RU2675618C1 - Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы - Google Patents

Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы Download PDF

Info

Publication number
RU2675618C1
RU2675618C1 RU2017146096A RU2017146096A RU2675618C1 RU 2675618 C1 RU2675618 C1 RU 2675618C1 RU 2017146096 A RU2017146096 A RU 2017146096A RU 2017146096 A RU2017146096 A RU 2017146096A RU 2675618 C1 RU2675618 C1 RU 2675618C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
zirconium
hafnium
titanium
borohydrides
reactor
Prior art date
Application number
RU2017146096A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Николаевич Дугин
Александр Васильевич Гребенников
Евгений Акимович Богачев
Элла Лазаревна Гуркова
Павел Аркадьевич Стороженко
Иван Александрович Коломийцев
Геннадий Владимирович Степанов
Original Assignee
Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") filed Critical Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС")
Priority to RU2017146096A priority Critical patent/RU2675618C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2675618C1 publication Critical patent/RU2675618C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4515—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application application under vacuum or reduced pressure
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/4529—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied from the gas phase
    • C04B41/4531—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application applied from the gas phase by C.V.D.
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/455—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/4505—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application
    • C04B41/455—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements characterised by the method of application the coating or impregnating process including a chemical conversion or reaction
    • C04B41/4558—Coating or impregnating involving the chemical conversion of an already applied layer, e.g. obtaining an oxide layer by oxidising an applied metal layer
    • C04B41/456—Coating or impregnating involving the chemical conversion of an already applied layer, e.g. obtaining an oxide layer by oxidising an applied metal layer the conversion only taking place under certain conditions, e.g. avoiding damage of underlaying layers or parts of the substrate
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
    • C04B41/507—Borides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics

Abstract

Изобретение относится к технологии создания ультравысокотемпературо- и окислительностойких углерод-углеродных волокнистых композиционных материалов, применяемых в конструкциях при создании деталей летательных аппаратов, эксплуатируемых в экстремальных условиях. Предложен способ нанесения покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на пористые структуры газофазным методом (CVD), включающий реакцию термического химического газофазного разложения боргидридов соответствующих металлов на поверхности нагретых до 250°C заготовок пористых материалов. В качестве исходных веществ используют растворы боргидридов титана, циркония и гафния в органических углеводородах предельного ряда С7-С10 с температурой кипения (Ткип.) 90-190°C, а процесс ведут путем пропускания легколетучих паров боргидридов титана, циркония и гафния и органических углеводородов совместно в течение 10-24 часов до привеса не менее 20 мас.%. Технический результат изобретения – упрощение технологии получения ультравысокотемпературных материалов. 3 ил., 3 пр.

Description

Изобретение относится к технологии создания ультравысокотемпературо- и окислительностойких, углерод-углеродных волокнистых композиционных материалов (УУВКМ) путем нанесения покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на пористые структуры газофазным методом (CVD).
Покрытия из указанных диборидов обладают такими привлекательными свойствами при создании изделий для микроэлектроники как высокая температура плавления (TiB2 - 3240, ZrB2 - 3245 и HfB2 - 3380°C), объемное удельное сопротивление (15 микроомсм) и объемная твердость (29 гигапаскалей), а также износо- и коррозионная стойкость, хорошая электропроводимость, позволяющие использовать их как покрытие металлорежущих инструментов и электродов, применяемых при рафинировании алюминия, покрытие частей сопла ракетных двигателей, клапанов, носовой части ракет, острых кромок деталей и т.д. (Sreenivas J. and Yu Yang, Do Young Kim and G.S. Girolami, J.R. Abelson, J. Vac. Sci. Technol. A 23(6), Nov/Dec, pp. 1619-1625, 2005.
Разработанные с применением керамических покрытий из диборидов Ti, Zr и Hf ультравысокотемпературо- и окислительностойкие конструкционные материалы применяются для создания деталей летательных аппаратов эксплуатируемых в экстремальных условиях (E.P. Simonenko,
Figure 00000001
N.P. Simonenko,
Figure 00000002
N.T. Kuznetsov Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2013, Vol. 58, No. 14, pp. 1669-1693)
Способ нанесения покрытий из диборидов титана, циркония и гафния включает реакцию термического химического газофазного разложения боргидридов титана, циркония и гафния (прекурсоров) из их растворов в высококипящих углеводородах предельного ряда при пропускании совместно паров боргидридов и растворителей через предварительно нагретые до 250°C заготовки пористых материалов (УУВКМ), помещенные в трубчатый реактор, в условиях вакуума 30-40 мм рт.ст.
Известен способ получения диборидных пленок циркония и гафния CVD-методом из твердых боргидридов циркония и гафния разложением при температуре около 250°C (James A. Jensen, J.E. Gozum, D.M. Polina and G.S. Girolami, J. Am. Chem. Soc. 110, 1643 (1988), (Sreenivas J. and Yu Yang, Do Young Kim and G.S. Girolami, J.R. Abelson, J. Vac. Sci. Technol. A 23(6), Nov/Dec 2005.
Недостатком способа является использование трудно выделяемых и чрезвычайно реакционно-способных индивидуальных боргидридов циркония и гафния.
Известен способ получения пленки из диборида титана при низкотемпературном химическом газофазном разложении комплекса (прекурсора) боргидрида титана с 1,2-диметоксиэтаном Ti(BH4)3(1,2-dme) (Kumar N., Yang Yu., Chem. Mater., 2007, 19, 3802-3807). Процесс осаждения проводили при температуре 200°C и в вакууме порядка 10-4Тор. Прекурсор был сублимирован без разложения при 25°C.
Недостатком способа является небольшая степень осаждения (меньше 2%) диборида титана на субстрате.
Известен способ получения однородных тонких пленок диборида гафния методом химического осаждения из газовой фазы в присутствии ингибитора (аммиака) при температуре 250°C, парциальном давлении паров боргидрида гафния равном 0,075 мкм рт.ст. (mTorr) и аммиака не более 0,050 mTorr. Потоки паров прекурсора и ингибитора направлены на поверхность субстрата (подложки) отдельно и регулируются при помощи игольчатых клапанов без газа-носителя (S. Babar, Kumar N., P. Zhanf, J.R. Abelson, J.Chem. Mater. 2013, 25, 662-667).
Недостатком способа также является использование трудно выделяемого и чрезвычайно реакционно-способного индивидуального твердого боргидрида гафния.
Известен способ получения боридов циркония и гафния в виде порошков, образующихся при нагревании выделенных осаждением комплексов боргидридов металлов из их растворов с последующим разложением в вакууме при 200°C. (Patent US №5,364,607 МПК С01В 6/15, 1994).
Недостатком способа является применение чрезвычайно реакционно-способных боргидридов циркония и гафния для получения соответствующих промежуточных комплексов с последующим их длительным выделением из углеводородных растворов.
Известен способ получения боридциркониевых порошковых покрытий при разложении боргидрида циркония при температуре около 265°C (состав полученного порошка соответствует формуле ZrBt1,6 и при 400°C - ZrB3,1). (Gary W. Rice and Richard L. Woodin, J. Am. Ceram. Soc, 71[4] c. 181-183 (1988).
Аналогично было проведено разложение паров боргидрида циркония под действием лазерного излучения с получением боридциркониевого порошка такого же состава.
Недостатком способа является также использование очень реакционно-способного боргидрида циркония.
Наиболее близким по технической сущности, достигаемому результату и принятым авторами в качестве прототипа, является способ нанесения покрытия из диборида титана пои низкотемпературном химическом газофазном разложении комплекса (прекурсора) боргидрида титана с 1,2-диметоксиэтаном Ti(BH4)3(1,2-dme) (Kumar N.,Yang Yu., Chem. Mater., 2007, 19, 3802-3807). Процесс осаждения проводили при температуре 200°C и в вакууме порядка 10-4 Тор. Прекурсор был сублимирован без разложения при 25°C. Недостатком способа является небольшая степень осаждения (меньше 2%) диборида титана на субстрате и незначительного проникновения в его глубину.
Задача данного изобретения заключается в оптимизации параметров процесса нанесения покрытий из диборидов Ti, Zr и Hf в максимально безопасном режиме при достижении степени осаждения в глубь субстрата более 20% (масс.).
Поставленная цель нанесения покрытий из диборидов Ti, Zr и Hf достигается тем, что покрытие на субстратах образуется при реакции термического химического газофазного разложения боргидридов Ti, Zr и Hf из их растворов в углеводородах предельного ряда С7-С10 с температурой кипения (Ткип.) 90-190°C при совместном пропускании паров боргидридов и паров растворителей через предварительно нагретые до 250°C заготовки пористых материалов (УУВКМ), помещенные в трубчатый реактор, в условиях вакуума.
При осуществлении предложенного способа процесс представляет собой химическое газофазное разложение (CVD) паров боргидридов титана, циркония и гафния, соответственно, в зоне нагретых до 250°C образцов из УУВКМ в слабом токе инертного газа и протекает в соответствии с уравнениями:
Figure 00000003
Figure 00000004
Достигнутый технический результат состоит в упрощении технологии (изготовления) создания ультравысокотемпературо- и окислительностойких углерод-углеродных волокнистых композиционных материалов за счет следующих факторов: использование боргидридов указанных металлов в виде растворов в органических растворителях предельного ряда исключает стадию выделения индивидуальных летучих пожаро- и взрывоопасных продуктов; появляется возможность проведения неоднократного процесса нанесения диборидного покрытия с целью достижения необходимого его содержания в материале; процесс осаждения контролируют по привесу и по падению давления (повышению вакуума) в реакторе.
Процесс нанесения покрытий из диборидов титана, циркония и гафния осуществляют на установке (принципиальная технологическая схема устройства приведена на фиг. 1), в вакууме в трубчатом реакторе, снабженным снаружи электронагревателем в виде рубашки и внутри - устройством подачи паров боргидридов с растворителем в токе инертного газа на заготовку из УУВКМ. Устройство состоит из реактора - 1, нагревателя - 2, испарителя - 3, трубки - 4, весов - 5, образца - 6, термопарной лампы - ТЛ, мановакуумметра - М, регулятора расхода газа - РРГ, термопары - ТП, термодата - ТД.
В подсоединенный к реактору испаритель в виде стального цилиндра, предварительно заполненный аргоном, загружают отмеренное количество раствора с известной концентрацией боргидрида Ti (Zr и Hf). В продуваемый инертным газом реактор помещают подвешенный к весам на проволоке из нержавеющей стали заготовку из УУВКМ на определенном расстоянии от выхода паров из жиклера, который представляет собой устройство в виде трубки с рубашкой, охлаждаемой проточной водой с определенной температурой с помощью термостата. Затем производят герметизацию реактора, вакуумируют систему с помощью мембранного насоса, и нагревают реактор до температуры 250°C. По достижении в реакторе заданной температуры открывают кран на линии от испарителя до реактора и подают с контролируемой по давлению (вакууму) скоростью поток инертного газа через испаритель в реактор. Процесс нанесения покрытия из диборида контролируют по привесу и проводят в течение 10-24-х часов (в зависимости от количества загруженного раствора) до полного испарения боргидрида из испарителя, что сопровождается повышением вакуума. По окончании процесса реактор охлаждают в слабом токе инертного газа до комнатной температуры, прекращают вакуумирование, заполняют реактор аргоном, открывают и вынимают образцы для соответствующей оценки.
Ниже приведены примеры осуществления предлагаемого способа
Пример 1. Нанесение покрытия из диборида титана TiB2
В предварительно проверенный на герметичность и продуваемый сухим аргоном (азотом) трубчатый реактор помещают подвешенный к весам на проволоке из нержавеющей стали заготовку из УУВКМ на расстоянии 3-5 см от выходного отверстия устройства подачи паров в виде трубки с рубашкой, охлаждаемой с помощью термостата проточной водой с температурой 40-45°C. Затем в подсоединенный к реактору испаритель, предварительно заполненный аргоном, в виде стального цилиндра загружают отмеренное количество охлажденного до 0°C раствора боргидрида титана Ti(BH4)3. Далее производят герметизацию реактора, вакуумируют систему с помощью мембранного насоса до 4-6 мм рт.ст. вместе с трубопроводом от испарителя до реактора, и нагревают реактор до температуры 250°C. По достижении в реакторе заданной температуры открывают кран на линии от испарителя до реактора и подают смесь паров боргидрида титана и изооктана вместе с потоком инертного газа, проходящим через испаритель в реактор, с контролируемой по давлению скоростью 3-4 л/ч. Процесс ведут при вакууме 30-40 мм рт.ст. в течение 10-24 часов до привеса не менее 20%. По окончании процесса реактор охлаждают до комнатной температуры, прекращают вакуумирование и заполняют инертным газом, после чего производят выемку образца, который подвергают целевым испытаниям.
Пример 2. Нанесение покрытия из диборида циркония ZrB2
В продуваемый сухим инертным газом трубчатый реактор помещают подвешенный к весам на проволоке из нержавеющей стали заготовку из УУВКМ на расстоянии 3-5 см от выходного отверстия устройства подачи паров в виде трубки с рубашкой, охлаждаемой с помощью термостата проточной водой с температурой 40-45°C. Затем в подсоединенный к реактору испаритель в виде стального цилиндра, предварительно заполненный аргоном, загружают отмеренное количество охлажденного до раствора боргидрида циркония Zr(BH4)4. Далее производят герметизацию реактора, вакуумируют систему с помощью мембранного насоса до 4-6 мм рт.ст. вместе с трубопроводом от испарителя до реактора, и нагревают реактор до температуры 250°C. По достижении в реакторе заданной температуры открывают кран на линии от испарителя до реактора и подают смесь паров боргидрида циркония и изооктана вместе с потоком инертного газа, проходящим через испаритель в реактор, с контролируемой по давлению скоростью 3-4 л/ч. Процесс ведут при вакууме 30-40 мм рт.ст. в течение 10-24 часов до привеса не менее 20%. По окончании процесса реактор охлаждают до комнатной температуры, прекращают вакуумирование и заполняют инертным газом, после чего производят выемку образца, который подвергают целевым испытаниям
Пример 3. Нанесение покрытия из диборида гафния HfB2
В продуваемый сухим инертным газом трубчатый реактор помещают подвешенный к весам на проволоке из нержавеющей стали заготовку из УУВКМ на расстоянии 3-5 см от выходного отверстия устройства подачи паров в виде трубки с рубашкой, охлаждаемой с помощью термостата проточной водой с температурой 40-45°C. Затем в подсоединенный к реактору испаритель в виде стального цилиндра, предварительно заполненный аргоном, загружают отмеренное количество охлажденного до 0°C раствора боргидрида гафния Hf(BH4)4. Далее производят герметизацию реактора, вакуумируют систему с помощью мембранного насоса до 4-6 мм рт.ст. вместе с трубопроводом от испарителя до реактора, и нагревают реактор до температуры 250°C. По достижении в реакторе заданной температуры открывают кран на линии от испарителя до реактора и подают смесь паров боргидрида гафния и изооктана вместе с потоком инертного газа, проходящим через испаритель в реактор, с контролируемой по давлению скоростью 3-4 л/ч. Процесс ведут при вакууме 30-40 мм рт.ст. в течение 10-24 часов до привеса не менее 20%. По окончания процесса реактор охлаждают до комнатной температуры, прекращают вакуумирование и заполняют инертным газом, после чего производят выемку образца, который подвергают целевым испытаниям.
Для подтверждения образования и состава полученных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на субстратах использовали метод электронной спектроскопии. Анализ проводился на электронном сканирующем микроскопе Philips SEM505, оснащенном системой захвата изображения Micro Capture SEM3.0M, и системой элементного микроанализа EDAX с энергодисперсионным детектором SAPHIRE Si(Li) тип SEM10.
Примеры элементного анализа и электронные спектры образцов покрытий представлены на фиг. 2-3

Claims (1)

  1. Способ нанесения покрытий из диборидов титана, циркония и гафния путем термического химического газофазного разложения боргидридов соответствующих металлов на поверхности нагретых до 250°С заготовок пористых материалов, помещенных в трубчатый реактор, в условиях вакуума 30-40 мм рт.ст., отличающийся тем, что в качестве исходных веществ используют растворы боргидридов титана, циркония и гафния в органических углеводородах предельного ряда С7-С10 с температурой кипения (Ткип.) 90-190°C, а процесс ведут путем пропускания легколетучих паров боргидридов титана, циркония и гафния и органических углеводородов совместно.
RU2017146096A 2017-12-27 2017-12-27 Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы RU2675618C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017146096A RU2675618C1 (ru) 2017-12-27 2017-12-27 Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017146096A RU2675618C1 (ru) 2017-12-27 2017-12-27 Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2675618C1 true RU2675618C1 (ru) 2018-12-20

Family

ID=64753497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017146096A RU2675618C1 (ru) 2017-12-27 2017-12-27 Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2675618C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2786959C1 (ru) * 2022-09-28 2022-12-26 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Ультравысокотемпературные и окислительностойкие покрытия из диборидов тугоплавких металлов и карбида кремния на композиционных материалах

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5093156A (en) * 1989-07-27 1992-03-03 Nippon Oil Company, Limited Process for preparing carbon material
RU2359948C2 (ru) * 2003-07-31 2009-06-27 Снекма Пропюльсьон Солид Способ защиты от окисления изделий из композитного материала, содержащего углерод, и изделие, защищенное этим способом
US8137802B1 (en) * 2009-02-05 2012-03-20 Sandia Corporation Multilayer ultra-high-temperature ceramic coatings
EP3072864A1 (en) * 2015-03-25 2016-09-28 Goodrich Corporation Aircraft brake disc materials and methods

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5093156A (en) * 1989-07-27 1992-03-03 Nippon Oil Company, Limited Process for preparing carbon material
RU2359948C2 (ru) * 2003-07-31 2009-06-27 Снекма Пропюльсьон Солид Способ защиты от окисления изделий из композитного материала, содержащего углерод, и изделие, защищенное этим способом
US8137802B1 (en) * 2009-02-05 2012-03-20 Sandia Corporation Multilayer ultra-high-temperature ceramic coatings
EP3072864A1 (en) * 2015-03-25 2016-09-28 Goodrich Corporation Aircraft brake disc materials and methods

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KUMAR N. et al. "Titanium Diboride Thin Films by Low Temperature Chemical Deposition from the Single Source Precursor Ti(BH4)3(1,2-dimethoxyethane)", Chem. Mater., 2007, 19, p.3802-3807. *
SIMONENKO E.P. et al. "Promising Ultra-High-Temperature Ceramic Materials for Aerospace Application", Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2013, vol.58, N 14, p.1669-1693. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2786959C1 (ru) * 2022-09-28 2022-12-26 Акционерное общество "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (АО "ГНЦ РФ ТРИНИТИ") Ультравысокотемпературные и окислительностойкие покрытия из диборидов тугоплавких металлов и карбида кремния на композиционных материалах

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5069930A (en) Method for the evaporation of monomers that are liquid at room temperature
Groves et al. Functionally graded materials synthesis via low vacuum directed vapor deposition
Vignoles et al. CVD and CVI of pyrocarbon from various precursors
US7410669B2 (en) Process and apparatus for the coating or modification of surfaces
JPS5924184B2 (ja) 保護被膜
DE2330545A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum ablagern eines karbidfilmes
US20140199499A1 (en) Method for applying material to a surface
JPH01230409A (ja) セラミック粉末の連続的製造法とその製造装置
RU2601049C1 (ru) Способ нанесения газоплотного покрытия из карбида кремния
RU2675618C1 (ru) Способ нанесения окислительностойких и ультравысокотемпературных покрытий из диборидов титана, циркония и гафния на композиционные материалы
Burlacov et al. A novel approach of plasma nitrocarburizing using a solid carbon active screen–a proof of concept
Bertrand et al. Zirconia coatings realized by microwave plasma-enhanced chemical vapordeposition
US20220090251A1 (en) Method for forming thermal sprayed coating
Haase et al. Gas phase study of systems for the CVD of silver
Dorier et al. Mechanisms of films and coatings formation from gaseous and liquid precursors with low pressure plasma spray equipment
Góral et al. Influence of Deposition Parameters on Structure of TDCs Deposited by PS-PVD Method
Ye et al. Deposition of Hexagonal Boron Nitride from N‐Trimethylborazine (TMB) for Continuous CVD Coating of SiBNC Fibers
Yoo et al. Hafnium carbide coatings deposited by suspension vacuum plasma spraying for ultra-high-temperature oxidation barrier on carbon composites
CN109112501B (zh) 一种二氧化铪涂层及其制备方法
Rakhadilov et al. Properties of Detonation Coatings After Thermal Annealing
RU2466207C2 (ru) Способ синтеза наноструктурной пленки на изделии и устройство для его реализации
RU2786959C1 (ru) Ультравысокотемпературные и окислительностойкие покрытия из диборидов тугоплавких металлов и карбида кремния на композиционных материалах
Vautherin et al. Manufacturing of composite titanium-titanium nitride coatings by reactive very low pressure plasma spraying (R-VLPPS)
RU2558812C1 (ru) Способ получения покрытия из карбида кремния на кварцевом изделии
Domrachev et al. The Formation of Inorganic Coatings in the Decomposition of Organometallic Compounds