RU2601362C2 - Method of making parts made from mica by laser cutting - Google Patents

Method of making parts made from mica by laser cutting Download PDF

Info

Publication number
RU2601362C2
RU2601362C2 RU2014150592/02A RU2014150592A RU2601362C2 RU 2601362 C2 RU2601362 C2 RU 2601362C2 RU 2014150592/02 A RU2014150592/02 A RU 2014150592/02A RU 2014150592 A RU2014150592 A RU 2014150592A RU 2601362 C2 RU2601362 C2 RU 2601362C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
mica
cutting
workpiece
laser
optical
Prior art date
Application number
RU2014150592/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2014150592A (en
Inventor
Евгений Федорович Маков
Игорь Геннадьевич Кургузов
Юрий Федорович Воронцов
Евгений Витальевич Седов
Андрей Сергеевич Борискин
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом", Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Priority to RU2014150592/02A priority Critical patent/RU2601362C2/en
Publication of RU2014150592A publication Critical patent/RU2014150592A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2601362C2 publication Critical patent/RU2601362C2/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to production of parts of made of mica by laser cutting. Method comprises preparing and rigidly fixing a flat workpiece of mica on a fixed base, which consists of a removable gauze, resting on a rectangular ledge along perimeter of a window in base fixed on an object table, to which extends a stretching line to press said workpiece to removable gauze. Method includes supplying focused laser radiation (LI) of controlled power by means of a portal optical deflecting system to surface of flat workpiece. Spot is formed at a given point of surface of flat workpiece and cutting is performed with control of process of cutting said workpiece by supplying control signals from a personal computer to movable portal, comprising guides and a movable carriage, on which is mounted an optical laser head with provision of longitudinal-transverse displacements on corresponding coordinates of cutting line.
EFFECT: invention simplifies method and provides conditions for accurate cutting without deformation of flaking workpieces.
1 cl, 6 dwg, 1 ex

Description

Предлагаемое изобретение относится к области технологий и систем лазерной обработки и может быть использовано для раскроя или резания хрупких слоистых материалов, таких как прессованное стекловолокно, ситаллы, слюда, и других подобных им материалов, применяемых преимущественно при изготовлении точных элементов миниатюрных химических источников тока.The present invention relates to the field of laser processing technologies and systems and can be used for cutting or cutting brittle laminated materials, such as pressed fiberglass, glass, mica, and other similar materials, used mainly in the manufacture of precision elements of miniature chemical current sources.

Известны системы и методы резания различных твердых материалов с использованием энергии лазерного луча (патент РФ №2076794, МПК B23K 26/38, публ. 10.04.1997 г.), в которых на опорной поверхности, выполненной в виде поворотной платформы, размещают обрабатываемое изделие, на поверхность которого направляют лазерный луч от источника лазерного излучения, регулируемый оптической системой зеркал, при этом изменение положения поворотной платформы для проведения процесса резки обеспечивается приводными устройствами.Known systems and methods for cutting various solid materials using laser beam energy (RF patent No. 2076794, IPC B23K 26/38, publ. 04/10/1997), in which a workpiece is placed on a supporting surface made in the form of a rotary platform, on the surface of which a laser beam is directed from a laser radiation source, controlled by an optical system of mirrors, while changing the position of the turntable for carrying out the cutting process is provided by drive devices.

Известен в качестве прототипа заявляемого способ изготовления деталей сложной формы методом лазерной резки (патент РФ №2322334, МПК B23K 26/02, публ. 20.04.2008 г.), в котором на опорной поверхности располагают объекты, подлежащие резке, путем подачи их к месту позиционирования с помощью специального устройства, к указанным объектам направляют от источника лазерного излучения сфокусированный системой оптических линз и зеркал лазерный луч, управляемый ПК по заложенной в него программе контроля и распознавания формы изготовляемого изделия, что обеспечивает точность изготовления и чистоту обработки изделий.Known as a prototype of the claimed method of manufacturing parts of complex shape by laser cutting (RF patent No. 23232334, IPC B23K 26/02, publ. 04/20/2008), in which objects to be cut are placed on the supporting surface by feeding them to the place positioning using a special device, the laser beam focused by a system of optical lenses and mirrors is directed from the laser source to the indicated objects, controlled by a PC using the program for monitoring and recognizing the shape of the manufactured product incorporated in it, which ensures It improves manufacturing accuracy and purity of product processing.

К недостаткам известных решений относятся сложность процесса и используемого оборудования и отсутствие условий для обработки пакета из расслаивающихся заготовок, таких как прессованные волокна или слюда.The disadvantages of the known solutions include the complexity of the process and the equipment used and the lack of conditions for processing the package of exfoliating blanks, such as pressed fibers or mica.

Задачей авторов изобретения является разработка простого и эффективного способа изготовления тонких деталей из расслаивающихся материалов методом лазерной резки без повреждения обрабатываемых изделий, обеспечивающего высокую точность и чистоту обработки их.The task of the authors of the invention is to develop a simple and effective method of manufacturing thin parts from exfoliating materials by laser cutting without damage to the processed products, providing high accuracy and purity of processing them.

Новый технический результат, обеспечиваемый при использовании предлагаемого способа, заключается в упрощении способа и обеспечении условий для точной резки без деформирования расслаивающихся заготовок, таких как слюда.A new technical result provided by using the proposed method is to simplify the method and provide conditions for accurate cutting without deformation of exfoliating workpieces, such as mica.

Указанные задача и новый технический результат обеспечивается тем, что в отличие от известного способа изготовления деталей из слюды лазерной резкой, включающего подготовку и жесткую фиксацию плоской заготовки из слюды на неподвижном основании, подачу сфокусированного лазерного излучения (ЛИ) регулируемой мощности посредством оптической отклоняющей системы на поверхность плоской заготовки, формирование пятна в заданной точке поверхности плоской заготовки и осуществление реза плоской заготовки по заданному контуру посредством сфокусированного луча ЛИ, согласно изобретению используют неподвижное основание, выполненное составным из съемной металлической сетки, опирающейся на прямоугольный выступ, выполненный по периметру окна в основании, закрепленном на предметном столе, к которому подводят вытяжную магистраль для поджатия упомянутой заготовки к съемной металлической сетке, при этом для подачи сфокусированного луча ЛИ на упомянутую заготовку используют портальную оптическую отклоняющую систему, содержащую комплект приемно-отражающих плоских оптических зеркал, установленных неподвижно под заданными углами относительно друг друга и оптической оси излучающего ЛИ устройства, и осуществляют управление процессом реза упомянутой заготовки путем подачи управляющих сигналов от персонального компьютера на подвижный портал, содержащий направляющие и подвижную каретку, на которой закреплена оптическая лазерная головка с обеспечением продольно-поперечных перемещений по соответствующим координатам контура реза.The specified task and a new technical result is ensured by the fact that, in contrast to the known method of manufacturing parts from mica by laser cutting, including the preparation and rigid fixation of a flat workpiece from mica on a fixed base, the supply of focused laser radiation (LI) of controlled power through an optical deflecting system to the surface flat workpiece, the formation of spots at a given point on the surface of the flat workpiece and the implementation of the cutting of a flat workpiece on a given path by means of spheres of the expanded beam LI, according to the invention, a fixed base is used, made up of a removable metal mesh resting on a rectangular protrusion made along the perimeter of the window in the base, mounted on an object table, to which an exhaust pipe is brought to compress said blank to a removable metal mesh, To supply a focused LI beam to the aforementioned workpiece, a portal optical deflecting system containing a set of receiving-reflecting flat optical mirrors is used. al, mounted motionless at given angles with respect to each other and the optical axis of the radiating LI device, and they control the cutting process of the aforementioned workpiece by supplying control signals from a personal computer to a movable portal containing guides and a movable carriage on which an optical laser head is secured longitudinally - transverse movements along the corresponding coordinates of the cut contour.

Предлагаемый способ поясняется следующим образом.The proposed method is illustrated as follows.

На фиг. 1 представлены схематически этапы и устройство для осуществления предлагаемого способа, где 1 - источник ЛИ, 2 - туннель, 3 - 1-е зеркало, 4 - 2-е зеркало, 5 - подвижный портал, 5.1 - каретка подвижного портала, 5.2 и 5.3 - направляющие подвижного портала, 6 - верхняя часть лазерной головки, 7 - 3-е неподвижное зеркало, 8 - пылезащитная гофра, 9 - нижняя часть лазерной головки, 10 - фокусирующий объектив, 11 - сопло, 12 - патрубок, 13 - сервопривод, 14 - слюдяная заготовка, 15 - съемная металлическая сетка, 16 - основание с прямоугольным выступом, 17 - короб с фланцем для подключения вытяжной магистрали, 18 - вытяжная магистраль и крепления магистрали (гибкого рукава), 19 - предметный стол, 20 - основание (гранит).In FIG. 1 shows schematically the steps and the device for implementing the proposed method, where 1 is the source of LI, 2 is the tunnel, 3 is the 1st mirror, 4 is the 2nd mirror, 5 is the mobile portal, 5.1 is the carriage of the mobile portal, 5.2 and 5.3 are guides of the movable portal, 6 - the upper part of the laser head, 7 - the 3rd fixed mirror, 8 - dustproof corrugation, 9 - the lower part of the laser head, 10 - focusing lens, 11 - nozzle, 12 - pipe, 13 - servo drive, 14 - mica workpiece, 15 - removable metal mesh, 16 - base with a rectangular protrusion, 17 - box with a flange for connected Iya exhaust pipe, 18 - exhaust pipe and fastenings of the pipe (flexible sleeve), 19 - subject table, 20 - base (granite).

На фиг. 2 представлен пакет из слоев слюды, предназначенный для резки, где 21 - заклепки, 22 - стальные пластины-спутники, 23 - собственно слюдяные заготовки.In FIG. Figure 2 shows a package of mica layers intended for cutting, where 21 are rivets, 22 are satellite steel plates, 23 are mica blanks proper.

На фиг. 3 представлена схема прохождения маломощного импульса ЛИ через пакет из слоев слюды, где 23 - слюдяная заготовка, 24 - включения (дефекты материала), 25 - луч ЛИ.In FIG. Figure 3 shows a diagram of the passage of a low-power LI pulse through a packet of mica layers, where 23 is the mica blank, 24 are inclusions (material defects), 25 is the LI beam.

На фиг. 4 представлен схематически процесс разрушения слюды, где 23 - слюдяная заготовка, 25 - луч ЛИ, 26 - зона взрывного разрушения.In FIG. 4 schematically shows the destruction of mica, where 23 is the mica billet, 25 is the LI beam, 26 is the explosive destruction zone.

На фиг. 5 представлен процесс «заплавления» зоны реза и расплавления пакета слоев слюды, где 23 - слюдяные заготовки, 25 - луч ЛИ, 27 - продукты расплавления материала слюды, 28 - слой адгезива.In FIG. Figure 5 shows the process of “melting” the cutting zone and melting the package of mica layers, where 23 are mica blanks, 25 is the LI beam, 27 are the products of melting the mica material, 28 is the adhesive layer.

На фиг. 6 представлен процесс послойного разрушения слоев слюды под действием избыточного давления, где 25 - луч ЛИ, 29 - «поддув» сжатым воздухом высокого давления (≈6 атм).In FIG. Figure 6 shows the process of layer-by-layer destruction of mica layers under the influence of excess pressure, where 25 is the LI beam, 29 is “blown” by high-pressure compressed air (≈6 atm).

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом.The proposed method is as follows.

На опорной неподвижной поверхности 20 закрепляют составное основание 16, выполненное из съемной металлической сетки 15, которая укладывается на ограничительный поддреживающий ее периметрический выступ в имеющемся окне основания 16. На съемную металлическую сетку помещают слюдяную заготовку 14 (или пакет из слюды).On the supporting fixed surface 20, a composite base 16 is fixed, made of a removable metal mesh 15, which is laid on the restrictive perimetric protrusion supporting it in the existing window of the base 16. A mica blank 14 (or a package of mica) is placed on the removable metal mesh.

К нижней части предметного стола 19 подведена вытяжная магистраль 18 с возможностью поджатия заготовки из слюды 14 при ее срабатывании к съемной металлической сетке 15.An exhaust pipe 18 is brought to the bottom of the object table 19 with the possibility of preloading the workpiece from mica 14 when it is triggered to a removable metal mesh 15.

Импульс ЛИ генерируется источником 1. От источника 1 ЛИ вдоль его центральной оси направляют луч ЛИ на оптическую портальную отклонящую систему из 3 зеркал, которая обеспечивает трансляцию лазерного луча до поверхности обрабатываемой слюдяной заготовки 14. Выходя из аппертурного отверстия источника ЛИ 1, по туннелю 2, соединяющему корпус 1-го зеркала 3 портальной оптической системы с источником 1 ЛИ, луч ЛИ подается на 1-е зеркало, жестко закрепленное на своем основании под углом 45° к оси лазерного луча. Луч ЛИ по ходу следования отражается под прямым углом и попадает на 2-е зеркало 4, которое расположено под углом 45° к оси падающего на него лазерного луча. Корпус 2-го зеркала кинематически соединен с подвижным порталом 5, который передвигается по направляющим 5.2 и 5.3 благодаря линейному приводу. Далее лазерный луч со 2-го зеркала 4 попадает в 3-е неподвижное зеркало 7, расположенное 45° к оси лазерного луча в подвижной части 6 лазерной головки, состоящей из 2-х частей, и отражается вниз перпендикулярно обрабатываемой поверхности слюдяного пакета 14. Луч ЛИ, проходя через фокусирующий объектив 10, расположенный во 2-й подвижной части 9 лазерной головки, преобразуется из параллельного пучка в конусообразный и направляется через сопло 11, закрывающее нижнюю часть лазерной головки 9, на обрабатываемую поверхность слюдяной заготовки. Пылезащитная гофра 8 закрывает свободное пространство между частями 6 и 9 лазерной головки и защищает его от пыли. Верхняя часть лазерной головки 6 жестко закреплена на каретке 5.1, которая передвигается по направляющим вдоль оси портала 5. Нижняя часть лазерной головки 9 подвижна благодаря сервоприводу 13, с которым она кинематически связана, и может передвигаться по вертикальной оси, изменяя фокусное расстояние от объектива до фокальной плосколсти слюдяной заготовки. Через патрубок 12 подается сжатый воздух от цеховой магистрали для защиты объектива и уноса продуктов расплавления материала слюды и пыли из зоны резки. Сфокусированный луч ЛИ попадает на слюдяную заготовку (пакет) 14, уложенную на металлическую сетку 15, находящуюся внутри приспособления 16. К нижней части опорной плоскости приспособления присоединен короб 17 с фланцем, предназначенный для крепления гибкого рукава 18 штатной магистрали цеховой системы вытяжной вентиляции. Под давлением потока воздуха («400 м /час), всасываемого вытяжной вентиляционной системой, слюдяная заготовка плотно прижимается к съемной металлической сетке 15 и надежно фиксируется на ней. Одновременно происходит удаление продуктов горения и пыли, сопровождаюих процесс лазерной резки. Опорной плоскостью приспособление опирается на предметный стол 19, установленный на гранитном основании 20.The LI pulse is generated by source 1. From the 1 LI source, the LI beam is directed along its central axis to the optical portal deflecting system of 3 mirrors, which transmits the laser beam to the surface of the processed mica blank 14. Leaving the aperture hole of the LI 1 source, through tunnel 2, connecting the housing of the 1st mirror 3 of the portal optical system with a source of 1 LI, the LI beam is fed to the 1st mirror, rigidly fixed to its base at an angle of 45 ° to the axis of the laser beam. The LI beam is reflected at right angles and enters the 2nd mirror 4, which is located at an angle of 45 ° to the axis of the laser beam incident on it. The case of the 2nd mirror is kinematically connected to the movable portal 5, which moves along the guides 5.2 and 5.3 due to the linear drive. Next, the laser beam from the 2nd mirror 4 enters the 3rd fixed mirror 7, located 45 ° to the axis of the laser beam in the moving part 6 of the laser head, consisting of 2 parts, and is reflected downward perpendicular to the machined surface of the mica packet 14. The beam LI, passing through a focusing lens 10 located in the 2nd movable part 9 of the laser head, is converted from a parallel beam into a cone-shaped one and is directed through a nozzle 11, which covers the lower part of the laser head 9, on the machined surface of the mica workpiece. Dustproof corrugation 8 closes the free space between parts 6 and 9 of the laser head and protects it from dust. The upper part of the laser head 6 is rigidly fixed to the carriage 5.1, which moves along the guides along the axis of the portal 5. The lower part of the laser head 9 is movable due to the servo drive 13, with which it is kinematically connected, and can move along the vertical axis, changing the focal length from the lens to the focal Squared mica blanks. Through the pipe 12, compressed air is supplied from the workshop line to protect the lens and carry away the products of melting the mica material and dust from the cutting zone. The focused LI beam hits the mica blank (package) 14, placed on a metal mesh 15, located inside the fixture 16. A box 17 with a flange is attached to the lower part of the supporting plane of the fixture, designed to fasten the flexible sleeve 18 of the standard line of the workshop exhaust ventilation system. Under the pressure of the air flow ("400 m / h), which is sucked in by the exhaust ventilation system, the mica workpiece is pressed firmly against the removable metal mesh 15 and is firmly fixed to it. At the same time, combustion products and dust are removed that accompany the laser cutting process. The supporting plane, the device rests on a subject table 19 mounted on a granite base 20.

Следует отметить, что слюда характеризуется высокими диэлектрическими свойствами, высокой стойкостью к высоким температурам и с трудом поддается механической обработке (штамповке, резке, скрайбированию), что роднит ее с группой силикатов, обработка которых, как это известно, ввиду повышенной хрупкости и малых толщин (до 0,5 мм) единичных изделий также проблематична. При резке пакета из указанных материалов возникает необходимость применения внешних стальных пластин (спутников), что делает возможным проведение требуемых операций. В момент фиксации пакета из слоев таких материалов в зажимных приспособлениях на станках (токарном патроне, фрезерных тисках) возникают сильные многократные нагрузки типа «разжим-сжатие», приводящие к повреждению слоистой структуры материала и высокому проценту брака в слоях пакета, находящихся ближе к металлическим слоям «спутников», а традиционно применяемый режущий инструмент, даже изготовленный из твердых сплавов, быстро теряет заточку режущей кромки, т.к. слоистые структуры слюд и ситаллов выступают в роли абразива. Это приводит к тому, что инструмент не режет, а давит заготовки из указанных материалов. Возникают мощные напряжения и нагрев на обрабатываемой кромке, что приводит к расслоениям в зоне обработки. Трещины и расслоения при механической обработке имеют значительные размеры в длину, измеряемые от нескольких десятых долей миллиметра до нескольких миллиметров. В силу сложности готовой формы и миниатюрности обрабатываемых деталей это является недопустимым, особенно при изготовлении прецезионных изделий, эксплуатируемых в качестве диэлектрических элементов электронных приборов, посколку нарушается основополагающее свойство слюд - диэлектрическое сопротивление, что влечет за собой опасность «пробоя» и отказ в работе подобных устройств.It should be noted that mica is characterized by high dielectric properties, high resistance to high temperatures and is difficult to machine (stamping, cutting, scribing), which makes it similar to a group of silicates, the processing of which, as is known, due to the increased fragility and small thicknesses ( up to 0.5 mm) of single products is also problematic. When cutting a package of these materials, it becomes necessary to use external steel plates (satellites), which makes it possible to carry out the required operations. At the moment of fixing the bag from the layers of such materials in the clamping fixtures on the machines (turning chuck, milling vice), strong multiple loads of the “expand-compress” type occur, leading to damage to the layered structure of the material and a high percentage of rejects in the layers of the bag closer to the metal layers “Satellites”, and the traditionally used cutting tool, even made of hard alloys, quickly loses the sharpness of the cutting edge, because the layered structures of mica and sitalls act as an abrasive. This leads to the fact that the tool does not cut, but presses the workpieces from these materials. Powerful stresses and heating occur on the machined edge, which leads to delamination in the processing zone. Cracks and delaminations during machining are significant in length, measured from a few tenths of a millimeter to several millimeters. Due to the complexity of the finished form and miniaturization of the workpieces, this is unacceptable, especially when manufacturing precision products that are used as dielectric elements of electronic devices, since the fundamental property of mica - dielectric resistance is violated, which entails the risk of “breakdown” and the failure of such devices .

Вышеперечисленные трудности механообработки и привели к необходимости использования для резки слюды и подобных материалов с использованием ЛИ, при этом установлено, что применение твердотельных лазеров, обеспечивающих излучение с длиной волны 1,064 мкм, плохо поглощается кристаллическими телами, а слюда сочетает в себе свойства и непрозрачной керамики, и прозрачных тел. Экспериментально было показано, что оптимальными для этого являются лазерные устройства, генерирующие маломощный лазерный импульс, который проходит через слюду, не вызывая опасных последствий (фиг. 3). Увеличение мощности импульса ЛИ возможно до момента, когда вся энергия его приходится на какой-либо дефект в структуре либо на включения. С этого момента начинается стадия резки, одновременно происходит разрушение слюды в месте прохождения лазерного луча. Как следствие этого происходит рост локальных напряжений и локальное взрывное разрушение слюды (фиг. 4).The above-mentioned difficulties in machining led to the need to use mica and similar materials for cutting using LI, while it was found that the use of solid-state lasers that provide radiation with a wavelength of 1.064 μm is poorly absorbed by crystalline bodies, and mica combines the properties of opaque ceramics, and transparent bodies. It was experimentally shown that laser devices generating a low-power laser pulse that passes through mica without causing dangerous consequences are optimal for this (Fig. 3). An increase in the LI pulse power is possible up to the moment when all its energy falls on a defect in the structure or on inclusions. From this moment, the cutting stage begins, at the same time, mica breaks down at the point where the laser beam passes. As a consequence of this, there is an increase in local stresses and local explosive destruction of mica (Fig. 4).

Усугубляет ситуацию необходимость набора нужной толщины заготовки из нескольких слоев меньшей толщины путем склейки, тем самым увеличивая количество слабо соединенных слоев. Слой клея и воздушная прослойка дополнительно преломляют лазерный луч. Применение газового лазера с длиной волны 10,6 мкм, которое хорошо поглощается кристаллическими материалами и обеспечивает оптимальный режим резки слюдяных заготовок. Слоистая структура слюды сложна для лазерной обработки в связи с тем, что между собой слои имеют слабую связь. Если выбрать режим, при котором происходит прохождение лазерного луча без поддува (подаваемого через сопло под давлением сжатого воздуха), то не обеспечивается унос продуктов плавления и пыли. При этом происходит заплавление зоны реза и перегрев материала (фиг. 5).The situation is aggravated by the need to set the desired thickness of the workpiece from several layers of smaller thickness by gluing, thereby increasing the number of loosely connected layers. The glue layer and the air gap further refract the laser beam. The use of a gas laser with a wavelength of 10.6 μm, which is well absorbed by crystalline materials and ensures the optimal cutting mode of mica blanks. The layered structure of mica is difficult for laser processing due to the fact that the layers have a weak connection between themselves. If you select the mode in which the laser beam passes without blowing (supplied through the nozzle under the pressure of compressed air), then the entrainment of fusion products and dust is not ensured. In this case, the cutting zone is melted and the material overheats (Fig. 5).

Высокое давление (около 6 атм и выше) воздуха обеспечивает лучшее охлаждение зоны резки не только в фокальной плоскоти, но и в средних и нижних слоях реза. Это снижает термическую нагрузку на материал и способствует более полному удалению продуктов горения из зоны реза.High air pressure (about 6 atm and above) provides better cooling of the cutting zone not only in the focal plane, but also in the middle and lower layers of the cut. This reduces the thermal load on the material and contributes to a more complete removal of combustion products from the cut zone.

С другой стороны, избыточное давление может привести к послойному разрушению слюды на отдельные фрагменты, что является негативным для проведения точного реза пакета заготовок (фиг. 6).On the other hand, overpressure can lead to layer-by-layer destruction of mica into separate fragments, which is negative for accurate cutting of a package of preforms (Fig. 6).

Экспериментально были подобраны режимы оптимальной резки в несколько проходов, за каждый из которых прорезается небольшой слой материала, но давление воздуха не вызывает его разрушения. Данные режимы были подобраны с учетом факторов, позволяющих минимизировать термическую нагрузку и применить поддув, что обеспечивает качественный рез и минимальный дефектный слой (фиг. 7).Experimentally, optimal cutting modes were selected in several passes, for each of which a small layer of material is cut, but the air pressure does not cause its destruction. These modes were selected taking into account factors that minimize thermal load and apply blowing, which ensures high-quality cuts and minimal defective layer (Fig. 7).

В связи с тем что слюда является весьма хрупким материалом, исключается применение жесткой механической фиксации листовой заготовки стандартными методами, например прижимами. При лазерной обработке происходит локальный нагрев изделия. В силу малой пластичности слюда не обладает способностью гибко деформироваться, как металл, а следовательно, будет ломаться. Сопутствующим негативным фактором при резке слюды является мелкодисперсная пыль, которая вредна для здоровья работающего персонала и оседает на оптические элементы лазерной установки, что диктует необходимость оснащения рабочих мест вытяжной вентиляцией. Эти проблемы и решает использование в предлагаемом способе вытяжной магистрали, обеспечивающей как фиксацию подвергаемой резке слюдяной заготовки, так и унос сопроводающих процесс резки продуктов.Due to the fact that mica is a very fragile material, the use of rigid mechanical fixation of the sheet stock by standard methods, for example, clamps, is excluded. When laser processing occurs local heating of the product. Due to the low ductility of mica, it does not have the ability to flexibly deform like metal, and therefore it will break. An accompanying negative factor when cutting mica is fine dust, which is harmful to the health of working personnel and settles on the optical elements of the laser system, which dictates the need to equip the workplace with exhaust ventilation. These problems are solved by the use of the exhaust pipe in the proposed method, which ensures both the fixing of the mica workpiece being subjected to cutting and the ablation accompanying the cutting process of the products.

Таким образом, при использовании предлагаемого способа достигается заявленный технический результат, заключающийся в упрощении способа при одновременном обеспечении условий для более точной резки без деформирования расслаивающихся заготовок, таких как слюда, по сравнению с прототипом.Thus, when using the proposed method, the claimed technical result is achieved, which consists in simplifying the method while providing conditions for more accurate cutting without deformation of exfoliating blanks, such as mica, in comparison with the prototype.

Возможность промышленной реализации предлагаемого способа изготовления деталей из слюды методом лазерной резки подтверждается следующим примером.The possibility of industrial implementation of the proposed method of manufacturing parts from mica by laser cutting is confirmed by the following example.

Пример 1. В лабораторных условиях был опробован опытный образец установки (фиг. 1) для лазерной резки пакета из слюдяных заготовок (фиг. 2).Example 1. In laboratory conditions, a prototype of the installation (Fig. 1) for laser cutting of a package of mica blanks (Fig. 2) was tested.

Перед запуском процесса обработки пакета заготовок из слюды производились следующие действия:Before starting the process of processing a package of mica blanks, the following actions were performed:

- оператор выбирает и загружает необходимый файл в обслуживающий портальную оптическую систему ПК, содержащий в себе контур детали;- the operator selects and downloads the necessary file to the serving portal optical system of the PC, which contains the outline of the part;

- задает необходимые параметры по мощности лазера и скорости перемещения оптической системы;- sets the necessary parameters for laser power and the speed of the optical system;

- выставляет зазор между соплом и обрабатываемой поверхностью;- sets the gap between the nozzle and the workpiece;

- регулирует давление сжатого воздуха.- regulates the pressure of compressed air.

При режимах, на которых происходит резка слюды, газовый лазер (в условиях примера использован газовый лазер «Rofin», длина волны ЛИ 10,6 мкм) не способен резать металл, таким образом, съемная металлическая сетка не подвергается износу. Условия и режимы реализации предлагаемого способа приведены ниже.Under the conditions in which mica is cut, the gas laser (Rofin gas laser is used in the example, LI wavelength 10.6 μm) is not able to cut metal, thus, the removable metal mesh is not subject to wear. The conditions and modes of implementation of the proposed method are given below.

Режимы контурной размерной обработки пакета слоев слюды ССП и СПМ толщиной соответственно 0,3 мм и 0,5 следующие:The modes of contour dimensional processing of a package of layers of mica SSP and SPM with a thickness of 0.3 mm and 0.5, respectively, are as follows:

Для заготовок из слюды толщиной 0,3 ммFor mica blanks 0.3 mm thick

количество проходовnumber of passes 22 скорость перемещения режущей лазерной головки над столомcutting speed of the cutting laser head above the table 2,6 мм/с2.6 mm / s частота следования импульсовpulse repetition rate 8 кГц8 kHz длительность импульсаpulse duration 40 мкс40 μs количество импульсов в паузеnumber of pulses per pause 6060 количество импульсов в пачкеnumber of pulses in a pack 1one давление воздухаair pressure 1,5-2 атм1,5-2 atm

Для заготовок из слюды толщиной 0,5 ммFor 0.5 mm thick mica workpieces

количество проходовnumber of passes 22 скорость перемещения режущей лазерной головки над столомcutting speed of the cutting laser head above the table 2,6 мм/с2.6 mm / s частота следования импульсовpulse repetition rate 20 кГц20 kHz длительность импульсаpulse duration 48 мкс48 μs количество импульсов в паузеnumber of pulses per pause 6060 количество импульсов в пачкеnumber of pulses in a pack 1one давление воздухаair pressure 1,5-2 атм1,5-2 atm

На фиг. 3 показано, что получаемый срез пакета заготовок из слюды получен без искажений и без деформирования изделия.In FIG. Figure 3 shows that the resulting slice of the package of blanks from mica was obtained without distortion and without deformation of the product.

Как показали эксперименты, при реализации предлагаемого способа достигается технический результат, заключающийся в упрощении способа и обеспечении условий для точной резки без деформирования расслаивающихся заготовок, таких как слюда.As experiments have shown, when implementing the proposed method, a technical result is achieved consisting in simplifying the method and providing conditions for accurate cutting without deformation of exfoliating blanks, such as mica.

Claims (1)

Способ изготовления деталей из слюды лазерной резкой, включающий подготовку и жесткую фиксацию плоской заготовки из слюды на неподвижном основании, подачу сфокусированного лазерного излучения (ЛИ) регулируемой мощности посредством оптической отклоняющей системы на поверхность плоской заготовки, формирование пятна в заданной точке поверхности плоской заготовки и осуществление реза плоской заготовки по заданному контуру посредством сфокусированного луча ЛИ, отличающийся тем, что используют неподвижное основание, выполненное составным из съемной металлической сетки, опирающейся на прямоугольный выступ, выполненный по периметру окна в основании, закрепленном на предметном столе, к которому подводят вытяжную магистраль для поджатия упомянутой заготовки к съемной металлической сетке, при этом для подачи сфокусированного луча ЛИ на упомянутую заготовку используют портальную оптическую отклоняющую систему, содержащую комплект приемно-отражающих плоских оптических зеркал, установленных неподвижно под заданными углами относительно друг друга и оптической оси излучающего ЛИ устройства, и осуществляют управление процессом реза упомянутой заготовки путем подачи управляющих сигналов от персонального компьютера на подвижный портал, содержащий направляющие и подвижную каретку, на которой закреплена оптическая лазерная головка с обеспечением продольно-поперечных перемещений по соответствующим координатам контура реза. A method of manufacturing mica parts by laser cutting, including preparing and rigidly fixing a flat mica workpiece on a fixed base, supplying focused laser radiation (LI) of controlled power by means of an optical deflecting system to the surface of a flat workpiece, spotting at a given point on the surface of the flat workpiece, and cutting flat workpiece on a given path through a focused beam LI, characterized in that they use a fixed base, made composition removable metal mesh, supported by a rectangular protrusion made around the window perimeter in a base mounted on an object table, to which an exhaust pipe is connected to compress said blank to a removable metal grid, and a portal optical channel is used to feed the focused radiation beam to the blank a deflecting system containing a set of receiving-reflecting flat optical mirrors mounted motionless at predetermined angles relative to each other and the optical axis of the radiation LEE guide device, and administers the cutting process of said workpiece by supplying control signals from a personal computer to the mobile portal, guide and comprising a movable carriage on which is fixed the optical laser head secured longitudinally transverse displacement of the corresponding coordinates of the cut contour.
RU2014150592/02A 2014-12-12 2014-12-12 Method of making parts made from mica by laser cutting RU2601362C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014150592/02A RU2601362C2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method of making parts made from mica by laser cutting

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014150592/02A RU2601362C2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method of making parts made from mica by laser cutting

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014150592A RU2014150592A (en) 2016-07-10
RU2601362C2 true RU2601362C2 (en) 2016-11-10

Family

ID=56372460

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014150592/02A RU2601362C2 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Method of making parts made from mica by laser cutting

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2601362C2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU180500U1 (en) * 2017-08-01 2018-06-14 Игорь Александрович Зябрев TECHNOLOGICAL HEAD FOR LASER ADDITIVE TECHNOLOGY
RU210006U1 (en) * 2021-10-29 2022-03-24 Общество с ограниченной ответственностью «ТВЕРЬ-ГРАНД» UNIVERSAL TABLE FOR CLEANING METAL PRODUCTS

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3803918A1 (en) * 1988-02-09 1989-08-17 Interatom LAYER WITH MOVABLE SLATS TO HOLD WORKPIECES IN LASER CUTTERS
RU2322334C2 (en) * 2002-07-11 2008-04-20 Коммиссариат А Л`Энержи Атомик Method for working objects with use of laser and system for performing the same
RU2386523C1 (en) * 2008-12-25 2010-04-20 Открытое акционерное общество Национальный институт авиационных технологий (ОАО НИАТ) Device for cutting of volume parts with fibre laser
RU2528287C2 (en) * 2012-05-15 2014-09-10 Открытое Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт Технического Стекла" Method of fragile non-metallic material laser cutting and device to this end

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3803918A1 (en) * 1988-02-09 1989-08-17 Interatom LAYER WITH MOVABLE SLATS TO HOLD WORKPIECES IN LASER CUTTERS
RU2322334C2 (en) * 2002-07-11 2008-04-20 Коммиссариат А Л`Энержи Атомик Method for working objects with use of laser and system for performing the same
RU2386523C1 (en) * 2008-12-25 2010-04-20 Открытое акционерное общество Национальный институт авиационных технологий (ОАО НИАТ) Device for cutting of volume parts with fibre laser
RU2528287C2 (en) * 2012-05-15 2014-09-10 Открытое Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт Технического Стекла" Method of fragile non-metallic material laser cutting and device to this end

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU180500U1 (en) * 2017-08-01 2018-06-14 Игорь Александрович Зябрев TECHNOLOGICAL HEAD FOR LASER ADDITIVE TECHNOLOGY
RU210006U1 (en) * 2021-10-29 2022-03-24 Общество с ограниченной ответственностью «ТВЕРЬ-ГРАНД» UNIVERSAL TABLE FOR CLEANING METAL PRODUCTS

Also Published As

Publication number Publication date
RU2014150592A (en) 2016-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109926584B (en) Additive manufacturing and surface polishing synchronous processing method and device
US10086481B2 (en) Carrier arrangement for use in a method for simultaneously repairing a plurality of components
CN102470549A (en) Cutting method and cutting device for brittle material substrate, and vehicle window glass obtained by the cutting method
KR20180102046A (en) Laser processing device and laser processing method
US6677553B2 (en) Laser processing apparatus
KR102316369B1 (en) Laser machining method and laser machining apparatus
TW201143947A (en) Laser machining and scribing systems and methods
CN110722272A (en) Ultrafast laser micro-nano cutting drilling equipment and method
CN104384727B (en) The devices and methods therefor of optical-fiber laser processed alumina pottery
US20190111517A1 (en) Laser machining apparatus and laser machining method
CN104972226A (en) Double-head laser machining device and machining method
KR101607226B1 (en) system and method for cutting using laser
JP4630731B2 (en) Wafer division method
JPWO2009081746A1 (en) Dicing apparatus and dicing method
RU2601362C2 (en) Method of making parts made from mica by laser cutting
CN114101898A (en) Laser processing device
JP7149013B2 (en) Planning-polishing apparatus and method using femtosecond pulsed laser
TWI475710B (en) Device for the production of thin layer solar cell module
CN106984904A (en) Numerical control laser cutter
JP7033485B2 (en) Cutting blade shaping method
CN106891095A (en) A kind of numerical control laser cutter
KR101680268B1 (en) Laser separating method along a closed shaped penetrated part from brittle substrate
JP2007301672A (en) Working method and device of transparent material
CN107486637A (en) A kind of numerical control optical-fiber laser cutting machine
CN105948476A (en) Method for glass edge chamfering by using laser