RU2780035C1 - Method for manufacturing pyrotechnic resistors - Google Patents
Method for manufacturing pyrotechnic resistors Download PDFInfo
- Publication number
- RU2780035C1 RU2780035C1 RU2021129172A RU2021129172A RU2780035C1 RU 2780035 C1 RU2780035 C1 RU 2780035C1 RU 2021129172 A RU2021129172 A RU 2021129172A RU 2021129172 A RU2021129172 A RU 2021129172A RU 2780035 C1 RU2780035 C1 RU 2780035C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pyrotechnic
- resistive
- titanium
- resistors
- contacts
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- -1 aluminum-titanium Chemical compound 0.000 claims description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical class [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000004870 electrical engineering Methods 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 6
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 4
- 230000000977 initiatory Effects 0.000 description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive Effects 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000005065 mining Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N Tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000001138 Tears Anatomy 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003721 gunpowder Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к средствам инициирования и может быть применено в средствах воспламенения пороховых и пиротехнических зарядов фейерверков и средств пожарной автоматики, в системах пассивной безопасности автомобилей, в качестве малогабаритного средства инициирования зарядов взрывчатого вещества ВВ промышленного назначения, используемым в горнорудной, угледобывающей и других отраслях промышленности, а также в военной отрасли.The invention relates to means of initiation and can be used in means of igniting gunpowder and pyrotechnic charges of fireworks and fire automatics, in passive safety systems of cars, as a small-sized means of initiating explosive charges of industrial explosives used in mining, coal mining and other industries, as well as in the military industry.
Из описания к патенту на изобретение №RU 2263872 C1 «Электрический инициатор» известна конструкция инициатора на диэлектрической подложке из стеклотекстолита с проволочными выводами, где инициатором служит проволочная перемычка из нихрома (классическая реализация инициаторов). Конструкция интересна в части наличия диэлектрической подложки-основания, однако имеет ряд недостатков. Основные из них - это большие габариты, невозможность изготовления по групповой технологии из-за наличия выводов, а также невозможность автоматизированного поверхностного монтажа. Конструкция инициатора содержит заряд ВВ со связующим, настроенного на определенный вид взрывных работ.Рассматриваемые пиротехнические резисторы имеют широкий ряд параметров энергии поджига и могут быть использованы с различными инициирующими ВВ (праймерами).From the description of the patent for invention No. RU 2263872 C1 "Electrical initiator", the design of the initiator on a dielectric substrate made of fiberglass with wire leads is known, where the initiator is a nichrome wire jumper (classical implementation of initiators). The design is interesting in terms of the presence of a dielectric substrate-base, but it has a number of disadvantages. The main ones are large dimensions, the impossibility of manufacturing by group technology due to the presence of leads, as well as the impossibility of automated surface mounting. The design of the initiator contains an explosive charge with a binder tuned for a certain type of blasting. The pyrotechnic resistors under consideration have a wide range of ignition energy parameters and can be used with various initiating explosives (primers).
В патенте на изобретение №RU 2563006 C2 «Электровоспламенитель» описан электровоспламенитель, в котором применен мостик накаливания, представляющий резистивный слой с поперечной прорезью, нанесенный на диэлектрическую пластинку и изготовленный по групповой технологии производства чип-резисторов. Изобретение направлено на достижение безопасных тока и мощности не менее 1 А и 1 Вт соответственно, что важно в условиях применения при наличии блуждающих токов. При этом описанный мостик обладает такими недостатками, как недостаточное быстродействие 300-900 мкс при подаче тока 4 А, что связано с использованием толстого резистивного слоя (30 мкм), требующего больших тепловых потерь на его прогрев, а также с рассредоточенностью теплового поля в области прорези резистивного слоя.In the patent for invention No. RU 2563006 C2 "Electric igniter", an electric igniter is described, in which an incandescent bridge is used, which is a resistive layer with a transverse slot deposited on a dielectric plate and manufactured using a group technology for the production of chip resistors. The invention is aimed at achieving a safe current and power of at least 1 A and 1 W, respectively, which is important in terms of application in the presence of stray currents. At the same time, the described bridge has such disadvantages as insufficient speed of 300-900 μs when a current of 4 A is applied, which is associated with the use of a thick resistive layer (30 μm), which requires large heat losses for its heating, as well as with the dispersion of the thermal field in the region of the slot resistive layer.
В патенте на изобретение №US 6324979 B1 «Electro-pyrotechnic initiator» описан электропиротехнический инициатор, особенностями которого являются преимущества перед инициаторами предыдущего уровня техники - возможность запускаться от заряда керамического конденсатора; независимость параметров воспламенения от подложки закрепления резистивного элемента; не требуется заряд праймера; требуется меньшая энергия на зажигание, либо при той же энергии достигается более высокая температура. Активная область инициатора выполнена в виде полоски резистивной фольги (по сравнению с мостиковыми инициаторами предыдущего уровня техники, выполненными из проволоки). За счет этого снижена энергия активации, повышена надежность (фольга приклеена к подложке, ее труднее сорвать при прессовании ВВ в сравнении с проволочными мостиками).In the patent for invention No. US 6324979 B1 "Electro-pyrotechnic initiator" describes an electro-pyrotechnic initiator, the features of which are the advantages over the initiators of the prior art - the ability to start from the charge of a ceramic capacitor; independence of the ignition parameters from the substrate of the fastening of the resistive element; no primer charge required; less ignition energy is required, or a higher temperature is reached with the same energy. The active region of the initiator is made in the form of a strip of resistive foil (compared to prior art bridging initiators made of wire). Due to this, the activation energy is reduced, the reliability is increased (the foil is glued to the substrate, it is more difficult to tear it off when pressing the explosive in comparison with wire bridges).
На данный момент предпочтительно использование пленочных резистивных элементов, нанесенных на подложку, например, методом вакуумного напыления.At the moment, it is preferable to use film resistive elements deposited on the substrate, for example, by vacuum deposition.
В технической документации фирмы Vishay на тонкопленочный электропиротехнический инициатор EPIC [https://www.vishay.com/docs/53041/epic.pdf] описано техническое решение, реализованное на основе технологии тонклопленочных чип-резисторов. Материалом активной центральной суженной области является нитрид тантала Ta2N. Контакты выполнены из слоев никеля и золота (или оловянно-серебрянного припоя). Технология изготовления описанного электропиротехнического инициатора является наиболее близким аналогом и выбрана за прототип.The Vishay technical documentation for the EPIC thin-film electropyrotechnical initiator [https://www.vishay.com/docs/53041/epic.pdf] describes a technical solution based on thin-film chip resistor technology. The material of the active central narrowed region is tantalum nitride Ta 2 N. The contacts are made of layers of nickel and gold (or tin-silver solder). The manufacturing technology of the described electropyrotechnical initiator is the closest analogue and is chosen as a prototype.
Задача, на решение которой направлено предлагаемое техническое решение, заключается в создании малогабаритных пленочных резистивных мостиков накаливания повышенной надежности для поверхностного автоматизированного монтажа и изготавливаемых по групповой технологии для применения в электропиротехнических инициаторах.The task to be solved by the proposed technical solution is to create small-sized film resistive incandescent bridges of increased reliability for surface automated mounting and manufactured using batch technology for use in electropyrotechnical initiators.
Технический результат - оптимизация (унификация) технологии производства пиротехнических резисторов, улучшение повторяемости характеристик и повышение надежности пиротехнических резисторов.EFFECT: optimization (unification) of the production technology of pyrotechnic resistors, improvement of the repeatability of characteristics and increase in the reliability of pyrotechnic resistors.
Техническое решение, позволяющее достичь указанный технический результат, представляет собой пленочный аналог известных проволочных мостиков накаливания, выполненный посредством нанесения резистивного слоя на диэлектрическую пластинку и изготовленный по технологии тонкопленочных чип-резисторов.The technical solution that makes it possible to achieve the specified technical result is a film analogue of the known filament wire bridges, made by applying a resistive layer to a dielectric plate and manufactured using the technology of thin-film chip resistors.
Топология имеет существенные особенности в форме элементов с тупыми углами или в форме радиусных элементов в области переходов от планарных контактов к активной зоне. Преимущества элементов радиусной формы - исключение локальных перегревов из-за повышенной плотности тока, равномерное распределение энергии тепловыделения, улучшение повторяемости характеристик и увеличение надежности изделий.The topology has significant features in the form of elements with obtuse angles or in the form of radius elements in the region of transitions from planar contacts to the core. The advantages of radius-shaped elements are the exclusion of local overheating due to increased current density, uniform distribution of heat release energy, improved repeatability of characteristics and increased reliability of products.
Другой существенной особенностью является использование одного и того же материала в качестве материала как для формирования активной области, так и для формирования планарных контактных площадок пирорезистора. В качестве материала используют титан или алюмотитановый сплав, обладающие хорошими адгезионными свойствами к керамике и часто используемые в качестве адгезионных слоев для других металлов.Another significant feature is the use of the same material as the material for both the formation of the active region and the formation of planar contact pads of the pyroresistor. The material used is titanium or alumino-titanium alloy, which has good adhesive properties to ceramics and is often used as adhesive layers for other metals.
Применение титана в качестве резистивного слоя, являющегося активной областью пиротехнического резистора, функционирующей при повышенных локальных температурах перегрева, обусловлено стойкостью к окислению и взаимодействию с другими веществами при высокой температуре. В диапазоне температур поджига 200°С - 250°С многих вспомогательных инициирующих (праймеров) взрывчатых веществ (ВВ) - данный металл инертен. Материал обладает необходимым набором теплофизических свойств для обеспечения функционирования пироинициирующих устройств. Технологически формирование пленки титана - изготовление резистивного и контактного слоя - выполняют в едином цикле, что позволяет упростить и унифицировать технологию. Необходимую топологию активной области резистивного элемента и планарных контактов формируют единовременно, например, методом фотолитографии или безмасковой лазерной литографии. Монтажные охватывающие контакты так же формируют с использованием подслоя титана или алюмотитанового сплава с дополнительным слоем барьерного никеля 4 и слоем паяемого покрытия 5 (например, оловянно-свинцового или бессвинцового припоев, или золота).The use of titanium as a resistive layer, which is the active area of a pyrotechnic resistor operating at elevated local overheating temperatures, is due to its resistance to oxidation and interaction with other substances at high temperatures. In the ignition temperature range of 200°C - 250°C of many auxiliary initiating (primers) explosives (BB) - this metal is inert. The material has the necessary set of thermophysical properties to ensure the functioning of pyroinitiating devices. Technologically, the formation of a titanium film - the production of a resistive and contact layer - is performed in a single cycle, which makes it possible to simplify and unify the technology. The required topology of the active region of the resistive element and planar contacts is formed simultaneously, for example, by photolithography or maskless laser lithography. Mounting female contacts are also formed using a sublayer of titanium or aluminum-titanium alloy with an additional layer of
Для сосредоточения (концентрации) тепловой энергии при пропускании тока через активную область 2 используют резистивную пленку с топологией специальной формы, как показано, например, на Фиг.4, а и Фиг.4, б. При этом расширенные планарные контактные области 3 обеспечивают на порядок меньшее электрическое сопротивление, чем в активной области и, соответственно, меньшее и недостаточное для активации взрывчатого вещества тепловыделение. Переходы с элементами радиусной формы 6 от планарных контактов 3 к активной области 2, в сравнении с переходными элементами в форме тупых углов 9, исключают локальные перегревы из-за повышенной плотности тока и позволяют равномерно распределить энергию по площади активной области.To concentrate (concentrate) thermal energy when current is passed through the
Использование диэлектрической подложки с пониженной теплопроводностью и тонкой резистивной пленки (толщина порядка 0,5 - 2 мкм) при формировании резистивного слоя позволяет увеличить быстродействие пиротехнического резистора до 50 мкс. В зависимости от сочетания параметров - сопротивления, конфигурации и толщины пленки, материала диэлектрика - возможно получение необходимых параметров в широком диапазоне безопасных токов и токов активации.The use of a dielectric substrate with reduced thermal conductivity and a thin resistive film (thickness of the order of 0.5 - 2 μm) in the formation of the resistive layer makes it possible to increase the speed of the pyrotechnic resistor up to 50 μs. Depending on the combination of parameters - resistance, film configuration and thickness, dielectric material - it is possible to obtain the required parameters in a wide range of safe currents and activation currents.
Изобретение поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.
На фиг.1 показан общий вид изготавливаемого пиротехнического резистора.Figure 1 shows a General view of the manufactured pyrotechnic resistor.
На фиг.2 показаны вид сверху на пиротехнический резистор, полученный по способу-прототипу.Figure 2 shows a top view of the pyrotechnic resistor obtained by the prototype method.
На фиг.3 показаны поперечное и продольное (вид сверху) сечения пиротехнического резистора.Figure 3 shows the transverse and longitudinal (top view) sections of the pyrotechnic resistor.
На фиг.4 показаны частные случаи реализации активной области резистивных мостиков.Figure 4 shows particular cases of the implementation of the active region of the resistive bridges.
На фиг.5 показан пример установки пиротехнического резистора по месту.Figure 5 shows an example of installing a pyrotechnic resistor in place.
На чертежах проставлены следующие позиции:The following positions are indicated on the drawings:
1 - Диэлектрическая подложка;1 - Dielectric substrate;
2 - Активная область резистивного элемента;2 - Active area of the resistive element;
3 - Планарные контакты, образованные широкой зоной резистивного элемента;3 - Planar contacts formed by a wide area of the resistive element;
4 - Подслой охватывающего монтажного контакта (титан, никель);4 - Sublayer of female mounting contact (titanium, nickel);
5 - Паяемое покрытие охватывающего монтажного контакта;5 - Soldered coating of the female mounting contact;
6 - Радиусные переходы от активной области к планарным контактам;6 - Radial transitions from the active region to planar contacts;
7 - Монтажное основание пиропатрона;7 - Mounting base of the squib;
8 - Пиротехнический резистор.8 - Pyrotechnic resistor.
9 - Переходы от активной области к планарным контактам в форме тупых углов 9 (прототип).9 - Transitions from the active area to planar contacts in the form of obtuse corners 9 (prototype).
Планарные контакты 3 пиротехнического резистора 8 формируют в едином технологическом цикле с резистивным используя титан или алюмотитановый сплав.
Для сосредоточения (концентрации) тепловой энергии при пропускании тока через активную область 2 используют резистивную пленку с топологией специальной формы, как показано, например, на фиг.4а и фиг.4б. При этом расширенные планарные контактные области 3 обеспечивают на порядок меньшее электрическое сопротивление, чем в активной области и, соответственно, меньшее и недостаточное для активации взрывчатого вещества тепловыделение. Переходы с элементами радиусной формы 6 от планарных контактов 3, в сравнении с переходными элементами в форме тупых углов 9, к активной области 2 исключают локальные перегревы из-за повышенной плотности тока и позволяют равномерно распределить энергию по площади активной области.To concentrate (concentrate) thermal energy when current is passed through the
Использование диэлектрической подложки с пониженной теплопроводностью и тонкой резистивной пленки (толщина порядка 0,5 - 2 мкм) при формировании резистивного слоя позволяет увеличить быстродействие пиротехнического резистора до 50 мкс.В зависимости от сочетания параметров - сопротивления, конфигурации и толщины пленки, материала диэлектрика - возможно получение необходимых параметров в широком диапазоне безопасных токов и токов активации.The use of a dielectric substrate with reduced thermal conductivity and a thin resistive film (thickness of the order of 0.5 - 2 μm) when forming a resistive layer makes it possible to increase the speed of the pyrotechnic resistor up to 50 μs. Depending on the combination of parameters - resistance, configuration and thickness of the film, dielectric material - it is possible obtaining the necessary parameters in a wide range of safe currents and activation currents.
Один из вариантов реализации пиротехнического резистора включает технологическую подготовку подложки из ситалла (диэлектрического основания 1), на которую наносят тонкую пленку титана (титанового сплава) методом магнетронного ионно-плазменного напыления. Затем, методом безмасковой литографии, формируют топологию (Фиг.4, а) активных областей 2 и планарных контактов 3. Далее выполняют резку подложки на ряды. Затем формируют слой 4 из титана и никеля на областях монтажных контактов и торцевой поверхности ряда, методом магнетронного ионно-плазменного напыления. Затем поверх слоя 4 наносят слой 5 припоя методом горячего лужения и завершают технологический процесс резкой рядов на отдельные элементы - пиротехнические чип резисторы.One of the options for implementing a pyrotechnic resistor includes the technological preparation of a glass-ceramic substrate (dielectric base 1), on which a thin film of titanium (titanium alloy) is applied by magnetron ion-plasma sputtering. Then, by the method of maskless lithography, the topology is formed (Figure 4, a) of
При стандартных размерах элемента пиротехнического резистора 2×1,25 мм и топологии (Фиг.4, а) получены типовые параметры: сопротивление 2 - 10 Ом; ток активации более 0,8 А; время активации от 50 мкс; энергия активации от 50 мкДж.With standard dimensions of the
Claims (3)
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2780035C1 true RU2780035C1 (en) | 2022-09-19 |
Family
ID=
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6324979B1 (en) * | 1999-12-20 | 2001-12-04 | Vishay Intertechnology, Inc. | Electro-pyrotechnic initiator |
RU2263872C1 (en) * | 2004-09-17 | 2005-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Краснознаменец" | Electric initiator |
RU2544864C1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-03-20 | Валерий Анатольевич Васильев | Method of manufacturing of thin film nano- and microelectromechanical system of mechanical values transmitter |
RU2552630C1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-06-10 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "ЭРКОН" (ОАО "НПО "ЭРКОН") | Chip resistor manufacturing method |
RU2563006C2 (en) * | 2013-12-10 | 2015-09-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Electric igniter |
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6324979B1 (en) * | 1999-12-20 | 2001-12-04 | Vishay Intertechnology, Inc. | Electro-pyrotechnic initiator |
RU2263872C1 (en) * | 2004-09-17 | 2005-11-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Краснознаменец" | Electric initiator |
RU2544864C1 (en) * | 2013-11-27 | 2015-03-20 | Валерий Анатольевич Васильев | Method of manufacturing of thin film nano- and microelectromechanical system of mechanical values transmitter |
RU2563006C2 (en) * | 2013-12-10 | 2015-09-10 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Electric igniter |
RU2552630C1 (en) * | 2014-04-25 | 2015-06-10 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное объединение "ЭРКОН" (ОАО "НПО "ЭРКОН") | Chip resistor manufacturing method |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
И.А. КОРЖ и др."Разработка пиротехнических резисторов", Омский научно-исследовательский институт приборостроения, Омск, 2019, стр.375-379. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6991856B2 (en) | Methods of making and using freestanding reactive multilayer foils | |
US6863992B2 (en) | Composite reactive multilayer foil | |
EP1982967A2 (en) | Freestanding reactive multilayer foils | |
US9021954B2 (en) | Reactive conductors for increased efficiency of exploding foil initiators and other detonators | |
KR20000064313A (en) | Thin film bridge initiator and its manufacturing method | |
US20030164106A1 (en) | Bridge igniter | |
US20180050404A1 (en) | Method for forming a bonded joint | |
Pezous et al. | Fabrication, assembly and tests of a MEMS-based safe, arm and fire device | |
RU2780035C1 (en) | Method for manufacturing pyrotechnic resistors | |
CN104776759A (en) | Electro-explosive energy conversion element of energetic nanocomposite film integrated with SCB (Semiconductor Bridge) and Al/MxOy | |
US3906858A (en) | Miniature igniter | |
CA2253672C (en) | Semiconductor bridge device and method of making the same | |
AU2007215065A1 (en) | Delay elements, detonators containing the same and methods of making | |
US3447416A (en) | Electric initiator | |
CN112066817B (en) | Ignition resistor capable of enhancing firepower and manufacturing method thereof | |
CN109425266B (en) | Based on Al/MxOyInterdigital structure energy-exchanging element containing energy film | |
US2920569A (en) | Electrical pellet primer | |
RU2798415C1 (en) | Pyrotechnic energy igniter | |
CN202107644U (en) | Dielectric type Al / CuO composite film energetic electric ignition bridge and ignition bridge array | |
US5463954A (en) | Conductive polymer ignitors | |
KR100722721B1 (en) | Electro-explosive device with laminate bridge | |
US20190353467A1 (en) | Low cost chip slapper detonator | |
Nicollet et al. | AL/CUO SPUTTERED NANOTHERMITES AS NEW ENERGETIC THIN FILMS FOR TUNABLE IGNITION AND ACTUATIONS | |
RU2706037C1 (en) | Safe production of electric initiators | |
JP4282446B2 (en) | Explosive ignition device and manufacturing method thereof |