RU98116457A

RU98116457A - FIELD ELECTRON EMITTER

Info

Publication number: RU98116457A
Application number: RU98116457/09A
Authority: RU
Inventors: С.К. Гордеев; А.И. Косарев; А.Н. Андронов; А.Я. Виноградов
Original assignee: Акционерное общество закрытого типа "Карбид"
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2000-04-20

Claims

1. Полевой эмиттер электронов, включающий два расположенных один на другом слоя углеродных материалов, отличающийся тем, что нижний слой выполнен из пористого углеродного материала, имеющего каркасное строение, с открытой пористостью 35-70 об. %, а верхний слой получен плазмохимическим осаждением в условиях емкостного разряда из смеси углеводорода или углеводородов с водородом.1. A field electron emitter comprising two layers of carbon materials arranged on top of one another, characterized in that the lower layer is made of a porous carbon material having a frame structure with an open porosity of 35-70 vol. %, and the upper layer was obtained by plasma-chemical deposition under conditions of capacitive discharge from a mixture of hydrocarbon or hydrocarbons with hydrogen.

2. Полевой эмиттер электронов по п. 1, отличающийся тем, что нижний слой выполнен из пористого углеродного материала, включающего алмазные частицы с размером менее 10 нм, связанные пироуглеродной матрицей. 2. The field electron emitter according to claim 1, characterized in that the lower layer is made of a porous carbon material including diamond particles with a size of less than 10 nm, bound by a pyrocarbon matrix.

3. Полевой эмиттер электронов по п.2, отличающийся тем, что в пористом углеродном материале отношение массы пироуглеродной матрицы к массе алмазных частиц составляет 0,08-0,50. 3. The field electron emitter according to claim 2, characterized in that in the porous carbon material, the ratio of the mass of the pyrocarbon matrix to the mass of diamond particles is 0.08-0.50.

4. Полевой эмиттер электронов по п. 1, отличающийся тем, что нижний слой выполнен из пористого углеродного материала, содержащего нанопоры размером 0,8-2,0 нм, объемное содержание которых составляет 20-50 об.%. 4. The field electron emitter according to claim 1, characterized in that the lower layer is made of a porous carbon material containing nanopores of 0.8-2.0 nm in size, the volume content of which is 20-50 vol.%.

5. Полевой эмиттер электронов по п.4, отличающийся тем, что нанопоры сформированы в пористом углеродном материале за счет вытравливания металла или неметалла из ковалентных или металлоподобных карбидов путем их обработки в атмосфере хлора при повышенных температурах. 5. The field electron emitter according to claim 4, characterized in that the nanopores are formed in a porous carbon material by etching a metal or non-metal from covalent or metal-like carbides by processing them in a chlorine atmosphere at elevated temperatures.

6. Полевой эмиттер электронов по п.1, отличающийся тем, что верхний слой осажден при частоте 12-100 МГц и температуре 200 - 400°С. 6. The field electron emitter according to claim 1, characterized in that the upper layer is deposited at a frequency of 12-100 MHz and a temperature of 200 - 400 ° C.

7. Полевой эмиттер электронов по п.6, отличающийся тем, что верхний слой осажден на предварительно активированную поверхность нижнего слоя. 7. The field electron emitter according to claim 6, characterized in that the upper layer is deposited on a previously activated surface of the lower layer.