SE529241C2 - Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle - Google Patents
Sensor samt system för avkänning av en elektronstråleInfo
- Publication number
- SE529241C2 SE529241C2 SE0502384A SE0502384A SE529241C2 SE 529241 C2 SE529241 C2 SE 529241C2 SE 0502384 A SE0502384 A SE 0502384A SE 0502384 A SE0502384 A SE 0502384A SE 529241 C2 SE529241 C2 SE 529241C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- electron beam
- sensor
- conductor
- target
- intensity
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 79
- 239000004020 conductor Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 3
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
- A61L2/00—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
- A61L2/02—Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor using physical phenomena
- A61L2/08—Radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B55/00—Preserving, protecting or purifying packages or package contents in association with packaging
- B65B55/02—Sterilising, e.g. of complete packages
- B65B55/04—Sterilising wrappers or receptacles prior to, or during, packaging
- B65B55/08—Sterilising wrappers or receptacles prior to, or during, packaging by irradiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B57/00—Automatic control, checking, warning, or safety devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/0046—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof characterised by a specific application or detail not covered by any other subgroup of G01R19/00
- G01R19/0061—Measuring currents of particle-beams, currents from electron multipliers, photocurrents, ion currents; Measuring in plasmas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/10—Irradiation devices with provision for relative movement of beam source and object to be irradiated
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
- H01J33/02—Details
- H01J33/04—Windows
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/16—Vessels
- H01J2237/164—Particle-permeable windows
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2446—Position sensitive detectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24495—Signal processing, e.g. mixing of two or more signals
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
20 25 30 35 529 2412 omgivande miljön. På grund av att vakuumbaserade sensor kan vara relativt stora är de placerade vid lägen utanför den direkta elektronstrålebanan för att undvika skuggning av målobjekt. Till exempel kan skuggning omöjliggöra korrekt bestrålning (och således korrekt sterilisering) av törpackningsmaterialet. Därför är dessa sensorer beroende av sekundär information från ett perifert område av strålen, eller information från sekundär bestrålning, för att åstadkomma en uppmätning.
Vid drift kommer de elektroner hos elektronstrålen som har tillräcklig energi att penetrera ett fönster, såsom ett titanfönster (Ti) hos vakuumkammaren och absorberas av ledaren. De absorberade elektronema etablerar en ström i ledaren.
Storleken hos denna ström utgör ett mått på antalet elektroner som penetrerar fönstret hos vakuumkammaren. Denna ström tillhandahåller ett mått på intensiteten hos elektronstrålen vid avkänningsläget.
En tidigare känd elektronstrålesensor som uppvisar en vakuumkammare med en skyddsbelåggning samt en elektrod som representerar en si gnaltråd inuti kammaren beskrivs i den publicerade amerikanska patentansökan nr US 2004/0119024. Kammarens väggar utnyttjas för att upprätthålla en vakuumvolym omkring elektroden. Vakuumkanimaren har ett fönster som exakt ligger i linje med elektroden för att avkänna elektronstrålens intensitet. Sensom är anpassad för placering, i ett läge i förhållande till ett rörligt objekt som bestrålas, mittemot elektronstrålegeneratorn för att avkänna sekundär bestrâlriing.
En liknande elektronstrålesensor beskrivs i den internationella patentpublikationen WO 2004/061890. Enligt en utföringsforrn av denna sensor utelämnas vakuumkamrnaren och elektroden är försedd med ett isoleringsskikt eller en film. Isoleringsskiktet är anordnat för att undvika effekterna från elektrostatiska fält och plasmaelektroner som alstras medelst elektronstrålen från att huvudsakligen påverka elektrodeffekten.
Den amerikanska patentskriften 6 657 212 beskriver en anordning för elektronstrålningsbehandling där en isoleringsfilm anordnas på en ledare, såsom en ledare av rostfritt stål, av en strömdetekteringsenhet som är placerad utanpå ett fönster bestående av ett elektronstrålerör. En strömuppmätningsenhet innefattar en strömmätare som uppmäter den avkända strömmen. Denna patentskrifi beskriver fördelarna hos en detektor som är belagd med keramik.
SAMMANFATTNING AV UPPFINNINGEN Ett ändamål hos föreliggande uppfinning har varit att åstadkomma en sensor för att avkänna en elektronstråle, varvid sensorn är liten och pålitlig. Detta ändamål 10 15 20 25 30 35 529 241 3 uppnås medelst en sensor för avkänning av intensiteten hos en elektronstråle som alstras medelst en elektronstrålegenerator längs med en bana mot ett mål inom ett målområde. Elektronstrålen avges från generatorn genom ett utgångsfönster. Sensom kännetecknas av att den innefattar en ledare samt ett isolerande hus. Vidare placeras ledaren i banan, exponerad mot utgångsfönstret. Det isolerande huset skyddar ledaren och nämnda hus är hopkopplat med utgångsiönstret för att bilda en kammare med nämnda utgångsfönster. Vidare placeras ledaren inom nämnda kammare. På så sätt uppnås en sensor som kan göras mycket liten. Med en liten sensor förhindras skuggning av målet. Vidare är sensom även mycket pålitlig, eftersom ledaren är direkt exponerad för elektronstrålen och effekten av plasma förhindras medelst det isolerande huset. Enbart ett försumbart och kontrollerat plasma föreligger inom i kammaren.
Sensom definieras vidare medelst bifogade beroende krav 2-l 1.
Föreliggande uppfinning avser även ett systern för avkänning av en elektronstråle varvid systemet innefattar ovan beskrivna sensor. Nämnda system innefattar vidare en elektronstrålegenerator som är anpassad för att alstra en elektronstråle längs en bana mot ett mål i ett målområde varvid elektronstrålen utrnatas från generatom genom ett utgångsfönster. Sensom är kopplad med nämnda utgångstönster för att avkänna och uppmäta elektronstrålens intensitet. Systemet innefattar vidare ett stöd för att stödja målet inom målområdet.
Systemet definieras vidare medelst bifogade beroende krav 13-19.
SAMMANFATTNING AV RITNINGSFIGURER En för närvarande töredragen utföringsform av föreliggande uppfinning kommer att beskrivas närmare i det följande, med hänvisning till bifogade ritningar där identiska hänvisningssiffror har utnyttj ats avseende liknande element och i vilka: Fig. l schematiskt visar ett exemplifierande system för bestrålning av ett mål i form av en bana medelst en elektronstråle, Fig. 2 schematiskt visar en genomskäming av en uttöringsforrn av en sensor enligt uppfinningen, Fi g. 3 schernatiskt visar en multisensorkonfigurering enligt uppfinningen, Fi g. 4A-4B schematiskt visar andra multisensorkonfigureringar, och Fig. 5 schematiskt visar ett exemplifierande system liknande systemet i Fig. l men för bestrålning av ett mål i form av en förpackning som är färdig att fyllas. 10 15 20 25 30 35 529 2414 BESKRIVNING AV FÖREDRAGNA UTFÖRINGSFORMER Fig. 1 visar ett exemplifierande system 2 för bestrålning av ett målområde 4 inom en elektronstråle 6 som avges längs en bana. Det exemplifierande systemet 2 innefattar avgivningsmedel, såsom en elektronstrålegenerator 8, för att avge en elektronstråle 6 längs med en bana. Systemet 2 innefattar även medel, såsom en sensor 10, för att detektera elektronstrålar 6. Således innefattar systemet 2 både en elektronstrålegenerator 8 och en sensor 10. Sensorn 10 är anordnad för att avkänna intensiteten hos elektronstrålen 6 som alstras medelst elektronstrålegeneratorn 8 längs med en bana som bestrålar målområdet 4. Elektronstrålegeneratorn 8 innefattar en vakuumkamrnare 12. Elektronstrålesensorn 10 är utformad och placerad på så sätt att den kan detektera och uppmåta intensiteten hos elektronstrålen 6 som avges från vakuumkammaren 12.
Ett stöd 14 är anordnat för att stödja ett mål 16 inom målområdet 4. I utföringsformen som visas i Fig. l utgörs målet av en bana av förpackningsmaterial 16 och stödet 14 för målet kan till exempel utgöras av en rulle för transport av banmaterial eller vilken som helst lämplig anordning hos en fórpackningsmaskin.
Vidare kan stödet 14 utnyttjas for att hålla målet 16 i målområdet 4 vid ett önskat uppmätningslåge i förhållande till sensorn 10 och generatorn 8.
Elektronstrålegeneratorn 8, som visas i Fig. 1, innefattar en högspånningsgenerator 18 som är lämplig fór att tillhandahålla tillräcklig spänning for att driva elektronstrålegeneratorn 8 för den önskade applikationen.
Elektronstrålegeneratom 8 innefattar även en glödtrådskraftkälla 20 vilken omvandlar kraft från högspärmingsgeneratom 18 till en lämplig ingångsspänning för en glödtråd 22 hos generatom 8. Dessutom innefattar högspänningsgeneratorn en gallerkontrollanordning 19 för att kontrollera ett galler 21.
Glödtråden 22 kan inrymmas i vakuumkarnmaren 12. I en exemplifierande utföringsform kan vakuurnkammaren 12 vara herrnetiskt tillsluten. I funktion avges elektroner (e') från glödtråden 22 längs med en elektronstrålebana 6 i en riktning mot målområdet 4.
Vidare är elektronstrålegeneratorn 8 försedd med ett elektronutgångsfönster 24. Utgångsfónstret 24 utnyttjas för att utsprida elektronstrålen 6 till en mer jårnn stråle, och för att fokusera elektronstrålen mot målområdet 4. Fönstret 24 kan tillverkas från en metallfolie, såsom exempelvis titan, och kan uppvisa en tjocklek i storleksordningen 4-12 um. Ett stödnät bildat av aluminium eller koppar stödjer folien från insidan av elektronstrålegeneratorn. 10 15 20 25 30 35 529 241 Sensorn 10, av vilken en exempliñerande utföringsfonn visas i Fig. 2, innefattar en ledare 26 som är forrnad som en exponerad sond eller som en komposit bestående av en käma och ett yttre ledande skikt. Enligt en utföringsform kan ledaren 26 vara en si gnaltråd av koppar eller rostfritt stål, eller vilken som helst annan lärnplig ledare 26. Till exempel kan det yttre ledande skiktet utgöras av ett inert ledande material såsom guld eller guldpläterat material. Tjockleken som väljs för ledaren 26 kan vara av vilken som helst lärnplig dimension. Till exempel kan en relativt liten ledare 26 utnyttjas. I en exemplifierande utföringsforrn kan diametern hos ledaren 26 vara av storleksordningen 0,3 millimeter (mm), eller mindre eller större enligt önskan. Om den är av en lämplig mindre dimension kan sensorn 10 placeras inom en direkt bana hos elektronstrålen 6, mellan glödtråden 22 och målområdet 4.
Vidare innefattar sensorn 10 ett isolerande hus 28 som kan tillverkas av vilket som helst isoleringsmaterial som kan motstå temperaturer i storleksordningen några hundra grader Celsius (upp till omkring 400 grader C). Exempel på sådana material är keramik, titanoxid och glas. Funktionen hos det isolerande huset 28 är att skydda ledaren 26 från plasma och sekundära elektroner. Med termen ”isolering” menas att huset 28 är elektriskt isolerande, med andra ord icke ledande.
Nämnda hus 28 är kopplat med utgångsfönstret 24 för att bilda en kammare 30 tillsammans med närrmda utgångsfönster 24. Utgångsfönstret 24 bildar den ena väggen av kammaren 30 och det isolerande huset 28 bildar den resterande väggen eller väggarna. Enligt en för närvarande föredragen utföringsforrn är huset 28 U- format och U-formens skänklar är kopplade till fönstret 24. Här innefattar termen ”kopplad” varje sätt som huset och utgångsfönstret kan relateras till varandra. De kan kopplas eller fästas till varandra på olika sätt, eller de kan hållas eller klämmas mot varandra. Huset 28 är kopplat med fönstret på sådant sätt att det är kopplat direkt med fönsterytan, med andra ord är det kopplat med folien.
Ledaren 26 är placerad inom nämnda kammare 30. Företrädesvis är ledaren 26 ej förbunden elleri kontakt med utgångsfönstret 24, men är i anliggning-mot eller kopplad till det isolerande huset 28. Naturligtvis vore det möjligt att stödja ledaren 26 så att det kan anordnas på avstånd från det isolerande huset 28. Det kommer dock fortfarande att behöva ligga på avstånd från utgångsfónstret 24 om fönsterytan tillverkas av ledande material.
Huset 28 kan tätas eller fórbindas med ytan hos utgångsfönsnet 24 medelst limförbindelse under utnyttj ande av, till exempel, ett bindemedel eller lirn som används i högtemperaturapplikationer, det vill säga som kan motstå temperaturen vid 10 15 20 25 30 35 529 2416 utgångsfönstret 24 när elektronstrålegeneratom 8 är i drift. Temperaturen är hög, vanligtvis i storleksordningen 300-400°C. Ett exempel på bindemedel som kan användas är organiska lim.
Ytan som befinner sig i kontakt med ytan hos utgångsfönstret behöver ej vara helt limmad. Det kan vara möjligt att limma på vissa isolerade punkter på kontaktytoma.
Enligt ytterligare en utfóringsfonn av uppfinningen hålls huset mot och kläms mot ytan hos utgångsfönstret medelst stöd i änden av huset.
I denna utforrrming kommer ledaren 26 att vara utsatt för elektronstrålen 6.
När den är utsatt för elektronstrålen 6 kan ledaren 26 uppfånga elektroner som kan registreras såsom en elektrisk ström som representerar en momentan uppmätning av elektronstråleintensiteten. Ledaren 26 kan utformas med relativt små dimensioner för att passa in i vilken som helst geometri. Typiskt har ledaren en diarneter i storleksordningen 0,1 -0,5 mm eller till och med mindre. Diametern hos sensorn blir i storleksordningen 0,5-l,5 mm.
I det följ ande kommer termen eller konceptet plasma eller sekundära elektroner att beskrivas. När en elektron (e') som har avgivits från glödtråden 22 enligt Fi g. 1 rör sig mot målområdet 4 kommer den att träffa luftmolekylerna längs med derma bana. De avgivna elektronerna kan ha tillräcklig energi för att jonisera gasen längs med denna bana och därigenom skapa ett plasma som innehåller joner och elektroner. Plasmaelektroner är sekundära elektroner, eller termiska elektroner, med låg energi jänrfört med elektronerna från elektronstrålen. Plasmaelektronema har slumpmässig vektorhastighet och kan endast röra sig ett avstånd vars längd är en liten bråkdel av den genomsnittliga fria banan för strålelektronema.
Det kommer att ñnnas ett plasma inuti kammaren 30 på grund av närvaron av luft i kammaren 30. Plasmat som befinner sig där kommer dock att vara av en kontrollerad, mindre storlek. Det är sålunda möjligt att kompensera för det i mätningarna och uträkningama.
Kammaren 30 är stängd och innesluter ledaren 26 helt åtminstone inom elektronstrålebanan. Sensom 10 kommer att sträcka sig längs med eller tvärs över utgångsfönstret 24 och vid ändarna kan huset 30 vara öppet till omgivningen. Längs med den delen av sensorn 10 som är utsatt för elektronstrålen 6 bör det dock företrädesvis vara stängt för att kunna fungera som ett riktigt plasmaskydd.
Som redan har nämnts kan elektroner som når sensorn 10 upptäckas och uppmätas. Till exempel kan en strömdetektor 32 anordnas för att upptäcka elektrisk ström i ledaren 26 medelst sensorn 10, som ett mått på elektronstråleintensiteten. En 10 15 20 25 30 35 529 241 utsignal från strömdetektom 32 kan matas till en kontrollanordning 34 som i sin tur kan fungera som ett sätt att justera intensiteten hos elektronstrålen 6 som svar på en utsignal hos sensorn 10. I de exemplifierande utföringsforrnema kan elektronstrålen 6 avges med en energi av till exempel mindre än 100 keV, exempelvis 60 till 80 keV.
Strömdetektorn 32 kan vara vilken anordning som helst som är lämplig för uppmätning av intensiteten hos elektronstrålen 6 antingen direkt eller indirekt. Till exempel kan strömdetektom 32 vara en voltrneter i kombination med ett motstånd, eller en arnperemätare, eller vilken annan som helst lämplig anordning.
Enligt en utföringsforrn innefattar sensom 10 en uppsättning ledare 26 med isolerande hus 28 för att avkänna intensiteten hos elektronstrålen vid vart och ett av ett flertal ställen inom elektronstrålebanan 6. Sensorn 10 kan sägas innefatta en uppsättning sensorer 10 i en galleranordning eller ett rutnät av sensorer kopplade till utgångsfönstret 24, se Fig. 3. Information från varje ledare 26 (till exempel signalarnplituder, signalskillnader/förhållanden, placeringen av ledare med mera) kan utnyttjas för att producera en korrekt karta över intensiteten hos avgivningen via en processor 36. Nätanordningen fungerar även som ett skydd för utgångsfönsnet 24 som är ömtåligt.
Dessutom enligt utföringsformen som visas i exemplifierande syfte i Fig. 3 kan sensor 10 med dess ledare 26 anordnas vinklade i förhållande till varandra och/eller vinklade i förhållande till en önskad transportriktning hos målet 16 i målområdet 4, och i ett plan som är anordnat tvärs elektronstrålebanan 6. En sådan konfigurering kan resultera i minimal skuggning av målet 16 som passerar under rutnätet. Till exempel, där ett målobjekt, såsom en förpackningsmaterialbana 16 passerar från en nedre del av bilden enligt Fig. 3 till en övre del av bilden kommer samtliga delar av förpackningsmaterialet 16 att bestrålas medelst elektronstrâlen 6 då materialet passerar. De vinklade sensorema 10 kommer att avkärma elektronstrålen vid ett flertal ställen tvärs över dess tvâdimensionella genomskäming, och därmed tillhandahålla en exakt kurva av elektronstråleintensiteten utan att påverka steriliseringsprocessen.
Fig. 4A och 4B visar exernplifierande utföringsformer av elektronstråleutgångsfönstret 24. Utgångsfönstret 24 kan utformas under utnyttjande av en folie som stöds av en elektrongenomskinlig konstruktion. Hålen 38 (av vilka endast ett fåtal visas i ritningen) hos stödkonstruktionen tillåter elektronstrålen 6 att passera från vakuumkammaren mot en sensor 10 i Fig. 4A. I Fig. 4B anordnas ett flertal sensorer på utgångsfönstret 24 i en symmetrisk anordning. Naturligtvis kan ett valfritt antal sådana sensorer 10 utnyttjas. 10 15 20 25 30 529 241 En sensor 10 liknande den som beskrivs ovan kan likaväl utnyttjas i samband med bestrålning av mål 16 i form av delvis fonnade förpackningar. Delvis formade förpackningar är vanligtvis öppna vid den ena änden och förslutna fór att bilda en botten eller toppdel i den andra änden och benämns vanligtvis förpackningar som är färdiga att fyllas (RTF förpackningar). I Fig. 5 visas schematiskt ett system 2' som innefattar en elektronstrålegenerator 8' för bestrålning av en förpackning 16' som är färdig att fyllas. Förpackningen 16' är öppen vid dess bottenände 40 och är försedd i den andra änden med ett toppdel 42 och en öppningsanordning 44. Under sterilisering placeras förpackningen 16' upp och nedvänd (med andra ord toppdelen 42 är placerad nedåt) i ett stöd (ej visad). Stödet kan vara i form av en bärare av en transportanordning som transporterar förpackningen 16' genom en steriliserings- kammare. Systemet 2' innefattar medel (ej visade) för att tillhandahålla en relativ rörelse (se pilen) mellan förpackningen 16' och elektronstrålegeneratom 8' för att föra dem till ett läge i vilket nämnda generator 8' är placerad åtminstone delvis i förpackningen 16' för att behandla densamma. Antingen sänks generatorn 8' neri förpackningen 16', eller så höjs förpackningen 16' för att omge generatorn 8', eller så rör sig var och en av dem mot varandra. En sensor l0', till exempel i form av sensorn som beskrivs med hänvisning till Fig. 2, är fäst vid ett utgångsfönster 24' hos generatom 8”.
Ehuru föreliggande uppfinning har beskrivits med hänvisning till för närvarande föredragna utföringsformer bör det förstås att diverse modifikationer och förändringar kan utföras utan att frångâ uppfinningens ändamål och det omfång som definieras i bifogade patentkraven. i Till exempel har det beskrivits att huset 28 är fäst vid utgångsfónstret 24 medelst ett bindemedel. Det bör förstås att huset kan fästas vid utgångsfönstret på alternativa sätt till exempel medelst skruvförband eller svetsning.
Ett U-forrnat hus 28 med en ledartråd 26 har beskrivits. Andra utföringsfonner är naturligtvis även möjliga. Till exempel kan huset utformas såsom en delsfär. Ledaren kan uppvisa vilket som helst annat tvärsnitt, såsom fyrkantig, kvadratisk eller oval.
Claims (19)
1. Sensor (10, l0') fór att avkänna intensiteten hos en elektronstråle (6, 6') som alstras av en elektronstrålegenerator (8, 8') längs med en bana mot ett mål (16, 16') inom ett målområde (4, 4'), varvid elektronstrålen utmatas från generatom (8, 8') genom ett utgångsfönster (24, 24'), kännetecknad därav att sensorn (10, 10°) innefattar en ledare (26) som är placerad inom banan och är exponerad för utgångsfónstret (24, 24'), och ett isolerande hus (28) för att skydda ledaren (26), varvid nämnda hus (28) är kopplat med utgångstönstret (24, 24') för bildande av en kammare (30) tillsammans med närrmda utgångsfönster (24, 24'), och att ledaren (26) är placerad inom nämnda kammare (30).
2. Sensor (10, 10') enligt patentkravet 1, kännetecknad därav att kammaren (3 O), åtminstone inom elektronstrålebanan, är sluten och helt inrymmer ledaren (26).
3. Sensor (10, l0') enligt patentkravet l, kännetecknad därav att den innefattar en strömdetektor (32) fór att detektera elektrisk ström i ledaren (26) som ett mått på elektronstrålens intensitet.
4. Sensor (10, 10') enligt patentkravet 1, kännetecknad därav att det isolerande huset (28) är fast vid utgångstönstret (24, 24') medelst ett bindemedel som är motståndskrafti gt mot hög temperatur.
5. Sensor (10, l0') enligt patentkravet l, kännetecknad därav att det isolerande huset (28) hålls fast mot och är fast vid utgångsfónstret (24, 24') medelst stöd i änden av huset (28).
6. Sensor (10, 10') enligt något av patentkraven 1-5, kännetecknad därav att ledaren (26) är i kontakt med det isolerande huset (28) men är förhindrad från att vara i kontakt med utgångsfónstret (24, 24').
7. Sensor (10, l0') enligt något av patentkraven l-6, kännetecknad därav att ledaren (26) är utformad med en kärna och en yttre, ledande beläggning. 10 15 20 25 30 35 529 2461
8. Sensor (10, 10') enligt något av patentkraven 1-7, kännetecknad därav att den innefattar en uppsättning ledare (26) med isolerande hus (28) för att detektera intensiteten hos elektronstrålen vid vart och ett av ett flertal ställen inom banan.
9. Sensor (l0°) enligt något av patentkraven 1-8, kännetecknad därav att målet (16”) utgörs av en förpackning, företrädesvis en förpackning som är färdig att fyllas.
10. Sensor (10) enligt något av patentkraven 1-8, kännetecknad därav att målet (16) utgörs av en bana av förpackningsmaterial.
11. Sensor (10) enligt patentkravet 10, kännetecknad därav att sensorn innefattar en uppsättning ledare (26) med isolerande hus (28) för att detektera intensiteten hos elektronstrålen vid vart och ett av ett flertal ställen inom banan, och att ledarna (26) är vinklade i förhållande till en önskad transportriktning hos banan (16) innanför ett målområde (4) och i ett plan tvärs banan.
12. System (2, 2') innefattande en sensor (10, l0') enligt patentkraven 1-11, varvid systemet (2) vidare innefattar en elektronstrålegenerator (8, 8') anpassad för att alstra en elektronstråle (6, 6') längs med en bana mot ett mål (16, 16') i ett målområde (4, 4*), varvid elektronstrålen (6, 6') utmatas från generatorn (8, 8') genom ett utgångsfónster (24, 24'), varvid sensom (10, 10') är kopplad med nämnda utgångsfönster (24, 24') för att detektera och uppmåta elektronstråleintensiteten, och systemet (2, 2') vidare innefattar ett stöd (14) för att stödja målet ( 16, 16') inom målområdet (4, 4').
13. System (2) enligt patentkravet 12, kännetecknat därav att målet (16) utgörs av en bana av förpackningsmaterial.
14. System (2) enligt patentkravet 13, kännetecknat därav att stödet ( 14) för att hålla målet (16) i målområdet (4) innefattar minst en rulle för transport av en förpackningsmaterialbana.
15. System (2') enligt patentkravet 12, kännetecknat därav att målet (l6') utgörs av en förpackning, företrädesvis en förpackning som är färdig att fyllas. 10 15 529 241 ll
16. System (2°) enligt patentkravet 15, kännetecknat därav att systemet (2”) innefattar medel för att tillhandahålla en relativ rörelse mellan förpackningen (1 6*) och elektronstrâlegeneratorn (8°) för att bringa desamma till ett läge i vilket nämnda generator (8') är placerad åtminstone delvis i förpackningen (16”) for att behandla densamma.
17. System (2, 2') enligt något av patentkraven 12-16, kännetecknat därav att det innefattar en elektronstrålekontrollanordning (34) för att justera intensiteten hos elektronstrålen (6, 6') som svar på en utgångssignal hos elektronstrålesensorn (10, 10').
18. System (2, 2') enligt något av patentkraven 12-17 , kännetecknat därav att det innefattar en strömdetektor (32) fór att detektera elektrisk ström i ledaren (26) hos sensorn (1 O, l0') som ett mått på elektronstråleintensiteten.
19. System (2, 2') enligt något av patentkraven 12-18, kännetecknat därav att det innefattar en sensor (10, 10') innefattande en uppsättning ledare (26) med isolerande hus (28) för att detektera intensiteten hos elektronstrålen (6, 6') vid vart och ett av ett flertal ställen inom banan.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0502384A SE529241C2 (sv) | 2005-10-26 | 2005-10-26 | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
US11/542,232 US7560714B2 (en) | 2005-10-26 | 2006-10-04 | Sensor and system for sensing an electron beam |
RU2008120594/28A RU2390042C2 (ru) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | Сенсор и система для получения данных от электронного пучка |
BRPI0617232-6A BRPI0617232A2 (pt) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | sensor para sensorear uma intensidade de um feixe de elétrons, e, sistema |
CN200680039839XA CN101297220B (zh) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | 用于检测电子束的传感器和*** |
JP2008537637A JP4745399B2 (ja) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | 電子ビームを検出するセンサーおよびシステム |
PCT/SE2006/001160 WO2007050010A1 (en) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | Sensor and system for sensing an electron beam |
EP06799760.1A EP1943544A4 (en) | 2005-10-26 | 2006-10-13 | DETECTOR AND SYSTEM FOR DETECTING AN ELECTRON BEAM |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0502384A SE529241C2 (sv) | 2005-10-26 | 2005-10-26 | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE0502384L SE0502384L (sv) | 2007-04-27 |
SE529241C2 true SE529241C2 (sv) | 2007-06-05 |
Family
ID=38091658
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE0502384A SE529241C2 (sv) | 2005-10-26 | 2005-10-26 | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7560714B2 (sv) |
EP (1) | EP1943544A4 (sv) |
JP (1) | JP4745399B2 (sv) |
CN (1) | CN101297220B (sv) |
BR (1) | BRPI0617232A2 (sv) |
RU (1) | RU2390042C2 (sv) |
SE (1) | SE529241C2 (sv) |
WO (1) | WO2007050010A1 (sv) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE530019C2 (sv) * | 2006-06-14 | 2008-02-12 | Tetra Laval Holdings & Finance | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
US20100148065A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-06-17 | Baxter International Inc. | Electron beam sterilization monitoring system and method |
JP5560662B2 (ja) * | 2009-10-29 | 2014-07-30 | 澁谷工業株式会社 | 電子線殺菌装置 |
JP5528247B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2014-06-25 | サントリーホールディングス株式会社 | 電子線照射装置 |
DE102012103023A1 (de) | 2012-04-05 | 2013-10-10 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung einer Behältnissterilisation |
DE102012104753A1 (de) | 2012-06-01 | 2013-12-05 | Krones Ag | Vorrichtung zum Sterilisieren von Behältnissen mit Sterilisationsüberprüfung |
JP6005447B2 (ja) | 2012-08-31 | 2016-10-12 | 澁谷工業株式会社 | 電子線検出装置 |
EP2737909A1 (en) * | 2012-12-03 | 2014-06-04 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Device and method for irradiating packaging containers with electron beam |
WO2015128117A1 (en) * | 2014-02-26 | 2015-09-03 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Device and method for electron beam sterilization comprising temperature measurement device temperature correlated to radiation intensity |
US10222680B2 (en) | 2015-01-30 | 2019-03-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Webcam shutter |
US10782316B2 (en) | 2017-01-09 | 2020-09-22 | Delta Design, Inc. | Socket side thermal system |
WO2023278632A1 (en) | 2021-06-30 | 2023-01-05 | Delta Design, Inc. | Temperature control system including contactor assembly |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2616053A (en) * | 1945-11-07 | 1952-10-28 | Marshall G Holloway | Method and apparatus for measuring beam current |
US3056059A (en) * | 1958-08-30 | 1962-09-25 | Philips Corp | Beta ray detectors |
US4694222A (en) * | 1984-04-02 | 1987-09-15 | Rpc Industries | Ion plasma electron gun |
US4644167A (en) * | 1985-02-22 | 1987-02-17 | Duke Power Company | Radiation dose rate measuring device |
NL8503152A (nl) * | 1985-11-15 | 1987-06-01 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Dosismeter voor ioniserende straling. |
US5254911A (en) * | 1991-11-22 | 1993-10-19 | Energy Sciences Inc. | Parallel filament electron gun |
US5651047A (en) * | 1993-01-25 | 1997-07-22 | Cardiac Mariners, Incorporated | Maneuverable and locateable catheters |
US5557163A (en) * | 1994-07-22 | 1996-09-17 | American International Technologies, Inc. | Multiple window electron gun providing redundant scan paths for an electron beam |
SE507282C2 (sv) * | 1995-08-11 | 1998-05-04 | Tetra Laval Holdings & Finance | Sätt att sterilisera fyllfärdiga förpackningar samt användning av en elektronkanon vid sättet |
JPH1172600A (ja) * | 1997-08-28 | 1999-03-16 | Nissin High Voltage Co Ltd | 電子線照射装置 |
US6429444B1 (en) * | 1999-08-24 | 2002-08-06 | Steris Inc. | Real time monitoring of electron beam radiation dose |
TW464947B (en) * | 1999-11-29 | 2001-11-21 | Ushio Electric Inc | Measuring apparatus of electron beam quantity and processing apparatus of electron beam irradiation |
WO2002009775A2 (en) * | 2000-08-02 | 2002-02-07 | Sicel Technologies, Inc. | Evaluation of irradiated foods or other items with telemetric dosimeters and associated methods |
JP2003153985A (ja) | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 電子線照射装置の品質判定システム |
US6919570B2 (en) | 2002-12-19 | 2005-07-19 | Advanced Electron Beams, Inc. | Electron beam sensor |
SE525347C2 (sv) | 2003-06-19 | 2005-02-08 | Tetra Laval Holdings & Finance | Förfarande och anordning för bestrålning med elektroner |
SE526700C2 (sv) | 2003-06-19 | 2005-10-25 | Tetra Laval Holdings & Finance | Anordning och förfarande för sterilisering av en materialbana med elektronbestrålning |
SE0302024D0 (sv) | 2003-07-08 | 2003-07-08 | Tetra Laval Holdings & Finance | Device and method for sterilization |
-
2005
- 2005-10-26 SE SE0502384A patent/SE529241C2/sv not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-10-04 US US11/542,232 patent/US7560714B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-13 RU RU2008120594/28A patent/RU2390042C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2006-10-13 WO PCT/SE2006/001160 patent/WO2007050010A1/en active Application Filing
- 2006-10-13 JP JP2008537637A patent/JP4745399B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-10-13 EP EP06799760.1A patent/EP1943544A4/en not_active Withdrawn
- 2006-10-13 BR BRPI0617232-6A patent/BRPI0617232A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2006-10-13 CN CN200680039839XA patent/CN101297220B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101297220A (zh) | 2008-10-29 |
JP4745399B2 (ja) | 2011-08-10 |
BRPI0617232A2 (pt) | 2011-07-19 |
RU2008120594A (ru) | 2009-12-10 |
CN101297220B (zh) | 2012-07-18 |
US20070114433A1 (en) | 2007-05-24 |
SE0502384L (sv) | 2007-04-27 |
RU2390042C2 (ru) | 2010-05-20 |
EP1943544A4 (en) | 2016-11-09 |
US7560714B2 (en) | 2009-07-14 |
EP1943544A1 (en) | 2008-07-16 |
WO2007050010A1 (en) | 2007-05-03 |
JP2009512875A (ja) | 2009-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE529241C2 (sv) | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle | |
RU2407040C2 (ru) | Система обнаженных проводников и способ для считывания пучка электронов | |
US7592613B2 (en) | Sensor and system for sensing an electron beam | |
JP5268646B2 (ja) | 電子ビームの強度を感知するための多層検出器、方法および電子ビーム照射装置 | |
US20200355837A1 (en) | Silicon drift detection element, silicon drift detector, and radiation detection device | |
JP7153333B2 (ja) | ホールプローブ | |
JP6475556B2 (ja) | 放射線検出器及び放射線検出装置 | |
JP6803735B2 (ja) | 内面電子線滅菌設備 | |
JP2015076214A (ja) | 放射線管及び放射線検査装置 | |
JP2016206032A (ja) | 放射線検出装置及び放射線検出器 | |
WO2015125418A1 (en) | Electron beam irradiator and irradiation system with emission detection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |