RU93027542A - Пьезоэлектрический манипулятор для сканирующего туннельного микроскопа - Google Patents

Claims (1)

1. Изобретение относится к устройствам для точного дистанционного позиционирования исследуемого объекта или зонда относительно друг друга и может быть использовано в приборах для локального анализа поверхности твердых тел, например в сканирующих туннельных микроскопах. Цель изобретения - устранение связанных с особенностями конструкции манипулятора ограничений диапазона перемещения держателя иглы с иглой вдоль оси Z, увеличение мощности и диапазона сканирования в плоскости X,Y. Манипулятор состоит из четырех закрепленных у основания и расположенных симметрично оси Z пьезокерамических биморфных пластин, имеющих на свободных концах прижимы, в которых установлен с возможностью перемещения держатель иглы. На свободном конце устройства с наружной стороны может располагаться кольцевая пружина. Перемещение держателя иглы вдоль оси Z осуществляется посредством одновременного удлинения всех пластин и поочередного возвращения их в исходное положение. Сканирование в плоскости (X,Y) осуществляется посредством изгиба противоположных пластин.