RU2708530C1 - Scanning microscope probe - Google Patents
Scanning microscope probe Download PDFInfo
- Publication number
- RU2708530C1 RU2708530C1 RU2019110789A RU2019110789A RU2708530C1 RU 2708530 C1 RU2708530 C1 RU 2708530C1 RU 2019110789 A RU2019110789 A RU 2019110789A RU 2019110789 A RU2019110789 A RU 2019110789A RU 2708530 C1 RU2708530 C1 RU 2708530C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- needle
- console
- clamp
- probe
- elements
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/02—Probe holders
Abstract
Description
Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а именно к устройствам, обеспечивающим получение информации о топологии и других свойствах поверхности объекта, для изучения поверхности тел методом атомно-силовой микроскопии и нанотехнологии.The invention relates to scanning probe microscopy, and in particular to devices that provide information about the topology and other properties of the surface of an object, for studying the surface of bodies by atomic force microscopy and nanotechnology.
Зонд сканирующего микроскопа применяется в туннельной, атомно-силовой и других видах сканирующей зондовой микроскопии, а также в автономных системах измерения рельефа поверхностей путем сканирования их зондом, в устройствах диагностики и неразрушающего контроля неравномерности поверхностей, включая динамику их изменения с помощью известных методов, предназначенных для применения в микроскопии. The probe of a scanning microscope is used in tunneling, atomic force and other types of scanning probe microscopy, as well as in autonomous systems for measuring the surface topography by scanning them with a probe, in diagnostic devices and non-destructive testing of surface irregularities, including the dynamics of their change using known methods designed to applications in microscopy.
Известен зонд для сканирующей емкостной микроскопии, состоящий из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной, и имеющий проводящий слой, расположенный, по крайней мере, на поверхности зонда со стороны иглы. На поверхности зонда со стороны иглы установлен проводящий экран, отделенный от проводящего слоя первой диэлектрической прослойкой (RU № 2289862, G12В21/02, 2006.)A probe for scanning capacitive microscopy is known, consisting of a console with a needle attached at one end, mounted on the chip by the other side, and having a conductive layer located at least on the surface of the probe from the side of the needle. A conductive screen is installed on the surface of the probe from the needle side, separated from the conductive layer by the first dielectric layer (RU No. 2289862, G12B21 / 02, 2006.)
Недостатком данного устройства является функционально узкая область применения, ограниченная предназначением только для измерения емкости образцов, покрытых тонким слоем диэлектрика, и затруднена для использования в туннельной, атомно-силовой и других видов сканирующей зондовой микроскопии. The disadvantage of this device is the functionally narrow scope, limited only for measuring the capacitance of samples coated with a thin layer of dielectric, and is difficult to use in tunneling, atomic force and other types of scanning probe microscopy.
Известен зонд для сканирующего микроскопа, содержащий кварцевый резонатор с иглой, закрепленной на одном его конце, причем другой конец установлен на держателе-платформе (Franz J. Giessibl, High - speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz fork, Applied Physics Letters, 1998, Volume 73, No. 26, p. 3956-3958; Appl. Phys. Lett. 1999, Volume 74, p. 4070.)A known probe for a scanning microscope containing a quartz resonator with a needle fixed at one end thereof, the other end mounted on a platform holder (Franz J. Giessibl, High - speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz fork, Applied Physics Letters , 1998, Volume 73, No. 26, p. 3956-3958; Appl. Phys. Lett. 1999, Volume 74, p. 4070.)
Недостатком устройства является его низкая надежность, связанная с применением кварцевого резонатора и нестабильностью его характеристик, возникающей из-за приклейки его одним концом к держателю-платформе. Это так же затрудняет процедуру замены иглы без замены всего дорогостоящего зонда и сужает его функциональные возможности.The disadvantage of this device is its low reliability associated with the use of a quartz resonator and the instability of its characteristics arising from gluing it at one end to the holder-platform. It also complicates the procedure for replacing the needle without replacing the entire expensive probe and narrows its functionality.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению относится зонд сканирующего микроскопа, состоящий из последовательно соединённых иглы нанозонда, консоли, держателя, датчика частоты собственных колебаний консоли и оптического датчика движения консоли, оптически связанного с консолью. (Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004, с. 76–92.)Closest to the claimed technical solution is a scanning microscope probe, consisting of a series-connected needle of a nanoprobe, a console, a holder, a console natural vibration frequency sensor, and an optical console motion sensor optically connected to the console. (Mironov V.L. Fundamentals of scanning probe microscopy. M: Technosphere, 2004, pp. 76–92.)
Недостатками прототипа является то, что во время сближения и подвода иглы к образцу возникает жёсткий контакт иглы с поверхностью, вызывающий повышенный износ иглы и, часто, ее повреждение, требующее дорогостоящих замен. Кроме того, износ или повреждение иглы, меняет случайным образом размер иглы, внося априори неизвестную погрешность измерения, обусловленную изменением формы иглы, что ухудшает точность, надежность и достоверность измерения зондом. The disadvantages of the prototype is that during rapprochement and the supply of the needle to the sample there is a hard contact of the needle with the surface, causing increased needle wear and, often, its damage, requiring expensive replacements. In addition, wear or damage to the needle randomly changes the size of the needle, introducing a priori unknown measurement error due to a change in the shape of the needle, which impairs the accuracy, reliability and reliability of the probe.
Технической проблемой изобретения является создание устройства, позволяющего компенсировать в реальном времени повышенный износ и повреждение игл, требующих их замены. The technical problem of the invention is the creation of a device that allows you to compensate in real time for increased wear and damage to needles that require replacement.
Техническим результатом изобретения является повышение точности и надёжности зонда сканирующего микроскопа.The technical result of the invention is to improve the accuracy and reliability of the probe of a scanning microscope.
Поставленная проблема и технический результат достигается тем, что зонд сканирующего микроскопа состоит из иглы и консоли, закрепленной в держателе. Согласно изобретению, игла выполнена в виде однослойной углеродной нанотрубки, на свободном конце консоли выполнено отверстие для свободного прохождения сквозь него иглы, с двух сторон от которого расположены свободные концы пары упругих элементов зажима, установленного на консоли, и пара упругих элементов захвата, расположенного над элементами зажима. Со стороны держателя пары элементов зажима и захвата жестко скреплены между собой и закреплены на держателе, образуя единый электрический проводник, а их поверхности покрыты слоем диэлектрика. Зонд дополнительно содержит источник сигналов управления положением иглы, электрические входы которого связаны с иглой, парами элементов зажима и захвата. The stated problem and the technical result is achieved by the fact that the probe of the scanning microscope consists of a needle and a console fixed in the holder. According to the invention, the needle is made in the form of a single-layer carbon nanotube, a hole is made on the free end of the console for free passage of the needle through it, on both sides of which there are free ends of a pair of elastic clamp elements mounted on the console, and a pair of elastic gripping elements located above the elements clamping. On the holder side, the pairs of clamping and gripping elements are rigidly fastened together and fixed on the holder, forming a single electrical conductor, and their surfaces are covered with a dielectric layer. The probe further comprises a source of needle position control signals, the electrical inputs of which are connected to the needle, pairs of clamping and gripping elements.
Выполнение иглы из углеродной нанотрубки и отверстия в консоли позволяет в реальном времени перемещать иглу, стабилизировать размер, вынесенной за пределы свободного конца консоли, части иглы и, таким образом, компенсировать износ или повреждение части иглы, вынесенной за консоль, сохраняя при этом постоянным размер части иглы, что значительно повышает точность и достоверность измерения сканирующим микроскопом в сочетании со свойствами углеродной нанотрубки.The implementation of the needle from the carbon nanotube and the hole in the console allows you to move the needle in real time, stabilize the size extended beyond the free end of the console, the needle part and, thus, compensate for wear or damage of the needle part extended beyond the console, while maintaining the size of the part constant needles, which significantly increases the accuracy and reliability of measurement with a scanning microscope in combination with the properties of a carbon nanotube.
Применение управления положением иглы позволяет варьировать в широком диапазоне зазор её контактного и неконтактного взаимодействия с поверхностью, изменяя в реальном времени условия сближения иглы, созданием необходимого зазора и положения иглы в области её взаимодействия с поверхностью. За счет обеспечения функциональной связи действия иглы, зажима и захвата иглы, закреплённой на свободном конце консоли, обеспечивается регулировка зазора между иглой и поверхностью, создавая наилучшие условия реализации точности метода измерения, который принят в данном типе зондовой системы. Возможность регулировки сдвига иглы, выполненной из углеродной нанотрубки, для обеспечения сохранения зазора между трубкой и измеряемой поверхностью в диапазоне регулирования, соизмеримом с длиной углеродной нанотрубки, позволяет решать проблемы жесткого контакта, контроля состояния иглы при наличии актов её разрушения или износа при контакте с поверхностью. Покрытие слоем изолирующего диэлектрика поверхностей обеих пар упругих элементов зажима и захвата и использование электрических входов иглы и обеих пар упругих элементов зажима и захвата иглы путём их подключения к соответствующим выходам источника сигналов управления положением иглы позволяет управлять компенсацией износа иглы.The application of control of the position of the needle allows you to vary in a wide range the gap of its contact and non-contact interaction with the surface, changing in real time the conditions for the approach of the needle, creating the necessary gap and the position of the needle in the region of its interaction with the surface. By providing a functional connection between the action of the needle, clamping and gripping the needle fixed on the free end of the console, the clearance between the needle and the surface is provided, creating the best conditions for realizing the accuracy of the measurement method adopted in this type of probe system. The ability to adjust the shear of a needle made of a carbon nanotube to ensure that the gap between the tube and the measured surface is within the control range commensurate with the length of the carbon nanotube allows one to solve the problems of hard contact, control of the state of the needle in the presence of acts of destruction or wear upon contact with the surface. Covering the surfaces of both pairs of elastic clamp and grip elements with an insulating dielectric layer and using the electrical inputs of the needle and both pairs of elastic clamp and grip elements by connecting them to the corresponding outputs of the needle position control signal source allows you to control the compensation of needle wear.
Наличие источника сигналов управления положением иглы позволяет создать требуемые условия повышения точности неразрушающего контроля формы и неравномерности поверхности за время, необходимое и достаточное для сохранения постоянства параметров зонда в интервале длительности проводимого исследования. The presence of a source of control signals for the position of the needle allows you to create the required conditions for increasing the accuracy of non-destructive testing of the shape and unevenness of the surface for the time necessary and sufficient to maintain the constancy of the probe parameters in the interval of the duration of the study.
Таким образом, зонд с иглой, выполненной из углеродной нанотрубки, одновременно повышает его надёжность и точности измерения.Thus, a probe with a needle made of a carbon nanotube simultaneously increases its reliability and measurement accuracy.
Изобретение поясняется чертежами, где на фиг.1 представлена схема зонда сканирующего микроскопа; на фиг.2 – вид А; на фиг. 3 – вид Б.The invention is illustrated by drawings, where in Fig.1 shows a diagram of a probe of a scanning microscope; figure 2 - view A; in FIG. 3 - view B.
Зонд сканирующего микроскопа состоит из иглы 1, выполненной в виде однослойной углеродной нанотрубки, консоли 2 на свободном конце которой выполнено отверстие 3. Консоль 2 жёстко защемлена в держателе 4, служащим опорой зонда. На консоли 2 возле отверстия 3 закреплена пара упругих элементов зажима 5, над которыми закреплена пара упругих элементов захвата 6, связанных попарно между собой и являющихся частью одного электрического проводника. Поверхности зажима 5 и захвата 6 покрыты слоем диэлектрика 7, который изолирует их друг от друга и от иглы 1. Зонд дополнительно содержит источник 8 сигналов управления положением иглы 1, электрические входы которого связаны с иглой 1, парами элементов зажима 5 и захвата 6. The probe of the scanning microscope consists of a
Каждая пара элементов зажима 5 и захвата 6 жестко связаны между собой в области держателя 4 и закреплены на нем. Свободные концы упругих элементов зажима 5 и захвата 6, покрытые слоем диэлектрика 7 охватывают иглу 1, с возможностью ее свободного прохождения между ними. Зажим 5 и захват 6 жёстко, например, клеем 9, скреплены с консолью 2 и друг с другом. Такое выполнение зажима 5 и захвата 6 обеспечивает возможность раскрытия их свободных концов для простой установки или замены углеродной нанотрубки – иглы 1 в зазор между парой упругих элементов зажима 5 и захвата 6. Источник 8 сигналов управления положением иглы 1 связан соответственно электрическими линиями с иглой 1 и парой упругих элементов зажимом 5 и парой упругих элементов захватом 6. Если на игле 1 и зажиме 5 создана одинаковая полярность потенциала, то зажим 5 ослаблен или разжат. Так же действуют и упругие элементы захвата 6. Each pair of elements of the
Зонд сканирующего микроскопа работает следующим образом.The probe of a scanning microscope works as follows.
При восстановлении параметров зонда сканирующего микроскопа и после поломки уже установленной в нём иглы первоначально осуществляют калибровку, когда положение консоли 2 известно и определено. На этом этапе происходит включение тактируемого перемещения, установленной в упругих элементах зажима 5 и захвата 6 углеродной трубки – иглы 1. Компенсация возросшего среднего значения зазора «игла–поверхность», вызванного текущим износом или разрушением конца углеродной трубки – иглы 1 осуществляется по достаточно простому циклическому алгоритму смещения трубки на интервал Δ, не превышающий расстояние разноса зажима 5 и захвата 6. Малое расстояние разноса зажима 5 и захвата 6, установленных на консоли 2, позволяет исходно корректировать весьма малый износ иглы 1. Возможность многократного повторения двухтактного процесса перемещения углеродной трубки – иглы 1 позволяет, в случае разрушения иглы 1, восстанавливать значительно больший, чем исходный, заданный при начальной калибровке, размер свободного конца иглы 1, без остановки процедуры исследования для замены кантилевера.When restoring the parameters of the probe of the scanning microscope and after the breakdown of the needle already installed in it, calibration is initially performed when the position of the
При точном сканировании игла 1, в виде углеродной нанотрубки, движется над поверхностью 10. Информационный параметр сигнала, снимаемого с иглы 1, определяется типом зондовой микроскопии. Например, в туннельной микроскопии по одной из методик туннельный ток поддерживается стабильным за счёт обратной связи. Показания движения консоли 2 меняются в зависимости от топографии поверхности 10. Эти изменения регистрируют, на их основе строят карту высот поверхности 10. Возможно, также осуществлять движение иглы 1 на фиксированной высоте над исследуемой поверхностью 10. В этом случае регистрируют изменение тока. Его значения служат основой построения топографии поверхности 10. With accurate scanning, the
Сила, действующая со стороны поверхности 10 исследования, приводит к изгибу консоли 2 с соответствующим смещением нанотрубки – иглы 1, а вместе с этим, зажима 5 с захватом 6. Появление выступов или впадин на поверхности 10 под иглой 1 вызывает изменение силы, действующей на зонд, и изменяет изгиб консоли 2. Таким образом, мера изгиба консоли 2, а значит и величина сигнала формируемого иглой 1, функционально связаны с величиной зазора «игла–поверхность». Износ или разрушение иглы 1 при контактном взаимодействии с выступами поверхности 10 исследования ведёт к образованию (при износе–случайного; при разрушении – скачкообразного) увеличения зазора «игла–поверхность», следствием которого является возрастание уровня центрирования и рост погрешности измерения смещения сигнала, измерения топографии поверхности 10. Наличие сигнала смещения при износе или разрушении иглы 1 воспринимается системой микроскопа как «кажущееся» удаление иглы 1 от поверхности 10. В этом случае система микроскопа, отрабатывая появление сигнала «кажущегося» удаления иглы 1 от среднего значения зазора «игла–поверхность», приближает поверхность 10 к консоли 2 до формирования значения нормы уровня сигнала зонда, установленного при его начальной калибровке. В случае значительного разрушения иглы 1 подобное сближение поверхности 10 ведёт к жёсткому контакту с поверхностью 10 теперь уже консоли 2 и её разрушению.The force acting on the side of the
Смена действия вектора силы тяжести при смене направления перемещения иглы учитывается соответствующим изменением напряжения потенциала источника 8, подаваемого на иглу 1, для увеличения сил кулоновского взаимодействия. Механическое перемещение консоли 2 не действует на электрическое поле, создаваемое разностью потенциалов иглы 1, зажима 5 и захвата 6, силовые линии которого относительно места положения устройства перемещения иглы 1 на подвижной консоли 2 не изменяются, сколько бы консоль 2 их не качала. Качка консоли 2 и действие данного устройства на этой же консоли 2 – это относительно независимые между собой процессы. The change in the action of the gravity vector when changing the direction of movement of the needle is taken into account by a corresponding change in the voltage of the potential of the
Смещение иглы 1 осуществляется под действием сигналов источника 8 управления положением иглы 1, совместно с захватом 6 сквозь пространство зажима 5 и отверстия 3 в консоли 2. Смещение иглы 1, производимое совокупно с направленным в сторону более упругих, на данный момент времени разжатых элементов зажима 5, вызванное изгибом упругих элементов захвата 6 под действием сигналов управления положением иглы 1 от источника 8, осуществляют силы кулоновского взаимодействия свободно висящих, разноименно заряженных, упругих элементов захвата 6 с упругими элементами зажима 5. Установленный сигналами источника 8 порядок и сила кулоновского взаимодействия потенциалов напряжения обеспечивают тактируемое перемещение иглы 1 под действием задаваемой смены электрических потенциалов напряжения сигналов источника 8, подаваемых на иглу 1, зажим 5 и захват 6. The offset of the
Выработка сигнала о необходимости смещения иглы 1 формируется на этапе калибровки или на основе получения информации об отклонении выходных сигналов координат зонда за пределы диапазона значений, установленных при калибровке сканирующего микроскопа. Зажим 5 и захват 6 нанотрубки – иглы 1 установлены соосно с отверстием 3 в области свободного конца консоли 2. Отверстие 3 на свободном конце консоли 2 выполнено проходным как направляющая по оси перемещения нанотрубки–иглы 1, ортогонально расположенной к плоскости консоли 2. Отверстие 3 на свободном конце консоли 2 вкупе с зажимом 5 и захватом 6 иглы – нанотрубки 1 предотвращает ее смещение в плоскости консоли 2, одновременно позволяя перемещать нанотрубку – иглу 1 в ортогональной плоскости к поверхности консоли 2. При изгибе консоли 2 нанотрубка – игла 1 вместе с зажимом 5 и захватом 6 смещаются с областью их крепления совокупно с перемещением свободного конца консоли 2. The generation of a signal about the need to move the
Система обработки сигнала атомно-силового микроскопа непрерывно отслеживает положение нанотрубки – иглы 1 относительно исследуемой поверхности 10. Формирование включения источника 8 сигналов управления положением иглы 1 и начала процедуры коррекции отклонения положения иглы 1 от принятого при калибровке зазора «игла–поверхность» основано на контроле отклонения луча лазера, отраженного от конца консоли 2. Координаты положения консоли 2 формирует обычно оптический датчик атомно-силового микроскопа. The signal processing system of an atomic force microscope continuously monitors the position of the nanotube -
Применение предлагаемого зонда позволяет предотвратить поломку консоли 2 при прямом механическом ее взаимодействии с поверхностью 10 при сканировании. Прочность и упругость углеродной нанотрубки 1 способна существенно повысить точность и надёжность, обеспечивает продлению живучести зонда. При износе или обломе углеродной нанотрубки 1 появляется возможность on-line смещения по длине свободного конца углеродной нанотрубки 1. При изгибе консоли 2 нанотрубка - игла 1, зажим 5 и захват 6 смещаются совместно с областью их крепления, а именно, с перемещением свободного конца консоли 2. The use of the proposed probe can prevent damage to the
Таким образом, зонд сканирующего микроскопа может быть использован в сканирующей микроскопии для управляемого смещения и коррекции износа иглы зонда в широком диапазоне (более порядка) изменения длин, скоростей и мер износа, путём управления положением углеродной нанотрубки – иглы 1 и параметрами режимов сканирования иглой 1 в реальном времени. Thus, the probe of a scanning microscope can be used in scanning microscopy for controlled bias and correction of wear of the probe’s needle in a wide range (more than an order of magnitude) of changes in lengths, velocities and measures of wear, by controlling the position of the carbon nanotube — needle 1 and parameters of the scanning modes of the
Регулировкой зазора между торцом углеродной нанотрубки – иглы 1 и поверхностью 10 создаются наилучшие условия реализации любого метода измерения, который принят в данном типе зондовой микроскопии. Наличие подвижной, регулируемой по длине углеродной нанотрубки – иглы 1 для управляемого воздействия на размер зазора «нанотрубка 1 – поверхность 10» с равным длине нанотрубки – иглы 1 размером смещения, позволяет решать основные проблемы, связанные с жесткими контактами, отсутствием контроля состояния кончика нанотрубки – иглы 1 и возникновения актов разрушения и износа иглы 1.By adjusting the gap between the end face of the carbon nanotube -
Практическое использование предлагаемого зонда возможно во всех типах сканирующей зондовой микроскопии, обеспечивает восстановление исходных параметров игл зонда сканирующих микроскопов, повышает точность и достоверность получаемых результатов. Practical use of the proposed probe is possible in all types of scanning probe microscopy, provides restoration of the initial parameters of the probe needles of the scanning microscopes, increases the accuracy and reliability of the results.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019110789A RU2708530C1 (en) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | Scanning microscope probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2019110789A RU2708530C1 (en) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | Scanning microscope probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2708530C1 true RU2708530C1 (en) | 2019-12-09 |
Family
ID=68836765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2019110789A RU2708530C1 (en) | 2019-04-11 | 2019-04-11 | Scanning microscope probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2708530C1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7511270B2 (en) * | 2003-09-08 | 2009-03-31 | Yoshikazu Nakayama | Nanotube probe and a method for manufacturing the same |
| JP2009109411A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | Probe, its manufacturing method, and probe microscope of scanning type |
| US8438660B2 (en) * | 2009-06-15 | 2013-05-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Micro contact prober |
-
2019
- 2019-04-11 RU RU2019110789A patent/RU2708530C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7511270B2 (en) * | 2003-09-08 | 2009-03-31 | Yoshikazu Nakayama | Nanotube probe and a method for manufacturing the same |
| JP2009109411A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | Probe, its manufacturing method, and probe microscope of scanning type |
| US8438660B2 (en) * | 2009-06-15 | 2013-05-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Micro contact prober |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2915554B2 (en) | Barrier height measurement device | |
| EP2864798B1 (en) | Method and apparatus of electrical property measurement using an afm operating in peak force tapping mode | |
| JP6352534B2 (en) | Non-contact voltage measuring device | |
| JP2006258429A (en) | Scanning probe microscope | |
| JPH0754249B2 (en) | Method and device for inspecting surface of sample | |
| KR19990029072A (en) | Internal atom measurement method | |
| US7509844B2 (en) | Atomic force microscope technique for minimal tip damage | |
| US8695108B2 (en) | In-liquid potential measurement device and atomic force microscope | |
| RU2708530C1 (en) | Scanning microscope probe | |
| TWI666450B (en) | Method of advancing a probe tip of a scanning microscopy device towards a sample surface, and device therefore | |
| JP2004294218A (en) | Measuring method of physical property value and scanning probe microscope | |
| US10132830B2 (en) | Method of measuring a topographic profile and/or a topographic image | |
| JP2002116132A (en) | Signal detection apparatus, scanning atomic force microscope constructed of it, and signal detection method | |
| Zhukov et al. | Scanning ion-conductance microscope with modulation of the sample position along the Z-coordinate and separate Z-axial and lateral (X, Y) scanning | |
| US10895584B2 (en) | Method of controlling a probe using constant command signals | |
| RU2687180C1 (en) | Nanosonde of scanning microscope | |
| JPH08129018A (en) | Non-contact mode interatomic force microscope/ electrostatic capacity microscope composite apparatus | |
| JP6001728B2 (en) | Displacement detection mechanism and scanning probe microscope using the same | |
| JP2016023952A (en) | Scanning probe microscope | |
| JPH08248082A (en) | Potential distribution measuring method and scanning microscope | |
| CN113092825B (en) | Atomic force microscope system and current detection method thereof | |
| Enning | High frequency atomic force microscopy | |
| JPH10232240A (en) | Surface observing device | |
| JP4761111B2 (en) | Horizontal force detector | |
| Goto et al. | 1510 Noncontact electrostatic force microscopy for surface profile measurement of insulating materials |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210412 |