RU93027542A - Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа
- Google Patents
Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа
Info
Publication number
RU93027542A
RU93027542ARU93027542/10ARU93027542ARU93027542ARU 93027542 ARU93027542 ARU 93027542ARU 93027542/10 ARU93027542/10 ARU 93027542/10ARU 93027542 ARU93027542 ARU 93027542ARU 93027542 ARU93027542 ARU 93027542A
Изобретение относится к устройствам для точного дистанционного позиционирования исследуемого объекта или зонда относительно друг друга и может быть использовано в приборах для локального анализа поверхности твердых тел, например в сканирующих туннельных микроскопах. Цель изобретения - устранение связанных с особенностями конструкции манипулятора ограничений диапазона перемещения держателя иглы с иглой вдоль оси Z, увеличение мощности и диапазона сканирования в плоскости X,Y. Манипулятор состоит из четырех закрепленных у основания и расположенных симметрично оси Z пьезокерамических биморфных пластин, имеющих на свободных концах прижимы, в которых установлен с возможностью перемещения держатель иглы. На свободном конце устройства с наружной стороны может располагаться кольцевая пружина. Перемещение держателя иглы вдоль оси Z осуществляется посредством одновременного удлинения всех пластин и поочередного возвращения их в исходное положение. Сканирование в плоскости (X,Y) осуществляется посредством изгиба противоположных пластин.
RU93027542/10A1993-05-21Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа
RU93027542A
(ru)