RU97105370A - Устройство для проведения взрывного испарения - Google Patents
Устройство для проведения взрывного испаренияInfo
- Publication number
- RU97105370A RU97105370A RU97105370/02A RU97105370A RU97105370A RU 97105370 A RU97105370 A RU 97105370A RU 97105370/02 A RU97105370/02 A RU 97105370/02A RU 97105370 A RU97105370 A RU 97105370A RU 97105370 A RU97105370 A RU 97105370A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- intermediate layer
- pyrolytic
- graphite
- thickness
- explosive evaporation
- Prior art date
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 title claims 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N N#B Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N Boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N Silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910013379 TaC Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (4)
1. Устройство для проведения взрывного испарения металла, в условиях повторяющихся термических циклов, в частности испарительная лодочка, содержащая графитовый корпус, имеющий углубление, в которое помещается испаряемый материал, внешнее покрытие, состоящее из пиролитического нитрида бора, отличающееся тем, что между покрытием из пиролитического нитрида бора и графитовым корпусом расположен по крайней мере один промежуточный слой, выполненный из материала, выбранного из группы, содержащей пиролитический графит, карбид бора (В4С), карбид тантала и карбид кремния, при этом максимальная толщина слоя равна 0,0508 мм.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что промежуточный слой выполнен из пиролитического графита.
3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что промежуточный слой имеет толщину 0,00508 - 0,0508 мм.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что промежуточный слой выполнен из ряда тонких слоев, максимальная общая толщина которых равна 0,0508 мм.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US314,314 | 1994-09-28 | ||
| US08/314,314 US5495550A (en) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | Graphite flash evaporator having at least one intermediate layer and a pyrolytic boron nitride coating |
| US314314 | 1994-09-28 | ||
| PCT/US1995/011788 WO1996010100A1 (en) | 1994-09-28 | 1995-09-18 | Evaporator having multiple coating |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97105370A true RU97105370A (ru) | 1999-04-20 |
| RU2136778C1 RU2136778C1 (ru) | 1999-09-10 |
Family
ID=23219462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97105370/02A RU2136778C1 (ru) | 1994-09-28 | 1995-09-18 | Устройство для проведения взрывного испарения |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5495550A (ru) |
| JP (1) | JP3415625B2 (ru) |
| CN (1) | CN1046971C (ru) |
| DE (1) | DE19581905T1 (ru) |
| GB (1) | GB2313845B (ru) |
| RU (1) | RU2136778C1 (ru) |
| WO (1) | WO1996010100A1 (ru) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19607400C2 (de) * | 1996-02-28 | 1999-09-09 | Leybold Ag | Verdampferschiffchen für eine Vorrichtung zur Beschichtung von Substraten |
| JP3212522B2 (ja) * | 1996-12-27 | 2001-09-25 | 信越化学工業株式会社 | 分子線エピタキシー用熱分解窒化硼素るつぼ |
| US6555675B2 (en) | 2000-08-21 | 2003-04-29 | Inspire Pharmaceuticals, Inc. | Dinucleoside polyphosphate compositions and their therapuetic use as purinergic receptor agonists |
| CN1332061C (zh) * | 2000-12-14 | 2007-08-15 | 通用电气公司 | 闪蒸器皿 |
| DE102006001855A1 (de) * | 2006-01-13 | 2007-07-19 | Sintec Keramik Gmbh | Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers |
| US8512806B2 (en) * | 2008-08-12 | 2013-08-20 | Momentive Performance Materials Inc. | Large volume evaporation source |
| US9440163B2 (en) | 2011-09-14 | 2016-09-13 | Aquasource Technologies Corporation | System and method for water treatment |
| CN103088302B (zh) * | 2013-02-04 | 2015-05-13 | 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 | 一种氮化硼-石墨组合蒸发舟 |
| WO2021117498A1 (ja) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 信越化学工業株式会社 | 炭化タンタル被覆グラファイト部材及びその製造方法 |
| CN114394854B (zh) * | 2022-01-18 | 2023-03-24 | 辽宁航安型芯科技股份有限公司 | 一种基于废旧蒸发舟制备硅基陶瓷型芯隔离涂层的方法 |
| KR20240106512A (ko) * | 2022-12-29 | 2024-07-08 | 주식회사 티씨케이 | 탄화탄탈 복합재 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3537886A (en) * | 1964-09-22 | 1970-11-03 | Westinghouse Electric Corp | Flash evaporation of corrosive media |
| GB1169517A (en) * | 1966-09-30 | 1969-11-05 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Apparatus for the Vaporisation of Metals or Metalloids. |
| US4058579A (en) * | 1975-02-27 | 1977-11-15 | Union Carbide Corporation | Process for producing an improved boron nitride crucible |
| US4112290A (en) * | 1976-10-27 | 1978-09-05 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Evaporation vessel for use in vacuum evaporation |
| US4264803A (en) * | 1978-01-10 | 1981-04-28 | Union Carbide Corporation | Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization |
| US4446357A (en) * | 1981-10-30 | 1984-05-01 | Kennecott Corporation | Resistance-heated boat for metal vaporization |
| JPS6125193A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-04 | 株式会社 アスキ− | 表示制御装置 |
| JPH0686352B2 (ja) * | 1985-04-30 | 1994-11-02 | 京セラ株式会社 | 高純度半導体単結晶製造用ルツボ |
| US4773852A (en) * | 1985-06-11 | 1988-09-27 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Pyrolytic boron nitride crucible and method for producing the same |
| JPS62116981A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Ricoh Co Ltd | 電子写真装置 |
| JPH0688866B2 (ja) * | 1985-12-24 | 1994-11-09 | 京セラ株式会社 | 窒化ホウ素被覆ルツボおよびその製造方法 |
| JPS62176981A (ja) * | 1986-01-29 | 1987-08-03 | Kyocera Corp | 窒化ホウ素被覆ルツボ |
| CN1038129A (zh) * | 1988-05-31 | 1989-12-20 | 基也辅综合技术研究所 | 薄膜真空喷镀装置 |
| US5158750A (en) * | 1990-06-06 | 1992-10-27 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Boron nitride crucible |
| JPH05105523A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-04-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 熱分解窒化ほう素成形体の製造方法 |
| US5239612A (en) * | 1991-12-20 | 1993-08-24 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Method for resistance heating of metal using a pyrolytic boron nitride coated graphite boat |
| US5343022A (en) * | 1992-09-29 | 1994-08-30 | Advanced Ceramics Corporation | Pyrolytic boron nitride heating unit |
-
1994
- 1994-09-28 US US08/314,314 patent/US5495550A/en not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-09-18 WO PCT/US1995/011788 patent/WO1996010100A1/en active Application Filing
- 1995-09-18 GB GB9717224A patent/GB2313845B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-18 JP JP51184696A patent/JP3415625B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-18 RU RU97105370/02A patent/RU2136778C1/ru not_active IP Right Cessation
- 1995-09-18 DE DE19581905T patent/DE19581905T1/de not_active Withdrawn
- 1995-09-18 CN CN95196451A patent/CN1046971C/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU97105370A (ru) | Устройство для проведения взрывного испарения | |
| KR910007666A (ko) | 방탄재와 그 제조방법 | |
| CA2013478A1 (en) | Method of forming coatings containing amorphous silicon carbide | |
| CA2028836A1 (en) | Pressure sensor | |
| KR950034652A (ko) | 정전척 | |
| IL66784A0 (en) | System and method for depositing material on a substrate | |
| DE68923101D1 (de) | Aluminiumgegenstände mit verbesserter Korrosionsfestigkeit. | |
| CA2296971A1 (en) | Cutting tool made of al2o3-coated cbn-based sintered material | |
| CA2294953A1 (en) | Flexible abrasive body | |
| GB2313845A (en) | Evaporator having multiple coating | |
| RU97104924A (ru) | Устройство для проведения взрывного испарения | |
| AR006245A1 (es) | Una estructura de pelicula metalizada | |
| FR2419264A1 (fr) | Revetement protecteur ceramique pour elements, d'armes en particulier, soumis a des charges thermiques elevees | |
| JPS563117A (en) | Coated miniature drill made of hard alloy metal | |
| EP0333149A3 (en) | Ceramic composite and method of preparation thereof | |
| RU93035042A (ru) | Способ нанесения покрытия | |
| JPS5716162A (en) | Coated cutting tool | |
| KR890017767A (ko) | 탄화규소질 반응관 | |
| KR920701505A (ko) | 우수한 내마모성을 갖는 표면피복 경질부재 | |
| JPS56111680A (en) | Thermal head | |
| JPS5795823A (en) | Manufacture of boron sheet | |
| GB1594140A (en) | Surface hardening method | |
| Pivovarov et al. | Efficiency of the Ion-Plasma Nitriding of Mild Steel Using a Combination Cathode | |
| JPS57210972A (en) | Formation of film | |
| KR970027906A (ko) | 세라믹 코팅층을 포함하는 알루미늄 기지 복합재료의 브레이크 로터 |