RU2743321C1 - Magnetometer on thin magnetic film - Google Patents
Magnetometer on thin magnetic film Download PDFInfo
- Publication number
- RU2743321C1 RU2743321C1 RU2020121274A RU2020121274A RU2743321C1 RU 2743321 C1 RU2743321 C1 RU 2743321C1 RU 2020121274 A RU2020121274 A RU 2020121274A RU 2020121274 A RU2020121274 A RU 2020121274A RU 2743321 C1 RU2743321 C1 RU 2743321C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- magnetic film
- thin magnetic
- thin
- magnetometer
- microwave
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно - предназначено для измерения величин и направлений слабых магнитных полей в широком диапазоне частот и может применяться в магнитометрии.The invention relates to measuring technology, and more specifically, is intended to measure the magnitudes and directions of weak magnetic fields in a wide frequency range and can be used in magnetometry.
Из современного уровня техники известен датчик слабых высокочастотных магнитных полей [Патент РФ №2536083, МПК G01R 33/05, G01R 33/24, опубл. 20.12.2014]. Датчик содержит диэлектрическую подложку, на верхней стороне которой нанесены полосковые проводники двух микрополосковых резонаторов, а на нижней стороне осаждена тонкая магнитная пленка, покрытая металлическим слоем, выполняющим роль экрана. Проводники резонаторов расположены под оптимальным углом друг к другу, обеспечивающим максимальный коэффициент преобразования датчика. Мощность СВЧ-генератора датчика подается на оба резонатора одновременно, а выходной сигнал датчика формируется двумя сигналами, снимаемыми одновременно с этих двух резонаторов. При этом полезные сигналы суммируются, а собственные шумы СВЧ-генератора - компенсируются.A sensor of weak high-frequency magnetic fields is known from the state of the art [RF Patent No. 2536083, IPC G01R 33/05, G01R 33/24, publ. 12/20/2014]. The sensor contains a dielectric substrate, on the upper side of which strip conductors of two microstrip resonators are applied, and on the lower side a thin magnetic film is deposited, covered with a metal layer that acts as a screen. The resonator conductors are located at an optimal angle to each other, providing the maximum conversion factor of the sensor. The power of the microwave generator of the sensor is fed to both resonators simultaneously, and the output signal of the sensor is formed by two signals taken simultaneously from these two resonators. In this case, useful signals are summed up, and the intrinsic noise of the microwave generator is compensated.
Наиболее близким аналогом по совокупности существенных признаков является малогабаритный высокочастотный магнитометр [Патент РФ №163174, G01R 33/05, опубл. 10.07.2016, (прототип)]. Магнитометр содержит печатную плату, на которой размещена подложка с нанесенными на ее поверхности полосковыми линями двух микропополосковых резонаторов. На нижней стороне подложки, обращенной к экрану печатной платы, осаждена тонкая магнитная пленка. Возбуждение СВЧ-резонаторов осуществляется экранированным СВЧ-генератором, выходной сигнал магнитометра формируется двумя амплитудными детекторами и операционными усилителями. Постоянное магнитное поле создается магнитной системой, состоящей из постоянных магнитов.The closest analogue in terms of a set of essential features is a small-sized high-frequency magnetometer [RF Patent No. 163174, G01R 33/05, publ. 07/10/2016, (prototype)]. The magnetometer contains a printed circuit board, on which a substrate is placed with strip lines of two microstrip resonators applied on its surface. A thin magnetic film is deposited on the underside of the substrate facing the PCB shield. The excitation of microwave resonators is carried out by a shielded microwave generator; the output signal of the magnetometer is formed by two amplitude detectors and operational amplifiers. A permanent magnetic field is created by a magnetic system consisting of permanent magnets.
Недостатком известной конструкции датчика слабых высокочастотных магнитных полей и недостатком конструкции-прототипа (малогабаритного высокочастотного магнитометра) является низкая чувствительность. Чувствительность известных конструкций датчиков пропорциональна объему магнитного материала тонкой пленки, расположенной внутри микрополосковых резонаторов. Однако увеличению объема тонкопленочного материала путем увеличения размеров пленки в этих устройствах препятствует снижение резонансной частоты микрополосковых резонаторов от оптимальной частоты.The disadvantage of the known design of the sensor for weak high-frequency magnetic fields and the disadvantage of the prototype design (small-sized high-frequency magnetometer) is low sensitivity. The sensitivity of the known sensor designs is proportional to the volume of the magnetic material of the thin film located inside the microstrip resonators. However, an increase in the volume of thin-film material by increasing the size of the film in these devices is prevented by a decrease in the resonant frequency of the microstrip resonators from the optimal frequency.
Техническим результатом заявленного технического решения является повышение чувствительности магнитометра на тонкой магнитной пленке.The technical result of the claimed technical solution is to increase the sensitivity of the magnetometer on a thin magnetic film.
Заявляемый технический результат достигается тем, что в магнитометре на тонкой магнитной пленке, содержащем печатную плату, с расположенным на ней СВЧ-генератором, нагрузкой которого являются СВЧ-резонаторы, тонкую магнитную пленку, амплитудные детекторы, подключенные к СВЧ-резонаторам, операционные усилители, магнитную систему, формирующую постоянное магнитное поле, новым является то, что тонкая магнитная пленка находится снаружи СВЧ-резонаторов, но в непосредственной близости над их индуктивными частями, которые выполнены в виде полосковых проводников на печатной плате, постоянное магнитное поле направлено вдоль оси трудного намагничивания тонкой магнитной пленки, а высокочастотное магнитное поле направлено под углом к оси легкого намагничивания, при этом направление максимальной чувствительности совпадает с направлением оси легкого намагничивания.The claimed technical result is achieved by the fact that in a magnetometer on a thin magnetic film containing a printed circuit board, with a microwave generator located on it, the load of which is microwave resonators, a thin magnetic film, amplitude detectors connected to microwave resonators, operational amplifiers, magnetic a system that forms a constant magnetic field, the new is that a thin magnetic film is located outside the microwave resonators, but in the immediate vicinity above their inductive parts, which are made in the form of strip conductors on a printed circuit board, a constant magnetic field is directed along the axis of difficult magnetization of a thin magnetic film, and the high-frequency magnetic field is directed at an angle to the easy magnetization axis, while the direction of maximum sensitivity coincides with the direction of the easy magnetization axis.
Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что заявляемое устройство отличается расположением тонкой магнитной пленки: в конструкции-прототипе тонкая магнитная пленка находится внутри СВЧ-резонаторов, тогда как в заявляемом устройстве тонкая магнитная пленка находится снаружи СВЧ-резонаторов, что дает возможность наращиванием числа резонаторов значительно увеличить площадь пленки, участвующей в формировании сигнала.Comparative analysis with the prototype shows that the claimed device is distinguished by the location of a thin magnetic film: in the prototype design, a thin magnetic film is located inside the microwave resonators, while in the claimed device, a thin magnetic film is located outside the microwave resonators, which makes it possible to increase the number of resonators significantly the area of the film involved in the formation of the signal.
Существенным отличием является то, что за счет размещения тонкой магнитной пленки снаружи СВЧ-резонаторов удается увеличить их количество с двух (как в конструкции-прототипе) до, например, восьми и более.A significant difference is that by placing a thin magnetic film outside the microwave resonators, it is possible to increase their number from two (as in the prototype design) to, for example, eight or more.
Следующим существенным отличием является реализация СВЧ-резонатора на печатной плате: индуктивная часть СВЧ-резонатора выполнена в виде полоскового проводника, что дает возможность сформировать массив резонаторов с близкими конструктивными параметрами (индуктивностью, углом к оси легкого намагничивания и др.).The next significant difference is the implementation of the microwave resonator on a printed circuit board: the inductive part of the microwave resonator is made in the form of a strip conductor, which makes it possible to form an array of resonators with similar design parameters (inductance, angle to the axis of easy magnetization, etc.).
Другим существенным отличием являются направления магнитных полей в заявляемом устройстве: постоянное магнитное поле направлено вдоль оси трудного намагничивания, а высокочастотное магнитное поле направлено под углом к оси легкого намагничивания тонкой магнитной пленки.Another significant difference is the direction of the magnetic fields in the claimed device: the constant magnetic field is directed along the axis of difficult magnetization, and the high-frequency magnetic field is directed at an angle to the axis of easy magnetization of the thin magnetic film.
Таким образом, перечисленные выше отличительные признаки от прототипа позволяют сделать вывод о том, что заявляемое техническое решение соответствует критерию «новизна».Thus, the above distinctive features from the prototype allow us to conclude that the claimed technical solution meets the criterion of "novelty".
Признаки, отличающие заявляемое техническое решение от прототипа, не выявлены в других технических решениях и, следовательно, обеспечивают заявляемому решению соответствие критерию «изобретательский уровень».The features that distinguish the claimed technical solution from the prototype are not identified in other technical solutions and, therefore, ensure the claimed solution meets the criterion "inventive step".
Данное изобретение поясняется чертежами. На фиг. 1 приведена функциональная схема магнитометра на тонкой магнитной пленке. На фиг. 2 показана ориентация магнитных полей в области размещения тонкой магнитной пленки. На фиг. 3 представлен пример реализации конструкции магнитометра на тонкой магнитной пленке, вид с верхней стороны, а на фиг. 4 - вид с нижней стороны. На фиг. 5 показан чертеж с разнесенными частями магнитометра на тонкой магнитной пленке.This invention is illustrated by drawings. FIG. 1 shows a functional diagram of a magnetometer on a thin magnetic film. FIG. 2 shows the orientation of the magnetic fields in the region of the placement of the magnetic thin film. FIG. 3 shows an example of an implementation of the design of a magnetometer on a thin magnetic film, top side view, and FIG. 4 is a bottom side view. FIG. 5 is an exploded drawing of a thin film magnetometer.
Магнитометр на тонкой магнитной пленке (фиг. 1) содержит СВЧ-генератор (1), выход которого подключен к усилителю мощности (2), нагруженному через согласующие конденсаторы (3) на четное число СВЧ-резонаторов (4), состоящих из подстроечных конденсаторов (5) и печатных полосковых индуктивностей (6). К каждому СВЧ-резонатору (4) подключены амплитудные детекторы (7), нагруженные на повторители (8). Выходы от амплитудных детекторов (7) первой половины резонаторов напрямую и выходы от амплитудных детекторов (7) второй половины резонаторов через инверторы (9) подключены к сумматорам (10). Выходные сигналы сумматоров (10) подключены на вход сумматора (11), выходной сигнал которого является выходным сигналом магнитометра на тонкой магнитной пленке. Повторители (8), инверторы (9), сумматоры (10) и (11) выполнены на основе операционных усилителей. Тонкая магнитная пленка (12) пермаллоя расположена в конструкции магнитометра таким образом (фиг. 2), что ось легкого намагничивания (ОЛН) магнитной пленки совпадает с направлением максимальной чувствительности к измеряемому полю НИЗМ и перпендикулярна направлению постоянного магнитного поля НСМ, т.е. направление поля НСМ совпадает с направлением оси трудного намагничивания (ОТН) магнитной пленки. В предлагаемом устройстве площадь тонкой магнитной пленки определяется размерами и количеством резонаторов, например, в описываемой конструкции используется тонкая магнитная пленка (12) на подложке размерами 60×48 мм. Существенно, что тонкая магнитная пленка (12) расположена не внутри СВЧ-резонаторов (4), как в конструкции-прототипе, а снаружи, что не создает ограничений на ее размеры. Под углами ±ϕ к оси легкого намагничивания печатными полосковыми индуктивностями (6) создается магнитное поле НВЧ. При этом первая половина СВЧ-резонаторов (4) имеет полосковые индуктивности (6), развернутые на угол |ϕ| в одну сторону, а вторая - в противоположную (фиг. 2). Радиоэлементы магнитометра на тонкой магнитной пленке размещены (фиг. 3) на верхней стороне печатной платы (13). На нижней стороне печатной платы размещены печатные полосковые индуктивности (6). Печатная плата (13) закреплена на основании (14), в котором предусмотрено место под тонкую магнитную пленку (12) и магнитную систему (15), создающую постоянное магнитное поле НСМ с помощью постоянных магнитов (16) (фиг. 4). Подложка расположена в основании (14) таким образом, что тонкая магнитная пленка (12) обращена к печатной плате (13) и, соответственно, к полосковым индуктивностям (6) СВЧ-резонаторов (4). В конструкции магнитометра на тонкой магнитной пленке заложена (фиг. 5) возможность вращения магнитной системы (15) для точной установки направления магнитного поля НСМ.The magnetometer on a thin magnetic film (Fig. 1) contains a microwave generator (1), the output of which is connected to a power amplifier (2), loaded through matching capacitors (3) to an even number of microwave resonators (4), consisting of tuning capacitors ( 5) and printed strip inductors (6). Amplitude detectors (7) loaded on repeaters (8) are connected to each microwave resonator (4). The outputs from the amplitude detectors (7) of the first half of the resonators are directly connected and the outputs from the amplitude detectors (7) of the second half of the resonators through the inverters (9) are connected to the adders (10). The output signals of the adders (10) are connected to the input of the adder (11), the output of which is the output of a magnetometer on a thin magnetic film. Repeaters (8), inverters (9), adders (10) and (11) are based on operational amplifiers. A thin magnetic film (12) of permalloy is located in the design of the magnetometer in such a way (Fig. 2) that the axis of easy magnetization (EA) of the magnetic film coincides with the direction of maximum sensitivity to the measured field H IZM and is perpendicular to the direction of the constant magnetic field H CM , i.e. ... the direction of the H CM field coincides with the direction of the hard magnetization axis (HHT) of the magnetic film. In the proposed device, the area of a thin magnetic film is determined by the size and number of resonators, for example, in the described design, a thin magnetic film (12) is used on a substrate with dimensions of 60 × 48 mm. It is essential that the thin magnetic film (12) is located not inside the microwave resonators (4), as in the prototype design, but outside, which does not create restrictions on its size. At angles ± ϕ to the axis of easy magnetization, printed strip inductors (6) create a HF magnetic field. In this case, the first half of the microwave resonators (4) has strip inductances (6) rotated through the angle | ϕ | in one direction, and the second in the opposite direction (Fig. 2). Radioelements of the magnetometer on a thin magnetic film are placed (Fig. 3) on the upper side of the printed circuit board (13). On the underside of the PCB are printed strip inductors (6). The printed circuit board (13) is fixed on the base (14), which provides a place for a thin magnetic film (12) and a magnetic system (15) that creates a constant magnetic field H CM using permanent magnets (16) (Fig. 4). The substrate is located in the base (14) in such a way that the thin magnetic film (12) faces the printed circuit board (13) and, accordingly, to the strip inductances (6) of the microwave resonators (4). In the design of the magnetometer on a thin magnetic film (Fig. 5), the possibility of rotation of the magnetic system (15) is incorporated to accurately set the direction of the magnetic field H CM .
Магнитометр на тонкой магнитной пленке работает следующим образом (фиг. 1). СВЧ-генератор (1) формирует СВЧ-сигнал в диапазоне частот 400-800 МГц [Беляев Б. А., Боев Н. М., Изотов А. В., Соловьев П. Н., Тюрнев В. В. Исследование датчика слабых магнитных полей на резонансной микрополосковой структуре с тонкой ферромагнитной пленкой. // Известия высших учебных заведений: Физика. 2018. Т. 61, №8. С. 3-10], поступающий на усилитель мощности (2), а затем через согласующие конденсаторы (3) на СВЧ-резонаторы (4). С помощью подстроечных конденсаторов (5) все СВЧ-резонаторы (4) настраиваются на одну резонансную частоту, равную частоте СВЧ-генератора (1). Печатные полосковые индуктивности (6) формируют переменное магнитное поле НВЧ, направленное (фиг. 2) под углом +ϕ° для первой половины СВЧ-резонаторов (4) и -ϕ° для второй половины СВЧ-резонаторов (4) к оси легкого намагничивания (ОЛН) тонкой магнитной пленки (12). Амплитудные детекторы (7) выделяют (фиг. 1) огибающие сигналов на СВЧ-резонаторах (4). Под воздействием измеряемого магнитного поля НИЗМ происходит изменение величины потерь, вносимых тонкой магнитной пленкой (12) в СВЧ-резонаторы (4), что отражается в изменении амплитуды СВЧ-колебаний, детектируемых амплитудными детекторами (7). Выходные сигналы с амплитудных детекторов (7) поступают на повторители (8), а затем на сумматоры (10), причем сигналы второй половины СВЧ-резонаторов (4) предварительно инвертируются с помощью инверторов (9). В результате на выходах сумматоров (10) удается компенсировать постоянную составляющую сигнала, не несущую полезной информации, и удвоить амплитуду полезного сигнала [Патент РФ №2536083, МПК G01R 33/05, G01R 33/24, опубл. 20.12.2014]. Выходные сигналы сумматоров (10) суммируются с использованием сумматора (11), выходной сигнал которого является выходным сигналом магнитометра на тонкой магнитной пленке.A thin magnetic film magnetometer operates as follows (Fig. 1). The microwave generator (1) generates a microwave signal in the frequency range 400-800 MHz [Belyaev B. A., Boev N. M., Izotov A. V., Soloviev P. N., Tyurnev V. V. Research of the weak sensor magnetic fields on a resonant microstrip structure with a thin ferromagnetic film. // Bulletin of higher educational institutions: Physics. 2018.Vol. 61, No. 8. S. 3-10], supplied to a power amplifier (2), and then through matching capacitors (3) to microwave resonators (4). With the help of tuning capacitors (5), all microwave resonators (4) are tuned to one resonant frequency equal to the frequency of the microwave generator (1). Printed strip inductances (6) form an alternating magnetic field H HF directed (Fig. 2) at an angle of + ϕ ° for the first half of the microwave resonators (4) and -ϕ ° for the second half of the microwave resonators (4) to the axis of easy magnetization (OLN) of a thin magnetic film (12). Amplitude detectors (7) select (Fig. 1) the envelopes of the signals on the microwave resonators (4). Under the influence of the measured magnetic field H ISM, there is a change in the amount of losses introduced by a thin magnetic film (12) into the microwave resonators (4), which is reflected in the change in the amplitude of the microwave oscillations detected by the amplitude detectors (7). The output signals from the amplitude detectors (7) are fed to the repeaters (8), and then to the adders (10), and the signals of the second half of the microwave resonators (4) are pre-inverted using inverters (9). As a result, at the outputs of the adders (10), it is possible to compensate for the constant component of the signal, which does not carry useful information, and to double the amplitude of the useful signal [RF Patent No. 2536083, IPC G01R 33/05, G01R 33/24, publ. 12/20/2014]. The outputs of the adders (10) are summed using an adder (11), the output of which is the output of a thin magnetic film magnetometer.
Экспериментальные исследования заявляемого магнитометра на тонкой магнитной пленке показали, что, по сравнению с прототипом, заявляемое устройство обладает более высокой чувствительностью, что обеспечивается, в первую очередь, значительным увеличением рабочего объема тонкопленочного магнитного материала, участвующего в формировании сигнала.Experimental studies of the inventive magnetometer on a thin magnetic film showed that, in comparison with the prototype, the inventive device has a higher sensitivity, which is ensured, first of all, by a significant increase in the working volume of the thin-film magnetic material involved in signal generation.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020121274A RU2743321C1 (en) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | Magnetometer on thin magnetic film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020121274A RU2743321C1 (en) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | Magnetometer on thin magnetic film |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2743321C1 true RU2743321C1 (en) | 2021-02-17 |
Family
ID=74666219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020121274A RU2743321C1 (en) | 2020-06-22 | 2020-06-22 | Magnetometer on thin magnetic film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2743321C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2793577C1 (en) * | 2022-12-21 | 2023-04-04 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Device for measuring noise of thin magnetic films in the microwave range |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4112367A (en) * | 1976-06-18 | 1978-09-05 | Thomson-Csf | Magnetomer using a thin magnetic film optical waveguide with a.c. modulation and automatic nulling |
| SU945835A1 (en) * | 1980-12-12 | 1982-07-23 | Предприятие П/Я Г-4956 | Magnetometer |
| RU163174U1 (en) * | 2015-10-19 | 2016-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук | SMALL HIGH FREQUENCY MAGNETOMETER |
| RU2687557C1 (en) * | 2018-05-17 | 2019-05-15 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Thin-film gradiometer |
-
2020
- 2020-06-22 RU RU2020121274A patent/RU2743321C1/en active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4112367A (en) * | 1976-06-18 | 1978-09-05 | Thomson-Csf | Magnetomer using a thin magnetic film optical waveguide with a.c. modulation and automatic nulling |
| SU945835A1 (en) * | 1980-12-12 | 1982-07-23 | Предприятие П/Я Г-4956 | Magnetometer |
| RU163174U1 (en) * | 2015-10-19 | 2016-07-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук | SMALL HIGH FREQUENCY MAGNETOMETER |
| RU2687557C1 (en) * | 2018-05-17 | 2019-05-15 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Thin-film gradiometer |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2793577C1 (en) * | 2022-12-21 | 2023-04-04 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" | Device for measuring noise of thin magnetic films in the microwave range |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7595650B2 (en) | Magnetic field probe apparatus and a method for measuring magnetic field | |
| US7772856B2 (en) | Electromagnetic wave generation source searching method and current probe used therefor | |
| RU163174U1 (en) | SMALL HIGH FREQUENCY MAGNETOMETER | |
| US7479864B2 (en) | Total fluid conductivity sensor system and method | |
| RU2682076C1 (en) | Sensor of weak magnetic fields | |
| US10323959B2 (en) | Inductive position detector | |
| JPH118095A (en) | Device for sensing rf-current to be supplied to plasma and waveform sampling therefor | |
| CN101275992A (en) | Magnetic substance detection sensor and magnetic substance detecting apparatus | |
| CN102819001A (en) | Magnetic substance detection sensor and magnetic substance detecting apparatus | |
| EP0113736A1 (en) | A method and apparatus for determining the trace and depth of underground metallic conductors. | |
| US10056186B2 (en) | Methods and apparatus for collocating electromagnetic coils and electronic circuits | |
| Babitskii et al. | A magnetometer of weak quasi-stationary and high-frequency fields on resonator microstrip transducers with thin magnetic fields | |
| RU2743321C1 (en) | Magnetometer on thin magnetic film | |
| Chzhan et al. | A tunable reentrant resonator with transverse orientation of electric field forin vivoEPR spectroscopy | |
| RU2712926C1 (en) | Thin-film magnetic field of weak magnetic fields | |
| Wang et al. | New resonant probes with high detection sensitivity and measurement characteristic of two orthogonal magnetic-field components | |
| JP3559158B2 (en) | Electromagnetic noise measuring device and electromagnetic noise measuring method using near magnetic field probe | |
| Yabukami et al. | Coplanar line thin film sensor and measurement of MCG without magnetic shielding | |
| RU2706436C1 (en) | Sensitive element of thin-film magnetometer | |
| RU2712922C1 (en) | Thin-film magnetic antenna | |
| RU2687557C1 (en) | Thin-film gradiometer | |
| RU2816554C1 (en) | Broadband sensor of weak magnetic fields | |
| RU2758817C1 (en) | Weak magnetic field sensor on thin magnetic films | |
| RU2189585C2 (en) | Eddy-current pickup | |
| JP2014116812A (en) | Surgical instrument position detection system and transmission antenna |