RU2643288C2 - Способ получения нанопорошка неметалла - Google Patents
Способ получения нанопорошка неметалла Download PDFInfo
- Publication number
- RU2643288C2 RU2643288C2 RU2016115415A RU2016115415A RU2643288C2 RU 2643288 C2 RU2643288 C2 RU 2643288C2 RU 2016115415 A RU2016115415 A RU 2016115415A RU 2016115415 A RU2016115415 A RU 2016115415A RU 2643288 C2 RU2643288 C2 RU 2643288C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- transition metal
- chemical compound
- target
- laser
- evaporated
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
- B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
- B82B3/0004—Apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of nanostructural devices or systems or methods for manufacturing the same
Abstract
Изобретение относится к способу получения нанопорошка неметалла. Осуществляют испарение мишени излучением лазера с последующей конденсацией испаренного вещества в потоке газа. Испаряемая мишень содержит испаряемый материал и химическое соединение переходного металла, поглощающие излучение на длине волны используемого для испарения данного вещества лазера. Концентрация химического соединения переходного металла составляет от 0,0001 до 10 мольных % испаряемого материала. В частных случаях осуществления изобретения используют излучение твердотельного лазера, работающего на ионах переходных металлов, при этом в качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, на ионах которого работает лазер. В качестве химического соединения мишени используют вид химического соединения переходного металла, которому соответствует испаряемый материал, при этом при испарении оксидов используют оксиды переходного металла, а нитридов - нитриды переходного металла. В качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, разлагаемое в атмосфере кислорода. Обеспечивается повышение эффективности процесса получения нанопорошков неметаллов с помощью испарения вещества излучением лазера. 3 з.п. ф-лы.
Description
Изобретение относится к области получения порошковых материалов, в том числе к способам и устройствам для получения нанопорошков.
Известен способ и реализующее его устройство для получения дисперсий наночастиц металлов и сплавов при помощи сверхбыстрой лазерной абляции в жидкости [US 2010/0196192 А1, 05.08.2010. 'Production of metal and metal-alloy nanoparticles with high repetition rate ultrafast pulsed laser ablation in liquids' B. Liu, Z. Hu, Y. Che, M. Murakami]. Способ заключается в абляции металлов или сплавов, находящихся в потоке жидкости, под действием импульсного лазерного излучения со следующими характеристиками: частота следования импульсов излучения от 10 кГц до 100 МГц, длительность импульса 10 фс - 200 пс, энергия импульса 100 нДж - 1 мДж. Способ позволяет получать стабильные суспензии наночастиц металлов и сплавов в жидкости.
Недостатками данного способа и реализующего его устройства являются: низкая производительность процесса получения наночастиц (несколько миллиграмм в час), низкий КПД импульсного фемто- /пикосекундного лазера (менее 1%) и соответственно высокие энергозатраты на получение наночастиц, необходимость дополнительных технологических этапов (фильтрация, сушка) при извлечении наночастиц из жидкости.
Известен способ и реализующее его устройство для получения нанокристаллических интерметаллических порошков при помощи лазерного испарения [US 6368406 В1 09.04.2002. 'Nanocrystalline intermetallic powders made by laser evaporation' Deevi, Seetharama C. Pithawalla, Yezdi B. Shall, El M. S.]. Способ заключается в испарении смеси металлов или сплавов под действием лазерного излучения. При этом испарение мишени может производиться второй гармоникой Nd-YAG лазера на длине волны 532 нм, с энергией 15-40 мДж, в атмосфере реакционного (кислорода) или инертного газа. Испарению могут подвергаться как одна мишень со смесью или сплавом металлов, так и две мишени с отдельными металлами.
Недостатком данного способа и устройства является то, что в качестве исходного материала использованы металлы и сплавы, так как коэффициент отражения лазерного излучения от металлов очень высок (до 97%). В результате производительность и эффективность данного способа оказываются очень низкими: производительность - порядка 0,1-0,5 г/ч, энергозатраты - порядка 2 кВт*ч/г. Кроме того, использование двух мишеней, испаряемых одним лазером, делает необходимым перенос луча с одной мишени на другую и точный учет времени испарения каждого материала, что в сочетании с протекающими химическими реакциями взаимодействия паров металлов с газом в реакционной камере делает практически невозможным получение наночастиц сложных соединений и точных смесевых составов неметаллов.
Известен способ и реализующее его устройство для получения нанопорошков оксидов путем испарения материалов под действием излучения CO2-лазера и последующей конденсации паров в потоке газов [Muller Е., Oestreich Ch., Рорр U., Michel G., Staupendahl G., Henneberg K.-H. Characterization of nanocrystalline oxide powders prepared by CO2 laser evaporation. J. KONA - Powder and Particle, 1995, №13, pp. 79-90]. В устройстве, реализующем данный способ, порошки оксидов, их смесей или твердых растворов насыпанные в кювету, подвергали действию сфокусированного лазерного излучения. В зоне воздействия луча происходило испарение материала мишени. Пары мигрировали в холодную зону и конденсировались. Сконденсировавшиеся наночастицы переносились газовым потоком и собирались в фильтре. При средней мощности излучения порядка 5 кВт максимальная производительность нанопорошка ZrO2 составляла 130 г/час, размер частиц составлял dBET=60 нм.
Недостатком данного способа является то, что при воздействии на материал мишени непрерывного лазерного излучения образуется зона постоянно существующего расплава, за счет высокой теплопроводности которого происходит рассеяние поглощенной энергии лазерного излучения и снижение эффективности процесса испарения материала мишени. Кроме того, так как процесс испарения непрерывный, над зоной расплава постоянно существует облако паров материала мишени, что создает условия для неограниченного роста в нем зерен нанопорошка. Для снижения размеров зерна вынужденно используют в качестве носителей чистые газы (гелий, кислород) при давлениях ниже атмосферного, что значительно усложняет конструкцию и эксплуатацию всей установки. При использовании же импульсного режима с высокой частотой следования импульсов излучения (т.е., когда поверхность мишени не успевает переместиться за время между импульсами на расстояние, большее или равное диаметру фокусного пятна) процесс испарения-конденсации в данном случае аналогичен непрерывному и имеет все вышеперечисленные недостатки, а энергозатраты такого режима возрастают за счет потерь на модуляцию излучения лазера.
Наиболее близким по технической сущности к предложенному способу (прототип) является способ получения ультрадисперсных порошков и устройство для его реализации [RU, 2185931 C1, B22F 9/02, 9/12 Иванов М.Г., Котов Ю.А., Осипов В.В., Саматов О.М., 24.01.2001], в котором получение нанопорошков сложных соединений и смесевых составов осуществляют за счет испарения вещества излучением импульсно-периодического лазера с последующей конденсацией испаренного вещества в потоке газа, при этом поверхность испаряемого вещества перемещают в фокальной плоскости относительно точки фокуса лазерного излучения с постоянной скоростью vп такой, что:
vп≥d/τ,
где d - диаметр фокусного пятна,
τ - время между импульсами излучения;
поток газа направляют перпендикулярно поверхности испаряемого вещества, а скорость потока газа vг над поверхностью вещества выбирают из условия:
vг≥2r/τ,
где r - радиус зоны разлета испаренного вещества в паровой фазе,
τ - время между импульсами излучения.
Недостатком данного способа является то, что, как и в случае аналога [Muller Е., Oestreich Ch., Рорр U., Michel G., Staupendahl G., Henneberg K.-H. Characterization of nanocrystalline oxide powders prepared by CO2 laser evaporation. J. KONA - Powder and Particle, 1995, №13, pp. 79-90.], при испарении материала под действием лазерного излучения эффективность этого процесса крайне низка. В работе [В. Лисенков, В. Осипов. Численное моделирование воздействия излучения импульсного CO2-лазера на мишень из тугоплавких оксидов. Оптика атмосферы и океана, 2012, т. 25, №3, с. 216-220] показано, что при воздействии излучения CO2-лазера (длина волны 10,6 мкм) на диэлектрики в материале мишени поглощается порядка 30% энергии, и от этой энергии доля, приходящаяся на испарение, составляет 35-45% в зависимости от материала мишени. Таким образом, на испарение и получение нанопорошка используется только 10-12% энергии лазерного излучения. В работе [Котов Ю.А., Саматов О.М., Иванов М.Г., Мурзакаев A.M., Медведев А.И., Тимошенкова О.Р., Демина Т.М., Вьюхина И.В. Получение композиционных нанопорошков с помощью волоконного иттербиевого лазера и их характеристики, ЖТФ, 2011, №5. с. 65-68.] было показано, что ровно такие же потери энергии при испарении материала происходят и в случае использования излучения волоконного иттербиевого лазера с длиной волны 1,07 мкм. Более того, при испарении материалов, плохо поглощающих (прозрачных) на длине волны излучения лазера, эффективность процесса испарения может стремиться к нулю. Испарение мишени, изготовленной из таких чистых монокристаллических материалов, не происходит, а изготовленной из порошков, происходит только в начальный момент времени. Затем поверхность испаряемого порошка оплавляется, глубина поглощения увеличивается, и удельной энергии становится недостаточно не только для испарения, но иногда даже и для плавления материала. При этом вся поглощенная в мишени энергия лазерного излучения теряется за счет теплопроводности.
Технической задачей настоящего изобретения является повышение эффективности процесса получения нанопорошка неметалла с помощью испарения вещества излучением лазера.
Решение технической задачи достигается тем, что
1. в способе получения нанопорошка неметалла, включающем испарение мишени излучением лазера с последующей конденсацией испаренного вещества в потоке газа, испаряют мишень, содержащую испаряемый материал и химическое соединение переходного металла, поглощающие излучение на длине волны, используемого для испарения данного вещества лазера, при этом концентрация химического соединения переходного металла составляет от 0,0001 до 10 мольных % испаряемого материала.
2. в способе по п. 1 используют излучение твердотельного лазера, работающего на ионах переходных металлов, при этом в качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, на ионах которого работает лазер.
3. в способе по п. 2 в качестве химического соединения мишени используют вид химического соединения переходного металла, которому соответствует испаряемый материал, при этом при испарении оксидов используют оксиды переходного металла, а нитридов - нитриды переходного металла.
4. в способе по п. 2 в качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, разлагаемое в атмосфере кислорода.
Заявляемый способ отличается от известных признаками, указанными в отличительной части формулы.
Новый технический результат обусловлен тем, что
- при больших концентрациях (до 10 мольн. %) химическое соединение переходного металла, добавленное к испаряемому материалу, поглощает лазерное излучение,
поглощенная энергия выделяется в тонком (обычно, единицы - десятки микрометров) поверхностном слое мишени, и реализуется режим, близкий к развитому испарению, т.е. когда выделение энергии в поверхностном слое вещества мишени за счет поглощения в нем падающего излучения происходит настолько быстро, что он успевает испариться прежде, чем процесс теплопроводности и другие процессы теплоотдачи способны отвести от слоя выделившееся тепло. При этом эффективность процессов испарения материала и получения наночастиц существенно возрастает. В идеальном случае до 100% поглощенной лазерной энергии может быть затрачено на испарение материала.
- в случае малых концентраций (от 0,0001 мольн. %) добавляемое вещество (примесь) создает дефекты с энергетическими уровнями, находящимися внутри запрещенной зоны испаряемого полупроводника или диэлектрика. Под действием лазерного излучения в испаряемом веществе существенно возрастает концентрация электронов и дырок в соответствующих зонах (проводимости и валентной соответственно) вследствие их многоступенчатого перехода через промежуточные энергетические уровни дефектов (примеси). На свободных носителях зарядов происходит дополнительное поглощение лазерного излучения, при этом в облучаемом объеме выделяется тепло, дополнительно происходит тепловая генерация ионных дефектов, повышается показатель преломления среды, происходит самофокусировка пучка и повышается интенсивность излучения, что приводит к ускорению всех вышеперечисленных процессов. Таким образом, даже исходно (без примеси) прозрачный для лазерного излучения полупроводниковый или диэлектрический материал при наличии примеси малой концентрации начинает интенсивно поглощать излучение, эффективность процессов испарения и соответственно получения наночастиц существенно возрастает. Следует отметить, что если в начальный момент времени добавляемое вещество (примесь) не входило в кристаллическую структуру испаряемого вещества (например, добавлено в виде порошка или нанесено на поверхность частиц в виде раствора солей), то после первоначального воздействия лазерного излучения на поверхности мишени формируется оплавленный слой. В структуре этого оплавленного слоя испаряемого вещества примесь образует атомарные дефекты - замещенные и междоузельные атомы, вакансии с энергетическими уровнями, находящимися внутри запрещенной зоны, и взаимодействие лазерного излучения с веществом происходит в соответствии с описанным выше процессом.
- в случае использования твердотельного лазера, работающего на ионах переходных металлов, проблема выбора примесного вещества, повышающего эффективность процесса испарения, упрощается. Ионы переходных металлов, на которых работает лазер, будут эффективно поглощать лазерное излучение в испаряемом материале.
- если к испаряемому веществу добавляется тот вид химического соединения переходного металла, который соответствует испаряемому веществу, т.е. при испарении оксидов, добавляют оксиды, нитридов - нитриды и т.п., то получаемый нанопорошок в наименьшей степени загрязнен примесными химическими веществами. Во время испарения под действием лазерного излучения происходит разложение большинства химических веществ. Так, при испарении Al2O3 наибольшее давление паров при фиксированной температуре над поверхностью мишени имеют Al2O и AlO. В случае, когда к испаряемому материалу добавлено химическое соединение другого вида, например к оксиду - нитрид, возможно формирование наночастиц примесной фазы нитрида (в некоторых случаях нитрита, нитрата), загрязняющей полученный материал.
- если вещество испаряется в кислородсодержащей атмосфере (воздухе), то при использовании химических соединений переходного металла, разлагаемых в атмосфере кислорода, получаемый порошок будет в наименьшей степени загрязнен примесными соединениями. Так, ацетилацетонаты редкоземельных элементов (например, C15H21O6Nd) при нагреве в воздухе разлагаются на оксид редкоземельного элемента, воду и углекислый газ, не приводя к загрязнению (исключая редкоземельные ионы) получаемого нанопорошка.
- в случае, когда испаряемое вещество в виде порошка пропитывается раствором соли переходного металла, достигается максимальная однородность распределения примесных ионов в материале мишени, что очень важно для формирования необходимой энергетической структуры испаряемого материала и эффективного испарения. При добавлении малых концентраций (0,0001-0,01 мольн. %) необходимая однородность перемешивания (на уровне отдельных частиц) возможна, в большинстве случаев только в случае пропитки порошка раствором соли примесного вещества (нитрата, карбоната и др.) и невозможна при перемешивании порошка с порошком.
Предложенный способ по сравнению с прототипом обеспечивает повышение эффективности процесса получения нанопорошков неметаллов при испарении вещества излучением лазера.
Работоспособность предлагаемого способа проверена на примере установки по получению нанопорошка, где для испарения материала мишени использовался волоконный иттербиевый лазер. Средняя мощность излучения лазера до 1 кВт. Средняя плотность мощности лазерного излучения на мишени ~106 Вт/см2. В качестве рабочего газа использовался воздух при атмосферном давлении. Расход газа составлял 3 л/мин. Мишень состояла из прессованных порошков оксидов.
При испарении мишени из оксида алюминия в виде прессованного порошка с размерами частиц 5-10 мкм излучением волоконного иттербиевого лазера со средней мощностью 500 Вт в начальный момент времени производительность составляла 8 г/ч, т.е. энергозатраты составляли 62,5 кВт*ч/кг. Через несколько (5-10) минут поверхность мишени оплавлялась, испарение практически прекращалось, т.е. энергозатраты стремились к бесконечности. При пропитке порошка оксида алюминия водным раствором нитрата эрбия с концентрацией 0,0001 мольн. % производительность составляла 8-10 г/ч и не изменялась в течение всего процесса получения нанопорошка (порядка 2 ч). При добавлении к порошку Al2O3 порошка Yb2O3 с концентрацией 0,1 мольн. % производительность составляла 10-12 г/ч и не изменялась в течение всего процесса получения нанопорошка (2 ч).
При испарении мишени из оксида иттрия производительность в начальный момент времени составляла 25 г/ч, энергозатраты - 20 кВт*ч/кг. Через 10-20 минут производительность снижалась до 18 г/ч, а энергозатраты возрастали до 28 кВт*ч/кг. При добавлении к порошку Y2O3 порошка Yb2O3 с концентрацией 5 мольн. % производительность составляла 30-32 г/ч и не изменялась в течение всего процесса получения нанопорошка (3,5 ч). При добавлении к порошку Y2O3 порошка ацетилацетоната неодима (C15H21O6Nd) с концентрацией 0,1 мольн. % производительность составляла 28-30 г/ч и не изменялась в течение всего процесса получения нанопорошка (3 ч).
Claims (4)
1. Способ получения нанопорошка неметалла, включающий испарение мишени излучением лазера с последующей конденсацией испаренного вещества в потоке газа, отличающийся тем, что испаряют мишень, содержащую испаряемый материал и химическое соединение переходного металла, поглощающие излучение на длине волны используемого для испарения данного вещества лазера, при этом концентрация химического соединения переходного металла составляет от 0,0001 до 10 мольных % испаряемого материала.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что используют излучение твердотельного лазера, работающего на ионах переходных металлов, при этом в качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, на ионах которого работает лазер.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве химического соединения мишени используют вид химического соединения переходного металла, которому соответствует испаряемый материал, при этом при испарении оксидов используют оксиды переходного металла, а нитридов - нитриды переходного металла.
4. Способ по п. 2, отличающийся тем, что в качестве химического соединения мишени используют химическое соединение переходного металла, разлагаемое в атмосфере кислорода.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016115415A RU2643288C2 (ru) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | Способ получения нанопорошка неметалла |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2016115415A RU2643288C2 (ru) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | Способ получения нанопорошка неметалла |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2016115415A RU2016115415A (ru) | 2017-10-25 |
RU2643288C2 true RU2643288C2 (ru) | 2018-01-31 |
Family
ID=60153626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2016115415A RU2643288C2 (ru) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | Способ получения нанопорошка неметалла |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2643288C2 (ru) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2185931C1 (ru) * | 2001-01-24 | 2002-07-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации |
US20030145681A1 (en) * | 2002-02-05 | 2003-08-07 | El-Shall M. Samy | Copper and/or zinc alloy nanopowders made by laser vaporization and condensation |
RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
RU2382734C2 (ru) * | 2008-04-07 | 2010-02-27 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Синергия-Св" | Способ получения высокочистых нанопорошков и устройство для его осуществления |
US8491972B2 (en) * | 2007-02-26 | 2013-07-23 | E.O. Paton Electric Welding Institute Of The National Academy Of Sciences Of Ukraine | Method of producing encapsulated nanopowders and installation for its realization |
-
2016
- 2016-04-20 RU RU2016115415A patent/RU2643288C2/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2185931C1 (ru) * | 2001-01-24 | 2002-07-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации |
US20030145681A1 (en) * | 2002-02-05 | 2003-08-07 | El-Shall M. Samy | Copper and/or zinc alloy nanopowders made by laser vaporization and condensation |
RU2353573C2 (ru) * | 2006-12-18 | 2009-04-27 | Институт электрофизики Уральского отделения РАН | Способ получения нанопорошков и устройство для его реализации |
US8491972B2 (en) * | 2007-02-26 | 2013-07-23 | E.O. Paton Electric Welding Institute Of The National Academy Of Sciences Of Ukraine | Method of producing encapsulated nanopowders and installation for its realization |
RU2382734C2 (ru) * | 2008-04-07 | 2010-02-27 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Синергия-Св" | Способ получения высокочистых нанопорошков и устройство для его осуществления |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2016115415A (ru) | 2017-10-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Semaltianos | Nanoparticles by laser ablation | |
Camarda et al. | Luminescence mechanisms of defective ZnO nanoparticles | |
Kazakevich et al. | Production of copper and brass nanoparticles upon laser ablation in liquids | |
Naser et al. | The role of laser ablation technique parameters in synthesis of nanoparticles from different target types | |
US20080006524A1 (en) | Method for producing and depositing nanoparticles | |
Karpov et al. | Method for producing nanomaterials in the plasma of a low-pressure pulsed arc discharge | |
US10342113B2 (en) | Controlled laser irradiation atom source | |
Kumar et al. | Growth dynamics of nanoparticles in laser produced plasma in liquid ambient | |
Morintale et al. | Thin films development by pulsed laser-assisted deposition | |
JPH0565561B2 (ru) | ||
JP2009299112A (ja) | 金ナノ粒子およびその分散液、金ナノ粒子の製造方法、ナノ粒子製造システム | |
Osipov et al. | Study of nanoparticle production from yttrium oxide by pulse-periodic radiation of ytterbium fibre laser | |
Hayat et al. | The role of laser fluence and ambient environments on femtosecond laser induced breakdown spectroscopy and on surface morphology of Mg and Zr | |
RU2643288C2 (ru) | Способ получения нанопорошка неметалла | |
RU2185931C1 (ru) | Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации | |
Kostyukov et al. | Study of t-ZrO2: Eu3+ nanophosphor obtained by laser vaporisation using a cw CO2 laser | |
RU2643287C2 (ru) | Способ получения нанопорошка соединений и смесевых составов и устройство для его реализации | |
Osipov et al. | Effect of pulses from a high-power ytterbium fiber laser on a material with a nonuniform refractive index. II. Production and parameters of Nd: Y 2 O 3 nanopowders | |
Pandey et al. | Deposition of nanocomposite Cu–TiO 2 using heterogeneous colliding plasmas | |
RU2597447C2 (ru) | Лазерный способ получения функциональных покрытий | |
Lu et al. | Enhanced Terahertz Emission from Cu x O/Metal Thin Film Deposited on Columnar-Structured Porous Silicon | |
Osipov et al. | Laser Synthesis of Nanopowders Based on Zinc Selenide for Production of Highly Transparent Ceramics | |
RU2465983C2 (ru) | Способ получения нанопорошка и устройство для его реализации | |
Kang et al. | Investigation of Elemental Composition Change by Laser Ablation of a Rare‐Earth Containing Material | |
Aucelio et al. | Preliminary studies of the characteristics and factors influencing the emission from a copper vapor laser-induced plasma |