SE457758B - Jonplasmaelektronkanonanordning - Google Patents

Jonplasmaelektronkanonanordning

Info

Publication number
SE457758B
SE457758B SE8700017A SE8700017A SE457758B SE 457758 B SE457758 B SE 457758B SE 8700017 A SE8700017 A SE 8700017A SE 8700017 A SE8700017 A SE 8700017A SE 457758 B SE457758 B SE 457758B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
chamber
cathode
foil
housing
grid
Prior art date
Application number
SE8700017A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8700017L (sv
SE8700017D0 (sv
Inventor
G Wakalopulos
Original Assignee
Rpc Ind
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rpc Ind filed Critical Rpc Ind
Publication of SE8700017D0 publication Critical patent/SE8700017D0/sv
Publication of SE8700017L publication Critical patent/SE8700017L/sv
Publication of SE457758B publication Critical patent/SE457758B/sv

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns
    • H01J3/021Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns
    • H01J3/025Electron guns using a discharge in a gas or a vapour as electron source
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/0955Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using pumping by high energy particles
    • H01S3/0959Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using pumping by high energy particles by an electron beam

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Description

457 758 terna hos en utföringsform av jonplasmaelektronkanonen enligt hppfinningen; fig 2 är en perspektivvy av vissa inre komponenter hos kanonen enligt fig 1, innefattande en katodinsats, vilka komponenter har en modifierad fonn jämfört med de ekvivalenta komponenterna i fig 1; fig 3 är en mer detaljerad något modifierad tvärsnittsvy av en högspän- ningsenhet, som ingår i kanonen enligt fig 1; fig 4 är en mer detaljerad något modifierad vy av plasmakammaren och foliefönstret hos kanonen enligt fig 1; fig S är en delperspektivvy av foliefönstret i fig 4 och dess stödlister; fig 6 är en perspektivvy av en modifierad kanonkonstruktion, vid vilken området för plasmakällan ökats för att öka vidden hos den av elektronkanonen alstrade elektronstrålen; fig 7 är ett blockschema av ett tryck- och strömstabiliseringssystem för kanonen enligt fig 1; fig 8 är en perspektivvy av en modifierad gallerkonstruktion för kanonen; fig 9 är en vy, liknande den i fig 1, av en något modifierad version av kanonen; samt fig 10 är en delperspektivvy av en del av utföringsformen enligt fig 9.
Detaljerad beskrivning av den visade utföringsformen Fig 1 visar huvudkomponenterna hos en plasmaelektronkanon konstruerad en- ligt en utföringsform av uppfinningen. Kanonen innefattar ett elektriskt ledande jordat hölje, som är sammansatt av en högspänningskammare 13. en jonplasmaur- laddningskammare 12, samt ett elektrongenomsläppande foliefönster 2. En tråd 4 sträcker sig genom plasmaurladdningskammaren 12. Foliefönstret är elektriskt an- slutet till det jordade höljet, och det bildar en anod, som bringas elektroner att accelerera till och genom detsamma. Höljet är fyllt med 1-10 millitor helium En katod 6 är belägen i högspänningskamaren 13. En insats 5 för katoden är mon- terad på dess lägre yta. Insatsen 5 är typiskt molybden, men kan vara av vilket som helst annat material med en hög sekundäremissionskoefficient. Högspännings- katoden 6 är likformigt åtskild från höljet för att förhindra Paschen-genom- slag.
En högspänningskraftkälla 10 tillför en hög negativ potential P3 200-300 kv till katoden 6 genom en kabel 9, som sträcker sig genom en epoxiisolator till ett motstånd 8, som är inlagt mellan kabeln 9 och katoden 6. Katoden 6 och insatsen 5 kyls genom en lämplig kylvätska, såsom olja, vilken pumpas genom ledningar 7. 457 758 Plasmakammaren 12 innehåller ett antal metallister 3, vilka är mekaniskt och elektriskt sammankopplade. Listerna 3 innehåller urskärningar i centrum för att medge passage av tråden 4 genom hela konstruktionen. De sidor hos listerna 3 som är vända mot katoden 6, bildar ett avtappningsgaller 16, medan listernas motsatta sidor bildar ett stödgaller 15 för stödjande av det elektrontransmit- terande foliefönstret 2. Vätskekylkanaler 11 åstadkommer värmeavlägsnande från plasmakammaren.
Det elektrontransmitterande fönstret'2 kan bestå av en ca 2,5 . 10'3 (1 mil) tjock titanfolie, som stöds av stödgallret 15 och är tätad mot höljet genom en 0-ring. Ett gasgrenrör 10 används för att kyla foliefönstret med trycksatt kväve, samt eliminera ozon från strålomrâdet.
En modulator 1 är ansluten till tråden 4 genom ett anslutningsorgan 4A (fig 2). När modulatorn 1 exciteras upprättas en positiv heliumjonurladdning i plasmakammaren 12 av tråden 4. Modulatorn kan vara en likströmskälla, eller en 20-30 MHz radiofrekvensgenerator. I och med att jonurladdningen har upp- rättats startar elektronstrålen. De i plasmat genererade heliumjonerna attra- heras mot katoden 6 genom det fält, som läcker genom avtappningsgallret 16 in i plasmakammaren. Detta fält kan variera med avseende på sin storlek från några hundra volt upp till 10.000 volt. Jonerna strömmar utefter fältlinjerna genom avtappningsgallret 16 in i högspänningskammaren 13. Här accelereras de över hela potentialen och bombarderar katodinsatsen 5 som en kollimerad stråle. De av katodinsatsen emitterade sekundärelektronerna har en lätt rymdspridning på grund av kosinusfördelningen hos deras emissionsriktning. Den resulterande elektron- strålen träffar delvis avtappningsgallret 16 och minskar därför systemets verk- ningsgrad. _ _ _ Systemets verkningsgrad kan ökas genom den i fig 2 visade anordningen.
Fig 2 visar katodinsatsen 5 utformad av exempelvis koppar, eller annat lämpligt elektriskt ledande material, och innehåller sekundäremitterande vinklade slitsar SA, vilkas ytor är belagda med exempelvis molybden, och vilka är i linje med utrymmena mellan avtappningsgallrets 16 lister. Denna geometri ökar sekundär- emissionsutbytet och tjänar även till att rikta elektronerna bort från avtapp- ningsgallrets 16 lister och medför sålunda mindre uppfångning av elektronerna genom avtappningsgallret.
I den särskilda utföringsformen enligt fig 2 är avtappningsgallret 16 åt- skilt från foliestödet 15. Elektronerna från katoden 5 passerar in i plasmaom- rådet och genom foliefönstret till bildande av den av kanonen alstrade elektron- strålen. Foliestödgallrets 15 lister är i linje med avtappningsgallrets 16 lister. Elektronerna sprids något efter inträdet i plasmakammaren och har en ga 457 758 tendens att träffa foliestödgallrets lister. Genom att reducera avståndet mellan gallren kan emellertid denna uppfångning minimeras.
Avtappningsgallrets 16 form är väsentlig för elektronfördelningen hos elektronstrålen. Såsom visas i fig 2 är avtappningsgallrets djup proportionellt mot det fält, som intränger i öppningen utan närvaro av gallerkonstruktionen.
Detta medför en jämn fältinträngning och ger sålunda en elektronstråle, som upp- visar en väsentligt mer homogen elektronstrålefördelning än vad som skulle er- hållas från ett platt eller likformigt avtappningsgaller.
Fig 3 visar i mera detalj den rörformiga högspänningsinmatningsanordningen hos kanonen enligt fig 1, som innefattar epoxiisolatorn 14, motståndet 6, och en vakuumisolator 17 av epoxi, som stöder katoden 5 och som tillför kylmedel, såsom olja, till katodinsatsen. En anslutning sträcker sig genom isolatorn 17 från motståndet 8 till katoden.
En detaljerad vy av plasmakammaren 12 och foliefönstret 2 visas i fig 4.
Vakuumhöljet innehåller plasmakammarlisterna 3. En stödram 18 försluter fönst- g rets 2 folie mot vakuumhöljet 3 med en D-ringttätning 30. Gasgrenröret 10 är beläget över folien 2 för att tillhandahålla kvävgas för kylning av folieytan.
En strålmätanordning är belägen över gasgrenröret och innefattar trådar 21, som uppfångar elektronstrålen och registrerar en spänning eller motstånd, som mäts och omvandlas till strömtäthet. Detta tillåter realtidövervakning av elektron- a fördelningen 1 strålen. _ Detaljer hos foliefönsterenheten visas i fig 5. Enheten innefattar en folie 2, som är hårdlödd mot foliestödgallrets 15 lister 1 ändamål att minska den termiska kontaktresistansen. Enheten innefattar gasgrenröret 10, som ut- blåser gas genom en slits 23 mot folien för kylningsändamål och som tjänar till att öka foliens elektrontransmitterande verkningsgrad.
I utföringsformen enligt fig 6 har området för plasmakällan ökats så att den alstrade elektronstrålens vidd ökar. Ett antal trådar 6 är belägna mellan avtappningsgallrets 16 lister, vilka ersätter den enda tråden 4 hos tidigare utföringsform och den tjänar till att förbättra elektronstrålens homogenitet.
Listerna hos foliestödgallret 15 och listerna hos avtappningsgallret 16 är såsom vid det tidigare utföringsexemplet i linje, liksom kylkanalerna 11.
Under en lång drifttid erfordras någon anordning för att övervaka det verkliga trycket i kanonens vakuumkammare. En vakuumtryckändring påverkar plasmatätheten och sålunda elektronströmtätheten. Fig 7 visar ett lämpligt system för att stabilisera tryck och elektrisk ström hos kanonen. Initialtrycket i höljet inställs genom inställning av en ventil 126 i en ledning 128, som sträcker sig från en tryckgaskälla 130 in i plasmakammaren 12. Plasmat initieras 457 758 genom att sätta på modulatorn 1. En spänningsmonitor 129 mäter ögonblicksvilo- trycket och eventuella föroreningar, som skulle kunna härröra från vakuumkärlet.
En spänningsökning indikerar ett lågt tryck. Spänningsmonitorns 129 utgång an- vänds för att styra ventilen 126 genom en ventilstyranordniny Ä27, för att där- igenom styra vakuumtrycket i kanonen. Strömmen från modulatorn 1 styrs även av spänningsmonitorn 129, såsom visas. Det i fig 7 visade systemet säkerställer en stabil utström hos elektronstrålen.
Vid utförinéhformen enligt fig 8 har katodinsatsen 5' ett flertal koniskt formade fördjupningar, som sträcker sig över dess yta, belagda med molybden eller annat sekundäremitterande material. Avtappningsgallret 16' har ett flertal hål axiellt i linje med de koniska fördjupningörna, och foliestödgallret 15' har ett flertal hål axiellt i linje med hålen 1 avtappningsgallret 16'.
Utföringsformen enligt fig 9 är väsentligen lika den i fig 1 med undantag av att trådjonkällan 4 ersatts genom ett par plasmatrådar 4' , vilka är belägna i kammare 100 belägna på avstånd från elektronstrålen. Jonerna dras till katoden 6 genom slitsar 102 i kamrarnas sidor, vilka slitsar är så formade att de åstad- kommer ett likformigt fält i plasmakammaren.
Denna utföringsform arbetar med hög verkningsgrad på grund av att de av katoden emitterade sekundärelektroderna alla har fria och ohindrade banor till foliefönstret 2.

Claims (23)

457 758 _ Patentkrav
1. Jonplasmaelektronkanonanordning innefattande ett elektriskt ledande evakuerat hölje bildande första och andra kammare (12,13) belägna intill och uppvisande en öppning mellan varandra, organ för att alstra positiva joner i den första kammaren (12), en katod (6), som är belägen i den andra kammaren (13) åtskild och isolerad från höljet, samt uppvisar en sekundärelektronemitterande yta (5), organ (10) för att anbringa en hög negativ spänning mellan katoden (6) och höljet för att bringa katoden (6) att dra positiva joner från den första kammaren (12) till den andra kammaren (13) så att dessa träffar nämnda yta (5) hos katoden (6) och bringar ytan att emittera sekundärelektroner, en elektriskt ledande elektrongenomsläppande folie (2), som sträcker sig över en öppning i höljet vid den mot katoden (6) vända änden hos den första kammaren (12), vilken folie (2) är elektriskt ansluten till höljet till bildande av en anod för sekun- därelektronerna och för att bringa sekundärelektronerna att passera genom folien (2) som en elektronstråle, k ä n n e t e c k n a d av att ett elektriskt ledan- de avtappningsgaller (16) är monterat i den andra kammaren (13) i närheten av den sekundärelektronemitterande ytan (5) hos katoden (6) och anslutet till höljet för att alstra ett elektrostatiskt fält vid nämnda yta (5) som bringar från denna utträdande sekundärelektroner att passera genom gallrets (16) öpp- ningar och in i den första kammaren (12), samt att ett elektriskt ledande stöd- galler är (15) monterat i den första kammaren (12) intill nämnda folie (2) samt anslutet till folien (2) och till höljet (12,13), vilket stödgaller (15) tjänar till att stödja folien (2) och uppvisar öppningar i linje med öppningarna hos avtappningsgallret (16) för att tillsammans med avtappningsgallret verka accelererande på sekundärelektronerna mot folien. 457 758
2. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att avtappnings- gallret (16) och stödgallret (15) vardera består av ett flertal åtskilda och parallella lister (3) mellan vilka nämnda i linje liggande öppningar är anord- nade.
3. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att avtappnings- gallret (16) och stödgallret (15) vardera består av ett element innehållande hål, som bildar nämnda i linje liggande öppningar.
4. Anordning enligt krav 1, Ik ä n n e t e c k n a d av att katoden (6) innehåller kylpassager (7), samt organ för tillförsel av kylfluid till passa- gerna.
5. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att den sekundär- elektronemitterande ytan (5) hos katoden (6) uppvisar däri formade spår på förutbestämda vinklar för att öka elektronemissionen och för att rikta elektron- er genom öppningar i avtappningsgallret (16).
6. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d- av att ett rörformigt högspänningsmatningselement sträcker sig genom höljet in i den andra kammaren (13), varvid ett isolerande element (17) är monterat i nämnda rörformiga element och fästat vid katoden (6) för stödjande av denna i den andra kammaren (13), samt att en kabel (9) sträcker sig genom det rörformiga elementet och genom det isolerande elementet (17) och är ansluten till katoden (6).
7. Anordning enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a d av att det isolerande elementet (17) innehåller kylpassager för tillförsel av kylfluid till katoden.
8. Anordning enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a d av att ett motstånd (8) är monterat i det rörformiga elementet och seriekopplat mellan kabeln (9) och katoden (6). _
9. Anordning enligt krav 1,'k ä n n e t e c k n a d av att en tråd (4) är monterad i den första kammaren (12) i isolerat förhållande till höljet för att tillföra elektrisk ström till nämnda organ, som alstrar positiva joner.
10. Anordning enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a d av en likströmskâl- la (1) för tillförsel av likström genom tråden (4).
11. Anordning enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a d av en radiofrekvens- spänningskälla (1) för att tillföra en radiofrekvensström genom tråden (4).
12. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att ett på höljet intill folien (2) monterat ramelement innehåller ett basgrenrör (10) för till- försel av kylgas till foliens (2) yta.
13. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att avtappnings- gallret (16) och stödgallret (15) har var sin passage för ledande av kylfluid för gallren. 457 758
14. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att avtappnings- gallret (16) och stödgallret (15) vardera innefattar ett plant element innehål- lande ett flertal i linje belägna hål, och att katodens (6) sekundäremitterande yta (5) innehåller ett flertal koniska fördjupningar i linje med nämnda hål.
15. Anordning enligt krav 13, k ä n n e t e c k n a d av att folien (2) är hårdlödd vid stödgallret (15) för att effektivt kyla folien.
16. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att avtappnings- gallret (16) är åtskild i längsriktningen från stödgallret (15) och att avtapp- ningsgallret har ett variabelt djup.
17. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att den första kammaren (12) innefattar ett flertal närbelägna sektioner (100) och innehåller ett motsvarande flertal trådar (41), vilka sträcker sig genom var sin av nämnda sektioner (100), och att stödgallret (15) har ett motsvarande flertal närbelägna sektioner belägna i var sin av den första kammarens (12) närbelägna sektioner.
18. Anordning enligt krav 9, k ä n n e t e c k n a d av att den innefat- tar en gaskälla (130) för trycksatt joniserbar gas, ledningsorgan (128), som kopplar källan till den första kammarens (12) inre, en i nämnda ledningsorgan monterad ventil (126) inrättad att styra trycket hos den joniserbara gasen i första kammaren (12). övervakningsorgan (129) anslutna till den första kammaren (12) för att alstra en elektrisk signal, som är en funktion av ögonblicksvilo- gastrycket i den första kammaren samt styrorgan (128) för ventilen (126) inrät- tade att som reaktion på den elektriska signalen från nämnda övervakningsorgan (129) inställa ventilen (126) så att den vidmakthåller ett förutbestämt drift- tryck hos den joniserbara gasen i den första kammaren.
19. Anordning enligt krav (18), k ä n n e t e c k n a d av att en ström- källa (1) är ansluten till tråden°(4) och till nämnda överväkningsorgan (129) och är inrättad att som reaktion på den elektriska signalen från nämnda över- vakningsorgan (129) styra strömflödet genom tråden (4).
20. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att ett flertal trådar stöds under foliefönstret (2) för att övervaka elektronstrålens likfor- mighet genom mätning av trådarnas individuella motstånd.
21. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda organ för alstrande av positiva joner i den första kammaren (12) innefattar en tråd (4), som sträcker sig genom den första kammaren.
22. Anordning enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda organ för alstrande av positiva joner i den första kammaren innefattar åtminstone en tråd (4'), som sträcker sig genom en kammare (100), som är tvärledes förskjuten i förhållande till den första kammaren (12) och kommunicerar med den första kam- maren genom en slits (102). 457 7-58
23. Jonplasmaelektronkanonanordning innefattande: ett elektriskt ledande evakuerat hölje bildande första och andra kammare (12,13) belägna intill och uppvisande en öppning mellan varandra; organ för att alstra positiva joner i den första kammaren (12); en katod (6), som är belägen i den andra kammaren (13) åtskild och isolerad från höljet, samt uppvisar en sekundärelektronemitterande yta (5); organ (10) för att anbringa en hög negativ spänning mellan katoden (6) och höljet för att bringa katoden (6) att dra positiva joner från den första kammaren (12) till den andra kammaren (13) så att dessa träffar nämnda yta (5) hos katoden (6) och bringar ytan att emittera sekundärelektroner; en elektriskt ledande elektrongenomsläppande folie (2), som sträcker sig över en öppning i höljet vid den mot katoden (6) vända änden hos den första kam- maren (12), vilken folie (2) är elektriskt ansluten till höljet till bildande av en anod för sekundärelektronerna och för att bringa sekundärelektronerna att passera genom folien (2) som en elektronstråle; k ä n n e t e c k n a d av ett elektriskt ledande avtappningsgaller (16) monterat i den andra kam- maren (13) i närheten av den sekundärelektronemitterande yta (5) hos katoden (6) och anslutet till höljet för att alstra ett elektrostatiskt fält vid nämnda yta (5) som bringar från denna utträdande sekundärelektroper att passera genom gallrets (16) öppningar och in i den första kammaren (12), vilket avtappnings- galler har ett variabelt ytdjup proportionellt mot det elektriska fältet i den första kamaren, så att variationer i den elektrostatiska fältstyrkan väsent- ligen elimineras och åstadkommer en väsentligen likformig elektronstråle, som emitteras från katoden genom folien; och J ett elektriskt ledande stödgaller (15) monterat i den*första kammaren (12) intill nämnda folie (2) samt anslutet till folien (2) och till höljet (12,13), vilket stödgaller (15) tjänar till att stödja folien (2).
SE8700017A 1984-04-02 1987-01-02 Jonplasmaelektronkanonanordning SE457758B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/596,093 US4694222A (en) 1984-04-02 1984-04-02 Ion plasma electron gun

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE8700017D0 SE8700017D0 (sv) 1987-01-02
SE8700017L SE8700017L (sv) 1988-07-03
SE457758B true SE457758B (sv) 1989-01-23

Family

ID=24385958

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8700017A SE457758B (sv) 1984-04-02 1987-01-02 Jonplasmaelektronkanonanordning

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4694222A (sv)
JP (1) JP2539207B2 (sv)
DE (1) DE3700775C2 (sv)
FR (1) FR2609840B1 (sv)
GB (1) GB2199691B (sv)
SE (1) SE457758B (sv)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6393881A (ja) * 1986-10-08 1988-04-25 Anelva Corp プラズマ処理装置
US4902897A (en) * 1986-10-13 1990-02-20 Seiko Epson Corporation Ion beam gun and ion beam exposure device
US4786844A (en) * 1987-03-30 1988-11-22 Rpc Industries Wire ion plasma gun
US4749911A (en) * 1987-03-30 1988-06-07 Rpc Industries Ion plasma electron gun with dose rate control via amplitude modulation of the plasma discharge
EP0398995B1 (de) 1988-04-08 1993-06-23 Siemens Aktiengesellschaft Plasma-röntgenröhre, insbesondere zur röntgen-vorionisierung von gaslasern, und verwendung als elektronenkanone
EP0336282B1 (de) * 1988-04-08 1992-06-10 Siemens Aktiengesellschaft Plasma-Röntgenröhre, insbesondere zur Röntgen-Vorionisierung von Gaslasern, Verfahren zur Erzeugung von Röntgenstrahlung mit einer solchen Röntgenröhre und Verwendung letzterer
US4910435A (en) * 1988-07-20 1990-03-20 American International Technologies, Inc. Remote ion source plasma electron gun
US5003178A (en) * 1988-11-14 1991-03-26 Electron Vision Corporation Large-area uniform electron source
US6407399B1 (en) * 1999-09-30 2002-06-18 Electron Vision Corporation Uniformity correction for large area electron source
US6496529B1 (en) 2000-11-15 2002-12-17 Ati Properties, Inc. Refining and casting apparatus and method
US8891583B2 (en) 2000-11-15 2014-11-18 Ati Properties, Inc. Refining and casting apparatus and method
US7803211B2 (en) * 2005-09-22 2010-09-28 Ati Properties, Inc. Method and apparatus for producing large diameter superalloy ingots
US7578960B2 (en) * 2005-09-22 2009-08-25 Ati Properties, Inc. Apparatus and method for clean, rapidly solidified alloys
US7803212B2 (en) 2005-09-22 2010-09-28 Ati Properties, Inc. Apparatus and method for clean, rapidly solidified alloys
SE529241C2 (sv) * 2005-10-26 2007-06-05 Tetra Laval Holdings & Finance Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle
BRPI0809581A2 (pt) * 2007-03-30 2019-03-12 Ati Properties Inc fornalha de fusão incluindo emissor de elétrons de plasma de íon descarregado por filamento
US8748773B2 (en) * 2007-03-30 2014-06-10 Ati Properties, Inc. Ion plasma electron emitters for a melting furnace
US7798199B2 (en) 2007-12-04 2010-09-21 Ati Properties, Inc. Casting apparatus and method
ATE554497T1 (de) 2008-01-11 2012-05-15 Excico Group N V Ionenquelle mit elektrischer entladung über glühfaden
WO2009112667A1 (fr) * 2008-01-11 2009-09-17 Excico Group Source d'ions à décharge électrique par filament
US8747956B2 (en) 2011-08-11 2014-06-10 Ati Properties, Inc. Processes, systems, and apparatus for forming products from atomized metals and alloys
DE102013111650B3 (de) * 2013-10-23 2015-02-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen
US10896771B2 (en) 2018-09-14 2021-01-19 Volt Holdings, LLC Power cable with an overmolded probe for power transfer to a non-thermal plasma generator and a method for constructing the overmolded probe

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3243570A (en) * 1963-04-30 1966-03-29 Gen Electric Automatic gas pressure control for electron beam apparatus
US3411035A (en) * 1966-05-31 1968-11-12 Gen Electric Multi-chamber hollow cathode low voltage electron beam apparatus
US3903891A (en) * 1968-01-12 1975-09-09 Hogle Kearns Int Method and apparatus for generating plasma
DE2246300A1 (de) * 1972-08-16 1974-02-28 Lonza Ag Plasmabrenner
US3863163A (en) * 1973-04-20 1975-01-28 Sherman R Farrell Broad beam electron gun
US3970892A (en) * 1975-05-19 1976-07-20 Hughes Aircraft Company Ion plasma electron gun
US4061944A (en) * 1975-06-25 1977-12-06 Avco Everett Research Laboratory, Inc. Electron beam window structure for broad area electron beam generators
DE2606169C2 (de) * 1976-02-17 1983-09-01 Polymer-Physik GmbH & Co KG, 2844 Lemförde Elektronenaustrittsfenster für eine Elektronenstrahlquelle
US4025818A (en) * 1976-04-20 1977-05-24 Hughes Aircraft Company Wire ion plasma electron gun
US4359667A (en) * 1980-11-10 1982-11-16 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Convectively cooled electrical grid structure
US4642522A (en) * 1984-06-18 1987-02-10 Hughes Aircraft Company Wire-ion-plasma electron gun employing auxiliary grid
FR2591035B1 (fr) * 1985-11-29 1988-02-26 Onera (Off Nat Aerospatiale) Canon a electrons operant par emission secondaire sous bombardement ionique

Also Published As

Publication number Publication date
FR2609840B1 (fr) 1995-06-23
GB2199691A (en) 1988-07-13
US4694222A (en) 1987-09-15
JPS63175324A (ja) 1988-07-19
JP2539207B2 (ja) 1996-10-02
SE8700017L (sv) 1988-07-03
DE3700775A1 (de) 1988-07-21
GB8700605D0 (en) 1987-02-18
SE8700017D0 (sv) 1987-01-02
FR2609840A1 (fr) 1988-07-22
GB2199691B (en) 1990-08-08
DE3700775C2 (de) 1998-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE457758B (sv) Jonplasmaelektronkanonanordning
US4061944A (en) Electron beam window structure for broad area electron beam generators
US4755722A (en) Ion plasma electron gun
US3970892A (en) Ion plasma electron gun
US4423355A (en) Ion generating apparatus
US3116433A (en) Production of neutral molecular beams
US3138729A (en) Ultra-soft X-ray source
US3218431A (en) Self-focusing electron beam apparatus
US3320475A (en) Nonthermionic hollow cathode electron beam apparatus
SE467990B (sv) Jonplasmaelektronkanon
EP0928495B1 (en) Ion source for generating ions of a gas or vapour
JPH01501353A (ja) 動電子放出装置
JP4829734B2 (ja) イオン移動度計およびイオン移動度計測方法
US20170221677A1 (en) Ion milling device and ion milling method
JP5340308B2 (ja) フィラメント放電イオン源
US3371238A (en) Neutron generator
US4163172A (en) Sliding spark source cold cathode electron gun and method
GB2049269A (en) Methods and devices for control of high currents particularly high current pulses
US4091306A (en) Area electron gun employing focused circular beams
CN217062011U (zh) 场发射电子源
US11330695B2 (en) Arrayed X-ray source and X-ray imaging apparatus
US3527937A (en) Electron bombardment type ion source for a mass spectrometer
US5003226A (en) Plasma cathode
SU692430A1 (ru) Электронна газоразр дна пушка
US3472755A (en) Cathodic sputtering apparatus wherein the electron source is positioned through the sputtering target

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 8700017-0

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8700017-0

Format of ref document f/p: F