RU2687180C1 - Nanosonde of scanning microscope - Google Patents
Nanosonde of scanning microscope Download PDFInfo
- Publication number
- RU2687180C1 RU2687180C1 RU2018128231A RU2018128231A RU2687180C1 RU 2687180 C1 RU2687180 C1 RU 2687180C1 RU 2018128231 A RU2018128231 A RU 2018128231A RU 2018128231 A RU2018128231 A RU 2018128231A RU 2687180 C1 RU2687180 C1 RU 2687180C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- console
- working element
- probe
- carbon nanotube
- cantilever
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/08—Probe characteristics
- G01Q70/10—Shape or taper
- G01Q70/12—Nanotube tips
Abstract
Description
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно, к устройствам, обеспечивающим получение информации о топологии и других свойствах поверхности объекта, и предназначено для использования в туннельной, атомно-силовой и других видах сканирующей зондовой микроскопии, при измерении в качестве зонда Кельвина, при определении контраста сопротивлений растекания, измерении термодинамики полей лазерного и лучевого воздействия и т.п..The invention relates to the field of nanotechnology, namely, to devices that provide information about the topology and other properties of the surface of the object, and is intended for use in tunneling, atomic force and other types of scanning probe microscopy, when measured as a Kelvin probe, when determining the contrast spreading resistances, thermodynamics measurement of laser and radiation fields, etc.
Известен зонд для сканирующей емкостной микроскопии, состоящий из консоли с укрепленной на одном ее конце иглой, закрепленной на чипе другой стороной, и имеющий проводящий слой, расположенный, по крайней мере, на поверхности зонда со стороны иглы. На поверхности зонда со стороны иглы установлен проводящий экран, отделенный от проводящего слоя первой диэлектрической прослойкой (RU №2289862, G12B 21/02, 2006.)Known probe for scanning capacitive microscopy, consisting of a console with a needle fixed on one end, fixed on the chip with the other side, and having a conductive layer located at least on the surface of the probe from the needle side. A conductive screen is installed on the surface of the probe from the side of the needle, separated from the conductive layer by the first dielectric layer (RU # 22289862, G12B 21/02, 2006.)
Недостатком данного устройства является функционально узкая область применения, ограниченная предназначением только для измерения емкости образцов, покрытых тонким слоем диэлектрика, что ограничивает его применение для решения других задач туннельной, атомно-силовой и других видов сканирующей зондовой микроскопии.The disadvantage of this device is functionally narrow scope, limited purpose only for measuring the capacitance of samples coated with a thin layer of dielectric, which limits its use for other tasks tunneling, atomic force and other types of scanning probe microscopy.
Известен зонд для сканирующего зондового микроскопа, содержащий кварцевый резонатор с иглой, закрепленной на одном его конце, причем другой конец установлен на держателе-платформе (Franz J. Giessibl, High - speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz fork, Applied Physics Letters, 1998, Volume 73, No. 26, p. 3956-3958; Appl. Phys. Lett. 1999, Volume 74, p. 4070.)A probe for a scanning probe microscope is known, which contains a quartz resonator with a needle attached to one end of it, with the other end mounted on a platform holder (Franz J. Giessibl, Applied Physics). Letters, 1998, Volume 73, No. 26, p. 3956-3958; Appl. Phys. Lett. 1999, Volume 74, p. 4070.)
Недостатком устройства является его низкая надежность, связанная с использованием кварцевого резонатора и нестабильностью его характеристик, возникающей из-за приклейки его одним концом к держателю-платформе. Это также затрудняет процедуру замены иглы без замены всего дорогостоящего зонда и сужает его функциональные возможности.The disadvantage of this device is its low reliability associated with the use of a quartz resonator and the instability of its characteristics, resulting from gluing it at one end to the platform holder. It also makes it difficult to replace the needle without replacing the entire expensive probe and reduces its functionality.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению относится зонд сканирующего зондового микроскопа, состоящий из последовательно соединенных рабочего элемента нанозонда в виде иглы, консоли, держателя, датчика частоты собственных колебаний консоли и оптического датчика движения консоли, оптически связанного с консолью. (Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004, с. 76-92.)The closest to the claimed technical solution relates to a probe of a scanning probe microscope, consisting of a series-connected working element of a nano-probe in the form of a needle, a console, a holder, a natural vibration frequency sensor, and an optical motion sensor of the console, optically connected to the console. (Mironov VL Fundamentals of scanning probe microscopy. M .: Technosphere, 2004, p. 76-92.)
Недостатками прототипа является то, что во время сближения и подвода иглы к образцу возникает жесткий контакт иглы с поверхностью, вызывающий повышенный износ иглы и, часто, ее повреждение, требующее необходимость дорогостоящих замен. Кроме того, износ или повреждение иглы, меняет случайным образом размер иглы, внося априорно неизвестную случайную погрешность измерения, обусловленную изменением формы иглы, что ухудшает точность и достоверность измерения зондом. Это снижает точность и надежность применения этого зонда.The disadvantages of the prototype is that during the approach and the supply of the needle to the sample there is a hard contact of the needle with the surface, causing increased wear of the needle and, often, its damage, requiring the need for costly replacements. In addition, wear or damage to the needle, randomly changes the size of the needle, introducing a priori unknown random measurement error due to a change in the shape of the needle, which degrades the accuracy and reliability of the measurement probe. This reduces the accuracy and reliability of this probe.
Технической проблемой изобретения является создание устройства, позволяющего компенсировать в реальном времени повышенный износ и повреждение игл, требующих их замены.A technical problem of the invention is the creation of a device that makes it possible to compensate in real time for increased wear and damage to needles that require their replacement.
Техническим результатом изобретения является повышение точности и надежности зонда микроскопа.The technical result of the invention is to improve the accuracy and reliability of the microscope probe.
Поставленная проблема и технический результат достигается тем, что нанозонд сканирующего микроскопа, состоит из последовательно соединенных рабочего элемента нанозонда, консоли, держателя, датчика частоты собственных колебаний консоли и оптического датчика движения консоли, оптически связанного с консолью. Согласно изобретению, он дополнительно содержит привод рабочего элемента и блок формирования сигнала рассогласования положения рабочего элемента, входы которого подключены к выходам оптического датчика движения консоли и датчика частоты собственных колебаний консоли, выход блока формирования сигнала связан с входом привода рабочего элемента, а второй вход связан с консолью, при этом, рабочий элемент выполнен в виде углеродной нанотрубки, которая выполнена однослойной.The problem posed and the technical result is achieved by the fact that the nano probe of a scanning microscope consists of a series-connected working element of a nano probe, a cantilever, a holder, an eigen oscillation frequency sensor of the cantilever, and an optical cantilever motion sensor optically connected to the cantilever. According to the invention, it further comprises a drive of the working element and a unit for generating the error of the position of the working element, the inputs of which are connected to the outputs of the optical sensor of the movement of the console and the sensor of natural oscillation frequency of the console, the output of the signal conditioning unit is connected to the input of the drive of the working element, and the second input is connected the console, in this case, the work item is made in the form of a carbon nanotube, which is made single-layer.
Выполнение рабочего элемента в виде углеродной нанотрубки позволяет осуществлять его перемещение в реальном времени, стабилизацию его размера, вынесенного за пределы свободного конца консоли, таким образом компенсировать износ или повреждение рабочего элемента, сохраняя постоянным его размер, что повышает точность и достоверность измерения сканирующим микроскопом в сочетании с уникальными свойствами углеродной нанотрубки.The execution of the working element in the form of a carbon nanotube allows it to move in real time, stabilizing its size beyond the free end of the console, thus compensating for wear or damage to the working element, keeping its size constant, which increases the accuracy and reliability of measurement with a scanning microscope in combination with the unique properties of a carbon nanotube.
Применение принципа управления положением углеродной нанотрубки позволяет варьировать в широком диапазоне зазор контактного и неконтактного взаимодействия углеродной нанотрубки с поверхностью, изменяя в реальном времени условия сближения углеродной нанотрубки, созданием необходимого зазора, положения трубки в пространстве области взаимодействия углеродной нанотрубки с поверхностью объекта. Это осуществляется приводом рабочего элемента, подключенного к блоку формирования сигнала рассогласования положения рабочего элемента, изменяющим до требуемого размера зазор между нанотрубкой и поверхностью. Регулировка зазора между углеродной нанотрубкой и поверхностью обеспечивает наилучшие условия реализации точности того или иного метода измерения, который принят исследователем в данном типе зондовой микроскопии. Возможность сдвига углеродной нанотрубки для сохранения зазора между трубкой и поверхностью в соизмеримом с длиной углеродной нанотрубки диапазоне регулирования позволяет решать проблемы жесткого контакта, контроля состояния рабочего элемента при наличии актов его разрушения или затупления при контакте с поверхностью.The application of the principle of controlling the carbon nanotube position makes it possible to vary in a wide range the contact and non-contact interaction between the carbon nanotube and the surface, changing in real time the conditions of convergence of the carbon nanotube, creating the necessary clearance, the position of the tube in the surface of the carbon nanotube. This is done by driving the working element connected to the error signal generation unit of the position of the working element, changing the gap between the nanotube and the surface to the required size. Adjusting the gap between the carbon nanotube and the surface provides the best conditions for the accuracy of a particular measurement method, which is adopted by the researcher in this type of probe microscopy. The possibility of shifting the carbon nanotube to maintain the gap between the tube and the surface in a control range comparable to the length of the carbon nanotube allows to solve the problems of hard contact, control of the state of the working element in the presence of acts of its destruction or dulling when in contact with the surface.
Блок формирования сигнала рассогласования положения рабочего элемента на основе сравнения выходных сигналов датчика частоты собственных колебаний консоли и оптического датчика движения консоли позволяет достичь создания требуемых условий повышения точности неразрушающего контроля формы и неравномерности поверхности объекта в течение времени, необходимого и достаточного для сохранения постоянства параметров зонда в интервале длительности проводимого исследования.The unit for generating the error signal of the position of the working element based on a comparison of the output signals of the natural oscillation frequency sensor of the console and the optical sensor of the console allows to create the required conditions for improving the accuracy of non-destructive control of the shape and unevenness of the object surface during the time necessary and sufficient to maintain the probe the duration of the study.
Предложенное устройство нанозонда можно использовать практически во всех вариантах сканирующей зондовой микроскопии, в том числе, туннельной, атомно-силовой и другим видах, а также в обособленных системах измерения пространственного распределения рельефа поверхностей объектов путем сканирования их зондом, в устройствах диагностики пространственного распределения форм и неразрушающего контроля неравномерности поверхностей, включая динамику их изменения с помощью известных методов, которые предназначены для использования в сканирующей микроскопии и т.п.The proposed nano-probe device can be used in almost all versions of scanning probe microscopy, including tunneling, atomic-force and other types, as well as in separate systems for measuring the spatial distribution of the surface relief of objects by scanning them with a probe, in devices for diagnosing spatial distribution of forms and non-destructive control of uneven surfaces, including the dynamics of their changes using known methods that are intended for use in scanning guide microscopy, etc.
Таким образом, с повышением точности функционирования нанозонда с рабочим элементом, выполненным из углеродной нанотрубки, одновременно повышена надежность устройства.Thus, with an increase in the operating accuracy of a nanoprobe with a working element made of a carbon nanotube, the reliability of the device is simultaneously increased.
Изобретение поясняет чертежом, где представлена функциональная схема нанозонда сканирующего микроскопа.The invention explains the drawing, which shows a functional diagram of a scanning microscope nanoprobe.
Нанозонд сканирующего микроскопа состоит из рабочего элемента 1, выполненного в виде однослойной углеродной нанотрубки, консоли 2, жестко закрепляемой в держателе 3, являющимся опорной частью нанозонда, датчика 4 частоты собственных колебаний консоли 2 и оптического датчика 5 движения консоли 2. Датчик 4 частоты собственных колебаний консоли 2, в частном случае, выполнен из пьезоэлектрического элемента, который одним концом закреплен на консоли 2, а вторым - прикреплен к держателю 3. Оптический датчик 5 движения консоли 2, жестко закрепленный на держателе 3, связан оптически (лазерным лучом) со свободным концом консоли 2. В окрестности конца консоли 2 размещена углеродная нанотрубка 1 и привод 6 рабочего элемента 1, в котором размещена углеродная нанотрубка 1. Блок 7 формирования сигнала рассогласования положения нанотрубки 1, связанный электрически с датчиком 4 частоты собственных колебаний консоли 2 и оптическим датчиком 5 движения консоли 2, выполнен по схеме решающего логического устройства. Выработка сигнала о необходимости смещения (показано двухсторонней стрелкой) приводом 6 нанотрубки 1, формируется на основе сопоставления информации об изменении выходных сигналов датчика 4 частоты собственных колебаний консоли 2 и оптического датчика 5 движения консоли 2. Привод 6 нанотрубки 1, установлен (показано в разрезе) соосно с отверстием 8 проходного канала нанотрубки 1 в окрестности свободного конца консоли 2. Отверстие 8 на свободном конце консоли 2 является проходным - направляющей перемещения нанотрубки 1, ортогональной к консоли 2. Отверстие 8 на свободном конце консоли 2 вкупе (показано пунктиром в 6) с приводом 6 нанотрубки 1 предотвращает ее смещение в плоскости консоли 2, одновременно позволяя перемещать (показано двухсторонней стрелкой в 6) по длине и положению нанотрубки 1 в ортогональной плоскости к поверхности консоли 2. При изгибе консоли 2 (направления изгиба показаны криволинейной стрелкой) нанотрубка 1 и привод 6 смещаются с областью их крепления совокупно с перемещением свободного конца консоли 2.A nanoprobe of a scanning microscope consists of a working element 1, made in the form of a single-layer carbon nanotube, a
Оптический датчик движения 5 консоли 2, жестко закрепленный на держателе 3 и связанный оптически со свободным концом консоли 2, и нанотрубка 1, непрерывно отслеживает положение нанотрубки 1 относительно поверхности 9. Регистрация отклонения от принятого размера зазора взаимодействия нанотрубки 1 с поверхностью 9 основано на контроле отклонения луча полупроводникового лазера, отраженного от кончика торца нанотрубки 1. Данные координат положения нанотрубки 1 оптический датчик движения 5 консоли 2 передает в блок формирования сигнала рассогласования 7 положения нанотрубки 1, связанного электрически с приводом 6, совместно с сигналом датчика частоты собственных колебаний 4 консоли 2, управляющей перемещением нанотрубки 1 при необходимости.The
Нанозонд сканирующего микроскопа работает следующим образом.Nanosonde scanning microscope works as follows.
В начале работы вручную или электронной системой сканирующего микроскопа нанозонд «грубо» подводится к поверхности 9. Зонд начинает взаимодействовать с поверхностью 9 при их сближении на расстояние менее сотен нанометров. Затем перемещение нанозонда вдоль поверхности 9 осуществляется более точным устройством, обеспечивающим сканирование поверхности 9 нанотрубкой 1. При точном сканировании углеродная нанотрубка 1 движется над поверхностью 9. Информационный параметр сигнала, снимаемого с нанотрубки 1, определяется типом зондовой микроскопии. Например, в туннельной микроскопии по одной из методик туннельный ток поддерживается стабильным за счет обратной связи, показания же оптического датчика движения 5 консоли 2 меняются в зависимости от топографии поверхности. Эти изменения регистрируют; на их основе строят карту высот поверхности. Другая методика предполагает движение нанотрубки 1 на фиксированной высоте над поверхностью 9. В этом случае регистрируют изменение тока. Его значения служат основой построения топографии поверхности. Можно утверждать, что принцип работы нанозонда сканирующего микроскопа основан на регистрации взаимодействия между поверхностью 9 и нанотрубкой 1.At the beginning of work, manually or electronically, the nano probe is “roughly” brought to the
В описываемом зонде в качестве рабочего элемента 1 используют однослойную углеродную нанотрубку, установленную на свободном, не закрепленном конце консоли 2, называемой часто кантилевером. Сила, действующая со стороны поверхности 9, приводит к изгибу консоли 2 с соответствующим смещением нанотрубки 1. Появление выбросов или впадин поверхности 9 под нанотрубкой 1 приводит к изменению силы, действующей на зонд, и изменению изгиба консоли 2. Таким образом, регистрируя значение изгиба консоли 2, можно сделать вывод о рельефе поверхности 9.In the described probe, a single-walled carbon nanotube mounted on a free, non-fixed end of the
В зависимости от характера действия силы между свободным концом консоли 2 и поверхностью 9 различают три режима взаимодействия нанотрубки 1 микроскопа: контактный, полуконтактный и бесконтактный. Принцип действия зонда рассмотрим в наиболее «тяжелых» для углеродной нанотрубки 1 в режимах сканирования с актами прямого контакта углеродной нанотрубки 1 с поверхностью 9. Эти режимы отличаются наличием динамического и ударного воздействия, ведущих к ускоренной до катастроф деструкции игл зонда.Depending on the nature of the force acting between the free end of the
В контактном режиме взаимодействия нанотрубки 1 с поверхностью 9 микроскоп является аналогом профилометра. Сканирование зондом осуществляется, как правило, в режиме постоянной силы, когда оптический датчик движения 5 консоли 2 и встроенный в систему обратной связи датчик частоты собственных колебаний 4 консоли 2 оценивают значение изгиба консоли 2 и частоту вынужденных ее колебаний под действием неравномерного рельефа поверхности 9. В этом случае свободный конец консоли 2 с закрепленной на нем углеродной нанотрубки 1 перемещается на некоторой средней высоте над поверхностью 9. Изгиб консоли 2, одним концом закрепленной в держателе 3, пропорционален силе, действующей со стороны поверхности 9 на углеродную нанотрубку 1, установленную на свободном, без опорном втором конце консоли 2. Работа нанозонда в полуконтактном режиме практически повторяет алгоритм работы в контактном режиме. Полуконтактный режим отличается от контактного существенно меньшим числом, в том числе и ударных, соприкосновений нанотрубки 1 с поверхностью 9.In the contact mode of interaction of the nanotube 1 with the
В контактных режимах применения непосредственное механическое взаимодействие известных вариантов зонда с поверхностью 9 часто приводит к поломке зондов и разрушению поверхности 9 в процессе сканирования. Прочность, упругость и износоустойчивость углеродных нанотрубок 1 способна существенно повысить точность и надежность (равносильно продлить живучесть) нанозонда.In contact modes of application, the direct mechanical interaction of known probe variants with
При износе или обломе углеродной нанотрубки 1 предлагаемое решение обеспечивает возможность наносмещения по длине и положению углеродной нанотрубки 1 в ортогональной и тангенциальной плоскости к поверхности консоли 2. При изгибе консоли 2 нанотрубка 1 и привод 6 смещаются совокупно с областью их крепления, а именно, с перемещением свободного конца консоли 2.When the carbon nanotube 1 is worn out or broken, the proposed solution allows the nanoscale 1 to be displaced along the length and position of the carbon nanotube 1 in the orthogonal and tangential plane to the surface of the
При работе в бесконтактном режиме пьезоэлемент датчика частоты собственных колебаний 4 консоли 2 принудительно возбуждает колебания углеродной нанотрубки 1 зонда на некоторой частоте (лучше резонансной). Амплитуда и фаза собственных и вынужденных колебаний углеродной нанотрубки 1 зонда выделяется датчиком частоты собственных колебаний 4 консоли 2 и оптическим датчиком движения 5 консоли 2, выходные сигналы которых поступают на блок формирования сигнала рассогласования 7 положения углеродной нанотрубки 1, связанного электрически с приводом 6. При равенстве этих сигналов в блоке формирования сигнала рассогласования 7 положения нанотрубки 1 они компенсируют друг друга. При неравенстве и наличии прироста сигнала оптического датчика движения 5 консоли 2, вызванного воздействием рельефа поверхности 9, блок выделяет рассогласование как полезный сигнал. Амплитуда и фаза этого сигнала находятся в прямой зависимости от силы, действующей со стороны поверхности. Таким образом, выделяемый в блоке 7 формирования сигнала рассогласования положения углеродной нанотрубки 1, сигнал рассогласования служит основой принятия в реальном времени решения.When operating in the contactless mode, the piezoelectric sensor of the
Таким образом, предлагаемое устройство нанозонда может быть использовано в системах сканирующей микроскопии для управляемого сканирования и коррекции износа рабочего элемента зонда в широком диапазоне (более порядка) изменения длин, скоростей и мер износа, путем управления положением углеродной нанотрубки 1 и параметрами режимов сканирования нанотрубкой 1 в реальном времени.Thus, the proposed nano-probe device can be used in scanning microscopy systems for controlled scanning and wear correction of the probe working element in a wide range (more than order) of changing lengths, speeds and measures of wear, by controlling the position of the carbon nanotube 1 and the parameters of the scanning modes of the nanotube 1 real time.
Регулировкой зазора между торцом углеродной нанотрубки 1 и поверхностью 8 создаются наилучшие условия реализации того или иного метода измерения, который принят в данном типе сканирующей зондовой микроскопии. Наличие подвижного положения углеродной нанотрубки 1 регулируемой длины рабочего элемента зонда для управляемого воздействия на величину зазора между нанотрубкой 1 и поверхностью 9 с равным длине углеродной нанотрубки 1 размером регулирования позволяет предотвращать основные проблемы, связанные с жесткими контактами, отсутствия контроля состояния кончика зонда и возникновения актов разрушения или затупления.Adjusting the gap between the end face of the carbon nanotube 1 and the
В отличие от прототипа, в котором общее время сканирования не должно длиться более десяти минут, для предлагаемого зонда время сканирования определяется износом полной длины углеродной трубки, превышающей на два порядка и более известные иглы зонда.Unlike the prototype, in which the total scan time should not last more than ten minutes, for the proposed probe, the scan time is determined by the wear of the total carbon tube length, which is two orders of magnitude longer and the more well-known probe needles.
Технический результат изобретения, целью которого является повышение точности и надежности зонда, достигнут путем введения однослойной углеродной нанотрубки как рабочего элемента с контролем ее положения и управления перемещением в реальном времени взаимодействия.The technical result of the invention, the purpose of which is to improve the accuracy and reliability of the probe, is achieved by introducing a single-layer carbon nanotube as a working element with the control of its position and motion control in real-time interaction.
Практическое использование предлагаемого нанозонда возможно во всех типах сканирующей зондовой микроскопии; его применение, обеспечивая стабильность параметров микроскопов, повышает точность и достоверность получаемых результатов.Practical use of the proposed nano probe is possible in all types of scanning probe microscopy; its application, ensuring the stability of the parameters of microscopes, increases the accuracy and reliability of the results obtained.
Данное изобретение находится на стадии технического предложения и макетного проектирования.This invention is at the stage of technical proposals and prototype design.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018128231A RU2687180C1 (en) | 2018-08-01 | 2018-08-01 | Nanosonde of scanning microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2018128231A RU2687180C1 (en) | 2018-08-01 | 2018-08-01 | Nanosonde of scanning microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2687180C1 true RU2687180C1 (en) | 2019-05-07 |
Family
ID=66430635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018128231A RU2687180C1 (en) | 2018-08-01 | 2018-08-01 | Nanosonde of scanning microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2687180C1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6528785B1 (en) * | 1998-12-03 | 2003-03-04 | Daiken Chemical Co., Ltd. | Fusion-welded nanotube surface signal probe and method of attaching nanotube to probe holder |
| US7247842B1 (en) * | 2005-07-12 | 2007-07-24 | California Institute Of Technology | Method and system for scanning apertureless fluorescence mircroscope |
| US8136385B2 (en) * | 2003-03-11 | 2012-03-20 | Board of Regents of the Nevada System of Higher Education, on Behalf of the University of the University of Nevada, Reno | Cantilevered probes having piezoelectric layer, treated section, and resistive heater, and method of use for chemical detection |
-
2018
- 2018-08-01 RU RU2018128231A patent/RU2687180C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6528785B1 (en) * | 1998-12-03 | 2003-03-04 | Daiken Chemical Co., Ltd. | Fusion-welded nanotube surface signal probe and method of attaching nanotube to probe holder |
| US8136385B2 (en) * | 2003-03-11 | 2012-03-20 | Board of Regents of the Nevada System of Higher Education, on Behalf of the University of the University of Nevada, Reno | Cantilevered probes having piezoelectric layer, treated section, and resistive heater, and method of use for chemical detection |
| US7247842B1 (en) * | 2005-07-12 | 2007-07-24 | California Institute Of Technology | Method and system for scanning apertureless fluorescence mircroscope |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6117705B2 (en) | Adaptive mode scanning probe microscope | |
| US9213047B2 (en) | Method and apparatus of electrical property measurement using an AFM operating in peak force tapping mode | |
| Bhushan et al. | Scanning probe microscopy—principle of operation, instrumentation, and probes | |
| KR101655051B1 (en) | Method and apparatus of electrical property measurement using an afm operating in peak force tapping mode | |
| KR20160019910A (en) | Measuring head for nanoindentation instrument and measuring method | |
| US9921240B2 (en) | Probe actuation system with feedback controller | |
| WO2003067224A1 (en) | Scanning probe microscope and specimen surface structure measuring method | |
| US7958776B2 (en) | Atomic force gradient microscope and method of using this microscope | |
| US9291639B2 (en) | Dual-probe scanning probe microscope | |
| JP5813966B2 (en) | Displacement detection mechanism and scanning probe microscope using the same | |
| JP2017521655A (en) | Scanning probe microscope and method for inspecting surfaces with high aspect ratio | |
| Gao et al. | A noncontact scanning electrostatic force microscope for surface profile measurement | |
| US9599636B2 (en) | Probe microscope with probe movement from heating | |
| RU2687180C1 (en) | Nanosonde of scanning microscope | |
| JP5066258B2 (en) | Film thickness evaluation apparatus and film thickness evaluation method | |
| KR102520501B1 (en) | Method of measuring a topographic profile and/or a topographic image | |
| Cinar et al. | Development of a novel nanoindentation technique by utilizing a dual-probe AFM system | |
| Bugg | Noncontact surface profiling using a novel capacitive technique: scanning capacitance microscopy | |
| Häßler-Grohne et al. | Investigation of the cantilever response of non-contact atomic force microscopy for topography measurements in all three dimensions | |
| RU2708530C1 (en) | Scanning microscope probe | |
| JP6001728B2 (en) | Displacement detection mechanism and scanning probe microscope using the same | |
| Meyer et al. | Artifacts in SPM | |
| Satoht | Development of multi-probe atomic force microscope and probe interaction | |
| JP2013011471A (en) | Gap measuring device, surface shape measuring apparatus, gap measuring method and surface shape measuring method | |
| アクラミ,セイドモハマド | Improvement of stability and speed in liquid-environment atomic force microscopy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200802 |