av ytans derivata genom l 1,(.ic.,v)-I2(x.y) 'fiixiyö z tßni/ 1l(X-y)+ MXJ) 'i\SPB\VOL3\users\.SL\DOK*.\Vord-dok\ P3375 l SE00.doc 10 O. f" 1 k) i) där y är ljusets infallsvinkel.
7. Sätt enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a t av Fouriertransformation av deri- vatan och multiplikation därav med ett Wienerñlter för undertryckning av brus i de registre- rade intensiteterna.
8. Sätt enligt krav 6 eller 7, k ä n n e t e c k n a t av integrering av derivatan för erhållande av ytans höjdfunktion.
9. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e e k n a t av polarisering av det infallande ljuset och därtill korsande polarisering av det reflekterade ljuset för att eliminera reflexer i ytan och erhålla nämnda diffust reflekterade ljus.
10. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a t av att den första bilden registreras med ljus i ett första ljusvâglängdsområde och att den andra bilden regist- reras med ljus i ett andra, från det första ljusvåglängdsorrtràdet skilt ljusvåglängdsomrâde.
11. Sätt enligt krav 10, k ä n n e t e c k n a t av att den första bilden regist- reras genom belysning med ljus av en första frekvens, och att den andra bilden registreras genom belysning med ljus av en, från den första frekvensen avvikande frekvens.
12. Sätt enligt krav 10 eller 11, kännetecknat av attdenförstaoch den andra bilden registreras samtidigt.
13. Användning av ett sätt enligt nagot av föregående krav för topografisk bestäm- ning av en pappersyta. 'tXSPBXVOL3".usersïSL”.DOKïVVord-d0k\P3375 ISEOOdOC
SE9900276A 1999-01-28 1999-01-28 Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta SE511985C2 (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9900276A SE511985C2 (sv) 1999-01-28 1999-01-28 Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta
PCT/SE2000/000024 WO2000045125A1 (en) 1999-01-28 2000-01-10 Method of determining an illuminated surface
CA002359263A CA2359263A1 (en) 1999-01-28 2000-01-10 Method of determining an illuminated surface
US09/890,056 US6757065B1 (en) 1999-01-28 2000-01-10 Method of determining an illuminated surface
JP2000596332A JP2002535668A (ja) 1999-01-28 2000-01-10 受光面の決定方法
EP00903057A EP1155284A1 (en) 1999-01-28 2000-01-10 Method of determining an illuminated surface
AU24693/00A AU2469300A (en) 1999-01-28 2000-01-10 Method of determining an illuminated surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9900276A SE511985C2 (sv) 1999-01-28 1999-01-28 Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9900276D0 SE9900276D0 (sv) 1999-01-28
SE9900276L SE9900276L (sv) 2000-01-10
SE511985C2 true SE511985C2 (sv) 2000-01-10

Family

ID=20414269

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9900276A SE511985C2 (sv) 1999-01-28 1999-01-28 Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6757065B1 (sv)
EP (1) EP1155284A1 (sv)
JP (1) JP2002535668A (sv)
AU (1) AU2469300A (sv)
CA (1) CA2359263A1 (sv)
SE (1) SE511985C2 (sv)
WO (1) WO2000045125A1 (sv)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001086228A1 (en) * 2000-05-05 2001-11-15 Roger Tuomas A method to measure surface structure

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE515711C2 (sv) * 2000-02-09 2001-10-01 Volvo Personvagnar Ab Anordning och förfarande för uppmätning hos ytojämnheter hos ett mätobjekt
EP1400802A1 (en) * 2002-09-23 2004-03-24 Ford Global Technologies, Inc. Method and arrangement for detecting and evaluating surface irregularities
DE102004050355A1 (de) * 2004-10-15 2006-04-27 Steinbichler Optotechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen der Oberfläche eines Reifens
FI20060331A0 (sv) * 2006-04-05 2006-04-05 Kari Seppaelae Förfarande och anordning för formmätning/formidentifiering
US20090027648A1 (en) * 2007-07-25 2009-01-29 Asml Netherlands B.V. Method of reducing noise in an original signal, and signal processing device therefor
FI122448B (sv) 2008-07-23 2012-01-31 Labvision Technologies Ltd Oy Bilderingsanordning
JP5436431B2 (ja) * 2008-08-26 2014-03-05 株式会社ブリヂストン 被検体の凹凸検出方法とその装置
ES2670333T3 (es) * 2009-11-14 2018-05-30 Vmt Vision Machine Technic Bildverarbeitungssysteme Gmbh Procedimiento para detectar las superficies de borde frontales de fibras huecas y procedimiento para detectar los espacios interiores de fibras huecas, no obstruidas, de un haz de fibras huecas
JP6635674B2 (ja) * 2015-05-11 2020-01-29 キヤノン株式会社 計測装置、計測方法およびプログラム
WO2016194939A1 (ja) * 2015-06-05 2016-12-08 新日鐵住金株式会社 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4162126A (en) * 1976-12-10 1979-07-24 Hitachi, Ltd. Surface detect test apparatus
JPS5892904A (ja) * 1981-11-30 1983-06-02 Hitachi Ltd 面方向の検出方法及び同装置
JPS60135704A (ja) 1983-12-23 1985-07-19 Hitachi Ltd パタ−ン検出装置
JPS6182106A (ja) 1984-09-28 1986-04-25 Tokyo Doro Enjinia Kk 路面段差の検知方法
JPH071164B2 (ja) * 1985-02-28 1995-01-11 ソニー株式会社 三次元形状の認識装置
JPH02243911A (ja) * 1989-03-17 1990-09-28 Hitachi Ltd はんだ付検査装置
US5463464A (en) * 1991-10-04 1995-10-31 Kms Fusion, Inc. Electro-optical system for gauging surface profile deviations using infrared radiation
US5465153A (en) * 1991-10-04 1995-11-07 Kms Fusion, Inc. Electro-optical system for gauging specular surface profile deviations
US5311286A (en) * 1992-04-01 1994-05-10 Materials Technologies Corporation Apparatus and method for optically measuring a surface
WO1995035506A2 (en) * 1994-06-17 1995-12-28 Kensington Laboratories, Inc. Scribe mark reader
DE19534716C2 (de) * 1995-09-19 1999-06-17 Autronic Bildverarbeitung Einrichtung zum Erfassen von Fehlstellen auf einer glatten Oberfläche
HU224946B1 (en) 1995-09-22 2006-04-28 Owens Brockway Glass Container System for checking containers by a field programmable gate array logic
JP3509377B2 (ja) 1996-04-12 2004-03-22 株式会社ニコン 曲率測定装置
US5930383A (en) * 1996-09-24 1999-07-27 Netzer; Yishay Depth sensing camera systems and methods
SE508822C2 (sv) 1997-02-17 1998-11-09 Volvo Ab Förfarande och anordning för mätning och kvantifiering av ytdefekter på en provyta
WO1999058930A1 (en) * 1998-05-14 1999-11-18 Metacreations Corporation Structured-light, triangulation-based three-dimensional digitizer
WO2000003198A1 (en) * 1998-07-08 2000-01-20 Ppt Vision, Inc. Machine vision and semiconductor handling
US6552783B1 (en) * 2000-06-28 2003-04-22 Teradyne, Inc. Optical system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001086228A1 (en) * 2000-05-05 2001-11-15 Roger Tuomas A method to measure surface structure

Also Published As

Publication number Publication date
US6757065B1 (en) 2004-06-29
SE9900276L (sv) 2000-01-10
WO2000045125A1 (en) 2000-08-03
EP1155284A1 (en) 2001-11-21
WO2000045125A8 (en) 2000-12-07
JP2002535668A (ja) 2002-10-22
SE9900276D0 (sv) 1999-01-28
CA2359263A1 (en) 2000-08-03
AU2469300A (en) 2000-08-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Valença et al. Characterisation of concrete cracking during laboratorial tests using image processing
JP2002078683A (ja) 表面検査装置及び方法
JP2009022745A (ja) 肌組織を測定する方法及び装置
JP4872399B2 (ja) 偽造指紋判別機能を備えた指紋像入力装置
SE511985C2 (sv) Topografisk bestämning av en av infallande ljus belyst yta
WO2002035217A3 (en) Methods for continuous embedded process monitoring and optical inspection of substrates using specular signature analysis
KR960024260A (ko) 층 두께 결정 장치 및 방법
US20130329039A1 (en) Defect inspection method and device thereof
US8760638B2 (en) Material identification and discrimination
JP2008506957A (ja) 透明物体の高さ測定
JP2009293999A (ja) 木材欠陥検出装置
JP4235046B2 (ja) 鋼板表面の検査方法、システム、画像処理装置、及びコンピュータプログラム
Hansson et al. Topography and reflectance analysis of paper surfaces using a photometric stereo method
JP6624161B2 (ja) 塗装金属板の塗膜膨れ幅測定装置および塗装金属板の塗膜膨れ幅の測定方法
SE528526C2 (sv) Förfarande och apparat för optisk utvärdering av en pappersyta
JP2010091361A (ja) 画像検査方法および画像検査装置
KR20080004346A (ko) 불균일 검사 장치, 화상 표시 장치, 불균일 검사 방법 및화상 표시 방법
Hansson et al. A new method for the simultaneous measurement of surface topography and ink distribution on prints
JP3844973B2 (ja) 基板の研磨終点検出
JP2000230814A (ja) レーザ光を利用した形状測定方法
JP2011191229A (ja) 呈色解析装置および方法ならびにプログラム
KR100517868B1 (ko) 시료 표면의 결함 측정 및 평가 방법
JP2000002514A (ja) 膜厚測定装置及びアライメントセンサ並びにアライメント装置
KR100353864B1 (ko) 표면 검사 장치 및 그 방법
US6768812B1 (en) Method for locating features on an object using varied illumination