RU96119431A - PLASMA ACCELERATOR - Google Patents

PLASMA ACCELERATOR

Info

Publication number
RU96119431A
RU96119431A RU96119431/25A RU96119431A RU96119431A RU 96119431 A RU96119431 A RU 96119431A RU 96119431/25 A RU96119431/25 A RU 96119431/25A RU 96119431 A RU96119431 A RU 96119431A RU 96119431 A RU96119431 A RU 96119431A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
plasma accelerator
accelerator according
channel
poles
magnetic
Prior art date
Application number
RU96119431/25A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2119275C1 (en
Inventor
Ю.М. Яшнов
Original Assignee
Баранов В.И.
Васин А.И.
Петросов В.А.
Ю.М. Яшнов
Filing date
Publication date
Application filed by Баранов В.И., Васин А.И., Петросов В.А., Ю.М. Яшнов filed Critical Баранов В.И.
Priority to RU96119431A priority Critical patent/RU2119275C1/en
Priority claimed from RU96119431A external-priority patent/RU2119275C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2119275C1 publication Critical patent/RU2119275C1/en
Publication of RU96119431A publication Critical patent/RU96119431A/en

Links

Claims (17)

1. Плазменный ускоритель с замкнутым дрейфом электронов, содержащий азимутально замкнутый канал для ионизации и ускорения рабочего тела, образованный в направлении оси ускорителя двумя соосными с ним стенками и открытый с одного конца, азимутально замкнутые анод и коллектор для подачи рабочего тела в канал, расположенные в нем у конца, противоположного открытому, по крайней мере один катод, размещенный вне канала у его открытого конца, магнитную систему, расположенную вне канала, содержащую азимутально замкнутые полюса, размещенные у стенок по разные стороны канала, источники магнитодвижущей силы, отличающийся тем, что магнитная система выполнена в виде не менее четырех полюсов, причем у каждой стенки размещено нечетное число полюсов с чередующейся в направлении оси ускорителя полярностью.1. Plasma accelerator with a closed electron drift, containing an azimuthally closed channel for ionization and acceleration of the working fluid, formed in the direction of the axis of the accelerator with two walls coaxial with it and open at one end, an azimuthally closed anode and collector for supplying the working fluid to the channel located in at the end opposite the open one, at least one cathode located outside the channel at its open end has a magnetic system located outside the channel containing azimuthally closed poles located at the night on opposite sides of the channel, sources of magnetomotive force, characterized in that the magnetic system is made in the form of at least four poles, and each wall has an odd number of poles with alternating polarity in the direction of the axis of the accelerator. 2. Плазменный ускоритель по п.1, отличающийся тем, что по крайней мере один из полюсов образован магнитопроводом. 2. The plasma accelerator according to claim 1, characterized in that at least one of the poles is formed by a magnetic circuit. 3. Плазменный ускоритель по п.1, отличающийся тем, что по крайней мере один из полюсов образован магнитным экраном. 3. The plasma accelerator according to claim 1, characterized in that at least one of the poles is formed by a magnetic screen. 4. Плазменный ускоритель по п.2, отличающийся тем, что магнитопровод выполнен из магнитомягкого материала. 4. The plasma accelerator according to claim 2, characterized in that the magnetic circuit is made of soft magnetic material. 5. Плазменный ускоритель по п.3, отличающийся тем, что магнитные экраны выполнены из магнитомягкого материала. 5. The plasma accelerator according to claim 3, characterized in that the magnetic screens are made of soft magnetic material. 6. Плазменный ускоритель по пп.2 и 4, отличающийся тем, что магнитопровод выполнен неоднородным по толщине. 6. The plasma accelerator according to claims 2 and 4, characterized in that the magnetic circuit is made inhomogeneous in thickness. 7. Плазменный ускоритель по пп.3 и 5, отличающийся тем, что магнитные экраны выполнены неоднородными по толщине. 7. The plasma accelerator according to claims 3 and 5, characterized in that the magnetic screens are made inhomogeneous in thickness. 8. Плазменный ускоритель по пп.1 - 7, отличающийся тем, что по крайней мере один источник магнитодвижущей силы выполнен в виде постоянного магнита. 8. The plasma accelerator according to claims 1 to 7, characterized in that at least one source of magnetomotive force is made in the form of a permanent magnet. 9. Плазменный ускоритель по пп.1 - 7, отличающийся тем, что по крайней мере один источник магнитодвижущей силы выполнен в виде катушки, соосной с осью ускорителя. 9. The plasma accelerator according to claims 1 to 7, characterized in that at least one source of magnetomotive force is made in the form of a coil coaxial with the axis of the accelerator. 10. Плазменный ускоритель по пп.1 - 9, отличающийся тем, что размещенные у разных стенок средние полюса расположены у открытого конца канала. 10. Plasma accelerator according to claims 1 to 9, characterized in that the middle poles located at different walls are located at the open end of the channel. 11. Плазменный ускоритель по пп.1 - 10, отличающийся тем, что размещенные у разных стенок средние полюса смещены вдоль оси ускорителя друг относительно друга на расстояние, меньшее полуширины канала. 11. The plasma accelerator according to claims 1 to 10, characterized in that the middle poles located at different walls are displaced along the axis of the accelerator relative to each other by a distance less than the channel half-width. 12. Плазменный ускоритель по пп.1 - 11, отличающийся тем, что расстояние вдоль оси ускорителя между близ лежащими у одной стенки полюсами не более полуширины канала. 12. Plasma accelerator according to claims 1 to 11, characterized in that the distance along the axis of the accelerator between the poles near the same wall lying on the same wall is not more than the channel half-width. 13. Плазменный ускоритель по пп.1 - 12, отличающийся тем, что по крайней мере на часть поверхности наиболее удаленных от анода двух полюсов у разных стенок канала нанесено покрытие с низким коэффициентом ионного распыления. 13. The plasma accelerator according to claims 1 to 12, characterized in that at least part of the surface of the two poles farthest from the anode at different channel walls is coated with a low ion sputtering coefficient. 14. Плазменный ускоритель по п.2, отличающийся тем, что магнитопровод выполнен по крайней мере с одной щелью, ориентированной по направлению магнитного потока в нем. 14. The plasma accelerator according to claim 2, characterized in that the magnetic circuit is made with at least one slot oriented in the direction of the magnetic flux in it. 15. Плазменный ускоритель по п.3, отличающийся тем, что по крайней мере один магнитный экран выполнен по крайней мере с одной щелью, ориентированной по направлению магнитного потока в нем. 15. The plasma accelerator according to claim 3, characterized in that at least one magnetic screen is made with at least one slit oriented in the direction of the magnetic flux in it. 16. Плазменный ускоритель по пп.1 - 15, отличающийся тем, что стенки канала выполнены из диэлектрика. 16. The plasma accelerator according to claims 1 to 15, characterized in that the channel walls are made of dielectric. 17. Плазменный ускоритель по пп.1 - 15, отличающийся тем, что стенки канала выполнены из токопроводящего материала. 17. The plasma accelerator according to claims 1 to 15, characterized in that the channel walls are made of conductive material.
RU96119431A 1996-09-27 1996-09-27 Plasma accelerator RU2119275C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96119431A RU2119275C1 (en) 1996-09-27 1996-09-27 Plasma accelerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96119431A RU2119275C1 (en) 1996-09-27 1996-09-27 Plasma accelerator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2119275C1 RU2119275C1 (en) 1998-09-20
RU96119431A true RU96119431A (en) 1998-12-10

Family

ID=20186024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96119431A RU2119275C1 (en) 1996-09-27 1996-09-27 Plasma accelerator

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2119275C1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2474984C1 (en) * 2011-10-24 2013-02-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)" Plasma accelerator with closed electron drift
RU2517184C2 (en) * 2012-05-18 2014-05-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук Method for controlled collective acceleration of electron-ion bunches

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU96105557A (en) PLASMA ACCELERATOR
KR100228534B1 (en) Arrangement for generating a plasma by means of cathode sputtering
EP0054621B1 (en) High temperature ion beam source
US6224725B1 (en) Unbalanced magnetron sputtering with auxiliary cathode
CA2081005C (en) Plasma accelerator with closed electron drift
US4163151A (en) Separated ion source
US4404077A (en) Integrated sputtering apparatus and method
EP0334184A2 (en) Microwave ion source
JPS5926665B2 (en) Cathode device that turns target material into dust in cathode sputtering device
US4258266A (en) Ion implantation system
US20060197037A1 (en) Beam neutralization in low-energy high-current ribbon-beam implanters
JP2005527941A (en) Device for confining plasma in a volume
EP0447764A3 (en) Cathodic sputtering substrate coating device
US20100072061A1 (en) Sputtering apparatus for forming thin film
US4652795A (en) External plasma gun
GB2051877A (en) Magnetically Enhanced Sputtering Device and Method
CN111155067A (en) Magnetron sputtering equipment
US4542321A (en) Inverted magnetron ion source
SU1758086A1 (en) Apparatus for machining workpieces by ion beam
GB2387266A (en) Ion source with additional positive electrode
RU96119431A (en) PLASMA ACCELERATOR
RU2030134C1 (en) Plasma acceleration with closed electron drift
JPH0621041A (en) Planar magnetron sputter device
US3914637A (en) Method and apparatus for focusing an electron beam
EP0197668B1 (en) External plasma gun