RU2599073C1 - Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов - Google Patents
Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2599073C1 RU2599073C1 RU2015117084/02A RU2015117084A RU2599073C1 RU 2599073 C1 RU2599073 C1 RU 2599073C1 RU 2015117084/02 A RU2015117084/02 A RU 2015117084/02A RU 2015117084 A RU2015117084 A RU 2015117084A RU 2599073 C1 RU2599073 C1 RU 2599073C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nitrogen
- coating
- argon
- cleaning
- ion
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологии упрочнения и повышения износостойкости лопаток компрессоров газотурбинных двигателей. Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов включает предварительную полировку и очистку поверхности изделия в ультразвуковой ванне, очистку ионами аргона с последующей ионной имплантацией азота в поверхностный слой изделия и осаждением слоев нитрида титана. Очистку ионами аргона осуществляют пучком ионов аргона при напряжении анода 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 5-6 мин, ионную имплантацию азота проводят пучком ионов азота при ускоряющем напряжении 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 10-12 мин с формированием промежуточного слоя нитрида алюминия наноразмерной величины. Покрытие из нитрида титана наносят в вакуумной камере методом магнетронного распыления катода-мишени из титана в атмосфере смеси аргона и азота с использованием импульно-частотного источника питания с частотой следования импульсов не ниже 10 кГц. Температуру изделия поддерживают в диапазоне 90-200°С, а давление в рабочей камере составляет 0,37 Па, причем время нанесения покрытия составляет 20-60 минут. Затем образцы охлаждают в среде аргона при давлении 5×104 Па до достижения температуры 25°С. Обеспечивается повышение твердости и износостойкости изделий из алюминиевых сплавов. 3 ил., 1 табл., 1 пр.
Description
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к технологии упрочнения и повышения износостойкости лопаток компрессоров газотурбинных двигателей нового поколения.
Известен способ обработки поверхности лопаток газотурбинного двигателя (патент RU 2296181, МПК С23С 14/35, С23С 14/16, опубл. 27.03.2007), включающий в себя предварительную обработку лопатки путем обработки электрокорундом и химической очистки ее поверхности, создание разрежения в вакуумной камере в интервале от (5×10-2) до (10-1) Па, нагрев вакуумной камеры в интервале температур от 100°С до 600°С, ионную очистку аргоном, а затем кислородом в течение 5-15 мин. Нанесение покрытия на лопатку проводят методом магнетронного распыления материала. Магнетронное распыление осуществляют со скоростью не менее 6 мкм/час. В качестве материала распыления используют серебро. Недостатком данного способа является то, что нанесение покрытия из серебра происходит при температурах выше 200°С, что неприемлемо для алюминия и его сплавов, кроме того, серебряное покрытие обладает плохой твердостью и износостойкостью.
Известен способ защиты поверхности алюминия от коррозии (патент RU 25228774, МПК С23С 14/16, С23С 14/35, опубл. 20.07.2014), включающий размещение изделия в зоне обработки, создание вакуума в зоне обработки, очистку поверхности пучком ионов и осаждение металлического покрытия с одновременной подачей на изделие отрицательного напряжения смещения. Очистку поверхности осуществляют пучком ионов инертного газа с энергией в диапазоне 1-5 кэВ. Осаждение покрытия осуществляют в два этапа. Вначале на поверхность осаждают промежуточный слой покрытия из меди толщиной от 0,5 мкм до 3 мкм в магнетронном разряде постоянного тока, горящем в среде инертного газа, с твердым катодом из меди при мощности разряда 1-2,5 кВт. Затем расплавляют катод из меди при мощности разряда 3-6 кВт с повышением температуры катода до величины, обеспечивающей достаточное давление паров меди для поддержания магнетронного разряда, прекращают подачу инертного газа и осаждают основной слой покрытия из меди толщиной 2-10 мкм в магнетронном разряде, горящем в парах меди. Слои покрытия осаждают на изделии при отрицательном напряжении смещения до 300 В и температуре поверхности 100-300°С. Недостатком известного способа является то, что полученное защитное покрытие из меди не является износостойким и не обладает достаточной твердостью.
Наиболее близким по технической сущности и выбранным в качестве прототипа является способ нанесения износостойких покрытий на лопатки компрессора ГТД (патент RU 2430992, МПК С23С 14/48, С23С 14/06, опубл. 10.10.2011), включающий в себя осаждение чередующихся слоев металлов и их нитридов с очисткой поверхности лопаток ионами аргона и ионной имплантацией в процессе осаждения. Предварительно лопатки полируют и очищают в ультразвуковой ванне. Очистку ионами аргона осуществляют газовой плазмой, образованной путем подачи на лопатки короткоимпульсного высокочастотного высоковольтного отрицательного потенциала смещения. После чего меняют плазму аргона на плазму азота и осуществляют ионную имплантацию азота при тех же параметрах потенциала смещения. Далее прерывают формирование плазмы азота, формируют плазму титана, очищают ее от микрочастиц и подают на лопатки потенциал смещения с теми же высокочастотными параметрами, обеспечивая имплантацию ионов титана в поверхностный слой и разогрев лопаток при достижении лопатками температуры, необходимой для осаждения покрытия. После этого снижением потенциала смещения наносят на лопатки подслой титана. Затем осаждают чередующиеся слои из нитрида титана и нитрида титан-алюминия, при этом слой нитрида титана осаждают при формировании плазмы азота, а слой нитрида титан-алюминия - титан-алюминиевой плазмы. Недостатком способа является нагрев лопаток до высоких температур 400-500°С, что неприемлемо для алюминия и его сплавов.
Технической задачей, на решение которой направлено изобретение, является создание способа ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов, позволяющего обрабатывать их при низкой температуре до 200°С и обеспечивающего повышение твердости и износостойкости изделий для использования в областях разработок лопаток компрессоров газотурбинных двигателей.
Технический результат - повышение твердости и износостойкости изделий из алюминиевых сплавов.
Задача решается, а технический результат достигается способом ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов, включающим предварительную полировку и очистку поверхности изделия в ультразвуковой ванне, очистку ионами аргона с последующей ионной имплантацией азота в поверхностный слой изделия и осаждением слоев нитрида титана. В отличие от прототипа очистку ионами аргона осуществляют пучком ионов аргона при напряжении анода 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 5-6 мин, ионную имплантацию азота проводят пучком ионов азота при ускоряющемся напряжении 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 10-12 мин, причем формируют промежуточный слой нитрида алюминия наноразмерной величины, а покрытие из нитрида титана наносят в вакуумной камере методом магнетронного распыления катода-мишени из титана в атмосфере смеси аргона и азота с использованием импульно-частотного источника питания с частотой следования импульсов не ниже 10 кГц, при этом температуру изделия поддерживают в диапазоне 90-200°С, а давление в рабочей камере составляет 0,37 Па, причем время нанесения покрытия составляет 20-60 минут, после чего образцы охлаждают в среде аргона при давлении 5×104 Па до достижения температуры 25°С.
Технический результат достигается благодаря следующему.
Обработка пучком ионов аргона позволяет очистить поверхность образца от оксидов и активировать химические связи. Обработка поверхности изделия пучком ионов азота приводит к эффективному образованию промежуточного слоя нитрида алюминия наноразмерной толщины, повышающего адгезию основного покрытия к подложке.
Нанесение покрытия в магнетронном разряде при низкой температуре (до 200°С) приводит к эффективному образованию многослойного покрытия из нитрида титана, обладающего улучшенными прочностными характеристиками, повышенной твердостью и хорошей адгезией.
Режимы обработки выбраны исходя из следующего.
Температура образца в процессе обработки составляет 90-200°С и достигается подбором режимов работы магнетрона, а также выбором расстояния между каруселью с закрепленными на ней образцами и мишенью-катодом. При температурах ниже 90°С не наблюдается образование нитрида титана. При температурах выше 200°С происходит разупрочнение материала изделия из алюминиевого сплава. При этом толщина полученного покрытия TiN составляет 1-5 мкм при толщине нижнего подслоя, состоящего из Ti2N, около 400 нм. При толщине покрытия меньше 1 мкм снижается износостойкость и твердость покрытия. При толщине более 5 мкм покрытие обладает неудовлетворительной адгезией.
Сущность изобретения поясняется чертежами, где:
на фиг. 1 показана схема установки, на которой проводят нанесение покрытия;
на фиг. 2а - поперечное сечение покрытия;
на фиг. 2б - механический излом покрытия;
на фиг. 3а показано распределение упругости по толщине покрытия;
на фиг. 3б показано распределение микротвердости по толщине покрытия.
На фиг. 1 обозначено: холодный катод 1, карусельный механизм 2, держатель образцов 3, магнетрон 4, вакуумная камера 5, датчики измерения вакуума 6, регуляторы - расходомеры 7 трехканальной системы газонапуска.
Способ осуществляют следующим образом.
Предварительно полируют и очищают поверхность изделия в ультразвуковой ванне. Затем производят очистку пучком ионов аргона при напряжении анода 2,0-3,0 кВ и токе 0,5 А в течение 5-6 мин, затем ионную имплантацию азота в поверхностный слой изделия пучком ионов азота при ускоряющемся напряжении 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 10-12 мин, причем формируют промежуточный слой нитрида алюминия наноразмерной величины. Далее осаждают слои нитрида титана, причем покрытие из нитрида титана наносят в вакуумной камере 5 методом магнетронного распыления катода-мишени из титана в атмосфере смеси аргона и азота с использованием импульно-частотного источника питания с частотой следования импульсов не ниже 10 кГц, при этом температура изделия в диапазоне 90-200°С, а давление в рабочей камере составляет 0,37 Па, причем время нанесения покрытия составляет 20-60 минут, после чего образцы охлаждают в среде аргона при давлении 5×104 Па до достижения температуры 25°С.
Пример конкретного осуществления способа.
Были использованы образцы из алюминиевого сплава Д16Т в виде дисков диаметром 50 мм и толщиной 4 мм. Одна сторона каждого образца полировалась на шлифовально-полировальном станке «Полилаб Π12» до достижения шероховатости Ra 0,16. Затем осуществлялась очистка образцов в ультразвуковой ванне «S5 Elmasonic» в смеси бензина и изопропилового спирта, а также промывка в этиловом спирте.
Нанесение защитных покрытий проводили на установке для ионно-плазменной обработки (фиг. 1), которая содержит следующее оборудование:
- планарный несбалансированный магнетрон 4, мощность до 10 кВт;
- ионный источник с холодным катодом 1, 3 кВ, 3 кВт;
- регуляторы - расходомеры 7 трехканальной системы газонапуска типа РРГ-10;
- систему автоматизации процесса откачки, сбора и обработки информации (на чертеже не показано).
В качестве материала катода для защитного покрытия был выбран титан в силу его высокой твердости и коррозионной стойкости.
Образцы размещали в вакуумной камере 5 на карусельном механизме 2 с помощью держателя образцов 3 на расстоянии 80 мм от катода. Камера откачивалась криогенным насосом до остаточного давления 1×10-4 Па. Газовый ионный источник с холодным катодом 1 имел сечение ионного пучка (в зоне обработки) на расстоянии 100 мм от источника 60×500 мм. Мощность источника питания 5 кВт, максимальное напряжение 3 кВ. Предварительную обработку изделий осуществляли пучком ионов аргона при напряжении анода 2,5 кВ и током 0,5 мА в течение 5 мин с целью очистки поверхности и удаления окислов. Далее проводили обработку изделий пучком ионов азота при ускоряющемся напряжении 2,5 кВ и токе 0,5 А в течение 10 мин, в результате которой на поверхности образцов образовывался промежуточный слой нитрида алюминия наноразмерной величины. Нанесение покрытия из нитрида титана осуществляли катодным распылением в магнетронном разряде титанового катода-мишени при напряжении разряда 500 В и токе разряда до 5А в газовой среде азота. Магнетрон 4 работал в импульсно-частотном режиме с частотой следования импульсов 30 кГц и коэффициентом заполнения 50%. Длительность процесса нанесения покрытия составляла 30 минут, при этом толщина покрытия составляла 1,35 мкм. Температура образцов в процессе обработки не превышала 120°С. Контроль температуры осуществляли термопарой хромель-константан. Рабочий вакуум измеряли с помощью датчиков измерения вакуума 6 установки, и он составлял при работе ионного источника (6÷8)×10-2 Па при работе магнетрона 0,3÷0,4 Па.
После нанесения покрытия образцы охлаждали в среде аргона при давлении 5×104 Па до достижения ими температуры 25°С.
На фиг. 2а показано поперечное сечение полученного покрытия, на фиг. 2б - механический излом. Фотографии сделаны на растровом электронном микроскопе во вторичных электронах. На фотографиях видно, что покрытие имеет два слоя. Верхний слой имеет столбчатую структуру. Нижний слой плотный и не имеет выраженной структуры. Из анализа шлифов и изломов следует, что толщина покрытия на образце составляет около 1,35 мкм (толщина верхнего слоя около 1 мкм и нижнего подслоя 350 нм).
Проведенный на дифрактометре D8 DISCOVER рентгеноструктурный анализ покрытия указывает на наличие трех фаз (таблица 1) и отсутствие интерметаллидных фаз, которые могли бы образоваться при взаимодействии титана с алюминием.
В покрытии сосуществуют две фазы TiN и Ti2N (соответственно, верхний слой и нижний подслой), причем преобладает TiN. Параметр решетки Al подложки ближе к одному из параметров решетки Ti2N. Поэтому на алюминиевой подложке вероятно начинают расти кристаллы Ti2N, ориентированные таким образом, чтобы максимально согласовать соответствующие плоскости решеток Al и Ti2N. Интенсивность линий TiN растет с увеличением толщины покрытия. Это также указывает на то, что два слоя, которые наблюдались на снимках излома покрытия (фиг. 2б), представляют собой Ti2N (нижний подслой) и TiN (верхний слой).
Механические свойства покрытий были исследованы с помощью цифрового наноиндентометра DNT-1/5 (фиг. 3а) и б)). Видно, что твердость поверхности превышает 1000 HV0,1, при этом твердость подслоя Ti2N составляет примерно 400 HV0,1.
Таким образом, способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов позволяет обрабатывать их при низкой температуре до 200°С и обеспечивает повышение твердости и износостойкости изделий для использования в областях разработок лопаток компрессоров газотурбинных двигателей.
Реализация способа позволит создать экологически чистую технологию создания упрочняющих защитных покрытий на изделия из алюминиевых сплавов. Созданные покрытия могут быть использованы в машиностроении и авиационной промышленности для упрочнения и повышения износостойкости лопаток компрессоров газотурбинных двигателей нового поколения.
Claims (1)
- Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделие из алюминиевого сплава, включающий предварительную полировку и очистку поверхности изделия в ультразвуковой ванне, очистку ионами аргона с последующей ионной имплантацией азота в поверхностный слой изделия и осаждением слоев нитрида титана, отличающийся тем, что очистку ионами аргона осуществляют пучком ионов аргона при напряжении анода 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 5-6 мин, ионную имплантацию азота проводят пучком ионов азота при ускоряющем напряжении 2,0-3,0 кВ и токе 0,5А в течение 10-12 мин c формированием промежуточного слоя нитрида алюминия наноразмерной величины, а покрытие из нитрида титана наносят в вакуумной камере методом магнетронного распыления катода-мишени из титана в атмосфере смеси аргона и азота с использованием импульно-частотного источника питания с частотой следования импульсов не ниже 10 кГц, при этом температуру изделия поддерживают в диапазоне 90-200°С, а давление в рабочей камере составляет 0,37 Па, причем время нанесения покрытия составляет 20-60 минут, после чего образцы охлаждают в среде аргона при давлении 5×104 Па до достижения температуры 25°С.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015117084/02A RU2599073C1 (ru) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2015117084/02A RU2599073C1 (ru) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2599073C1 true RU2599073C1 (ru) | 2016-10-10 |
Family
ID=57127400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2015117084/02A RU2599073C1 (ru) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2599073C1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2705819C2 (ru) * | 2017-12-27 | 2019-11-12 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Способ формирования интерметаллидных покрытий системы Ti-Al на поверхностях из алюминиевых сплавов |
RU2708024C1 (ru) * | 2018-12-24 | 2019-12-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента |
RU2712661C1 (ru) * | 2018-12-29 | 2020-01-30 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") | Способ формирования трибологического покрытия |
RU2768053C1 (ru) * | 2021-11-24 | 2022-03-23 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Способ получения коррозионностойкого покрытия |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090068450A1 (en) * | 2005-07-15 | 2009-03-12 | Wolf-Dieter Muenz | Method and Apparatus for Multi-Cathode PVD Coating and Substrate with PVD Coating |
RU2430992C2 (ru) * | 2009-10-29 | 2011-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (ФГУП "НПЦ газотурбостроения "Салют") | Способ нанесения износостойких покрытий на лопатки компрессора гтд |
US20120042991A1 (en) * | 2010-08-23 | 2012-02-23 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Process for surface treating aluminum or aluminum alloy and housing made by same |
RU2522874C1 (ru) * | 2013-04-05 | 2014-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Способ защиты поверхности алюминия от коррозии |
RU2543575C2 (ru) * | 2008-11-18 | 2015-03-10 | Ёрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Способ нанесения покрытия на металлические заготовки в установке вакуумирования (варианты) |
-
2015
- 2015-05-05 RU RU2015117084/02A patent/RU2599073C1/ru active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090068450A1 (en) * | 2005-07-15 | 2009-03-12 | Wolf-Dieter Muenz | Method and Apparatus for Multi-Cathode PVD Coating and Substrate with PVD Coating |
RU2543575C2 (ru) * | 2008-11-18 | 2015-03-10 | Ёрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Способ нанесения покрытия на металлические заготовки в установке вакуумирования (варианты) |
RU2430992C2 (ru) * | 2009-10-29 | 2011-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр газотурбостроения "Салют" (ФГУП "НПЦ газотурбостроения "Салют") | Способ нанесения износостойких покрытий на лопатки компрессора гтд |
US20120042991A1 (en) * | 2010-08-23 | 2012-02-23 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Process for surface treating aluminum or aluminum alloy and housing made by same |
RU2522874C1 (ru) * | 2013-04-05 | 2014-07-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Способ защиты поверхности алюминия от коррозии |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2705819C2 (ru) * | 2017-12-27 | 2019-11-12 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Способ формирования интерметаллидных покрытий системы Ti-Al на поверхностях из алюминиевых сплавов |
RU2708024C1 (ru) * | 2018-12-24 | 2019-12-03 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Способ комбинированного упрочнения режущего инструмента |
RU2712661C1 (ru) * | 2018-12-29 | 2020-01-30 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ" (ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ") | Способ формирования трибологического покрытия |
RU2768053C1 (ru) * | 2021-11-24 | 2022-03-23 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Способ получения коррозионностойкого покрытия |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2599073C1 (ru) | Способ ионно-плазменного нанесения многослойного покрытия на изделия из алюминиевых сплавов | |
RU2430992C2 (ru) | Способ нанесения износостойких покрытий на лопатки компрессора гтд | |
US10378095B2 (en) | TiB2 layers and manufacture thereof | |
RU2661133C2 (ru) | Многослойная подложка и способ ее изготовления | |
RU2489514C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ ИНТЕРМЕТАЛЛИДА СИСТЕМЫ Ti-Al | |
Liu et al. | Feasibility study on preparation of coatings on Ti–6Al–4V by combined ultrasonic impact treatment and electrospark deposition | |
RU2660502C1 (ru) | Способ нанесения покрытия на поверхность стального изделия | |
CN101294284A (zh) | 一种耐冲蚀抗疲劳等离子表面复合强化方法 | |
JP6243796B2 (ja) | ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜方法 | |
RU2554828C2 (ru) | Способ нанесения защитного покрытия на поверхность стального изделия | |
CN108531905A (zh) | 一种高性能类金刚石复合涂层及其制备方法 | |
JP2016084505A (ja) | 被覆工具の製造方法 | |
Sugahara et al. | Creep behavior evaluation and characterization of SiC film with Cr interlayer deposited by HiPIMS in Ti-6Al-4V alloy | |
RU2522874C1 (ru) | Способ защиты поверхности алюминия от коррозии | |
RU2532582C2 (ru) | Способ изготовления режущего инструмента с композитным износостойким покрытием | |
CN105463382B (zh) | 一种提高TiAl合金氧化抗力的涂层及其制备方法 | |
CN107313086B (zh) | 一种超细晶/纳米晶Cr涂层的复合制备工艺 | |
CN103789524A (zh) | 硬质合金涂层刀具的强流脉冲电子束表面处理方法 | |
RU2388684C2 (ru) | Способ ионно-плазменного нанесения на деталь наноструктурированного металлического покрытия | |
RU2671026C1 (ru) | Способ комбинированного плазменного упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов | |
JPH07113182A (ja) | 金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被覆する方法及び 装置 | |
CN106967977B (zh) | 工模具表面复合氮化物涂层制备工艺 | |
RU2106429C1 (ru) | Способ нанесения многослойного износостойкого покрытия на изделия из железных и титановых сплавов | |
RU2415199C1 (ru) | Способ нанесения покрытия | |
RU2430986C2 (ru) | Способ формирования сверхтвердого аморфного углеродного покрытия в вакууме |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD4A | Correction of name of patent owner |